CN114875372A - 一种颜色介质膜制备方法和制备设备 - Google Patents
一种颜色介质膜制备方法和制备设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114875372A CN114875372A CN202210485286.1A CN202210485286A CN114875372A CN 114875372 A CN114875372 A CN 114875372A CN 202210485286 A CN202210485286 A CN 202210485286A CN 114875372 A CN114875372 A CN 114875372A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- substrate
- fixed
- driving
- cylinder
- iron powder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 77
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 38
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 claims abstract description 35
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 15
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims abstract description 13
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 16
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 16
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims description 11
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims description 9
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims 1
- 239000013077 target material Substances 0.000 abstract description 11
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 27
- 230000009471 action Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 3
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000002337 anti-port Effects 0.000 description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N yttrium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Y+3].[Y+3] RUDFQVOCFDJEEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0015—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterized by the colour of the layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
- C23C14/35—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering
- C23C14/351—Sputtering by application of a magnetic field, e.g. magnetron sputtering using a magnetic field in close vicinity to the substrate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/50—Substrate holders
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working
Abstract
本申请公开了一种颜色介质膜制备方法和制备设备，涉及介质膜领域，制备方法包括磁控溅射设备内安装有电磁铁，将需要的靶材和待镀膜的基板安装到磁控溅射设备中，电磁铁位于基板背离靶材的一侧，然后在基板背离靶材的端面安装开有通孔的格挡片，将装有铁粉的上料盒套在基板上，并使基板背离格挡片的表面没于铁粉中，启动电磁铁，使电磁铁将铁粉吸附在基板上，取下上料盒，铁粉吸附正对于通孔位置的基板上，并使多余的铁粉回收至上料盒中，磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板表面进行镀膜，关闭磁控溅射设备和电磁铁，更换靶材，并更换开设有不同通孔的格挡片。本申请具有便于在基板表面形成不同材料组成的同一层膜。
Description
技术领域
本申请涉及介质膜领域，尤其是涉及一种颜色介质膜制备方法和制备设备。
背景技术
介质薄膜是指在中，除SiO, SiO2, BaTiO3、Y2O3、Si3N4 ,钽基介质薄膜以外的其它介质薄膜。颜色介质膜，既具有多彩的颜色，又具有很高的光学透光率，非常适合应用于光伏组件。
相关技术中，磁控溅射设备是用于给基板表面镀膜的常用设备，将需要镀膜的基板安装到磁控溅射设备内，并将靶材安装到设备内，设备启动，然后对基板表面进行镀膜处理，当基板完成镀膜后，更换靶材，然后对基板表面进行二次镀膜。
在实现本申请过程中，发明人发现该技术中至少存在如下问题，在镀膜的过程中，基板上往往要镀上多层膜，同一层膜各个部位厚度大致相当，当需要对同一层膜镀不同材料时，存在镀膜困难的缺陷。
发明内容
为了便于在基板同一层膜用不同材料进行镀膜，本申请公开了一种颜色介质膜制备方法和制备设备。
第一方面，本申请提供的一种颜色介质膜制备方法采用如下的技术方案，包括以下步骤：S1、磁控溅射设备内安装有电磁铁，将需要的靶材和待镀膜的基板安装到磁控溅射设备中，电磁铁位于基板背离靶材的一侧；
S2、在基板背离靶材的端面安装其中一格挡片，格挡片上开设有若干通孔，若干格挡片为一组，同一组格挡片上的若干通孔互补；
S3、将装有铁粉的上料盒套在基板上，并使基板背离格挡片的表面没于铁粉中，启动电磁铁，使电磁铁将铁粉吸附在基板上；
S4、取下上料盒，铁粉吸附正对于通孔位置的基板上，并使多余的铁粉回收至上料盒中；
S5、磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板表面进行镀膜；
S6、关闭磁控溅射设备和电磁铁，更换靶材，并更换开设有不同通孔的格挡片；
S7、并重复步骤S3至S5；
S8、重复步骤S6至S7，直到基板表面镀上一层所需要的膜；
S9、翻转基板，并重复上述步骤S2至S8，直到基板两侧均形成所需的膜。
通过采用上述技术方案，将基板和靶材安装在磁控溅射设备中，磁控溅射设备启动，对基板表面进行镀膜处理，镀膜完成后，更换格挡片，并使铁粉吸附在对应的基板上，便于对基板上没有吸附铁屑的位置进行镀膜，若干格挡片互补，直到在基板表面形成一层所需的膜。
第二方面，本申请提供一种制备介质膜制的设备：
包括磁控溅射设备、设置在磁控溅射设备内并用于夹持基板的夹持装置、用于夹持靶材的定位装置、电磁铁、使铁粉吸附在基板上的上料装置，所述夹持装置包括固定在磁控溅射设备内且呈水平设置的两安装板，两所述安装板上均连接有驱动气缸，所述驱动气缸活塞杆端部固定有用于将基板侧壁夹紧的抵接板。
通过采用上述技术方案，靶材安装到磁控溅射设备中，基板放置到两抵接板之间，驱动气缸启动，抵接板朝着靠近基板方向运动，并抵紧在基板的侧壁，从而实现基板在磁控溅射设备内的安装，便于基板的安装和便于对基板表面进行镀膜处理
可选的，所述安装板上设置有用于翻转基板的旋转机构，所述旋转机构包括固定在安装板上的安装块，所述驱动气缸转动连接在安装块上，所述驱动气缸外壁套接有旋转齿轮，所述旋转齿轮轴线与驱动气缸活塞杆轴线重合，所述安装板上表面滑移设置有与旋转齿轮啮合的驱动齿条，所述安装板上固定有带动驱动齿条运动的滑动气缸。
通过采用上述技术方案，当基板其中一表面完成镀膜后，工作人员可使电磁铁朝着远离基板的方向运动，并作用于旋转机构，使滑动气缸带动驱动齿条运动，驱动齿条带动旋转齿轮转动，旋转齿轮带动驱动气缸转动，从而便于两驱动气缸带动基板转动，进而便于对基板另一个表面进行镀膜处理。
可选的，所述抵接板为呈竖直设置且长度方向平行于驱动齿条的矩形板，所述矩形板沿驱动齿条长度方向的两侧壁开设有滑动槽，所述滑动槽沿驱动齿条长度方向延伸，所述滑动槽内穿设有滑动杆，所述滑动槽内固定有推动滑动杆朝向滑动槽内运动的滑动弹簧，滑动杆背离滑动弹簧的一侧固定有垂直于滑动杆并抵接于基板侧壁的限位杆。
