CN114781314A - 一种快速绘制版图的方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种快速绘制版图的方法，包括：在版图中设置辅助图层；所述辅助图层中平铺若干参照图形，且相邻参照图形的间幅相等；所述参照图形为预设的规则图形；在目标图层绘制图形时，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，使所述图形符合预设的所述目标图层的图形规则；所述目标图层的图形规则基于所述参照图形设置。通过设置辅助图层结合预设的目标图层的图形规则能对未符合所述目标图层的图形规则的落点进行调整，直观的辅助版图绘制，进而实现快速绘制版图，大幅提高绘制的精确性和工作效率。本发明还提供的一种快速绘制版图的系统因能执行本发明的方法进行绘图而具有相应优势。

Description

一种快速绘制版图的方法及系统

技术领域

本发明属于半导体设计和生产技术领域，尤其涉及一种快速绘制版图的方法及相应的快速绘制版图的系统。

背景技术

在FinFet工艺中，目前还是依靠单纯人工来进行FinFet工艺版图绘制，以及人工进行版图检查和修复，不可避免地影响了版图绘制的效率。绘制版图一般是人工在绘图工具的窗口，通过鼠标输入进行落点绘制，绘制版图时结构都要落在FinGrid（Fin网格）上，由于现有的绘图工具大都是靠人工鼠标操作确定落点，往往靠用户目测绘图窗口界面凭直观感觉进行落点，可想而知，落点位置很难做到精准。人工手动落点，绘制版图精确度有限，绘制中落点无参考，易出错，绘制过程存在频繁返工，由此带来绘制版图速度慢，版图设计整体效率难以突破。现有的做法中投入了大量的精力和成本在改进绘图工具软件，使之能够在版图绘制后消除或纠正结构落点位置不符合按预设的版图设计规则的报错。软件开发成本投入巨大，而消除或纠正也很难做到100%，另外有些还增加了绘图工具操作的复杂程度，并不利于绘图效率的大幅提高。可知，需要一种可以辅助绘制FinFet工艺版图的方法，能够辅助用户，避免结构没有落在FinGrid上的问题。

发明内容

本发明是为解决上述现有技术的全部或部分问题，本发明一方面提供了一种快速绘制版图的方法，能使绘制的图形按照设定规则自动落到对应位置，实现快速绘制版图。本发明的另外一个方面提供了一种快速绘制版图的系统，能执行本发明的快速绘制版图的方法进行版图绘制。

本发明一方面提供的一种快速绘制版图的方法，用于辅助用户在目标图层快速绘图；包括步骤：步骤S1：在版图中设置辅助图层；所述辅助图层中平铺若干参照图形，且相邻参照图形的间幅相等；所述参照图形为预设的规则图形；步骤S2：在目标图层上绘制图形时，自动获取绘制输入图形的顶点位置并进行位置调整，使所述图形符合预设的所述目标图层的图形规则；所述目标图层的图形规则基于所述辅助图层的参照图形与绘制的图形顶点之间需要满足的相对位置关系进行设置。

所述目标图层的图形规则包括：相对距离规则和图形宽度规则；所述相对距离规则是指：图形的起点的第一间距满足预设值（AlignGrid）；所述第一间距是指图形的起点相对于在X方向或者Y方向上最近的所述参照图形，在X方向或者Y方向上的相对距离；所述图形宽度规则是指：图形的终点的第二间距满足预设的目标图层图形高度计算公式计算得到的结果；所述第二间距是指图形的终点相对于所绘图形的前一个顶点，在X方向或者Y方向上的相对距离；所述目标图层图形高度计算公式根据已知的第二间距、参照图形的参数，确定图形的当前终点的位置坐标；其中，所述图形的起点是指图形绘制的第一个顶点，所述图形的终点是指所述图形上除所述起点外的其余顶点；所述X方向和所述Y方向相互垂直。通过提前定义各项预设值合理地设定图形宽度规则、相对距离规则，基于所述参照图形设置所述目标图层的图形规则，能自动检查目标图层绘制的图形的顶点是否符合预设的图形规则，并对未符合要求的落点进行自动调整，使之按照预设的图形规则自动落到对应位置，直观的辅助用户进行版图绘制，进而实现快速准确地绘制FinFet工艺版图。

