KR101164097B1 - 슬릿 조절 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 개구부를 갖는 슬릿 홀더, 상기 개구부 상에 슬릿 형성변이 배치되도록 하여 상기 슬릿 홀더에 고정되는 고정 슬릿 플레이트, 상기 고정 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변에 마주하는 슬릿 형성변을 가지며, 고정 슬릿 플레이트에 대하여 상대 이동이 가능하도록 상기 슬릿 홀더 상에 슬라이딩되는 이동 슬릿 플레이트, 상기 고정 슬릿 플레이트의 양측에 슬릿 형성변과 수직 방향으로 배치되어 슬릿 홀더에 고정되며, 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트를 접촉하는 압전소자 및 슬릿 홀더와 이동 슬릿 플레이트 사이에 배치되어 이동 슬릿 플레이트와 압전소자의 접촉부를 가압하는 복원 스프링을 포함하는 슬릿 조절 장치를 공개한다. 본 발명은 가변 간격을 갖는 슬릿 조정 장치를 제공하여, 각종 오차 등에 따른 여유도를 증가 시키며, 선택적으로 분해능을 조정함으로써 다양한 측정 조건에 대하여 활용이 가능한 효과를 제공한다.

Description

슬릿 조절 장치{Adjustable Slit Forming Apparatus}

본 발명은 이온빔의 특성인 에미턴스를 측정하는 방법에서 사용되는 빔 슬릿 형성 기술에 관한 것이다.

가속된 빔의 진행방향에 수직으로 간격이 좁은 슬릿을 삽입 한 후 슬릿을 통과하는 빔의 신호를 일정거리 떨어진 곳에서 측정하여 빔단면의 위치와 위상공간의 분포의 관계로 측정되는 에미턴스값을 산출하고 있다. 그런데 이러한 슬릿의 간격은 고정되어 있고, 밀리미터 이하의 간격을 가지는 슬릿은 고도의 정밀가공이 필요하였다. 그러나 가공오차 또는 설계 오차가 발생시에 슬릿의 간격 조절이 요구될 수 있고, 측정조건이 변화되는 경우에도 슬릿 간격의 조절이 필요한데, 이때 요구조건에 맞는 슬릿으로 교환하여야 하므로 시간 손실과 제작 비용의 증가가 따르는 문제점이 있었다.

본 발명은 슬릿의 간격이 조절 가능한 슬릿을 안출하여 빔단면에서의 분해능을 조절할 수 있고 최적화된 신호를 얻을 수 있는 장치를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치는 개구부를 갖는 슬릿 홀더, 상기 개구부 상에 슬릿 형성변이 배치되도록 하여 상기 슬릿 홀더에 고정되는 고정 슬릿 플레이트, 상기 고정 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변에 마주하는 슬릿 형성변을 가지며, 고정 슬릿 플레이트에 대하여 상대 이동이 가능하도록 상기 슬릿 홀더 상에 슬라이딩되는 이동 슬릿 플레이트, 상기 고정 슬릿 플레이트의 양측에 슬릿 형성변과 수직 방향으로 배치되어 슬릿 홀더에 고정되며, 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트를 접촉하는 압전소자 및 슬릿 홀더와 이동 슬릿 플레이트 사이에 배치되어 이동 슬릿 플레이트와 압전소자의 접촉부를 가압하는 복원 스프링을 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치는 상기 압전소자가 고정 슬릿 플레이트의 양측의 슬릿 홀더 상에 형성된 그루브에 안착 고정되며, 압전소자의 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변의 양 가장 자리부를 접촉하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치는 슬릿홀더의 상기 이동 슬릿 플레이트 측에 깊이 게이지가 부착되고 그 탐촉봉 단부가 이동 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변의 반대측 변을 접촉하는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치는 슬릿홀더의 일측에 선형 이동 장치의 구동 로드가 고정되는 탭이 형성된것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치는 U자형상의 판재로서, 적어도 양 압전소자 및 복원 스프링을 커버하는 커버판이 슬릿홀더의 전면상에 고정되는 것을 특징으로 할 수 있다.

본 발명은 가변 간격을 갖는 슬릿 조정 장치를 제공하여, 각종 오차 등에 따른 여유도를 증가 시키며, 선택적으로 분해능을 조정함으로써 다양한 측정 조건에 대하여 활용이 가능한 효과를 제공한다.