通过采用上述技术方案，抵接杆抵接在基板相对的两侧壁上，限位杆抵接在基板另外两侧相对的侧壁上，便于对基板进行限位，同时便于格挡片在基板上表面的安装，限位杆和抵接板对格挡片起限位作用。
可选的，所述定位装置包括固定在磁控溅射设备内固定有支撑架，所述支撑架上转动连接有转动盘，转动盘横截面呈正多边形，若干靶材固定安装在转动盘对应的侧壁上，所述转动盘上设置有连接对应靶材的连接机构和驱动转动盘转动、并使对应靶材正对于基板的步进电机。
通过采用上述技术方案，步进电机启动，带动转动盘转动，使需要使用的靶材正对于基板，便于对基板进行镀膜，同时便于靶材的更换。
可选的，所述转动盘侧壁开设有连接槽，靶材位于所述连接槽内，所述连接机构包括滑移设置在连接槽内并使靶材抵紧在连接槽内壁的抵接杆，所述转动盘内部中空，所述连接槽沿抵接杆运动方向开设有驱动槽，所述抵接板上固定有穿设在驱动槽内的驱动杆，所述连接机构还包括设置在转动盘内并使若干驱动杆同步运动的驱动组件。
通过采用上述技术方案，将需要使用到的靶材安装到对应的连接槽内，工作人员可作用于驱动组件，使驱动组件带动驱动杆运动，驱动杆在运动的过程中带动抵接杆运动，使抵接杆与连接槽内壁共同作用，将靶材夹紧，实现若干板材的安装定位。
可选的，所述驱动组件包括转动连接在转动盘内的驱动盘，所述驱动盘上固定有若干与驱动杆对应并推动驱动杆滑移的驱动板，所述驱动盘一端开设有转动槽，所述转动盘上螺纹连接有穿设在转动槽内并带动驱动盘转动的转动杆，所述转动盘内壁固定有拉动对应驱动杆朝着远离靶材方向运动的连接弹簧。
通过采用上述技术方案，工作人员使转动杆转动，转动杆带动驱动盘转动，使驱动板推动驱动杆运动，从而使连接在驱动杆上的抵接杆与驱动槽内壁共同作用并将靶材夹紧，由于转动杆螺纹连接在转动盘上，可有效的减小当工作人员松手后，转动杆反向转动的可能。
可选的，所述驱动杆上连接有垂直于驱动杆的伸缩件，所述伸缩件包括固定在驱动杆上的伸缩筒、穿设在伸缩筒内的伸缩杆和设置在伸缩筒内并推动伸缩杆朝向伸缩筒外运动的伸缩弹簧，所述驱动板抵接在所述伸缩杆端部。
通过采用上述技术方案，伸缩件的设置，满足不同靶材尺寸的需求，伸缩弹簧起一定的缓冲作用，减小因不同靶材尺寸不同而导致尺寸较大的板材被损坏的可能。
可选的，所述上料装置包括固定在其中一所述安装板上表面的升降气缸，升降气缸呈竖直设置，升降气缸连杆的端部固定有呈水平设置的连接板，电磁铁固定在连接板下表面，其中一所述安装板下表面固定有连接架，连接架上固定有平行于安装板的辅助板，辅助板上固定有垂直于驱动齿条的伸缩气缸，所述伸缩气缸端部固定有呈水平设置的底板，所述底板上固定有呈竖直设置的上料气缸，所述上料气缸连杆端部固定有内部装有铁粉且上端呈开口设置的上料盒。
通过采用上述技术方案，伸缩气缸带动底板和上料气缸运动，上料气缸带动上料盒向上运动，使铁粉在电磁铁的作用下，吸附在基板上的指定位置，便于对基板表面进行镀膜。
综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
1.格挡片安装在基板上，铁粉吸附在基板上指定位置，便于对基板未吸附铁粉的表面进行镀膜，若干格挡片互补，从而便于不同材质组成同一层膜。
2. 基板其中一表面在磁控溅射设备中镀膜后，滑动气缸带动驱动齿条运动，从而带动旋转齿轮和驱动气缸转动，进而带动基板转动，便于对基板另一表面进行镀膜处理。
附图说明
图1是本申请实施例夹持装置和上料装置的结构示意图。
图2是定位装置的结构示意图。
图3是抵接板的剖视图。
图4是转动盘的剖视图。
图5是伸缩件的剖视图。
附图标记说明：
1、基板；2、靶材；3、电磁铁；4、格挡片；5、通孔；6、上料盒；7、安装板；8、安装块；9、驱动气缸；10、抵接板；11、旋转齿轮；12、滑动气缸；13、驱动齿条；14、滑动槽；15、滑动杆；16、滑动弹簧；17、限位杆；18、支撑架；19、转动盘；20、步进电机；21、连接槽；22、抵接杆；23、驱动槽；24、驱动杆；25、驱动盘；26、驱动板；27、伸缩筒；28、伸缩杆；29、伸缩弹簧；30、转动槽；31、转动杆；33、升降气缸；34、连接板；35、伸缩气缸；36、底板；37、上料气缸；39、连接架；40、辅助板。
具体实施方式
以下结合附图1-5对本申请作进一步详细说明。
本申请实施例公开一种颜色介质膜制备方法，包括以下步骤：
S1、磁控溅射设备内安装有电磁铁3，将需要的用到的靶材2和待镀膜的基板1安装到磁控溅射设备中，并使电磁铁3位于基板1背离靶材2的一侧；
S2、在基板1背离靶材2的端面安装一格挡片4，若干格挡片4为一组，格挡片4四周侧壁与基板1四周侧壁对齐，格挡片4上开设有互补的若干通孔5，并使电磁铁3抵接在格挡片4上；
S3、将装有铁粉的上料盒6套在基板1上，并使基板1背离格挡片4的表面没于铁粉中，电磁铁3启动，在电磁铁3的作用下将铁粉吸附在基板1上；