所述辅助图层包括第一辅助图层，用于辅助调整所述（目标图层的）图形的顶点在Y方向上的位置坐标；所述第一辅助图层中的参照图形为X方向上的长度等于所述第一辅助图层在X方向上的长度，Y方向上的长度为预设值（FinWidth）的矩形，且相邻所述参照图形在Y方向上的间幅为预设值（FinPitch）。

所述辅助图层包括第二辅助图层，用于辅助调整目标图层的图形顶点在X方向上的位置坐标；所述第二辅助图层中的参照图形为Y方向上的长度等于所述第二辅助图层在Y方向上的长度、X方向上的长度为预设值（FinWidth）的矩形，且相邻参照图形在X方向上的间幅为预设值（FinPitch）。

所述辅助图层还设置平铺参数（FinOffset），表示在所述辅助图层中（在Y方向或X方向上）相对于所述辅助图层边缘的所述平铺参数值处，开始平铺所述参照图形。一般情况中，默认FinOffset为0，表示从所述辅助图层的边缘开始平铺所述参照图形。

所述步骤S2中，自动获取输入的图形的起点位置并进行位置调整，包括对输入的图形顶点位置进行调整：设获取的所述起点的坐标为（px,py），判断所述起点是否满足所述相对距离规则：若满足，则无需调整，直接将所述起点坐标（px,py）作为图形的实际起点坐标进行落点绘制；若不满足，对所述起点进行位置调整：获取与所述起点坐标（px,py）的相对距离（在X方向上的相对距离，或者在Y方向上相对的距离）最小的一个所述参照图形，并计算所述起点坐标（px,py）与该参照图形（在Y方向或X方向上）的相对距离为预设值（AlignGrid）的点坐标，将计算得到的所述点坐标作为图形的实际起点坐标进行落点绘制。即，调整图形的实际起点的位置以满足所述相对距离规则。与所设的坐标（px,py）最近的参考图形之间的相对距离满足预设值（AlignGrid）的点的点坐标可以作为调整后的实际起点的位置。计算相对距离时可以将参照图形的边缘作为参照，也可以将参照图形的中心线上的点作为参照，并不限定。

所述步骤S2中，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，包括对输入的图形终点位置进行调整：获取所述终点的位置及所述图形上绘制的前一个顶点的位置，计算得到所述终点相对于所述前一个顶点的相对距离（在X方向上的相对距离，或者在Y方向上的相对距离），根据所述参照图形的参数计算所述相对距离上横跨的所述参照图形的个数，记为k；基于所述预设的目标图层图形高度计算公式：AlignHeight=f(k)×FinPitch+FinWidth（支持用户自定义目标图层图形高度计算公式），计算得到AlignHeight，即所述图形的实际终点坐标相对于所述前一个顶点（在Y方向或X方向上）的相对距离，进而得到所述图形的实际终点坐标进行落点绘制；其中，所述f(k)为根据k得到的常数；所述FinPitch为相邻的所述参照图形在Y方向或X方向上的间幅；所述FinWidth为一个所述参照图形的宽度，即所述参照图形在Y方向或X方向上的长度。

所述快速绘制版图的方法还能对在目标图层绘制的图形阵列进行辅助：所述步骤S2中，自动获取输入图形的顶点位置并进行位置调整，还包括对图形阵列的顶点位置进行位置调整：获取所述图形阵列中位于第一行第一列的图形的顶点位置并进行位置调整，使所述第一行第一列的图形符合预设的所述目标图层的图形规则，包括：所述相对距离规则和所述图形宽度规则；获取图形阵列中相邻图形的间幅值，并判断所述间幅值是否为所述FinPitch的倍数，若是，则直接绘制，否则报错提醒修改。所述倍数是指整数倍。

所述目标图层中绘制的图形为矩形或多边形，且所述图形的边都在X方向和Y方向上。

本发明另一方面提供一种快速绘制版图的系统，包括存储设备，所述存储设备中存储有多条指令，所述指令适于由处理器加载并执行：本发明的快速绘制版图的方法。

与现有技术相比，本发明的主要有益效果：

1、本发明的一种快速绘制版图的方法，通过基于所述参照图形设置所述目标图层的图形规则，能自动检查目标图层绘制图形的顶点是否符合预设的图形规则，并对未符合要求的落点进行自动调整，使之按照预设的图形规则自动落到对应位置，直观地辅助版图绘制，进而实现快速绘制版图，大幅提高绘制的精确性和工作效率。

2、本发明的一种快速绘制版图的系统，因执行本发明的快速绘制版图的方法进行绘制而具有相应优势，改善了当前依靠单纯人工来进行FinFet工艺版图绘制，以及人工进行版图检查和修复的问题。

附图说明

图1为本发明实施例的快速绘制版图的方法示意图。

图2为本发明实施例的版图示意图。

图3为本发明实施例的一种绘制图形示意图。

图4为本发明实施例的另一种绘制图形示意图。

图5为本发明实施例的图形阵列示意图。

具体实施方式

下面将对本发明具体实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在下述实施例中采用特定次序描绘了实施例的操作，这些次序的描述是为了更好的理解实施例中的细节以全面了解本发明，但不能以此限定本发明的范围。

本发明实施例中，如图1所示，快速绘制版图的方法，步骤包括：步骤一：在版图中设置辅助图层。步骤二：设置目标图层的信息。步骤三：在目标图层绘制图形。步骤二是在步骤三之前预先设置的过程，并不限定与步骤一的先后顺序，也可以同步进行。

下面的结合图2至图5对实施例的快速绘制版图的方法进行具体描述，通过结合实际应用场景的示例性描述可以使本领域的专业技术人员更全面地理解本发明，但不以任何方式限制本发明。

本实施例中，提供一种快速绘制版图的系统，包括存储设备，所述存储设备中存储有多条指令，所述指令适于由处理器加载并执行：本实施例的快速绘制版图的方法。

步骤一：绘制Global Fin图（版图），将Fin层作为辅助图层，包括：设置Fin层（FinLayer）的信息，包括预设的：FinWidth、FinPitch、FinOffset；其中：FinWidth是Fin的宽度；FinPitch是相邻的Fin之间的间幅，FinPitch=FinWidth+FinSpace；FinSpace是Fin的间隙；FinOffset是Fin的Y方向的起点，初始为0；根据FinWidth、FinPitch、FinOffset和FinLayer绘制Fin（参照图形），并平铺整个Global Fin图的界面窗口。

步骤二：设置目标图层AlignLayer的信息，包括预设：AlignGrid、AlignLayerHeiht（目标图层图形高度计算公式）；示例的目标图层AlignLayer可设置多层，各目标图层的信息可不同。其中：AlignGrid是目标图层AlignLayer至FinGrid（Fin网格）的在Y方向上的距离，初始为0；AlignLayerHeight：目标图层图形高度计算公式，变量涉及图形横跨的Fin个数（k）、FinPitch和FinWidth，示例的情况中支持用户进行公式编辑。

步骤三：在目标图层AlignLayer绘制图形，用户使用鼠标点击界面窗口，根据落点获取就近的Fin位置，并辅助调整绘制起点，随着鼠标拖动，按照目标图层图形高度计算公式判断最终高度的落点位置，绘制得到图形，即图3中的目标图层AlinLayer的矩形P。即实现图形的起点、图形的终点符合预设的图形规则，辅助用户实现快速绘图。

为了更好的理解本发明，下面展开说明一下步骤三的一个具体实施过程：过程包括：

过程一：绘制图形的起点，即确定图形的底边：设鼠标位置为起点坐标(px,py)，通过计算间幅step，先判断鼠标点所在的位置是否在Fin上。

示例的step=(py–(FinOffset+AlignGrid))%FinPitch；其中，所述符号“%”是求余数的运算符号，0代表能整除。

若step为0，则该点Point(px,py)在Fin上，直接将该位置作为图形起点（即满足相对距离规则）；若Step不为0，通过下述公式寻找最近的Fin位置，示例的情况中设该位置的X坐标即px，通过下述公式确定Y坐标：

nFin=(py–(FinOffset+AlignGrid))/FinPitch；

下边点Y坐标：py1=(FinOffset+AlignGrid)+nFin×FinPitch；

上边点Y坐标：py2=(FinOffset+AlignGrid)+(nFin+1)×FinPitch；

然后比较点（px,py1）、点（px,py2）哪个与点（px,py）更近，若点（px,py1）离点（px,py）更近，Y坐标就取py1否则Y坐标就取py2。

若此时确定的Y坐标为py2，则以(px,py2)作为图形起点。即图形起点符合相对距离规则。

过程二：绘制图形的终点，即确定图形的上边；根据：预设的目标层图形高度计算公式AlignLayerHeight进行计算AlignHeight，再将目标层图形的底边Y坐标py加上AlignHeight作为上边点Y坐标。公式引用的参数由nFin（覆盖的Fin个数，即所述相对距离横跨的辅助图形个数k）、FinPitch、FinWidth组成，其中AlignHeight=f(nFin)×FinPitch+FinWidth；f(nFin)利用nFin计算得到，这里的计算方式可根据实际应用场景进行不同设置。过程二示例了图形宽度规则的适用。

需要说明的是，上述示例的辅助图层用于辅助调整Y坐标，因此不对落点的X坐标进行调整，在其他的一些实施例中，若设置用于辅助调整X坐标的参照图形Fin，则可对落点的X坐标进行同理调整，在有些实施例中同时调整落点的X坐标和Y坐标。这里不限定具体情况。

本实施例绘制的是如图3所示的矩形，因此仅需确定一个起点和一个终点，若绘制的图形为如图4所示的非矩形的多边形，则需要将除起点外的每个顶点按上述过程二中的方式进行判断并调整（即第二间距是否满足预设的目标图层图形高度计算公式计算得到的结果）。在本实施例中，图形可以是矩形也可以是多边形，图形的边都在X方向和Y方向上。

在本实施例中，若绘制的图形为如图5所示的行×列的阵列结构，特别是当组成阵列的多边形图形特别多时，一个一个遍历速度慢，为加快判断，判断阵列图形中第一行第一列的多边形图形的顶点满足该目标图层的图形规则，以及相邻多边形的间幅值pitchy是否为FinPitch的倍数，即可实现快速判断并提醒调整图形参数，帮助用户实现快速绘制阵列结构。

本发明为了便于叙述清楚而采用的一些常用的英文名词或字母只是用于示例性指代而非限定性解释或特定用法，不应以其可能的中文翻译或具体字母来限定本发明的保护范围。在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求保护的范围内。

Claims (10)

1.一种快速绘制版图的方法，其特征在于：包括步骤：

步骤S1：在版图中设置辅助图层；所述辅助图层中平铺若干参照图形，且相邻参照图形的间幅相等；所述参照图形为预设的规则图形；

步骤S2：在目标图层绘制图形时，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，使所述图形符合预设的所述目标图层的图形规则；

其中，所述目标图层的图形规则基于所述辅助图层的参照图形与绘制的图形顶点之间需要满足的相对位置关系进行设置。

2.根据权利要求1所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述目标图层的图形规则包括：相对距离规则和图形宽度规则；

所述相对距离规则是指：图形的起点的第一间距满足预设值，所述第一间距是指图形的起点相对于在X方向或者Y方向上最近的所述参照图形，在X方向或者Y方向上的相对距离；

所述图形宽度规则是指：图形的终点的第二间距满足预设的目标图层图形高度计算公式计算得到的结果；所述第二间距是指图形的终点相对于所绘图形的前一个顶点，在X方向或者Y方向上的相对距离；所述目标图层图形高度计算公式根据已知的第二间距、参照图形的参数，确定图形的当前终点的位置坐标；

其中，所述图形的起点是指图形绘制的第一个顶点，所述图形的终点是指所述图形上除所述起点外的其余顶点；所述X方向和所述Y方向相互垂直。

3.根据权利要求1所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述辅助图层包括第一辅助图层，用于辅助调整所述图形的顶点在Y方向上的位置坐标；所述第一辅助图层中的参照图形为X方向上的长度等于所述第一辅助图层在X方向上的长度、Y方向上的长度为预设值的矩形，且相邻所述参照图形在Y方向上的间幅为预设值；所述X方向和所述Y方向相互垂直。

4.根据权利要求3所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述辅助图层包括第二辅助图层，用于辅助调整目标图层的图形顶点在X方向上的位置坐标；所述第二辅助图层中的参照图形为Y方向上的长度等于所述第二辅助图层在Y方向上的长度、X方向上的长度为预设值的矩形，且相邻参照图形在X方向上的间幅为预设值。

5.根据权利要求1所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述辅助图层还设置平铺参数，表示在所述辅助图层中相对于所述辅助图层边缘的所述平铺参数值处，开始平铺所述参照图形。

6.根据权利要求2所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述步骤S2中，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，包括对输入的图形起点位置进行调整：

设获取的所述起点的坐标为（px,py），判断所述起点是否满足所述相对距离规则：

若满足，则无需调整，直接将所述起点坐标（px,py）作为图形的实际起点坐标进行落点绘制；

若不满足，对所述起点进行位置调整：获取与所述起点坐标（px,py）的相对距离最小的一个所述参照图形，并计算所述起点坐标（px,py）与该参照图形的相对距离为预设值的点坐标，将计算得到的所述点坐标作为图形的实际起点坐标进行落点绘制。

7.根据权利要求2所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述步骤S2中，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，包括对输入的图形终点位置进行调整：

获取所述终点的位置及所述图形上绘制的前一个顶点的位置，计算得到所述终点相对于所述前一个顶点的相对距离，根据所述参照图形计算所述相对距离上横跨的所述参照图形的个数，记为k；

基于所述预设的目标图层图形高度计算公式：AlignHeight=f(k)×FinPitch+FinWidth，计算得到AlignHeight，即所述图形的实际终点坐标相对于所述前一个顶点的相对距离，进而得到所述图形的实际终点坐标进行落点绘制；

其中，所述f(k)为根据k得到的常数；所述FinPitch为相邻的所述参照图形在Y方向或X方向上的间幅；所述FinWidth为一个所述参照图形的宽度，即所述参照图形在Y方向或X方向上的长度。

8.根据权利要求2所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述步骤S2中，自动获取输入的图形的顶点位置并进行位置调整，还包括对图形阵列的顶点位置进行批量位置调整：获取所述图形阵列中位于第一行第一列的图形的顶点位置并进行位置调整，使所述第一行第一列的图形符合预设的所述目标图层的图形规则；获取图形阵列的相邻图形的间幅值，并判断所述间幅值是否为所述FinPitch的倍数，若是，则直接绘制，否则报错提醒修改。

9.根据权利要求1至8任一项所述的快速绘制版图的方法，其特征在于：所述图形为矩形或多边形，且所述图形的边都在X方向和Y方向上。

10.一种快速绘制版图的系统，其特征在于：包括存储设备，所述存储设备中存储有多条指令，所述指令适于由处理器加载并执行：权利要求1至9任一项所述的快速绘制版图的方法。

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