CN114821983A - 一种粘Die自动化处理装置及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种粘Die自动化处理装置及方法，属于半导体封装设备领域，包括：包括：控制模块、电磁阀、压缩气源、小机头、吸嘴、设备主机，所述电磁阀与所述压缩气源通过气管连接，所述电磁阀与所述小机头通过气管连接，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块，通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量，通过报警处理间隔判断，防止了无限制的处理预设的报警，降低了手动进行报警处理的次数。

Description

一种粘Die自动化处理装置及方法
技术领域
本发明涉及半导体封装设备领域，特别涉及一种粘Die自动化处理装置及方法。
背景技术
在当前的焊片工艺流程下，受晶圆制作工业和当前焊片工艺的不稳定因素影响，芯片在焊片生产过程中会出现NO Die error（芯片吸取失败/No Die）和Die exists error（芯片回吸/粘Die）的问题，并且该异常问题无法通过优化焊片机参数优化有效解决。
Die（晶粒）是从晶圆上切割出来的一块具有完整功能的芯片，晶圆在生产过程会出现背金异常的问题，在进行焊片前会经过很多前工序，存在表面污染的可能。焊片生产时设备实用的辅料磨损异常等问题都会造成设备产生异常报警，现阶段新川焊片设备无法自动处理异常的功能与装置，并且报警每天出现频次较高，人员处理与移动导致报警消除过程消耗的时间较多，造成较大的人力和设备浪费。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中所存在的现阶段新川焊片设备无法自动处理异常的功能与装置，并且报警每天出现频次较高，人员处理与移动导致报警消除过程消耗的时间较多，造成较大的人力和设备浪费的不足，提供一种粘Die自动化处理装置及方法。
为了实现上述发明目的，本发明提供了以下技术方案：
一种粘Die自动化处理装置，包括：小机头、吸嘴，所述小机头安装在线性马达上面，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，所述处理装置还包括控制模块、设备主机、电磁阀、压缩气源，所述电磁阀与所述压缩气源和所述小机头通过气管连接；
所述控制模块分别与所述设备主机和所述电磁阀通信连接，所述控制模块用于反馈所述控制模块当前的状态，以及控制所述电磁阀的启闭，控制所述压缩空气通过气管来吹掉所述吸嘴上吸附的异常芯片；
所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块；
所述报警检测与处理模块用于接收和读取设备报警信息，并判断所述设备报警信息是否为需要处理的设备报警信息，以及用于报警时间间隔的判断；
所述串行端口通讯模块用于将控制所述电磁阀启闭的信号传递到所述控制模块中；
所述吹气模块用于对所述控制模块发送和接收的信息进行进制转换；
所述主程序模块分别与所述报警检测与处理模块、所述串行端口通讯模块以及所述吹气模块通信连接，用于模块间的信息交互。
采用上述技术方案，通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量，通过报警处理间隔判断，在设置的时间间隔内，再次出现该报警信号则停止自动处理，等待人工处理，防止了无限制的处理预设的报警，以及在处理过程中异常情况的发生，降低了手动进行报警处理的次数。
作为本发明的优选方案，所述设备主机还包括：LOG记录与查询模块、显示模块，所述LOG记录与查询模块和所述显示模块与所述主程序通信连接；
所述LOG记录与查询模块用于记录运行状态日志和报警处理次数信息；
所述显示模块用于显示串行端口号和设备机型信息。
作为本发明的优选方案，所述控制模块通过导线与24V电源电连接。
作为本发明的优选方案，所述吹气模块采用的进制转换为十六进制指令转换为十进制指令。
作为本发明的优选方案，所述需要处理的设备报警信息为粘Die和/或NO Die。
另一方面，一种根据上述任一所述的Die自动化处理装置的处理方法，包括以下步骤：
S1：所述设备主机读取所述控制模块的串行端口信息，并读取设备机型；
S2：根据连接的设备机型选择需要执行的功能，所述功能为粘Die和/或NO Die；
S3：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，并进行处理粘Die和/或NO Die。
采用上述技术方案，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量，通过报警处理间隔判断，防止了无限制的处理预设的报警，降低了手动进行报警处理的次数。
作为本发明的优选方案，所述步骤S1包括：
S11：初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装，是则执行步骤S12，否则自动安装驱动；
S12：开始读取所述控制模块的串行端口，判断是否识别到串行端口信息，是则执行步骤S13，否则提示所述串行端口检测失败，确认所述控制模块的连接状态，点击确定后退出并返回步骤S11；
S13：判断设备机型读取是否成功，是则执行步骤S14，否则进行持续循环读取所述设备机型，直至读取成功或结束运行。
作为本发明的优选方案，所述步骤S2包括：选择是否执行所述功能，包括选择处理粘Die、选择处理No Die、同时选择处理粘Die和No Die，是则点击开始运行，并执行所述步骤S3，否则提示未选择任何执行功能并返回所述步骤S14。