S4、取下上料盒6，铁粉吸附正对于通孔5位置的基板1上，多余的铁粉在重力的作用下回收至上料盒6中；
S5、磁控溅射设备启动，对正对于基板1且未吸附有铁粉的基板1表面进行镀膜；
S6、关闭磁控溅射设备和电磁铁3，使铁粉回到上料盒6中，更换靶材2，并更换开设有不同通孔5的格挡片4；
S7、并重复步骤S3至S5；
S8、重复步骤S6至S7，直到基板1表面镀上一层所需要的膜；
S9、翻转基板1，并重复上述步骤S2至S8，直到基板两侧均形成所需的膜。
本申请还公开一种颜色介质膜制备设备，参照图1和图2，包括磁控溅射设备，还包括均设置在磁控溅射设备内并用于夹持基板1的夹持装置、用于夹持靶材2的定位装置、电磁铁3和使铁粉吸附在基板1上的上料装置。
参照图1和图2，夹持装置包括通过螺栓固定在磁控溅射设备内且呈水平设置的两安装板7，安装板7上设置有用于翻转基板1的旋转机构，旋转机构包括固定在对应安装板7上的安装块8，安装块8上通过转轴转动连接有驱动气缸9，两驱动气缸9的活塞杆相对且同轴，驱动气缸9活塞杆的端部固定有抵接板10，驱动气缸9启动，使两抵接板10朝着相互靠近的方向运动，两抵接板10抵紧在待加工基板1相对的两侧壁，从而实现基板1的安装。驱动气缸9外壁套接有旋转齿轮11，旋转齿轮11固定在驱动气缸9上，旋转齿轮11轴线与驱动气缸9活塞杆轴线重合，安装板7上表面通过螺栓固定有滑动气缸12，滑动气缸12活塞杆端部固定有与旋转齿轮11啮合的驱动齿条13。
当基板1其中一表面镀膜完成之后，滑动气缸12启动，带动驱动齿条13运动，驱动齿条13带动旋转齿轮11转动，旋转齿轮11带动驱动气缸9转动，两驱动气缸9同步运动，对基板1进行旋转，使基板1另一表面正对于靶材2，便于对基板1另一表面进行镀膜。
参照图1和图3，抵接板10为呈竖直设置矩形板，矩形板长度方向平行于驱动齿条13的矩形板，矩形板沿驱动齿条13长度方向的两侧壁开设有滑动槽14，滑动槽14沿驱动齿条13长度方向延伸，滑动槽14内滑移设置有滑动杆15，滑动杆15侧壁抵接于滑动槽14内侧壁且在滑动槽14内沿其长度方向滑移，滑动槽14内固定有滑动弹簧16，滑动弹簧16一端固定在滑动槽14的底壁上，滑动弹簧16另一端固定在滑动杆15端部并拉动滑动杆15朝向滑动槽14内运动，滑动杆15背离滑动弹簧16的一侧固定有垂直于滑动杆15的限位杆17，两抵接板10抵接于基板1相对的两侧壁上，限位杆17抵接在基板1另外两相对的侧壁上，便于对基板1进行定位，同时，格挡片4安装在基板1上，便于对格挡片4进行安装跟定位。
参照图2和图4，定位装置包括固定在磁控溅射设备内固定有支撑架18，支撑架18上转动连接有转动盘19，转动盘19横截面呈正多边形，若干靶材2固定安装在转动盘19对应的侧壁上，支撑架18上通过螺栓固定有步进电机20，步进电机20，输出轴固定在转动盘19的转轴上并带动转动盘19转动。
参照图2和图4，转动盘19呈平面设置的侧壁均开设有连接槽21，靶材2位于连接槽21内，转动盘19上设置有连接对应靶材2并防止靶材2脱离连接槽21的连接机构，连接机构包括滑移设置在连接槽21内的抵接杆22，抵接杆22抵接在靶材2侧壁并与连接槽21其中一内侧壁共同作用，并将靶材2抵紧，转动盘19内部中空，连接槽21底壁上开设有驱动槽23，驱动槽23与转动盘19内部空腔连通，抵接杆22上固定有穿设在驱动槽23内的驱动杆24。
参照图4和图5，连接机构还包括设置在转动盘19内并使若干驱动杆24同步运动的驱动组件，驱动组件包括转动连接在转动盘19内的驱动盘25，驱动盘25与转动盘19同轴，驱动盘25侧壁固定有若干驱动板26，驱动板26与驱动杆24一一对应，去驱动杆24上固定有垂直于驱动杆24的伸缩件，伸缩件包括固定在驱动杆24上的伸缩筒27，伸缩筒27内穿设有伸缩杆28，伸缩筒27内固定有伸缩弹簧29，伸缩弹簧29一端固定在伸缩筒27内，伸缩弹簧29另一端固定在伸缩杆28端部并推动伸缩杆28朝向伸缩筒27外运动，伸缩杆28背离伸缩弹簧29的端部抵接在对应的驱动板26上。
驱动盘25带动驱动盘25转动，驱动盘25推动伸缩件运动，使伸缩件带动驱动杆24和抵接杆22运动，使抵接杆22与连接槽21内侧壁共同作用，将靶材2抵紧。伸缩件的设置，满足不同靶材2尺寸的需求，使驱动盘25带动若干驱动板26转动的过程中，驱动板26作用于对应的伸缩件和驱动杆24，并使对应的抵接杆22作用到对应的靶材2上，并将靶材2夹紧，转动盘19内壁上固定有连接弹簧，连接弹簧连接驱动杆24，并带动驱动杆24朝向远离对应靶材2的方向运动。
