CN114740334A - 一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法 - Google Patents

Abstract

一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法，该装置包括机台，该机台上安装有待测探针卡，待测探针卡包括针脚和PAD点；待测探针卡下方设有金属导电面；待测探针卡上方设有母板，母板上设有多个触点；可拆卸地设有通道转接板，通道转接板上有第一转接区域和第二转接区域，分别设有第一转接点、第二转接点；机台上设有第一机械手和第二机械手，分别设有第一采集器、第二采集器，第一采集器和第二采集器的下表面均设有多个采集点；金属导电面在上表面可拆卸地设有一绝缘板；还包括欧姆表。该测试装置及测试方法能够在采集器采集点数量较少的情况下，实现对较多通道数量探针卡的电性检测，节约了设备成本和人力成本。

Description

一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法

技术领域

本发明涉及探针卡测试技术领域，特别地，涉及一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法。

背景技术

探针卡在晶圆测试中作为被测芯片和测试机之间的接口存在，用于在芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量，筛选出不良芯片后再进行后续的封装工作；探针卡主要由PCB、针脚及功能部件组成，PCB上设有与各针脚一一对应的PAD点，各针脚与对应PAD点之间形成电路通道；为了保证质量，探针卡需要在出厂前进行电性测试，其测试对象包括探针卡通道的通断情况、以及通道间的短路和漏电情况。

其中，通道断路指的是探针卡上某一根针所在的通道因接触不良、线路错焊等原因导致从针尖到该针所对应PCB上的PAD点间的通道不通的情况；通道间的短路指的是探针卡上某两个独立的通道因为针尖接触、PCB线路瑕疵等原因，导致该两个通道之间构成电性接触的情况；通道间的漏电指的是探针卡上某两个独立的通道，因为各种原因导致的其中一通道的电流会部分流向另外一通道的情况。

通过测量探针卡上某一根针的针尖到该针所对应PCB上PAD点间的电阻值，能够判断该处通道是否断路；而若要判断某两个通道间是否存在短路或漏电情况，则需要测量该两个通道所对应的两个pad之间的电阻值，当测得电阻R小于一短路标准值a1时，则说明这两个通道短路，大于一断路标准值a2时，则说明这两个通道处于无电性接触的正常状态，而当测得电阻R大于a1且小于a2时，则说明这两个通道之间存在漏电情况，且R越接近a1漏电情况越严重。

以上旨在说明探针卡的测试原理，实际上探针卡的通道数众多，从几十到几万不等，排列组合之下，所需测量的组合数目十分巨大，不可能依靠人工来实现每个通道的通断确认、以及通道与通道间的漏电短路检测，必须要通过专用设备进行自动化检测；现有技术中存在一种采集器，其上设有若干个采集点，采集器在进行检测时，采集点与探针卡PCB上的PAD点一一对应，采集器能够通过内部电路信道的切换以自动完成所有通道各种排列组合下的电性测量。

然而由于采集器上的采集点数量有限，在对有较多通道的探针卡进行检测时，无法完全覆盖到所有通道，而采集器的价格昂贵，提高采集点数量所需的成本和技术难度将几何级提升，所以对于具有较多通道的探针卡进行电性检测十分困难。

针对上述问题，就需要提供一种能够以具有较少采集点的采集器，完成对具有较多通道数量探针卡的电性检测的测试装置及测试方法。

发明内容

本发明提供一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法。

为达到上述目的，本发明采用的技术方案是：一种用于多通道探针卡的电性测试装置，包括一机台，该机台上设有探针卡摆放位，该探针卡摆放位用于定位一待测探针卡；

所述探针卡摆放位下方设有一金属导电面，该金属导电面用于对应接通所述探针卡摆放位的待测探针卡下表面上的针脚，且所述金属导电面由一升降机构驱动进行升降；

所述探针卡摆放位上方设有一母板，所述母板上设有多个触点，所述触点与所述探针卡摆放位的待测探针卡上的PAD点一一对应并电性连接；

对应所述母板设有通道转接板，所述通道转接板上设有第一转接区域和第二转接区域，所述第一转接区域设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第一转接点，所述第二转接区域设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第二转接点，以使各所述触点一分为二电性连接到对应的第一转接点和第二转接点上；

所述机台上设有对应所述第一转接区域设置的第一机械手和对应所述第二转接区域设置的第二机械手，所述第一机械手的活动端设有第一采集器，所述第二机械手的活动端设有第二采集器，所述第一采集器和所述第二采集器上均设有多个采集点，所述采集点与所述触点、所述第一转接点和所述第二转接点相匹配；

所述金属导电面在上方可拆卸地设有一绝缘板；

还包括欧姆表，所述欧姆表具有第一测量电极和第二测量电极，该欧姆表工作时测量所述第一测量电极与所述第二测量电极之间的电阻。

上述技术方案中的有关内容解释如下：

1.上述方案中，所述第一采集器和所述第二采集器所具有的采集点数量相同，且数量为50至100个。

2.上述方案中，所述第一采集器和所述第二采集器所具有的采集点数量均为60个，且以5*12的矩阵排列；所述母板上的触点数量为5400个。

3.上述方案中，还包括第一三轴移动机构和第二三轴移动机构，所述第一机械手由所述第一三轴移动机构驱动，所述第二机械手由所述第二三轴移动机构驱动。

4.上述方案中，所述绝缘板为陶瓷板。

为达到上述目的，本发明还提供一种用于多通道探针卡的电性测试方法，该测试方法通过权利要求1中所述的测试装置实现，包括断路检测方法和短路漏电检测方法；

所述断路检测方法中，将所述欧姆表的第一测量电极通过所述金属导电面电性连接到位于所述探针卡摆放位的待测探针卡的针脚上，将所述欧姆表的第二测量电极通过所述第一采集器或所述第二采集器电性连接到所述母板，进而通过所述母板电性连接到位于所述探针卡摆放位的待测探针卡的PAD点上，从而测量该PAD点与对应针脚之间构成的电路通道的电阻，并根据一预先设定的断路标准值判断该电路通道是否断路；

所述短路漏电检测方法中，将所述欧姆表的第一测量电极通过所述第一采集器电性连接到一所述PAD点所对应的第一转接点上，将所述欧姆表的第二测量电极通过所述第二采集器电性连接到另一所述PAD点所对应的第二转接点上，从而测量该两个PAD点之间的电阻，并根据一预先设定的短路标准值及一预先设定的漏电标准值，判断是否存在短路或漏电。

其中，所述断路检测方法具体包括如下步骤；

步骤一、将所述第一采集器或所述第二采集器电性连接在所述母板上，使所述采集点与所述触点电性接触；将所述欧姆表的第一测量电极电性连接到所述金属导电面，第二测量电极电性连接到所述第一采集器或所述第二采集器；

步骤二、控制所述金属导电面上升，直至该金属导电面的上表面电性接触所述待测探针卡的所有针脚；

步骤三、控制所述第一采集器或所述第二采集器切换内部电路，使欧姆表的第二测量电极依次电性连接各所述采集点，并依次测量各所述采集点所对应电路通道的电阻；

步骤四、改变采集器的位置，使采集点与其余所述触点电性接触，重复上述步骤直至所有电路通道的电阻均被测得；

步骤五、根据所述预先设定的断路标准值判断各电路通道是否断路，当测得电阻大于或等于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道断路，当测得电阻小于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道未断路。

其中，所述短路漏电检测方法具体包括如下步骤；

步骤六、将所述绝缘板安装在所述金属导电面上；将所述第一采集器电性连接在所述通道转接板的第一转接区域上，使该第一采集器上的采集点与第一转接区域上的第一转接点电性接触，将所述第二采集器电性连接在所述通道转接板的第二转接区域上，使该第二采集器上的采集点与第二转接区域上的第二转接点电性接触；将所述欧姆表的第一测量电极电性连接到所述第一采集器，第二测量电极电性连接到所述第二采集器；

步骤七、控制所述金属导电面上升，直至所述绝缘板的上表面接触所述待测探针卡的所有针脚；

步骤八、控制所述第一采集器切换内部电路，使所述第一测量电极依次电性连接所述第一采集器上的所有采集点，同时控制所述第二采集器切换内部电路，使所述第二测量电极依次电性连接所述第二采集器上的所有采集点，直至测得所述第一采集器上任一采集点与所述第二采集器上任一采集点之间所有排列组合下的电阻；

步骤九、通过所述第一机械手改变所述第一采集器的位置，使该第一采集器上的采集点与其余所述第一转接点电性接触，并通过所述第二机械手改变所述第二采集器的位置，使该第二采集器上的采集点与其余所述第二转接点电性接触；重复上述步骤，直至第一转接区域中任一第一转接点与第二转接区域中任一第二转接点之间所有排列组合下的电阻均被测得；

步骤十、根据所述预先设定的短路标准值及所述预先设定的漏电标准值，判断各所述电路通道之间是否存在短路或漏电；当两个所述电路通道之间的测得电阻小于或等于所述短路标准值时，则代表该两个电路通道短路，当测得电阻大于所述短路标准值且小于或等于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道漏电，当测得电阻大于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道正常。

本发明的有益效果在于：本多通道探针卡的电性测试装置及测试方法中，将待测探针卡上的各PAD点分两路电性连接到第一转接区域的第一转接点上和第二转接区域的第二转接点上，再通过设置两个采集器，配合机械运动结构分别对两个转接区域的转接点进行一一采集，从而能够在采集器采集点数量较少的情况下，实现对较多通道数量探针卡的电性检测，节约了设备成本和人力成本。

附图说明

附图1为本发明一个实施例的示意图；

附图2为附图1所示实施例中第一三轴移动机构的示意图；

附图3为附图1所示实施例中机台上部结构的侧视图；

附图4为附图1所示实施例中金属导电面的示意图；

附图5为附图1所示实施例中母板和通道转接板的示意图；

附图6为附图1所示实施例断路检测的原理图；

附图7为附图1所示实施例短路漏电检测的原理图。

以上附图中：1. 机台；11. 第一三轴移动机构；12. 第二三轴移动机构；2. 待测探针卡；3. 母板；4. 通道转接板；41. 第一转接区域；42. 第二转接区域；43. 第一转接点；44. 第二转接点；51. 第一采集器；52. 第二采集器；6. 金属导电面；7. 绝缘板；8. 欧姆表；81. 第一测量电极；82. 第二测量电极。

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：

以下将以图式及详细叙述对本案进行清楚说明，任何本领域技术人员在了解本案的实施例后，当可由本案所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本案的精神与范围。

本文的用语只为描述特定实施例，而无意为本案的限制。单数形式如“一”、“这”、“此”、“本”以及“该”，如本文所用，同样也包含复数形式。

关于本文中所使用的“第一”、“第二”等，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本案，其仅为了区别以相同技术用语描述的组件或操作。

关于本文中所使用的“连接”或“定位”，均可指二或多个组件或装置相互直接作实体接触，或是相互间接作实体接触，亦可指二或多个组件或装置相互操作或动作。

关于本文中所使用的“包含”、“包括”、“具有”等，均为开放性的用语，即意指包含但不限于。

关于本文中所使用的用词（terms），除有特别注明外，通常具有每个用词使用在此领域中、在本案内容中与特殊内容中的平常意义。某些用以描述本案的用词将于下或在此说明书的别处讨论，以提供本领域技术人员在有关本案之描述上额外的引导。

关于本文中所使用的“前”、“后”、“上”、“下”、“左”、“右”等，均为方向性用词，在本案中仅为说明各结构之间位置关系，并非用以限定本案保护范围及实际实施时的具体方向。

如图1至图7所示，提供一种用于多通道探针卡的电性测试装置及测试方法，其中电性测试装置包括一机台1，该机台1上设有探针卡摆放位，该探针卡摆放位用于定位一待测探针卡2，所述待测探针卡2包括设于下表面的多个针脚和设于上表面的多个PAD点，所述针脚与所述PAD点一一对应并电性连接，构成多个电路通道。

所述探针卡摆放位下方设有一金属导电面6，该金属导电面6用于对应接通所述探针卡摆放位的待测探针卡2下表面上的针脚，所述金属导电面6由一升降机构驱动进行升降，能够接触或远离所述待测探针卡2的针脚；其中，该升降机构的具体结构及工作原理均为现有技术，为本领域技术人员所熟知，且非本案发明点，故在此不作赘述。

所述探针卡摆放位上方设有一母板3，所述母板3上表面设有多个触点，所述触点与所述待测探针卡2的PAD点一一对应并电性连接。

对应所述母板3可拆卸地设有通道转接板4，所述通道转接板4上表面设有第一转接区域41和第二转接区域42，所述第一转接区域41设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第一转接点43，所述第二转接区域42设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第二转接点44。

即对于每个触点而言，都分成两路分别连接到一个第一转接点43和一个第二转接点44上，而由于触点与待测探针卡2的PAD点一一对应并电性连接，也就是说对于每个PAD点而言，都有一个与其电性连接的第一转接点43和一个与其电性连接的第二转接点44，通过通道转接板4一分为二。

所述机台1上设有对应所述第一转接区域41设置的第一机械手和对应所述第二转接区域42设置的第二机械手，所述第一机械手的活动端设有第一采集器51，所述第二机械手的活动端设有第二采集器52，所述第一采集器51和所述第二采集器52的下表面均设有多个采集点，所述采集点与所述触点、所述第一转接点43和所述第二转接点44相匹配；即第一采集器51和第二采集器52既可以直接安装在母板3上，使采集点与母板3上的触点直接接触连接，也可以安装在通道转接板4上，使采集点接触连接通道转接板4上的转接点。

本实施例中，所述第一采集器51和所述第二采集器52所具有的采集点数量相同，从而便于与PAD点一一对应；具体的，该第一采集器51和第二采集器52所具有的采集点均为60个，且以5*12的矩阵排列；所述母板3上的触点数量为5400个，即第一转接点43和第二转接点44的数量也均为5400个，由此第一采集器51和第二采集器52在分别经过90次下压接触后，可以走过所有转接点，完成一次完全扫描。

本实施例中，还包括第一三轴移动机构11和第二三轴移动机构12，所述第一机械手由所述第一三轴移动机构11驱动以进行移动，所述第二机械手由所述第二三轴移动机构12驱动以进行移动；其中，上述三轴移动机构和机械手的具体结构及工作原理均为现有技术，为本领域技术人员所熟知，且非本案发明点，故在此不作赘述。

所述金属导电面6在上方可拆卸地设有一绝缘板7；具体的，该绝缘板7为陶瓷板。

还包括欧姆表8，所述欧姆表8具有第一测量电极81和第二测量电极82，该欧姆表8工作时测量所述第一测量电极81与所述第二测量电极82之间的电阻。

所述用于多通道探针卡的电性测试方法，通过如上所述的电性测试装置实现，包括断路检测方法和短路漏电检测方法。

所述断路检测方法具体包括如下步骤：

步骤一、将所述第一采集器51或所述第二采集器52电性连接在所述母板3上，使所述采集点与所述触点电性接触；将所述欧姆表8的第一测量电极81电性连接到所述金属导电面6，第二测量电极82电性连接到所述第一采集器51或所述第二采集器52。

由此，使欧姆表8的第二测量电极82能够通过采集器和母板3电性连接到待测探针卡2中电路通道的上端PAD点处。

该步骤中，从第一采集器51和第二采集器52中选用一个使用即可。

步骤二、控制所述金属导电面6上升，直至该金属导电面6的上表面电性接触所述待测探针卡2的所有针脚。

由此，使欧姆表8的第一测量电极81通过金属导电面6电性连接到待测探针卡2中所有电路通道的下端。

步骤三、控制所述第一采集器51或所述第二采集器52切换内部电路，使欧姆表8的第二测量电极82依次电性连接各所述采集点，并依次测量各所述采集点所对应电路通道的电阻。

由此能够测量得到采集器在该位置下所对应的所有的电路通道的电阻。

其中，采集器的内部结构及切换内部电路的具体方法属于现有技术，为本领域技术人员所熟知，故在此不做赘述。

步骤四、改变采集器的位置，使采集点与其余所述触点电性接触，重复上述步骤直至所有电路通道的电阻均被测得。

由此，能够测量得到待测探针卡2所有所需测量的电路通道的电阻。

步骤五、根据一预先设定的断路标准值判断各电路通道是否断路，当测得电阻大于或等于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道断路，待测探针卡2出现不良品，当测得电阻小于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道未断路。

该断路标准值需要根据实际情况得出，故本文中未提出具体数值。

由于本实施例中通道转接板4可拆卸地安装在母板3上，断路检测时需要将通道转接板4拆下以将母板3暴露出来；在实际实施中，也可使通道转接板4设置在母板3一旁，通过线路使二者连接，这样无需拆下通道转接板4就可使采集器直接连接到母板3上。

所述短路漏电检测方法包括如下步骤：

步骤六、将所述机台1上的所述通道转接板4和所述绝缘板7装上；将所述第一采集器51电性连接在所述通道转接板4的第一转接区域41上，使该第一采集器51上的采集点与第一转接区域41上的第一转接点43电性接触，将所述第二采集器52电性连接在所述通道转接板4的第二转接区域42上，使该第二采集器52上的采集点与第二转接区域42上的第二转接点44电性接触；将所述欧姆表8的第一测量电极81电性连接到所述第一采集器51，第二测量电极82电性连接到所述第二采集器52。

由此，欧姆表8的两个电极能够通过第一采集器51和第二采集器52，分别对应到待测探针卡2两个电路通道的上端，从而得以测量这两个电路通道之间的电阻。

步骤七、控制所述金属导电面6上升，直至所述绝缘板7的上表面接触所述待测探针卡2的所有针脚。

由此，使待测探针卡2中电路通道的下端受到压迫，以模拟实际安装时的状态，同时保持与外界绝缘。

步骤八、控制所述第一采集器51切换内部电路，使所述第一测量电极81依次电性连接所述第一采集器51上的所有采集点，同时控制所述第二采集器52切换内部电路，使所述第二测量电极82依次电性连接所述第二采集器52上的所有采集点，直至测得所述第一采集器51上任一采集点与所述第二采集器52上任一采集点之间所有排列组合下的电阻。

例如本实施例中第一采集器51和第二采集器52均具有60个采集点，在该步骤中需要切换并测量3600组排列组合。

步骤九、通过所述第一机械手改变所述第一采集器51的位置，使该第一采集器51上的采集点与其余所述第一转接点43电性接触，并通过所述第二机械手改变所述第二采集器52的位置，使该第二采集器52上的采集点与其余所述第二转接点44电性接触；重复上述步骤，直至第一转接区域41中任一第一转接点43与第二转接区域42中任一第二转接点44之间所有排列组合下的电阻均被测得；

例如本实施例中第一转接点43和第二转接点44均具有5400个，第一采集器51和第二采集器52的位置存在4005种排列组合，一共需要测量14418000组第一转接点43和第二转接点44之间的电阻；使用本装置自动进行测量虽然也会花费较多时间，但相比于依靠人力测量时难以想象的工作量，已经极大减少了工作量和时间成本，同时解放了人力。

步骤十、根据一预先设定的短路标准值及一预先设定的漏电标准值，判断各所述电路通道之间是否存在短路或漏电；当两个所述电路通道之间的测得电阻小于或等于所述短路标准值时，则代表该两个电路通道短路，当测得电阻大于所述短路标准值且小于或等于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道漏电，当测得电阻大于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道正常。

该短路标准值及漏电标准值需要根据实际情况得出，故本文中未提出具体数值。

本实施例中，对测得电阻的判断过程由一上位机实现，其具体的硬件和软件设置均为现有技术，为本领域技术人员所熟知，故在此不作赘述。

本多通道探针卡的电性测试装置及测试方法中，将待测探针卡2上的各PAD点分两路电性连接到第一转接区域41的第一转接点43上和第二转接区域42的第二转接点44上，再通过设置两个采集器，配合机械运动结构分别对两个转接区域的转接点进行一一采集，从而能够在采集器采集点数量较少的情况下，实现对较多通道数量探针卡的电性检测，节约了设备成本和人力成本。

上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种用于多通道探针卡的电性测试装置，其特征在于：

包括一机台（1），该机台（1）上设有探针卡摆放位，该探针卡摆放位用于定位一待测探针卡（2）；

所述探针卡摆放位下方设有一金属导电面（6），该金属导电面（6）用于对应接通所述探针卡摆放位的待测探针卡（2）下表面上的针脚，且所述金属导电面（6）由一升降机构驱动进行升降；

所述探针卡摆放位上方设有一母板（3），所述母板（3）上设有多个触点，所述触点与所述探针卡摆放位的待测探针卡（2）上的PAD点一一对应并电性连接；

对应所述母板（3）设有通道转接板（4），所述通道转接板（4）上设有第一转接区域（41）和第二转接区域（42），所述第一转接区域（41）设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第一转接点（43），所述第二转接区域（42）设有与各所述触点一一对应且构成电性连接的第二转接点（44），以使各所述触点一分为二电性连接到对应的第一转接点（43）和第二转接点（44）上；

所述机台（1）上设有对应所述第一转接区域（41）设置的第一机械手和对应所述第二转接区域（42）设置的第二机械手，所述第一机械手的活动端设有第一采集器（51），所述第二机械手的活动端设有第二采集器（52），所述第一采集器（51）和所述第二采集器（52）上均设有多个采集点，所述采集点与所述触点、所述第一转接点（43）和所述第二转接点（44）相匹配；

所述金属导电面（6）在上方可拆卸地设有一绝缘板（7）；

还包括欧姆表（8），所述欧姆表（8）具有第一测量电极（81）和第二测量电极（82），该欧姆表（8）工作时测量所述第一测量电极（81）与所述第二测量电极（82）之间的电阻。

2.根据权利要求1所述的一种用于多通道探针卡的电性测试装置，其特征在于：所述第一采集器（51）和所述第二采集器（52）所具有的采集点数量相同，且数量为50至100个。

3.根据权利要求2所述的一种用于多通道探针卡的电性测试装置，其特征在于：所述第一采集器（51）和所述第二采集器（52）所具有的采集点数量均为60个，且以5*12的矩阵排列；所述母板（3）上的触点数量为5400个。

4.根据权利要求1所述的一种用于多通道探针卡的电性测试装置，其特征在于：还包括第一三轴移动机构（11）和第二三轴移动机构（12），所述第一机械手由所述第一三轴移动机构（11）驱动，所述第二机械手由所述第二三轴移动机构（12）驱动。

5.根据权利要求1所述的一种用于多通道探针卡的电性测试装置，其特征在于：所述绝缘板（7）为陶瓷板。

6.一种用于多通道探针卡的电性测试方法，其特征在于：该测试方法通过权利要求1中所述的测试装置实现，包括断路检测方法和短路漏电检测方法；

所述断路检测方法中，将所述欧姆表（8）的第一测量电极（81）通过所述金属导电面（6）电性连接到位于所述探针卡摆放位的待测探针卡（2）的针脚上，将所述欧姆表（8）的第二测量电极（82）通过所述第一采集器（51）或所述第二采集器（52）电性连接到所述母板（3），进而通过所述母板（3）电性连接到位于所述探针卡摆放位的待测探针卡（2）的PAD点上，从而测量该PAD点与对应针脚之间构成的电路通道的电阻，并根据一预先设定的断路标准值判断该电路通道是否断路；

所述短路漏电检测方法中，将所述欧姆表（8）的第一测量电极（81）通过所述第一采集器（51）电性连接到一所述PAD点所对应的第一转接点（43）上，将所述欧姆表（8）的第二测量电极（82）通过所述第二采集器（52）电性连接到另一所述PAD点所对应的第二转接点（44）上，从而测量该两个PAD点之间的电阻，并根据一预先设定的短路标准值及一预先设定的漏电标准值，判断是否存在短路或漏电。

7.根据权利要求6所述的一种用于多通道探针卡的电性测试方法，其特征在于：所述断路检测方法具体包括如下步骤；

步骤一、将所述第一采集器（51）或所述第二采集器（52）电性连接在所述母板（3）上，使所述采集点与所述触点电性接触；将所述欧姆表（8）的第一测量电极（81）电性连接到所述金属导电面（6），第二测量电极（82）电性连接到所述第一采集器（51）或所述第二采集器（52）；

步骤二、控制所述金属导电面（6）上升，直至该金属导电面（6）的上表面电性接触所述待测探针卡（2）的所有针脚；

步骤三、控制所述第一采集器（51）或所述第二采集器（52）切换内部电路，使欧姆表（8）的第二测量电极（82）依次电性连接各所述采集点，并依次测量各所述采集点所对应电路通道的电阻；

步骤四、改变采集器的位置，使采集点与其余所述触点电性接触，重复上述步骤直至所有电路通道的电阻均被测得；

步骤五、根据所述预先设定的断路标准值判断各电路通道是否断路，当测得电阻大于或等于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道断路，当测得电阻小于所述断路标准值时，则代表对应的电路通道未断路。

8.根据权利要求6所述的一种用于多通道探针卡的电性测试方法，其特征在于：所述短路漏电检测方法具体包括如下步骤；

步骤六、将所述绝缘板（7）安装在所述金属导电面（6）上；将所述第一采集器（51）电性连接在所述通道转接板（4）的第一转接区域（41）上，使该第一采集器（51）上的采集点与第一转接区域（41）上的第一转接点（43）电性接触，将所述第二采集器（52）电性连接在所述通道转接板（4）的第二转接区域（42）上，使该第二采集器（52）上的采集点与第二转接区域（42）上的第二转接点（44）电性接触；将所述欧姆表（8）的第一测量电极（81）电性连接到所述第一采集器（51），第二测量电极（82）电性连接到所述第二采集器（52）；

步骤七、控制所述金属导电面（6）上升，直至所述绝缘板（7）的上表面接触所述待测探针卡（2）的所有针脚；

步骤八、控制所述第一采集器（51）切换内部电路，使所述第一测量电极（81）依次电性连接所述第一采集器（51）上的所有采集点，同时控制所述第二采集器（52）切换内部电路，使所述第二测量电极（82）依次电性连接所述第二采集器（52）上的所有采集点，直至测得所述第一采集器（51）上任一采集点与所述第二采集器（52）上任一采集点之间所有排列组合下的电阻；

步骤九、通过所述第一机械手改变所述第一采集器（51）的位置，使该第一采集器（51）上的采集点与其余所述第一转接点（43）电性接触，并通过所述第二机械手改变所述第二采集器（52）的位置，使该第二采集器（52）上的采集点与其余所述第二转接点（44）电性接触；重复上述步骤，直至第一转接区域（41）中任一第一转接点（43）与第二转接区域（42）中任一第二转接点（44）之间所有排列组合下的电阻均被测得；

步骤十、根据所述预先设定的短路标准值及所述预先设定的漏电标准值，判断各所述电路通道之间是否存在短路或漏电；当两个所述电路通道之间的测得电阻小于或等于所述短路标准值时，则代表该两个电路通道短路，当测得电阻大于所述短路标准值且小于或等于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道漏电，当测得电阻大于所述漏电标准值时，则代表该两个电路通道正常。

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