CN114914010A - 可调节的分段的准直仪 - Google Patents
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- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims 1
- 230000006978 adaptation Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 7
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004876 x-ray fluorescence Methods 0.000 description 2
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 description 1
- 241000446313 Lamella Species 0.000 description 1
- 241000282376 Panthera tigris Species 0.000 description 1
- 238000000441 X-ray spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/025—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using multiple collimators, e.g. Bucky screens; other devices for eliminating undesired or dispersed radiation
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/20—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by using diffraction of the radiation by the materials, e.g. for investigating crystal structure; by using scattering of the radiation by the materials, e.g. for investigating non-crystalline materials; by using reflection of the radiation by the materials
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- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
-
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- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
-
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- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
- G21K1/043—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers changing time structure of beams by mechanical means, e.g. choppers, spinning filter wheels
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K1/00—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating
- G21K1/02—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators
- G21K1/04—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers
- G21K1/046—Arrangements for handling particles or ionising radiation, e.g. focusing or moderating using diaphragms, collimators using variable diaphragms, shutters, choppers varying the contour of the field, e.g. multileaf collimators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/05—Investigating materials by wave or particle radiation by diffraction, scatter or reflection
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/316—Accessories, mechanical or electrical features collimators
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
本发明涉及一种可调节的分段的准直仪。用于X射线光学系统的准直仪布置结构(10)，包括用于将X射线辐射关于索拉光阑的轴线(z)方向进行准直的索拉光阑，其中，所述索拉光阑具有多个彼此间隔开的片材(11)，所述片材具有彼此平行的片材平面，其特征在于，索拉光阑具有多个沿所述轴线(z)设置的、彼此分离的部段，准直仪布置结构(10)具有用于包围和引导所述部段的准直仪框架(13)，并且所述部段中的至少一个所述部段(12a)相对于准直仪框架(13)以及相对于其他部段可移动。借此以紧凑的并且低成本的方式能够实现X射线光谱仪的光谱的分辨率与分别不同的分析的应用的简单的然而目标精确的适配。
Description
技术领域
本发明涉及一种准直仪布置结构，所述准直仪布置结构用于X射线(伦琴)光学系统，包括用于将X射线辐射关于索拉光阑的轴线方向进行准直的索拉光阑(索拉狭缝)，其中，所述索拉光阑具有多个彼此间隔开的片材，所述片材具有彼此平行的片材平面。
背景技术
这样的准直仪布置结构由EP 2 194 375B1(＝参考文献[1])已知。
本发明的背景
X射线测量、尤其是X射线光谱分析和X射线衍射法在不同的应用领域中用于样品的定性的和定量的化学分析以及结构分析。按照分析的任务设定，需要构造的另一个角度分辨率并且在具有不同的角度分辨率的测量之间的快速更换是值得期望的。
在用于X射线荧光分析的常规的X射线光谱仪中，角度分辨率通常通过主准直仪调节，所述主准直仪通常作为索拉光阑实施。已经在 DE 30 00 122A1(＝参考文献[2])中说明这样的具有平行片材布置结构的准直仪。通常多个准直仪以不同的片材距离安装。按照分析的要求，包括马达式的驱动装置的合适的准直仪放置在射束路径中，以便调节需要的角度分辨率并且从而将构造的光谱分辨率与分析的任务适配。
由US 2011/0081004 A1(＝参考文献[7])已知具有基板的FASC (固定角度次级准直器)布置结构，其具有用于固定接纳同类的板的缝隙。每个板在此具有分离壁和缝隙，X射线辐射能够穿过所述缝隙。
DE 10 2017 223 228B3(＝参考文献[8])描述了一种具有改进的索拉光阑的X射线光谱仪，在所述X射线光谱仪中，片材形成多个缝隙形的通道，在一部分由片材形成的缝隙中存在垂直于缝隙定向的分离壁，所述分离壁对于X射线辐射是可通过的并且限制穿过准直仪布置结构的X射线辐射在横向于来自样品的X射线衍射平面的方向上的横向发散。因此可以进行明显更快的位置分辨的测量。
包括多个准直仪的布置结构
在X射线光谱仪“Bruker S8 TIGER”(参见参考文献[3a]，[3b]) 中，其中使用实施为索拉光阑的准直仪，该任务利用准直仪转换器实现，其中，四个不同的准直仪设置在一个转筒中。借助马达式的驱动装置，可以分别将一个准直仪交替地旋转到射束路径中。
在X射线光谱仪“Rigaku ZSX Primus IV”(参见YouTube Werbevideo参考文献[4])中，三个准直仪并排地设置，所述三个准直仪通过线性的移动机构可以交替地在射束路径中定位。
大的空间需求
为了优化X射线光谱仪的效率，射束路径必须尽可能紧凑地实施。附加地，在现代的X射线光谱仪中，多个视准线要设置到样品上。这由于常规的准直仪转换器的大的结构体积显著变得困难。
高的费用和高的材料使用
索拉光阑由各个板材(片材)构造。典型的索拉光阑包括40至 100个片材，所述片材带有距离保持部地被压制或粘接。通过片材的距离和索拉光阑的长度，可以适配准直仪的角度分辨率。装配过程通常耗费并且昂贵。片材距离越小，则制造越昂贵，因为需要显著更多的材料。对于每个希望的角度分辨率，必须制造并且在光谱仪中安装单独的准直仪。因此与常规的解决方案关联由于较多的材料使用的高的费用。
代替安装多个准直仪并且将其交替地移动到射束路径中，在JP 6308293A(＝参考文献[5])中设置可倾斜的准直仪。
然而在这里不利的是，横断面积和因此对样品的视野随着倾斜而改变。随着较小的片材距离(和因此较好的分辨率)，可用的高度以相同的比例变得较小。
在US 6,444,993 B1(＝参考文献[6])中设置变化的索拉光阑，其中，片材距离保持恒定并且分辨率的适配通过索拉光阑沿射束方向的变化的长度实现。
在按照参考文献[6]的布置结构中不利的一方面是围绕射束路径的大的空间需求。在XRF光谱仪中的典型的样品直径是～4cm。射束路径必须遮盖所述表面的典型的部分并且典型地具有～6cm2的横断面积。在参考文献[6]中勾画的索拉光阑垂直于传播方向要求比射束路径的本身的横断面积显著更多的空间。另一方面不利的是，索拉光阑的角度分辨率(在这里沿射束方向的长度)在射束路径的横断面积上改变。借此用于样品的不同的区域的角度分辨率不同，这使对分析的结果的评估显著变得困难。
由开头引用的参考文献[1]已知包括索拉光阑的关于本发明的通用的X射线光学元件，所述X射线光学元件具有多个彼此间隔开的片材，所述片材具有彼此平行的片材平面，以用于X射线射束关于索拉光阑的轴线方向的准直。X射线光谱仪的光谱分辨率与不同的分析应用的简单适配的以上描绘的问题保持存在。
发明内容
本发明的任务
与此相对，本发明的任务是，提出具有开头定义的类型的索拉光阑的改进的准直仪布置结构，借助其以紧凑的并且低成本的方式能够实现X射线光谱仪的光谱分辨率与分别不同的分析的要求以简单的、然而目标精确的方式适配。
本发明的短的说明
该详细看来相对要求高的并且复杂的任务通过本发明以出人意料简单的以及有效的方式由此解决，即，索拉光阑具有多个沿轴线设置的、彼此分离的部段，准直仪布置结构具有用于包围和引导所述部段的准直仪框架，并且所述部段中的至少一个部段能够相对于准直仪框架以及相对于索拉光阑的其他部段移动。
亦即所述发明任务通过分段的准直仪解决，其中，准直仪的一个或多个部段——通常可以垂直地——相对于片材移动。如果将一半的部段以一半的片材距离移动，则角度分辨率大约以因数二改善。如果将分别三分之一的部段以大约1/3的片材距离并且将三分之一的部段以大约2/3的片材距离移动，则角度分辨率大约以因数三改善。本发明的基本思想基于如下认识，即，对于准直仪的功能性，片材沿射束方向不是必须一定要连续。仅不应当通过如下准直仪给出视准线，在所述准直仪中，到准直仪中的输入和从准直仪的输出在不同的片材之间进行。
按照本发明的准直仪布置结构装入其中的X射线光学系统装备有：X射线源、X射线辐射从所述X射线源作为初级射线引导到要研究的样品上；X射线探测器，以用于接收在样品上衍射的或散射的X 射线辐射，其中，在样品和X射线探测器之间存在准直仪布置结构和用于X射线辐射的光谱分析的分散的元件(例如晶体或栅格)。
按照本发明改进的准直仪布置结构相对于现有技术的主要优点是：
1.紧凑的结构方式：在对应于具有固定的角度分辨率的准直仪的结构空间中，可以实现多个不同的角度分辨率。仅需要移动片材距离的一小部分(<1mm)(尤其是相对于参考文献[3a]至[6]的优点)。
2.低成本的并且节省材料的结构方式：至今准直仪的角度分辨率应该越好，则费用升高并且材料使用越多。为了更精密的准直仪需要更多的单板材。在按照本发明的措施中，对于所有实现的角度分辨率的材料使用对应于最粗糙的(并且因此最便宜的)准直仪(尤其是相对于参考文献[3a]至[4]的优点)。
3.横断面积和在样品上的可见的区域在所述部段的所有调节中保持恒定(尤其是相对于参考文献[5]的优点)。
4.在射束路径的整个横断面积上的角度分辨率恒定(尤其是相对于参考文献[6]的优点)。
本发明的优选的实施形式和进一步构成