参照图2和图4，驱动盘25一端通过转轴转动连接在转动盘19内壁，驱动盘25另一端开设有转动槽30，转动槽30呈正多边形，转动盘19上螺纹连接有转动杆31，转动杆31与转动盘19同轴，转动杆31包括螺纹连接在转动盘19上的螺纹杆和固定在螺纹杆端部的安装杆，安装杆截面与转动槽30配合的正多变形，且可在转动槽30内沿其长度方向滑移。工作人员可作用于转动杆31，使转动杆31带动驱动盘25转动，从而使驱动板26作用于对用的伸缩件、驱动杆24和抵接杆22，将靶材2固定在连接槽21内，由于转动杆31螺纹连接在转动盘19上，在摩擦力的作用下，减小了在伸缩弹簧29和连接弹簧作用下使驱动盘25反向转动的可能。
参照图1，上料装置包括固定在其中一安装板7上表面的升降气缸33，升降气缸33呈竖直设置，升降气缸33活塞杆的端部固定有呈水平设置的连接板34，电磁铁3固定在连接板34的下表面。另一安装板7下表面固定有连接架39，连接架39下端面固定有平行于安装板7的辅助板40，辅助板40上固定有垂直于驱动齿条13的伸缩气缸35，伸缩气缸35端部固定有呈水平设置的底板36，底板36上固定有呈竖直设置的上料气缸37，上料气缸37连杆端部固定有内部装有铁粉的上料盒6，上料盒6上端呈开口设置且便于铁粉吸附到基板1上，镀膜过程中，上料盒6、连接板34和上料气缸37的水平面上的投影完全落在安装板7上，防止镀膜过程中产生干涉。
以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。
Claims (9)
1.一种颜色介质膜制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、磁控溅射设备内安装有电磁铁(3)，将需要的靶材(2)和待镀膜的基板(1)安装到磁控溅射设备中，电磁铁(3)位于基板(1)背离靶材(2)的一侧；
S2、在基板(1)背离靶材(2)的端面安装其中一格挡片(4)，格挡片(4)上开设有若干通孔(5)，若干格挡片(4)为一组，同一组格挡片(4)上的若干通孔(5)互补；
S3、将装有铁粉的上料盒(6)套在基板(1)上，并使基板(1)背离格挡片(4)的表面没于铁粉中，启动电磁铁(3)，使电磁铁(3)将铁粉吸附在基板(1)上；
S4、取下上料盒(6)，铁粉吸附正对于通孔(5)位置的基板(1)上，并使多余的铁粉回收至上料盒(6)中；
S5、磁控溅射设备启动，对未吸附有铁粉的基板(1)表面进行镀膜；
S6、关闭磁控溅射设备和电磁铁(3)，更换靶材(2)，并更换开设有不同通孔(5)的格挡片(4)；
S7、并重复步骤S3至S5；
S8、重复步骤S6至S7，直到基板(1)表面镀上一层所需要的膜；
S9、翻转基板(1)，并重复上述步骤S2至S8，直到基板(1)两侧均形成所需的膜。
2.根据权利要求1所述的一种颜色介质膜制备方法的制备设备，其特征在于：包括磁控溅射设备、设置在磁控溅射设备内并用于夹持基板(1)的夹持装置、用于夹持靶材(2)的定位装置、电磁铁(3)、使铁粉吸附在基板(1)上的上料装置，所述夹持装置包括固定在磁控溅射设备内且呈水平设置的两安装板(7)，两所述安装板(7)上均连接有驱动气缸(9)，所述驱动气缸(9)活塞杆端部固定有用于将基板(1)侧壁夹紧的抵接板(10)。
3.根据权利要求2所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述安装板(7)上设置有用于翻转基板(1)的旋转机构，所述旋转机构包括固定在安装板(7)上的安装块(8)，所述驱动气缸(9)转动连接在安装块(8)上，所述驱动气缸(9)外壁套接有旋转齿轮(11)，所述旋转齿轮(11)轴线与驱动气缸(9)活塞杆轴线重合，所述安装板(7)上表面滑移设置有与旋转齿轮(11)啮合的驱动齿条(13)，所述安装板(7)上固定有带动驱动齿条(13)运动的滑动气缸(12)。
4.根据权利要求3所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述抵接板(10)为呈竖直设置且长度方向平行于驱动齿条(13)的矩形板，所述矩形板沿驱动齿条(13)长度方向的两侧壁开设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)沿驱动齿条(13)长度方向延伸，所述滑动槽(14)内穿设有滑动杆(15)，所述滑动槽(14)内固定有推动滑动杆(15)朝向滑动槽(14)内运动的滑动弹簧(16)，滑动杆(15)背离滑动弹簧(16)的一侧固定有垂直于滑动杆(15)并抵接于基板(1)侧壁的限位杆(17)。
5.根据权利要求3所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述定位装置包括固定在磁控溅射设备内固定有支撑架(18)，所述支撑架(18)上转动连接有转动盘(19)，转动盘(19)横截面呈正多边形，若干靶材(2)固定安装在转动盘(19)对应的侧壁上，所述转动盘(19)上设置有连接对应靶材(2)的连接机构和驱动转动盘(19)转动、并使对应靶材(2)正对于基板(1)的步进电机(20)。