作为本发明的优选方案，所述步骤S3中选择执行粘Die包括以下步骤：
S311：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S312，否则返回重新搜索是否报警；
S312：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S313，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11；
S313：更新处理报警时间并清除报警，所述设备主机发出控制信号至所述控制模块，所述控制模块控制所述电磁阀进行吹气，并判断吹气是否成功，成功则进行步骤S314，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11；
S314：所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。。
作为本发明的优选方案，所述步骤S3中选择执行NO Die包括以下步骤：
S321：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S322，否则返回重新搜索是否报警；
S322：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S323，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11；
S323：更新处理报警时间并清除报警，移动wafer至下一颗芯片，所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。
采用上述技术方案，通过报警处理间隔判断，在设置的时间间隔内，再次出现该报警信号则停止自动处理，等待人工处理，防止了无限制的处理预设的报警，以及在处理过程中异常情况的发生，降低了手动进行报警处理的次数。
与现有技术相比，本发明的有益效果在于：通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量；通过报警处理间隔判断，在设置的时间间隔内，再次出现该报警信号则停止自动处理，等待人工处理，防止了无限制的处理预设的报警，以及在处理过程中异常情况的发生，降低了手动进行报警处理的次数。
附图说明
图1为本发明实施例1所述的一种粘Die自动化处理装置的结构框图；
图2为本发明实施例1所述的一种粘Die自动化处理装置的设备主机的结构框图；
图3为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的流程图；
图4为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的步骤S1的流程图；
图5为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的步骤S3执行粘Die的流程图；
图6为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的步骤S3执行No Die的流程图；
图7为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的NO Die error报警处理与现有方法的效果对比图；
图8为本发明实施例2所述的一种粘Die自动化处理方法的Die exists error报警处理与现有方法的效果对比图。
具体实施方法
下面结合试验例及具体实施方法对本发明作进一步的详细描述。但不应将此理解为本发明上述主题的范围仅限于以下的实施例，凡基于本发明内容所实现的技术均属于本发明的范围。
实施例1
一种粘Die自动化处理装置，如图1所示，包括：小机头、吸嘴，所述小机头安装在线性马达上面，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，所述处理装置还包括控制模块、设备主机、电磁阀、压缩气源，所述电磁阀与所述压缩气源和所述小机头通过气管连接；
所述控制模块分别与所述设备主机和所述电磁阀通信连接，所述控制模块用于传递所述设备报警信息，以及控制所述电磁阀的启闭，通过气管来吹掉所述吸嘴上吸附的异常芯片；
如图2所示，所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块；
所述报警检测与处理模块用于接收和读取设备报警信息，并判断所述设备报警信息是否为需要处理的设备报警信息，以及用于报警时间间隔的判断；
所述串行端口通讯模块用于将控制所述电磁阀启闭的信号传递到所述控制模块中；
所述吹气模块用于对所述控制模块发送和接收的信息进行进制转换；
所述主程序模块分别与所述报警检测与处理模块、所述串行端口通讯模块以及所述吹气模块通信连接，用于模块间的信息交互。
如图2所示，所述设备主机还包括：LOG记录与查询模块、显示模块，所述LOG记录与查询模块和所述显示模块与所述主程序通信连接；
所述LOG记录与查询模块用于记录运行状态日志和报警处理次数信息；
所述显示模块用于显示串行端口号和设备机型信息。
所述控制模块的信号控制端通过导线与所述设备主机连接，电源输入端通过导线与设备的24V电源电连接，电源输出端通过导线与所述电磁阀连接。
所述吹气模块采用的进制转换为十六进制指令转换为十进制指令。
所述需要处理的设备报警信息为粘Die和/或NO Die，例如：
STC800 机型的设备报警信息为[Die Present Error]粘Die；[No Die ContinueError] NoDie；
STC500机型的设备报警信息为[Die exists error]粘Die；[No die error]NoDie。
采用上述技术方案，通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量，通过报警处理间隔判断，防止了无限制的处理预设的报警，降低了手动进行报警处理的次数。
实施例2
一种根据实施例一所述的Die自动化处理装置的处理方法，如图3所示，包括以下步骤：
S1：所述设备主机读取所述控制模块的串行端口信息，并读取设备机型；
具体的，如图4所示，所述步骤S1包括：
S11：初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装，是则执行步骤S12，否则自动安装驱动；
S12：开始读取所述控制模块的串行端口，判断是否识别到串行端口信息，是则执行步骤S13，否则提示所述串行端口检测失败，确认所述控制模块的连接状态，点击确定后退出并返回步骤S11；
S13：判断设备机型读取是否成功，是则执行步骤S14，否则进行持续循环读取所述设备机型，直至读取成功或结束运行；
S14：设备主机读取到设备机型，并显示读取到的串行端口号和设备机型信息，并执行所述步骤S2。
S2：根据连接的设备机型选择需要执行的功能，所述功能为粘Die和/或NO Die；
具体的，所述步骤S2包括：选择是否执行所述功能，包括选择处理粘Die、选择处理No Die、同时选择处理粘Die和No Die是则点击开始运行，并执行所述步骤S3，否则提示未选择任何执行功能并返回所述步骤S14。
S3：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，并进行处理粘Die和/或NO Die；
具体的，如图5所示，所述步骤S3中选择执行粘Die包括以下步骤：
S311：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S312，否则返回重新搜索是否报警；
S312：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S313，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11；
S313：更新处理报警时间并清除报警，所述设备主机发出控制信号至所述控制模块，所述控制模块控制所述电磁阀进行吹气，并判断吹气是否成功，成功则进行步骤S314，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11
S314：所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。
如图6所示，所述步骤S3中选择执行NO Die包括以下步骤：
S321：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S322，否则返回重新搜索是否报警；
S322：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S323，否则弹出提示并停止，再返回步骤S11；
S323：更新处理报警时间并清除报警，移动wafer至下一颗芯片，所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。
如图7和图8所示，通过实际的操作得知，通过设备主机来识别报警信息，并设置报警间隔时间，报警处理由手动的(42.51s/)次降低到(15.61s/次)，Die exists error报警处理由手动(42.51s/)次降低到(15.61s/次)。
采用上述技术方案，通过设备主机来识别报警信息，并通过控制模块来控制电磁阀进行吹气，吹掉设备吸嘴上吸附的异常芯片，实现了自动化处理报警，并且降低了处理过程中的产能损失和人员劳动，提高了生产效率和生产质量；通过报警处理间隔判断，在设置的时间间隔内，再次出现该报警信号则停止自动处理，等待人工处理，防止了无限制的处理预设的报警，以及在处理过程中异常情况的发生，降低了手动进行报警处理的次数。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种粘Die自动化处理装置，包括：小机头、吸嘴，所述小机头安装在线性马达上面，所述吸嘴安装在所述小机头的本体下方，其特征在于，所述处理装置还包括控制模块、设备主机、电磁阀、压缩气源，所述电磁阀与所述压缩气源和所述小机头通过气管连接；
所述控制模块分别与所述设备主机和所述电磁阀通信连接，所述控制模块用于反馈所述控制模块当前的状态，以及控制所述电磁阀的启闭，控制所述压缩空气通过气管来吹掉所述吸嘴上吸附的异常芯片；
所述设备主机包括主程序模块、报警检测与处理模块、串行端口通讯模块、吹气模块；
所述报警检测与处理模块用于接收和读取设备报警信息，并判断所述设备报警信息是否为需要处理的设备报警信息，以及用于报警时间间隔的判断；
所述串行端口通讯模块用于将控制所述电磁阀启闭的信号传递到所述控制模块中；
所述吹气模块用于对所述控制模块发送和接收的信息进行进制转换；
所述主程序模块分别与所述报警检测与处理模块、所述串行端口通讯模块以及所述吹气模块通信连接，用于模块间的信息交互。
2.根据权利要求1所述的一种Die自动化处理装置，其特征在于，所述设备主机还包括：LOG记录与查询模块、显示模块，所述LOG记录与查询模块和所述显示模块与所述主程序通信连接；
所述LOG记录与查询模块用于记录运行状态日志和报警处理次数信息；
所述显示模块用于显示串行端口号和设备机型信息。
3.根据权利要求1所述的一种Die自动化处理装置，其特征在于，所述控制模块通过导线与所述设备的24V电源电连接。
4.根据权利要求1所述的一种Die自动化处理装置，其特征在于，所述需要处理的设备报警信息为粘Die和/或NO Die。
5.根据权利要求1所述的一种Die自动化处理装置，其特征在于，所述吹气模块采用的进制转换为十六进制指令转换为十进制指令。
6.一种根据权利要求1-5任一所述的Die自动化处理装置的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：所述设备主机读取所述控制模块的串行端口信息，并读取设备机型；
S2：根据连接的所述设备机型选择需要执行的功能，所述功能为粘Die和/或NO Die；
S3：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，并进行处理粘Die和/或NO Die。
7.根据权利要求6所述的一种Die自动化处理装置的处理方法，其特征在于，所述步骤S1包括：
S11：初始化所述设备主机，判断所述控制模块驱动是否安装，是则执行步骤S12，否则自动安装驱动；
S12：开始读取所述控制模块的串行端口，判断是否识别到串行端口信息，是则执行步骤S13，否则提示所述串行端口检测失败，确认所述控制模块的连接状态，点击确定后退出并返回步骤S11；
S13：判断设备机型读取是否成功，是则执行步骤S14，否则进行持续循环读取所述设备机型，直至读取成功或结束运行；
S14：设备主机读取到设备机型，并显示读取到的串行端口号和设备机型信息，并执行所述步骤S2。
8.根据权利要求7所述的一种Die自动化处理装置的处理方法，其特征在于，所述步骤S2包括：选择是否执行所述功能，是则点击开始运行，并执行所述步骤S3，否则提示未选择任何执行功能并返回所述步骤S14。
9.根据权利要求7所述的一种Die自动化处理装置的处理方法，其特征在于，所述步骤S3中选择执行粘Die包括以下步骤：
S311：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S312，否则返回重新搜索是否报警；
S312：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S313，否则弹出提示并停止，再返回所述步骤S11；
S313：更新处理报警时间并清除报警，所述设备主机发出控制信号至所述控制模块，所述控制模块控制所述电磁阀进行吹气，并判断吹气是否成功，成功则进行步骤S314，否则弹出提示并停止，再返回所述步骤S11；
S314：所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。
10.根据权利要求7所述的一种Die自动化处理装置的处理方法，其特征在于，所述步骤S3中选择执行NO Die包括以下步骤：
S321：初始化检测参数，搜索是否报警，是则进行步骤S322，否则返回重新搜索是否报警；
S322：判断报警间隔是否大于等于检测间隔，是则进行步骤S323，否则弹出提示并停止，再返回所述步骤S11；
S323：更新处理报警时间并清除报警，移动wafer至下一颗芯片，所述设备主机控制设备自动生产，并记录处理日志。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07285087A (ja) * 1994-04-15 1995-10-31 Rohm Co Ltd 半導体チップのピックアップ検査装置
JP2007096177A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置
CN103809525A (zh) * 2014-01-26 2014-05-21 佛山市蓝箭电子股份有限公司 一种自动粘片机三维运动焊头的控制系统和控制方法
CN203882129U (zh) * 2014-02-19 2014-10-15 深圳深爱半导体股份有限公司 芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置
CN108253921A (zh) * 2018-03-26 2018-07-06 东莞高伟光学电子有限公司 一种在线检测芯片与陶瓷基板焊接水平度的系统和方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07285087A (ja) * 1994-04-15 1995-10-31 Rohm Co Ltd 半導体チップのピックアップ検査装置
JP2007096177A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Hitachi High-Tech Instruments Co Ltd 電子部品装着装置
CN103809525A (zh) * 2014-01-26 2014-05-21 佛山市蓝箭电子股份有限公司 一种自动粘片机三维运动焊头的控制系统和控制方法
CN203882129U (zh) * 2014-02-19 2014-10-15 深圳深爱半导体股份有限公司 芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置
CN108253921A (zh) * 2018-03-26 2018-07-06 东莞高伟光学电子有限公司 一种在线检测芯片与陶瓷基板焊接水平度的系统和方法

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