도1은 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치의 설치 상태도이다.
도2는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치의 정면도이다.
도3은 도2의 단면도이다.
도4는 본 발명의 실시예에 따라 커버가 부착된 슬릿 조절 장치의 정면도이다.
도5는 도4의 단면도이다.

이하에서는 본 발명에 따른 구체적인 실시예가 설명된다. 그러나 본 발명은 여러 가지 다양한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 본 발명에 첨부된 도면은 설명의 편의를 위한 것으로서 상대적인 척도는 변경될 수 있으며, 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략되었다.

이하에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 기재된 구성요소 외에 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

도1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬릿 조절 장치(10)의 설치 상태도를 도시한다. 슬릿 조절 장치(10)는 선형 이동 장치(20, Linear Motion Device)의 구동 로드(21)에 탭(121)을 통하여 결합되어 빔 라인(50) 상에서 빔의 진행 방향에 대하여 수직 방향으로 이동 가능하게 장착된다. 선형 이동 장치(20)는 통상 빔 라인(50) 하우징의 플랜지에 결합되고, 이동 제어부(40, Linear Motion Controller)에 의하여 제어되며, 슬릿 조절 장치(10)는 별도의 압전 소자 제어부(30)에 의하여 구동 제어된다.

도2는 본 발명의 실시예에 따른 슬릿 조절 장치(10)를 도시한다. 슬릿 조절 장치(10)는 개구부(110)가 형성된 슬릿 홀더(100)를 가지며, 고정 슬릿 플레이트(200)가 개구부(110) 상에 슬릿 형성변이 배치되도록 하여 슬릿 홀더에 볼트 등으로 고정되며, 고정 슬릿 플레이트(200)의 슬릿 형성변에 대향되는 상대 슬릿 형성변을 가지는 이동 슬릿 플레이트(300)가 고정 슬릿 플레이트(200)에 대하여 상대 이동이 가능하도록 상기 슬릿 홀더 상에 슬라이딩된다. 고정 슬릿 플레이트(200)의 양측에 압전소자(400)가 슬릿 형성변과 수직 방향으로 배치되어 슬릿 홀더에 고정되며, 그 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트(300)와 접촉하여 압전소자(400)의 길이 변화에 따라 슬릿 간격이 조절되도록 한다. 한편, 슬릿 홀더(100)와 이동 슬릿 플레이트(300)사이에 배치되어 이동 슬릿 플레이트(300)와 압전소자(400)의 접촉부를 가압하는 복원 스프링(500)이 장착되어, 압전소자(400)의 길이가 증가했다가 감소할 때 이동 슬릿 플레이트(300)가 원위치로 복원 가능하도록 작용한다.

슬릿 홀더(100)는 도3의 A-A 단면에 나타난 바와 같이, 고정 슬릿 플레이트(200)가 안착되는 안착 요부가 형성되며, 그 양측으로 압전소자(400)가 안착 고정되는 그루브가 형성된다. 압전소자(400)의 제어선은 슬릿 홀더(100) 상에 형성된 그루브(140)을 통하여 외부로 인출된다. 도3의 B-B 및 C-C 단면에서 보는 바와 같이 슬릿 홀더(100)에는 이동 슬릿 플레이트(300)가 안착되는 안착 요부가 형성되며, 안착 요부 상에서 도2의 상하 방향 또는 도3의 전후 방향으로 슬라이딩 된다. 이동 슬릿 플레이트(300)의 폭은 고정 슬릿 플레이트(200)의 폭 보다는 작으며, 양 압전소자(400)의 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트(300)의 슬릿 형성변의 양 가장 자리부를 접촉 가압하여, 가변 길이의 증감에 따라 이동 슬릿 플레이트(300)가 이동하여, 개구부(110) 상에서 간격이 변화하는 슬릿을 구현하게 된다.

도2 및 도3의 D-D단면에 도시된 바와 같이, 슬릿홀더(100)의 이동 슬릿 플레이트(300) 하측에 그루브(160)가 형성되는데, 이 그루브(160)를 통하여 탐촉봉이 통과되도록 깊이 게이지(600)가 부착되고, 탐촉봉의 단부가 이동 슬릿 플레이트(300)의 슬릿 형성변의 반대측 변을 접촉하여 슬릿 간격의 크기를 측정한다.