6.根据权利要求5所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述转动盘(19)侧壁开设有连接槽（21），靶材(2)位于所述连接槽（21）内，所述连接机构包括滑移设置在连接槽（21）内并使靶材(2)抵紧在连接槽（21）内壁的抵接杆(22)，所述转动盘(19)内部中空，所述连接槽（21）沿抵接杆(22)运动方向开设有驱动槽(23)，所述抵接板(10)上固定有穿设在驱动槽(23)内的驱动杆(24)，所述连接机构还包括设置在转动盘(19)内并使若干驱动杆(24)同步运动的驱动组件。
7.根据权利要求6所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述驱动组件包括转动连接在转动盘(19)内的驱动盘(25)，所述驱动盘(25)上固定有若干与驱动杆(24)对应并推动驱动杆(24)滑移的驱动板(26)，所述驱动盘(25)一端开设有转动槽(30)，所述转动盘(19)上螺纹连接有穿设在转动槽(30)内并带动驱动盘(25)转动的转动杆(31)，所述转动盘(19)内壁固定有拉动对应驱动杆(24)朝着远离靶材(2)方向运动的连接弹簧。
8.根据权利要求7所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述驱动杆(24)上连接有垂直于驱动杆(24)的伸缩件，所述伸缩件包括固定在驱动杆(24)上的伸缩筒(27)、穿设在伸缩筒(27)内的伸缩杆(28)和设置在伸缩筒(27)内并推动伸缩杆(28)朝向伸缩筒(27)外运动的伸缩弹簧(29)，所述驱动板(26)抵接在所述伸缩杆(28)端部。
9.根据权利要求2所述的一种颜色介质膜制备设备，其特征在于：所述上料装置包括固定在其中一所述安装板(7)上表面的升降气缸（33），升降气缸（33）呈竖直设置，升降气缸（33）连杆的端部固定有呈水平设置的连接板（34），电磁铁（3）固定在连接板（34）下表面，其中一所述安装板(7)下表面固定有连接架(39)，连接架(39)上固定有平行于安装板(7)的辅助板(40)，辅助板(40)上固定有垂直于驱动齿条(13)的伸缩气缸(35)，所述伸缩气缸(35)端部固定有呈水平设置的底板(36)，所述底板(36)上固定有呈竖直设置的上料气缸(37)，所述上料气缸(37)连杆端部固定有内部装有铁粉且上端呈开口设置的上料盒(6)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210485286.1A CN114875372B (zh) | 2022-05-06 | 2022-05-06 | 一种颜色介质膜制备方法和制备设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210485286.1A CN114875372B (zh) | 2022-05-06 | 2022-05-06 | 一种颜色介质膜制备方法和制备设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114875372A true CN114875372A (zh) | 2022-08-09 |
| CN114875372B CN114875372B (zh) | 2023-10-27 |
Family
ID=82674165
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210485286.1A Active CN114875372B (zh) | 2022-05-06 | 2022-05-06 | 一种颜色介质膜制备方法和制备设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114875372B (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104529186A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-22 | 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 | 一种镀膜渐变彩钢玻璃的制造方法 |
| CN107840583A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-27 | 信利光电股份有限公司 | 一种颜色渐变玻璃及其制作方法 |