按照本发明的准直仪布置结构的在实际中特别优选的类别的实施形式的特征在于，索拉光阑具有至少三个、优选多于三个部段，其中，所述部段中的至少一个、尤其是多个部段分别沿其垂直于片材平面的一个部段方向或多个部段方向相对于准直仪框架可移动地设置。
该类实施形式的一种有利的进一步构成的特征在于，索拉光阑的所有部段的部段方向相同地取向，或一些部段的部段方向相对其他的部段的部段方向转动了90°地设置。在部段方向相同取向时，能够较精细地调节光谱的分辨率。在一些部段的转动了90°的布置结构中，在移动所述部段时可以实现发射的X射线的变化的位置编码，其方式为：限制垂直于衍射方向的空间发散并且借此实现较高的位置分辨率。
在该准直仪布置结构的有利的进一步构成中，所述部段沿部段方向分别具有相同的外部的尺寸。这能够实现紧凑的并且均匀的结构形式。
优选的也是按照本发明的准直仪布置结构的如下实施形式，其中，所述部段沿索拉光阑的轴线方向分别具有相同的外部尺寸。由此实现所述部段的均匀的作用方式。等效的部段的相同移动具有相同的作用。
在其他的有利的实施形式中，在索拉光阑的每个部段中的片材分别彼此具有相同的距离。也由此实现所述部段的均匀的作用方式。
有利的也是本发明的如下实施形式，其特征在于，可移动的部段与尤其是机电的、电磁的或气动的促动器耦合，所述促动器可以引起所述部段的移动。也可设想手动的调节。通过促动器，准直仪布置结构的作用的自动化改变是可能的。
优选的也是按照本发明的准直仪布置结构的一类实施形式，其中，索拉光阑的所述可移动地设置的部段分别沿垂直于片材平面的部段方向相对于准直仪框架有弹性地支撑。可移动地设置的部段的有弹性的支撑用于使所述部段在准直仪框架中在任何时候处于明确定义的位置中。
这些实施形式可以在进一步构成中由此改善，即，索拉光阑的有弹性支撑的部段在基本位置中这样设置，使得所述部段以其相应的部段底部向准直仪框架挤压。通过有弹性部件的统一的布置结构，实现可移动地支撑的部段的统一的基本位置。此外简化准直仪布置结构的结构方式，因为各所述部段包括有弹性部件同类地构造。
在一种特别有利的变型中，准直仪布置结构具有包括至少一个挺杆的至少一个冲模元件，所述冲模元件通过准直仪框架的开口可以接触一个或多个可移动的部段的部段底部并且将所述部段从基本位置尤其是这样移动到调节位置中，使得实现所述部段的预先确定的调节图案。通过挺杆实现穿过准直仪框架，从而可以调节准直仪框架外的部段。在包括挺杆的多个部段的组合中，能够此外实现所述部段的调节图案的预先确定的编码。
按照本发明的准直仪布置结构的这些变型还可以由此进一步改善，即，每个冲模元件具有凸缘，所述凸缘为了所述部段在调节位置中的准确的定位可以抵靠准直仪框架的开口的边缘。由此确保，没有冲模元件过远地推入准直仪框架中。所述凸缘在一定程度上构成用于冲模元件的端部止挡部并且降低在调节机构的促动器上的精度要求。
备选或补充地，每个冲模元件可以具有多个挺杆，其中，所述挺杆沿部段方向具有不同的高度，以用于可移动的部段的不同的定位。通过将多个挺杆配置给一个冲模元件，可以实现所述部段的简化的调节，因为为了多个部段的运动，只须使一个冲模元件运动。如果挺杆具有不同的高度，则可以由此实现所述部段的有区别的调节图案。
其他的变型的特征在于，所述准直仪布置结构具有多个冲模元件，所述冲模元件可以彼此独立地运动，其中，尤其是随着冲模元件引入压紧位置中，可以实现所述部段的不同的调节图案。由此可以可选地调节在图2中示出的调节图案并且实现不同的分辨率的多于两个配置。
有利的也在于，包括气动的操纵的按照本发明的准直仪布置结构的变型，其特征在于，准直仪框架在冲模元件下方具有用于柔性软管的接纳部，所述软管可以通过以气压的加载膨胀并且使冲模元件从基本位置移动到调节位置中。使用气动的操纵避免将电的元件引入准直仪布置结构中，所述电的元件可能易受干扰并且也较昂贵。此外这样的气动的驱动机构几乎不释放热量，这对于X射线光谱仪的温度稳定性是重要的。
最后优选的也是按照本发明的准直仪布置结构的一种变型，其中，通过冲模元件能够以相同的路程d共同移动或不可移动地构造的相邻的部段分别在一个部段组中组合。通过将部段组合成部段组，按照本发明的准直仪布置结构的制造成本较低。
本发明的其他的优点由说明书和附图得出。上述的并且还进一步说明的特征同样可以按照本发明分别单独本身或以多个以任意的组合使用。示出的并且说明的实施形式不应理解为穷举，而是具有用于描绘本发明的示例性的特性。
附图说明
本发明和附图的详细说明
在附图中示出并且借助实施例进一步解释本发明。
其中：
图1a以从斜上方的俯视图示出按照本发明的准直仪布置结构的一种实施形式的空间示图；
图1b示出按照图1a的实施形式的纵剖面；
图2示出在三个不同的调节图案中的按照本发明的准直仪布置结构的示意的纵剖面：
上：未移动的初始位置(粗的分辨率)，
中：每个第二部段均匀地移动，
下：在偏移的并且未移动的部段的序列中的非对称性；
图3a示出在所述部段的未移动的初始位置中的通过按照本发明的准直仪布置结构的一种实施形式的示意的纵剖面；
左：沿z轴线的方向的前视图，
右：沿平行于z轴线的交截线A-A的侧视图；
图3b示出如图3a的实施形式，然而以具有偏转的部段的调节图案中；
图4a示出在所述部段的未移动的初始位置中在沿z轴线方向的前视图中的通过按照本发明的准直仪布置结构的一种实施形式的示意的纵剖面；
图4b示出如图4a的实施形式，然而在具有偏转的部段的工作位置中；
图5a示出包括一个中央冲模和两个在侧面的外部冲模的在沿z 轴线的方向的前视图中的通过按照本发明的准直仪布置结构的一种实施形式的示意的纵剖面；
图5b示出如图1a的实施形式；以及
图5c示出以从上面看的俯视图的用于按照本发明的准直仪布置结构包括用于气动的促动器的软管的铣削部的准直仪框架的空间示图。
具体实施方式
附图的图1a至5c分别在或多或少示意的视图中以不同的细节示出按照本发明的准直仪布置结构10的优选的实施方式。该准直仪布置结构是在附图中未进一步示出的X射线光学系统的组成部分，该准直仪布置结构包括索拉光阑，用于X射线辐射关于索拉光阑的轴线z的方向平行于X射线辐射的传播方向的准直，其中，索拉光阑具有多个彼此间隔开的片材11，所述片材具有彼此平行的片材平面。
按照本发明的准直仪布置结构10的特征在于，索拉光阑具有多个沿轴线z设置的彼此分离的部段12a、12b、12c、12d，…。为了包围和引导所述部段12a、12b、12c、12d，…，准直仪布置结构10具有准直仪框架13。所述部段12a、12b、12c、12d，…中的至少一个、但通常多个部段相对于准直仪框架13以及相对于索拉光阑的其他的部段可移动并且更确切地说是优选沿其垂直于片材平面的部段方向相对于准直仪框架13可移动。
在按照本发明的准直仪布置结构10的在附图中示出的实施形式中，索拉光阑的所有部段12a、12b、12c、12d，…的部段方向相同地取向。
此外，所述部段12a、12b、12c、12d，…在所述附图的实施方式中沿部段方向以及也沿索拉光阑的z轴线的方向分别具有相同的外部的尺寸并且在索拉光阑的每个部段12a、12b、12c、12d，…中的片材11分别具有彼此相同的距离。但在附图中未特意示出的实施形式中，也可以使用不同宽度的部段，例如其方式为：将相邻的共同移动的或不移动的部段组合。此外不移动的元件也可以牢固地在准直仪框架13 上固定。
所述索拉光阑的部段12a、12b、12c、12d，…可以例如借助增材制造方法——例如3D打印——或通过分割——例如线切割——常规的粘接的准直仪来制造。后者允许低成本的并且无力的加工并且关于制造公差是有利的，因为所有部段由一个初始构件制造。
可移动的部段12a、12b、12c、12d，…可以与机电的、电磁的或气动的促动器14耦合，所述促动器引起所述部段12a、12b、12c、12d，…的移动。尤其是在图4a至5a中示出气动的促动器14的软管部件14‘。
如在图3a至4b的实施形式中示出的，索拉光阑的可移动地设置的部段12a、12b、12c、12d，…可以分别沿垂直于片材平面的部段方向相对于准直仪框架13有弹性地支撑并且这样设置在基本位置中，使得其以相应的部段底部向准直仪框架13挤压。
按照本发明的准直仪布置结构10可以如由图1b和3a至5a可看出的那样具有包括至少一个挺杆16的至少一个冲模元件15；15‘；15“，所述冲模元件通过准直仪框架13的开口17可以接触一个或多个可移动的部段12a、12b、12c、12d，…的部段底部并且将所述部段从基本位置中尤其是这样移动到调节位置中，使得实现部段12a、12b、12c、 12d，…的预先确定的调节图案，如例如在图2中示出的。
尤其是图1b和3a至4b示出冲模元件15，所述冲模元件分别具有凸缘18，所述凸缘为了所述部段12a、12b、12c、12d，…在调节位置中的准确的定位可以向准直仪框架13的开口17的边缘抵靠。
每个冲模元件15；15‘；15“可以具有多个挺杆16，所述挺杆可以具有沿部段方向的不同的高度，以用于可移动的部段12a、12b、12c、 12d，…的不同定位。冲模元件15；15‘；15“可以彼此独立地运动，其中尤其是随着其被引入到压紧位置中，能够实现所述部段12a、12b、 12c、12d，…的不同的调节图案。
如尤其是在图5c中可清楚看出的，准直仪框架13可以在冲模元件15之下具有用于柔性的软管14‘的接纳部19(参见图4a至5a)，所述软管可以通过以气压的加载膨胀并且将对应的冲模元件15从基本位置移动到调节位置中。
可通过冲模元件15共同以相同的路程d移动或不可移动地构造的相邻的部段12a、12b、12c、12d，…可以分别在一个部段组中组合。
在图1a、1b和5b中分别示出用于部段12a、12b、12c、12d，…的行程限定的止挡部20，所述止挡部固定地与准直仪框架13连接或是准直仪框架的一部分。参考面21用作为用于部段12a、12b、12c、 12d，…的定位的初始标准，通常止挡部20也位于所述参考面上。
按照本发明的准直仪布置结构10的分段沿X射线辐射的射束方向延伸。在初始位置(图3a，最粗的分辨率)中，所有部段12a、12b、 12c、12d，…定位在参考面21上，例如通过所述元件本身的重力或通过弹簧支持。在所述部段12a、12b、12c、12d，…之下，可运动的冲模15定位用于将多个部段从参考面21中偏移出，要移动的元件的图案外加给所述冲模。在初始位置中，冲模15被缩回(参见图3a)并且与所述部段没有接触并且借此对所述部段的位置没有影响。如果应该转换到较精细的分辨率，则冲模15垂直于参考面21移动(参见图3b)。通过外加给冲模15的图案，这样多个部段12a、12c，…以偏移量d相对于参考面21移动。利用冲模15的挺杆16的不同高度的级，可以也实现用于各个部段12a、12b、12c、12d，…的特定的偏移。不从冲模抬起的部段12b、12d，…保持在参考面21上。如果这样选择偏移，使得偏移的部段12a、12c，…的片材11在中央放置在未偏转的部段12b、12d，…的片材之间，则角度分辨率大约以因数2相对于初始状态改善。如果选择在冲模15中的其他图案和/或偏移，则也可以实现其他的分辨率。通过移动的/不移动的部段的不对称的序列，可以抑制倾斜延伸的视准线，如借助图2在下面示出的。
部段12a、12b、12c、12d，…的移动的不同的运行位置示意性地在图2中示出。用于实现X射线光学系统的希望的分辨率的关键是在移动时的不对称的图案，所述图案抑制倾斜延伸的视准线(尤其是参见图2下面)。准直仪在图2中在上面示出的初始位置中引起粗的分辨率，而在每个第二部段的中心移动。但该配置本来没有良好地起作用，因为存在倾斜地延伸通过准直仪的视准线，所述视准线使角度分辨率进一步劣化。在图2中下面与之相反示出具有在移动的和不移动的部段的序列中的非对称性的工作位置，在所述工作位置中，干扰的、使角度分辨率劣化的倾斜的视准线通过准直仪抑制，从而实现显著改善的分辨率。
在调节机构或促动器上的要求：
·调节机构或促动器必须使所述部段以片材距离的一小部分可重复地移动。典型的偏移处于0.1mm–1mm的范围中。可重复性是重要的，因为否则X射线光谱仪的光谱的分辨率从测量到测量(随测量) 波动。
·准直仪通常处于真空室中，所述真空室的温度稳定。调节机构或促动器应该因此真空适用并且尽可能少地产生热量。
·因为准直仪在典型的使用中每次测量必须多次调节，所以所述机构或促动器应该经受住多个100000周期。
·因为调节机构或促动器处于射束路径附近，所以其应该具有紧凑的结构形式。
调节机构或促动器在本发明的在图4a至5a中示出的实施形式中通过在可运动的冲模15下的柔性的软管14‘实现，所述软管在初始位置中与环境处于压力平衡中或具有比环境小的内压力。所述部段的自重和必要时附加的弹簧压缩软管并且将所有部段12a、12b、12c、 12d，…挤压到参考面21上。如果可运动的冲模15应该偏移，则所述软管以过压加载并且轻微地鼓起。这使冲模15运动并且使希望的部段偏移。冲模运动的幅值通过止挡部20限定——如在图1b中可清楚看出的，从而所述定位可复现并且精确地进行。
气动的调节机构或促动器的优点是：
·在射束路径附近没有放热；
·通过阀、柔性软管的驱动允许驱动装置在仪器中在任意的位置上的针对性的放置；
没有通过带驱动装置或类似物的机械耦合，如在通过马达的常规的调节中需要的。
图4a在前视图中沿z轴线的方向示出在所述部段的未移动的初始位置中并且具有气动的促动器的“平的”软管14‘(在软管14‘的内部存在环境压力)的按照本发明的准直仪布置结构的实施形式。冲模15 被去激活并且所述部段——在这里当然只可见前面的第一部段12a——处于准直仪框架13的参考面21上。
而在图4b中，中央的冲模15借助“鼓起填充的”(以过压充气的) 软管14’激活并且所述部段——又通过前面的第一部段12a代表——处于具有准直仪布置结构10的改善的角度分辨率的偏移的工作位置中。
图5a示出包括中央的冲模15和两个在侧面的外部的冲模15‘、 15“的按照本发明的准直仪布置结构的实施形式，其具有用于其他可调节的角度分辨率的其他的(在附图中不可看出的)图案。也在这里通过气动的激活器的软管14’的充气表示至少所述中央的冲模15的激活，其中，软管14’在准直仪框架13的接纳空隙19中放入。
图5c最后示出用于保持按照本发明分段的准直仪布置结构10的准直仪框架13的一种实施形式，包括用于包括气动的调节机构的在这里未示出的促动器的两个软管的铣削部。
因为在X射线光谱仪中射束路径通常抽真空，所以对于驱动每个角度位置仅需要三通阀。柔性的软管可以通过(在附图中没有特意示出的)阀在初始位置中与真空室连接，以便建立压力平衡。为了使冲模运动，所述软管可以然后简单地通过阀充气(对应于大约1巴的过压)。
附图标记列表
10 准直仪布置结构
11 片材
12a、12b、12c、12d，...部段
13 准直仪框架
14 促动器
14‘气动的促动器的软管部件
15；15‘；15“冲模元件
16 挺杆
17 准直仪框架的开口
18 凸缘
19 用于柔性的软管的接纳部
20 用于所述部段的行程限定的止挡部
21 用于定位所述部段的参考面
z 索拉光阑的轴线
d 所述部段的偏移量
参考文献列表：
为了评估专利性考虑的文献：
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[8]DE 10 2017 223 228 B3；US 10,794,845 B1；JP 6560812 A。
Claims (15)
1.用于X射线光学系统的准直仪布置结构(10)，所述准直仪布置结构包括用于将X射线辐射关于索拉光阑的轴线(z)的方向进行准直的索拉光阑，所述索拉光阑具有多个彼此间隔开的片材(11)，所述片材具有彼此平行的片材平面，
其特征在于，
索拉光阑具有多个沿所述轴线(z)设置的、彼此分离的部段(12a、12b、12c、12d，…)，
准直仪布置结构(10)具有用于包围和引导所述部段(12a、12b、12c、12d，…)的准直仪框架(13)，
并且所述部段中的至少一个部段(12a)能够相对于准直仪框架(13)以及相对于索拉光阑的其他部段(12b、12c、12d，…)移动。
2.按照权利要求1所述的准直仪布置结构，其特征在于，索拉光阑具有至少三个、优选多于三个部段(12a、12b、12c、12d，…)，其中，所述部段(12a、12b、12c、12d，…)中的至少一个、尤其是多个部段能够分别沿其垂直于片材平面的部段方向相对于准直仪框架(13)移动地设置。
3.按照权利要求2所述的准直仪布置结构，其特征在于，索拉光阑的所有部段(12a、12b、12c、12d，…)的部段方向相同地取向，或一些部段(12a、12b)的部段方向相对其他部段(12c、12d，…)的部段方向转动了90°地设置。
4.按照权利要求2或3之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，所述部段(12a、12b、12c、12d，…)沿部段方向分别具有相同的外部尺寸。
5.按照上述权利要求之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，所述部段(12a、12b、12c、12d，…)沿索拉光阑的轴线(z)的方向分别具有相同的外部尺寸。
6.按照上述权利要求之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，在索拉光阑的每个部段(12a、12b、12c、12d，…)中的片材(11)分别彼此具有相同的距离。
7.按照上述权利要求之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，可移动的部段(12a、12b、12c、12d，…)与尤其是机电的、电磁的或气动的促动器(14)耦合，所述促动器能够引起所述部段(12a、12b、12c、12d，…)的移动。
8.按照上述权利要求之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，索拉光阑的所述可移动地设置的部段(12a、12b、12c、12d，…)分别沿垂直于片材平面的部段方向相对于准直仪框架(13)有弹性地支撑。
9.按照权利要求8所述的准直仪布置结构，其特征在于，索拉光阑的有弹性支承的部段(12a、12b、12c、12d，…)在基本位置中设置成：使得所述部段以其相应的部段底部向准直仪框架(13)挤压。
10.按照权利要求9所述的准直仪布置结构，其特征在于，准直仪布置结构(10)具有包括至少一个挺杆(16)的至少一个冲模元件(15；15‘；15“)，所述冲模元件通过准直仪框架(13)的开口(17)能够接触一个或多个可移动的部段(12a、12b、12c、12d，…)的部段底部并且能够将所述部段从基本位置移动到调节位置中，尤其是移动成：使得实现所述部段(12a、12b、12c、12d，…)的预先确定的调节图案。
11.按照权利要求10所述的准直仪布置结构，其特征在于，每个冲模元件(15；15‘；15“)具有凸缘(18)，所述凸缘为了所述部段(12a、12b、12c、12d，…)在调节位置中的准确定位能够抵靠准直仪框架(13)的开口(17)的边缘。
12.按照权利要求10或11所述的准直仪布置结构，其特征在于，每个冲模元件(15；15‘；15“)具有多个挺杆(16)，并且所述挺杆(16)沿部段方向具有不同的高度，以用于将可移动的部段(12a、12b、12c、12d，…)不同地定位。
13.按照权利要求10至12之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，所述准直仪布置结构(10)具有多个冲模元件(15；15‘；15“)，所述冲模元件能够彼此独立地运动，其中，尤其是随着冲模元件被引入压紧位置中，能够实现所述部段(12a、12b、12c、12d，…)的不同的调节图案。
14.按照权利要求10至13之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，准直仪框架(13)在冲模元件(15)下方具有用于柔性的软管(14‘)的接纳部(19)，所述软管能够通过以气压加载而膨胀并且使冲模元件(15)从基本位置移动到调节位置中。
15.按照权利要求10至14之一所述的准直仪布置结构，其特征在于，能通过冲模元件(15)共同以相同的路程d移动或不能移动地构造的相邻的部段(12a、12b、12c、12d，…)分别在一个部段组中组合。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102021103037.4A DE102021103037B3 (de) | 2021-02-09 | 2021-02-09 | Verstellbarer segmentierter Kollimator |
| DE102021103037.4 | 2021-02-09 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114914010A true CN114914010A (zh) | 2022-08-16 |
| CN114914010B CN114914010B (zh) | 2024-06-28 |
Family
ID=
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP4040447A2 (de) | 2022-08-10 |
| JP7429724B2 (ja) | 2024-02-08 |
| US11742104B2 (en) | 2023-08-29 |
| DE102021103037B3 (de) | 2022-03-31 |
| JP2022122275A (ja) | 2022-08-22 |
| EP4040447A3 (de) | 2022-11-02 |
| US20220254535A1 (en) | 2022-08-11 |
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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