도4는 깊이 게이지(600)가 부착된 슬릿 조절 장치(10)를 도시하며, 고정 슬릿 플레이트(200)와 이동 슬릿 플레이트(300) 사이에 형성된 슬릿의 간격이 약간 벌어진 상태를 나타낸다. 한편, 도4는 전면상에 U자형상의 평판 커버판(700)을 부착하여 양 압전소자(400) 및 복원 스프링(500)이 설치된 부분을 커버한 상태를 도시한다. 커버판(700)은 빔으로부터 해당 부분을 보호하고, 이동 슬릿 플레이트(300)가 슬라이딩 운동 중에 슬릿 홀더(100)로부터 분리되지 않게 지지하는 역할을 제공한다. 도5는 커버판(700)이 슬릿 홀더(100) 상에 부착된 상태의 단면도로서, 압전소자(400)의 보호 및 이동 슬릿 플레이트(300)의 분리 방지 구조를 더욱 명확히 알 수 있다.

본 발명에 따른 실시예는 가변 간격을 갖는 슬릿 조정 장치를 제공하여, 각종 오차 등에 따른 여유도를 증가 시키며, 선택적으로 분해능을 조정함으로써 다양한 측정 조건에 대하여 활용이 가능한 효과를 제공한다.

위에서 개시된 발명은 기본적인 사상을 훼손하지 않는 범위 내에서 다양한 변형예가 가능하다. 따라서, 위의 실시예들은 모두 예시적으로 해석되어야 하며, 한정적으로 해석되지 않는다. 따라서 본 발명의 보호범위는 상술한 실시예가 아니라 첨부된 청구항에 따라 정해진다. 첨부된 청구항의 균등물로의 치환은 첨부된 청구항의 보호범위에 속하는 것이다.

10: 슬릿 조절 장치 20: 선형 이동 장치
21: 구동 로드 50: 빔 라인 하우징
30: 압전 소자 제어부 40: 이동 제어부
100: 슬릿 홀더 110: 개구부
140: 그루브 200: 고정 슬릿 플레이트
300: 이동 슬릿 플레이트 400: 압전소자
500: 복원 스프링 600: 깊이 게이지
700: 커버판

Claims (5)

1. 개구부를 갖는 슬릿 홀더;
   상기 개구부 상에 슬릿 형성변이 배치되도록 하여 상기 슬릿 홀더에 고정되는 고정 슬릿 플레이트;
   상기 고정 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변에 마주하는 슬릿 형성변을 가지며, 고정 슬릿 플레이트에 대하여 상대 이동이 가능하도록 상기 슬릿 홀더 상에 슬라이딩되는 이동 슬릿 플레이트;
   상기 고정 슬릿 플레이트의 양측에 슬릿 형성변과 수직 방향으로 배치되어 슬릿 홀더에 고정되며, 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트를 접촉 가압하는 압전소자;
   슬릿 홀더와 이동 슬릿 플레이트 사이에 배치되어 이동 슬릿 플레이트와 압전소자의 접촉부의 가압을 수용하는 복원 스프링; 및
   일 단부를 상기 이동 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변의 반대측 변에 접촉시키고, 그루브를 통과한 다른 일 단부를 깊이 게이지에 부착시키는 탐촉봉을 포함하며,
   상기 탐촉봉은 상기 접촉 가압에 의해 상대 이동한 이동 슬릿 플레이트의 슬릿 조절에 영향을 받아 상기 그루브 하단으로 슬라이딩됨에 따라, 상기 슬릿 조절된 간격 크기를 상기 깊이 게이지를 이용해 측정하는 것을 특징으로 하는 슬릿 조절 장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 압전소자는 고정 슬릿 플레이트의 양측의 슬릿 홀더 상에 형성된 그루브에 안착 고정되며, 압전소자의 가변 길이 단부가 이동 슬릿 플레이트의 슬릿 형성변의 양 가장 자리부를 접촉하는 슬릿 조절 장치.
   
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   슬릿홀더의 일측에 선형 이동 장치의 구동 로드가 고정되는 탭이 형성된 슬릿 조절 장치.
   
5. 제1항에 있어서,
   U자형상의 판재로서, 적어도 양 압전소자 및 복원 스프링을 커버하는 커버판이 슬릿홀더의 전면상에 고정되는 슬릿 조절 장치.

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