| CN109023280A (zh) * | 2018-09-17 | 2018-12-18 | 深圳市三海科技有限公司 | 一种磁控溅射机制备渐变颜色膜的方法 |
| CN112063972A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种半导体部件的拼接镀膜方法 |
| CN114166590A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-03-11 | 哈尔滨工业大学（威海） | 一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备 |
-
2022
- 2022-05-06 CN CN202210485286.1A patent/CN114875372B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104529186A (zh) * | 2014-12-12 | 2015-04-22 | 江苏秀强玻璃工艺股份有限公司 | 一种镀膜渐变彩钢玻璃的制造方法 |
| CN107840583A (zh) * | 2017-11-28 | 2018-03-27 | 信利光电股份有限公司 | 一种颜色渐变玻璃及其制作方法 |
| CN109023280A (zh) * | 2018-09-17 | 2018-12-18 | 深圳市三海科技有限公司 | 一种磁控溅射机制备渐变颜色膜的方法 |
| CN112063972A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-11 | 宁波江丰电子材料股份有限公司 | 一种半导体部件的拼接镀膜方法 |
| CN114166590A (zh) * | 2021-11-15 | 2022-03-11 | 哈尔滨工业大学（威海） | 一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114875372B (zh) | 2023-10-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN114875372A (zh) | 一种颜色介质膜制备方法和制备设备 | |
| CN113005503A (zh) | 一种用于电镀生产可振动便于进出料的滚镀装置 | |
| CN112643370B (zh) | 一种板材机械自动化加工用翻转装置 | |
| CN218925144U (zh) | 一种防火门生产用涂胶装置 | |
| CN111867305B (zh) | 一种计算机网络监控装置 | |
| CN109591454B (zh) | 一种书刊卷筒纸印刷机的上部自动换版装置 | |
| CN107493654B (zh) | 一种fpc电路板的有机导电膜覆盖装置 | |
| CN116399690A (zh) | 一种用于复合材料板材高温振动试验夹具 | |
| CN2573508Y (zh) | 镀膜设备 | |
| CN215818791U (zh) | 一种多层柔性电路板刻蚀组合装置 | |
| CN220740052U (zh) | 一种锁体后通组件上料机构 | |
| CN220745238U (zh) | 一种组合式的提升机构 | |
| CN219257677U (zh) | 一种直升机投抛固定架 | |
| CN220840119U (zh) | 一种钣金件集成堆放移动机构 | |
| CN219294281U (zh) | 一种改进型蒸压加气混凝土砌砖生产设备 | |
| CN112223518B (zh) | 一种便于人防门的翻转装置 | |
| CN219924342U (zh) | 一种折弯用辅助设备 | |
| CN218946975U (zh) | 一种凸轮轴打标平面加工装置夹具 | |
| CN220765711U (zh) | 翻转组件及具有其的生产线 | |
| CN218497211U (zh) | 一种用于制造弹簧线缆的弹簧铠装层形成装置 | |
| CN219973628U (zh) | 一种装配式轻钢组合楼板 | |
| CN214782104U (zh) | 一种多弧离子真空镀膜机 | |
| CN220548392U (zh) | 一种生物纤维素材料造孔装置 | |
| CN219340965U (zh) | 一种用于石膏砌块加工的成品码垛设备 | |
| CN220952029U (zh) | 一种具有旋转挂架机构的摄像头面板真空镀膜机 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |