CN114717636B - 一种太阳能电池电镀装置、电镀系统装置及电镀方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种太阳能电池电镀装置、电镀系统装置及电镀方法，包括具有内腔的喷盘，喷盘沿轴向开设有至少一个四周封闭的回流通道，回流通道由所述喷盘一侧表面贯穿至另一侧表面，喷盘的一侧表面还开设有至少一个通孔，喷盘上开设有与内腔连通的入口；喷盘开设通孔的一侧表面依次层叠设置有多孔阳极和吸液层，吸液层上方间隔设置有阴极，多孔阳极和阴极接入电源；吸液层和阴极之间设置有电池片。本发明利用喷盘垂直向上对吸液层喷淋药液进行电镀，无需浸泡，确保了电镀的可靠性，采用吸液层作为电池片电镀过程的载体，利用吸液层的吸水效应形成超薄液膜，不会产生药液液面波动情况，极大地提升了电镀过程稳定性。

Description

一种太阳能电池电镀装置、电镀系统装置及电镀方法

技术领域

本发明属于电镀技术领域，涉及一种太阳能电池电镀装置、电镀系统装置及电镀方法。

背景技术

太阳能光伏电池按照基板材质分为单晶硅、多晶硅、薄膜电池、单品化合物、多晶化合物等多种类型。无论是硅基太阳能电池还是薄膜电池，光电转换效率是衡量该太阳能光伏电池的重要技术指标，如何有效提高光电转换效率成为技术提升的焦点。影响太阳能光电转换效率的因素包括电池基片晶格质量、PN结质量、基片绒面质量、减反射膜质量、金属电极导电率及接触电阻等。其中，改进电极金属化工艺可以有效提高光电转换效率。

传统的电极是采用平面丝网刷镀银粉然后烧结而成，但是这种方法制备的电极宽度通常最少为70~90μm，具有很大的表面覆盖率和高的串联电阻，对电池的效率影响很大。理想的电极应具有低的串联电阻和小的表面覆盖率为了得到这样的电极，研究者开发出激光刻槽埋栅电极工艺。这种方法是在表面受到保护的轻掺杂基体上，用激光刻划出电极槽，经过清洗之后对电极槽区域进行重掺 杂，最后将不同合金（如镍、铜、银）按照不同顺序采用电镀法沉积到电极槽内形成电极。用这种方法制备的电极宽度很窄(20~25μm)，具有很低的表面覆盖率，而且还具有高的纵深比，能够更好地吸收载流子。因此，采用电镀法进行硅电池的电极制作，可以有效提高硅太阳能电池转换效率。

目前，晶硅电池片表面的栅线均为通过丝网印刷银浆制成，随着市场需求的增大，银浆已无法进一步满足晶硅电池片的扩容，因此，降低银浆耗量或使用贱金属替代成为研究热点。能够替代银，且电阻率与银接近的金属为铜，采用铜浆很难实现，且烧结温度高、容易氧化，限制了铜浆的使用，因此，电化学沉积铜，成为替代银浆的最优方案。

市场上对于电化学沉积铜的方案，主要采用水平式和垂直式两大类，垂直式需要夹具，且会有夹持点，因此会带来电池片栅线完整性问题。采用水平方式的技术解决方案也较多。

CN212077175U公开了一种无上电极水平电镀装置，包括若干个等高设置的电解质溶液槽，待电镀基片位于电解质溶液槽上面与且下表面与电解质溶液接触，待电镀基片下表面分为待电镀区域及非电镀区域，待电镀区域表面为导电材料，非电镀区域表面为不导电材料，待电镀基片下表面电相连有水平传输装置和阴极导电装置，水平传输装置和阴极导电装置与电解质溶液槽间隔设置，水平传输装置带动待电镀基片水平运动，电解质溶液内设置有金属阳极，阴极导电装置与金属阳极分别与外置偏压电源的负极和正极相连。但是该方案中采用的电解质溶液来导电，在阴极容易发生直接电化学还原，而导致传输到工作区的电流密度较低，影响电镀效率。

CN108660500A公开了一种水平电化学沉积金属的方法，将半导体器件进行水平移动，同时采用整面接触式或多点接触式使上电极与半导体器件上表面进行接触，半导体器件下方待电化学沉积金属表面与电解液溶液接触，电解质溶液中的金属离子获得电子并沉积在其表面，上电极与电解质溶液接触的半导体器件下表面之间的电位差通过光诱导，外加电压或两者结合实现。

CN106103812A公开了一种使用作为要被电镀的对象的单面光接收型太阳能电池基板或双面光接收型太阳能电池基板的光诱导镀和正向偏压镀二者的太阳能电池基板电镀装置，并且提供了一种使用光诱导镀和正向偏压镀二者的太阳能电池基板电镀装置，该太阳能电池基板电镀装置包括：电镀槽，其容纳电镀液；多个辊单元，其以预定间隔分开布置以在所述基板的一个表面被浸入所述电镀液中的状态下水平移动所述基板；第一电镀单元，其被布置在所述辊单元之间，并且通过在所述电镀液中在密封状态下向所述基板发射光来执行光诱导镀；以及第二电镀单元，其被浸入所述电镀液中以便经由布置在所述第一电镀单元的底部的阳极构件对所述太阳能电池基板执行所述正向偏压镀。中采用了不同的接电模式，防止阴极与药液直接接触，避免直接进行药液还原。

该类方案都是利用了药液的表面张力，使电镀区域的电池片表面可以浸满电镀药液。但是由于整片电镀过程是伴随着输送过程的，电池片传输行进过程中，阴极面必须不停切换接电位置，导致背面接电电阻持续变化，电镀均匀性不能得到保障，且同样由于电池片传输，为了扩大产能，该类型的电镀势必需要增加线速，在快速前进的水平电镀模式下，同样由于表面张力与传输精度的影响，很难做到药液页面的平稳，会出现药液上翻至阴极面的现象，导致非电镀面上的金属出现电解、或阴极上直接还原而导致不良。

由此可以看出，现有的垂直电镀需要夹具，从而会出现夹持点的无效区，导致栅线不连续，因此很少被采用；现有的水平电镀主要采用主要分为两大类，一类是两面同时电镀，采用的药液喷洒后用多孔高分子材料吸取药液的方式，该方法由于硅片表面为亲水性，所以很难吸取干净，导致药液残留，从而使阴极直接与药液接触，导致产品不良；另一类为正向偏压电镀，该类方式为水上漂模式，主要利用药液的表面张力，但是在快速运行过程中，药液很容易随着滚轮翻到硅片上表面，导致电解或电刷上液，从而导致产品不良。由于上述电镀方式的原理限制，电镀过程中无法使用可变电流控制电镀过程，无法优化镀层的表面质量与电镀时间。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明的目的在于提供一种太阳能电池电镀装置、电镀系统装置及电镀方法，本发明利用喷盘垂直向上对吸液层喷淋药液进行电镀，无需浸泡，确保了电镀的可靠性，采用吸液层作为电池片电镀过程的载体，利用吸液层的吸水效应形成超薄液膜，不会产生药液液面波动情况，极大地提升了电镀过程稳定性。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

第一方面，本发明提供了一种太阳能电池电镀装置，所述太阳能电池电镀装置包括具有内腔的喷盘，所述喷盘沿轴向开设有至少一个四周封闭的回流通道，所述回流通道由所述喷盘一侧表面贯穿至另一侧表面，所述喷盘的一侧表面还开设有至少一个通孔，所述喷盘上开设有与所述内腔连通的入口；

所述喷盘开设通孔的一侧表面依次层叠设置有多孔阳极和吸液层，所述吸液层上方间隔设置有阴极，所述多孔阳极和阴极接入电源；所述吸液层和所述阴极之间设置有电池片，所述电池片的两侧表面分别接触所述吸液层和所述阴极，通过所述入口向所述内腔喷入药液，药液由所述通孔喷出后穿过所述多孔阳极浸润所述吸液层，所述吸液层内的药液在重力作用下穿过所述回流通道后收集，实现新旧药液的置换。

本发明提供的太阳能电池电镀装置在电镀过程中，保持阴极、电池片、吸液层和多孔阳极之间形成一体式静态结构布置，确保阴极与电池片的非镀面之间保持静态接触，电源开启后，利用电池片的半导体特性，电池片的受镀面与非镀面实现导通。电池片的受镀面与吸液层之间保持静态接触，吸液层的两侧表面分别与电池片和多孔阳极贴合。多孔阳极下方采用喷盘对多孔阳极与吸液层进行药液喷涌和置换，利用喷涌压力使得新药液渗透至吸液层内部，同时，旧药液在重力作用下经回流通道回收，实现新药液和旧药液的持续置换，保持电镀所需的离子浓度在稳定范围内。同时，在药液的作用下，使得电池片、吸液层与多孔阳极之间形成表面张力，保证电镀过程中三者紧密贴合，电池片的受镀面整面形成均匀的药液液膜且药液不会翻涌至电池片的非镀面，实现高可靠性电镀过程。在电源的持续作用下，阳极电力线穿透吸液层达到电池片的受镀面，药液中的铜离子在电场作用下在电池片的受镀面进行均匀沉积，从而实现电池片的无盲区电镀过程。使用本发明提供的太阳能电池电镀装置进行施镀，可以有效防止药液翻涌至电池片的非镀面导致电镀不均匀，且电池片的受镀面在药液表面张力的吸附作用下，其受镀面整面与吸液层之间可以紧密贴合，防止了电池片施镀后由于两面受应力不均导致翘曲，从而影响边缘施镀问题。本发明利用喷盘垂直向上对吸液层喷淋药液进行电镀，无需浸泡，确保了电镀的可靠性，采用吸液层作为电池片电镀过程的载体，利用吸液层的吸水效应形成超薄液膜，不会产生药液液面波动情况，极大地提升了电镀过程稳定性。

本发明提供太阳能电池电镀装置的核心部件是喷盘，通过喷盘入口通入药液，药液经喷盘表面密布的通孔向多孔阳极均匀喷射，多孔阳极通过多孔阳极表面的多孔结构，将药液源源不断输送至吸液层内，使得吸液层充分吸收喷射的药液，并在重力作用下将吸液层内吸取的药液进行回流收集，可以对吸液层内的药液进行补充和置换。通过控制进液流量，喷盘通孔喷出药液的冲击力得到有效控制，从而在吸液层表面形成约50μm左右的液膜并不停置换。喷盘通孔向多孔阳极喷射药液后，吸液层内的旧药液在重力作用下通过回流通道回流后收集。

本发明提供的太阳能电池电镀装置在使用时，通过抓取机构将电池片放置于吸液层表面，吸液层表面布满药液液膜，利用表面张力使电池片紧贴在吸液层表面。阴极下降直至与电池片贴合，随即通电并启动药液喷淋。电镀过程中，阴极持续紧贴电池片，根据电镀需求输出相应电流图形，直至电镀完成。

需要说明的是，本发明中限定的阴极优选采用电刷型阴极，电刷型阴极用于将电源负极与电池片的非电镀面进行电性连接，由于电镀过程中电池片与电刷型阴极相对静止，因此可将电刷型阴极大面积覆盖电池片，保证电池片的非电镀面各区域均能有效通电，也因通电时电刷型阴极与电池片之间保持相对静止，使得整个电镀过程作用于电池片的电流/电压稳定，使电池片的施镀面的栅线位置电流密度均匀。

本发明设计的多孔阳极上开设有至少一个通孔，使得喷盘药液能够顺利通过阳极喷射到吸液层内，本发明利用多孔阳极的多孔结构屏蔽与传递电力线，实现多孔阳极与阴极之间的超近距离布置。

本发明采用电池片独立电镀的方式，即每片电池片均采用单独的太阳能电池电镀装置，可根据产能需求自由设置相应数量的太阳能电池电镀装置，电池片电镀过程中为静置状态，采用程序电镀模式，可以自由设定电流曲线，不仅可以防止药液翻涌到电池片的非受镀面，还可以通过逐步增加电流密度的方式来缩短工艺时间，提升电镀效率。

本发明提供的吸液层采用多孔高分子材料，利用多孔高分子材料的多孔结构，能充分吸收喷盘喷射出来的药液并与安置在吸液层上的电池片电镀面充分接触，多孔阳极与阴极由于距离过近而产生的强大电力线能被有效削弱，使得电场温和的作用在电池片的电镀面上，提升电镀的均一性。同样由于多孔高分子材料的阻隔作用和多孔结构，多孔阳极与阴极的距离可以设计的很近，有效规避了边缘放电效应引起的电镀不均现象，保证了整体电镀的均一性。可选地，本发明提供的多孔高分子材料可以采用发泡聚丙烯、发泡聚氯乙烯、发泡聚乙烯醇等能对药液化学耐受的多孔结构材料。

作为本发明一种优选的技术方案，所述喷盘远离多孔阳极的一侧还设置有集液槽，所述集液槽与所述回流通道的一端对接，所述集液槽底部开设有回流口，所述吸液层内的药液穿过所述回流通道后流入所述集液槽内，并由所述回流口排出。

作为本发明一种优选的技术方案，所述喷盘表面与所述多孔阳极之间还设置有框架结构的阳极隔板，所述阳极隔板沿所述多孔阳极下表面的周向外缘设置。

所述多孔阳极的上表面还设置有框架结构的阳极压板，所述阳极压板沿所述多孔阳极上表面的周向外缘设置，所述多孔阳极的周向外缘夹设于所述阳极隔板与所述阳极压板之间。

本发明提供的阳极隔板的主要功能为支撑多孔阳极以及对喷盘喷射的药液进行缓冲。药液从喷盘喷出后，通过阳极隔板使得阳极与喷盘之间形成一定的间隔，保证了药液喷出和药液回流的流道通畅，降低了喷盘直接喷射出药液的冲击力。阳极隔板的上表面用于承载阳极，确保了阳极与喷盘之间的高度一致性。本发明提供的阳极压板用于将多孔阳极固定在阳极隔板上，防止多孔阳极移动，并利用阳极压板使得吸液层与多孔阳极紧密贴合。

作为本发明一种优选的技术方案，所述阳极压板为阶梯截面的框架结构，所述阳极压板包括由下至上同轴设置的第一压板和第二压板，所述第一压板和第二压板均为框架结构；所述第一压板的外周与所述第二压板的外周对齐，所述第一压板的内周尺寸大于所述第二压板的内周尺寸。

所述阳极隔板、所述多孔阳极、所述阳极压板和所述吸液层由下至上依次层叠后，所述多孔阳极嵌入所述第一压板内部，所述第一压板的下表面与所述阳极隔板的上表面接触，所述吸液层的至少部分嵌入所述第二压板内部。

作为本发明一种优选的技术方案，所述吸液层外周还设置有框架结构的保护板，所述保护板的上表面高于所述吸液层的上表面，所述保护板用于限制所述阴极下降的最低位置，所述阴极下降至所述保护板高度处抵住所述保护板的上表面。

本发明提供的保护板主要用于限制阴极的下降高度，防止阴极高度过低压伤电池片。在电镀过程中，阴极下降至保护板高度处，阴极底部导电部则与电池片接触，确保了每次阴极的下降位置一致，保证了每次阴极对电池片的压力一致，确保了接触电阻的稳定性。

第二方面，本发明提供了一种包括第一方面所述的太阳能电池电镀装置的电镀系统装置，所述电镀系统装置包括循环连接的电镀模块、进液模块和回流模块，所述进液模块向电镀模块内输入药液，电池板在电镀模块中进行电镀，吸液层内的药液经回流模块收集后返回进液模块，循环利用；

所述电镀模块为第一方面所述的太阳能电池电镀装置。

本发明提供的电镀系统装置中，进液模块和回流模块作为辅助单元用于辅助电镀模块完成电镀，回流模块负责补充药液并对药液进行充分循环，使得药液的浓度与温度均匀稳定。在电镀模式下，进液模块开启，持续向电镀模块（即本发明限定的太阳能电池电镀装置）输入药液，电镀模块内的喷盘密布的通孔使得喷盘上表面的多孔阳极与吸液层得到充分润湿并达到药液置换的目的。抓取机构将一片或多片电池片抓取至对应数量的电镀模块上，利用吸液层表面的药液张力使得电池片充分贴合于吸液层表面，此时阴极下降至与电池片背面充分接触，下降到指定位置后，电源对阴极和多孔阳极通电，电镀过程中电源可以根据工艺需求灵活的输出特定电流图形，直至电镀过程结束。

作为本发明一种优选的技术方案，所述电镀系统装置还包括抽气模块和进气模块，所述抽气模块和进气模块分别独立接入所述电镀模块。

所述抽气模块包括抽气管路，所述抽气管路接入所述喷盘的入口，通过所述抽气管路对喷盘内腔抽气，将吸液层内的药液吸出。

在本发明中，抽气模块作为辅助单元，主要用于辅助提升电池片更换的稳定性和电池片的更换速率。当电池片电镀完成后，开启抽气模块，利用系统真空将电镀模块内吸液层中的药液吸出，一方面可以对吸液层内的药液进行有效回收，另一方面吸出药液后也降低了吸液层与电池片之间的表面张力，保证后阶段电池片稳定并快速脱离，同时也大幅减少电池片将表面的药液携带到下一工序单元。

需要说明的是，本发明中的抽气管路上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类等不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现抽气功能即可，示例性地，抽气管路上沿抽气方向依次设置有第一手动阀、缓冲罐和第二自动阀，其中，缓冲罐底部还设置有第一自动阀。

所述进气模块包括进气管路，所述进气管路接入所述喷盘的入口，通过所述进气管路向喷盘内腔中通气，使得所述电池片与所述吸液层脱离。

在本发明中，进气模块作为辅助单元，与抽气模块配合使用，当电池片电镀完成后，首先通过抽气模块将吸液层内的药液吸出，降低吸液层与电池片之间的表面张力，随后关闭抽气模块并使用进气模块向太阳能电池电镀装置进行微量供气，使得太阳能电池电镀装置内的电池片呈现气浮状态，从而克服吸液层与电池片之间的表面张力，使得电池片能顺利脱离吸液层，脱离后的电池片根据生产需求，配套自动化机构将电池片转移至后续工序。根据产能需求，进气模块可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置。

需要说明的是，本发明中的进气管路上还设置有必要的阀门和压力计等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现进气功能即可，示例性地，进气管路上沿进气方向依次设置有第二手动阀、调压阀、第一压力计、第一过滤器、第三自动阀、止逆阀和第二压力计。

作为本发明一种优选的技术方案，所述进液模块包括进液管路，所述进液管路的入口端接入所述回流模块，所述进液管路的出口端接入所述喷盘的入口。

本发明中，进液模块与电镀模块连接，用于向电镀模块提供稳定的药液供给，根据产能需求，进液模块可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置。进液模块的主要功能包括：（1）用于将储液槽内的药液输入太阳能电池电镀装置；（2）精确控制与监控太阳能电池电镀装置内的药液流量；（3）过滤进液过程中药液内的杂质，保证药液洁净度；（4）可通过自动阀切断太阳能电池电镀装置的药液供给并切换至进气模块进气。

电镀过程结束后，回流模块与进液模块关闭，抽气模块开启，充分吸收并回收吸液层内部药液。随后，抽气模块关闭，进气模块开启，得益于吸液层的多孔结构，微量的气体即可使得电池片在吸液层表面达到气浮的状态，使得电池片与吸液层脱离，此时抓取机构可将电池片抓取并移动至下一个单元，整个过程结束。

需要说明的是，本发明中的进液模块上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现进液功能即可，示例性地，所述进液管路上沿药液流向包括依次设置的第三手动阀、建浴泵、第四手动阀、第三压力计、第二过滤器、第四压力计、第五手动阀、流量计和第四自动阀。

所述回流模块包括储液槽，所述储液槽内储存有药液，所述喷盘的回流口接入所述储液槽；所述储液槽外接循环管路，所述循环管路上设置有循环泵。

本发明中，回流模块包括储液槽及配套的阀门等，用于切断或开启药液回流，根据产能需求，回流模块可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置。回流模块主要包括储液槽，储液槽与太阳能电池电镀装置之间的连接管路上设置有第五自动阀，用于切断或开启回流。当进气模块或抽气模块开启且进液模块关闭时，回流模块的第五自动阀关闭，切断药液回流，使得气体从太阳能电池电镀装置中吸液层表面逸出，从而达成电池片气浮并脱离吸液层表面的目的。

其中，储液槽用于保障电镀过程的药液物理状态的稳定。根据产能需求，储液槽可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置。储液槽的主要功能包括：（1）储存药液，（2）与太阳能电池电镀装置形成药液循环，（3）通过设置循环管路实现槽内循环，确保药液的浓度与温度的稳定。

需要说明的是，本发明中的循环管路上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现循环功能即可，示例性地，进气管路上沿药液流向依次设置有第六手动阀、循环泵和第七手动阀。

第三方面，本发明提供了一种第一方面所述电镀系统装置的电镀方法，所述电镀方法包括：

进液模块向喷盘入口输入药液，药液由喷盘表面的通孔喷出后穿过多孔阳极浸润吸液层，电池片送入多孔阳极和阴极之间并与吸液层和阴极接触进行电镀，吸液层内的药液穿过喷盘的回流通道后流入回流模块，回流模块将收集的药液返回进液模块，循环利用。

作为本发明一种优选的技术方案，所述电镀方法还包括：

电镀结束后，通过抽气管路对喷盘内腔抽气，将吸液层内的药液吸出，通过进气管路向喷盘内腔中通气，使得电池片与吸液层脱离。

所述系统是指设备系统、装置系统或生产装置。

与现有技术相比，本发明的有益效果为：

（1）本发明提供的太阳能电池电镀装置在电镀过程中，保持阴极、电池片、吸液层和多孔阳极之间形成一体式静态结构布置，确保阴极与电池片的非镀面之间保持静态接触，电源开启后，利用电池硅片半导体特性，电池片受镀面与非镀面实现导通。电池片的受镀面与吸液层之间保持静态接触，吸液层的两侧表面分别与电池片和多孔阳极贴合。多孔阳极下方采用喷盘对多孔阳极与吸液层进行药液喷涌，利用喷涌压力使得新药液渗透至吸液层内部，同时，旧药液在重力作用下经回流通道回收，实现新药液和旧药液的持续置换，保持电镀所需的离子浓度在稳定范围内。同时，在药液的作用下，使得电池片、吸液层与多孔阳极之间形成表面张力，保证电镀过程中三者紧密贴合，电池片受镀面整面形成均匀的药液液膜且药液不会翻涌至非镀面，实现高可靠性电镀过程。在电源的持续作用下，阳极电力线穿透吸液层达到电池片的受镀面，药液中的铜离子在电场作用下在电池片的受镀面进行均匀沉积，从而实现电池片无盲区电镀过程。使用本发明提供的太阳能电池电镀装置进行施镀，可以有效防止药液翻涌至电池片的非镀面导致电镀不均匀，且电池片的受镀面在药液表面张力的吸附作用下，其受镀面整面与吸液层之间可以紧密贴合，防止了电池片施镀后由于两面受应力不均导致翘曲，从而影响边缘施镀问题。本发明利用喷盘垂直向上，对吸液层喷淋药液进行电镀，无需浸泡，确保了电镀可靠性，利用吸液层作为电池片电镀过程的载体，利用吸液层的吸水效应形成超薄液膜，不会产生药液液面波动情况，极大地提升了电镀过程稳定性。

（2）本发明提供太阳能电池电镀装置的核心部件是喷盘，通过喷盘入口通入药液，药液经喷盘表面密布的通孔向多孔阳极均匀喷射，多孔阳极通过阳极表面的多孔结构，将药液源源不断输送至吸液层内，使得吸液层充分吸收喷射的药液，并利用重力实时将吸液层内的药液进行回流收集，实现了对吸液层内的药液金属离子补充功能与药液置换功能。通过控制进液流量，喷盘通孔喷出药液的冲击力得到有效控制，从而在吸液层表面形成约50μm左右的液膜并不停置换。喷盘通孔向多孔阳极喷射药液后，吸液层内的旧药液在重力作用下通过回流通道回流后收集。

（3）本发明提供的太阳能电池电镀装置在使用时，通过抓取机构将电池片放置于吸液层表面，吸液层表面布满药液液膜，利用表面张力使电池片紧贴在吸液层表面。阴极下降直至与电池片贴合，随即通电并启动药液喷淋。电镀过程中，阴极持续紧贴电池片，根据电镀需求输出相应电流图形，直至电镀完成。

（4）本发明中限定的阴极优选采用电刷型阴极，电刷型阴极用于将电源负极与电池片的非电镀面进行电性连接，由于电镀过程中电池片与电刷型阴极相对静止，因此可设计将电刷型阴极大面积覆盖电池片，保证电池片的非电镀面各区域均能有效通电，也因通电时电刷型阴极与电池片之间保持相对静止，使得整个电镀过程作用于电池片的电流/电压稳定，使电池片的施镀面的栅线位置电流密度均匀。

（5）本发明设计的多孔阳极上开设有至少一个通孔，使得喷盘药液能够顺利通过阳极喷射到吸液层内，本发明利用多孔阳极的多孔结构屏蔽与传递电力线，实现多孔阳极与阴极之间的超近距离布置。

（6）本发明采用电池片独立电镀的方式，即每片电池片均采用单独的太阳能电池电镀装置，可根据产能需求自由设置相应数量的太阳能电池电镀装置，电池片电镀过程中为静置状态，采用程序电镀模式，可以自由设定电流曲线，不仅可以防止药液翻涌到电池片的非受镀面，还可以通过逐步增加电流密度的方式来缩短工艺时间，提升电镀效率。

（7）本发明提供的吸液层采用多孔高分子材料，利用多孔高分子材料的多孔结构，能充分吸收喷盘喷射出来的药液并与安置在吸液层上的电池片电镀面充分接触，多孔阳极与阴极由于距离过近而产生的强大电力线能被有效削弱，使得电场温和的作用在电池片的电镀面上，提升电镀的均一性。同样由于多孔高分子材料的阻隔与多孔作用，多孔阳极与阴极的距离可以设计的很近，同步有效规避了边缘放电效应引起的电镀不均现象，保证了整体电镀的均一性。可选地，本发明提供的多孔高分子材料可以采用发泡聚丙烯、发泡聚氯乙烯、发泡聚乙烯醇等能对药液化学耐受的多孔结构材料。

附图说明

图1为本发明一个具体实施方式提供的太阳能电池电镀装置的结构示意图；

图2为本发明一个具体实施方式提供的喷盘的结构示意图；

图3为本发明一个具体实施方式提供的阳极隔板的结构示意图；

图4为本发明一个具体实施方式提供的阳极压板的结构示意图；

图5为本发明一个具体实施方式提供的电镀过程示意图；

图6为本发明一个具体实施方式提供的电镀系统装置的结构示意图；

其中，1-喷盘；2-阳极隔板；3-阳极压板；4-电源；5-阴极；6-保护板；7-吸液层；8-多孔阳极；9-回流口；10-入口；11-集液槽；12-通孔；13-回流通道；14-电池片；15-抽气模块；16-进气模块；17-进液模块；18-回流模块；19-太阳能电池电镀装置；20-第一手动阀；21-第一自动阀；22-缓冲罐；23-第二自动阀；24-第二手动阀；25-调压阀；26-第一压力计；27-第一过滤器；28-第三自动阀；29-止逆阀；30-第二压力计；31-第三手动阀；32-建浴泵；33-第四手动阀；34-第三压力计；35-第二过滤器；36-第四压力计；37-第五手动阀；38-流量计；39-第四自动阀；40-储液槽；41-第六手动阀；42-循环泵；43-第七手动阀；44-第五自动阀。

具体实施方式

需要理解的是，在本发明的描述中，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

需要说明的是，在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。

在一个具体实施方式中，本发明提供了一种太阳能电池电镀装置19，如图1所示，所述太阳能电池电镀装置19包括具有内腔的喷盘1，如图2和图5所示，所述喷盘1沿轴向开设有至少一个四周封闭的回流通道13，所述回流通道13由所述喷盘1一侧表面贯穿至另一侧表面，所述喷盘1的一侧表面还开设有至少一个通孔12，所述喷盘1上开设有与所述内腔连通的入口10；

所述喷盘1开设通孔12的一侧表面依次层叠设置有多孔阳极8和吸液层7，所述吸液层7上方间隔设置有阴极5，所述多孔阳极8和阴极5接入电源4；所述吸液层7和所述阴极5之间设置有电池片14，所述电池片14的两侧表面分别接触所述吸液层7和所述阴极5，通过所述入口10向所述内腔喷入药液，药液由所述通孔12喷出后穿过所述多孔阳极8浸润所述吸液层7，所述吸液层7内的药液在重力作用下穿过所述回流通道13后收集，实现新旧药液的置换。本发明提供的太阳能电池电镀装置19在电镀过程中，保持阴极5、电池片14、吸液层7和多孔阳极8之间形成一体式静态结构布置，确保阴极5与电池片14的非镀面之间保持静态接触，电源4开启后，利用电池片14的半导体特性，电池片14的受镀面与非镀面实现导通。电池片14的受镀面与吸液层7之间保持静态接触，吸液层7的两侧表面分别与电池片14和多孔阳极8贴合。多孔阳极8下方采用喷盘1对多孔阳极8与吸液层7进行药液喷涌和置换，利用喷涌压力使得新药液渗透至吸液层7内部，同时，旧药液在重力作用下经回流通道13回收，实现新药液和旧药液的持续置换，保持电镀所需的离子浓度在稳定范围内。同时，在药液的作用下，使得电池片14、吸液层7与多孔阳极8之间形成表面张力，保证电镀过程中三者紧密贴合，电池片14的受镀面整面形成均匀的药液液膜且药液不会翻涌至电池片14的非镀面，实现高可靠性电镀过程。在电源4的持续作用下，阳极电力线穿透吸液层7达到电池片14的受镀面，药液中的铜离子在电场作用下在电池片14的受镀面进行均匀沉积，从而实现电池片14的无盲区电镀过程。使用本发明提供的太阳能电池电镀装置19进行施镀，可以有效防止药液翻涌至电池片14的非镀面导致电镀不均匀，且电池片14的受镀面在药液表面张力的吸附作用下，其受镀面整面与吸液层7之间可以紧密贴合，防止了电池片14施镀后由于两面受应力不均导致翘曲，从而影响边缘施镀问题。本发明利用喷盘1垂直向上对吸液层7喷淋药液进行电镀，无需浸泡，确保了电镀的可靠性，采用吸液层7作为电池片14电镀过程的载体，利用吸液层7的吸水效应形成超薄液膜，不会产生药液液面波动情况，极大地提升了电镀过程稳定性。

本发明提供太阳能电池电镀装置19的核心部件是喷盘1，通过喷盘1入口10通入药液，药液经喷盘1表面密布的通孔12向多孔阳极8均匀喷射，多孔阳极8通过多孔阳极8表面的多孔结构，将药液源源不断输送至吸液层7内，使得吸液层7充分吸收喷射的药液，并在重力作用下将吸液层7内吸取的药液进行回流收集，可以对吸液层7内的药液进行补充和置换。通过控制进液流量，喷盘1通孔12喷出药液的冲击力得到有效控制，从而在吸液层7表面形成约50μm左右的液膜并不停置换。喷盘1通孔12向多孔阳极8喷射药液后，吸液层7内的旧药液在重力作用下通过回流通道13回流后收集。

如图1、图5和图6所示，本发明提供的太阳能电池电镀装置19在使用时，通过抓取机构将电池片14放置于吸液层7表面，吸液层7表面布满药液液膜，利用表面张力使电池片14紧贴在吸液层7表面。阴极5下降直至与电池片14贴合，随即通电并启动药液喷淋。电镀过程中，阴极5持续紧贴电池片14，根据电镀需求输出相应电流图形，直至电镀完成。

需要说明的是，本发明中限定的阴极5优选采用电刷型阴极，电刷型阴极用于将电源4负极与电池片14的非电镀面进行电性连接，由于电镀过程中电池片14与电刷型阴极相对静止，因此可将电刷型阴极大面积覆盖电池片14，保证电池片14的非电镀面各区域均能有效通电，也因通电时电刷型阴极与电池片14之间保持相对静止，使得整个电镀过程作用于电池片14的电流/电压稳定，使电池片14的施镀面的栅线位置电流密度均匀。

本发明设计的多孔阳极8上开设有至少一个通孔12，使得喷盘1药液能够顺利通过阳极喷射到吸液层7内，本发明利用多孔阳极8的多孔结构屏蔽与传递电力线，实现多孔阳极8与阴极5之间的超近距离布置。

本发明采用电池片14独立电镀的方式，即每片电池片14均采用单独的太阳能电池电镀装置19，可根据产能需求自由设置相应数量的太阳能电池电镀装置19，电池片14电镀过程中为静置状态，采用程序电镀模式，可以自由设定电流曲线，不仅可以防止药液翻涌到电池片14的非受镀面，还可以通过逐步增加电流密度的方式来缩短工艺时间，提升电镀效率。

本发明提供的吸液层7采用多孔高分子材料，利用多孔高分子材料的多孔结构，能充分吸收喷盘1喷射出来的药液并与安置在吸液层7上的电池片14电镀面充分接触，多孔阳极8与阴极5由于距离过近而产生的强大电力线能被有效削弱，使得电场温和的作用在电池片14的电镀面上，提升电镀的均一性。同样由于多孔高分子材料的阻隔作用和多孔结构，多孔阳极8与阴极5的距离可以设计的很近，有效规避了边缘放电效应引起的电镀不均现象，保证了整体电镀的均一性。可选地，本发明提供的多孔高分子材料可以采用发泡聚丙烯、发泡聚氯乙烯、发泡聚乙烯醇等能对药液化学耐受的多孔结构材料。

进一步地，所述喷盘1远离多孔阳极8的一侧还设置有集液槽11，所述集液槽11与所述回流通道13的一端对接，所述集液槽11底部开设有回流口9，所述吸液层7内的药液穿过所述回流通道13后流入所述集液槽11内，并由所述回流口9排出。

进一步地，所述喷盘1表面与所述多孔阳极8之间还设置有框架结构的阳极隔板2（如图3所示），所述阳极隔板2沿所述多孔阳极8下表面的周向外缘设置。

所述多孔阳极8的上表面还设置有框架结构的阳极压板3（如图4所示），所述阳极压板3沿所述多孔阳极8上表面的周向外缘设置，所述多孔阳极8的周向外缘夹设于所述阳极隔板2与所述阳极压板3之间。

本发明提供的阳极隔板2的主要功能为支撑多孔阳极8以及对喷盘1喷射的药液进行缓冲。药液从喷盘1喷出后，通过阳极隔板2使得阳极与喷盘1之间形成一定的间隔，保证了药液喷出和药液回流的流道通畅，降低了喷盘1直接喷射出药液的冲击力。阳极隔板2的上表面用于承载阳极，确保了阳极与喷盘1之间的高度一致性。本发明提供的阳极压板3用于将多孔阳极8固定在阳极隔板2上，防止多孔阳极8移动，并利用阳极压板3使得吸液层7与多孔阳极8紧密贴合。

进一步地，如图4所示，所述阳极压板3为阶梯截面的框架结构，所述阳极压板3包括由下至上同轴设置的第一压板和第二压板，所述第一压板和第二压板均为框架结构；所述第一压板的外周与所述第二压板的外周对齐，所述第一压板的内周尺寸大于所述第二压板的内周尺寸。

所述阳极隔板2、所述多孔阳极8、所述阳极压板3和所述吸液层7由下至上依次层叠后，所述多孔阳极8嵌入所述第一压板内部，所述第一压板的下表面与所述阳极隔板2的上表面接触，所述吸液层7的至少部分嵌入所述第二压板内部。

进一步地，所述吸液层7外周还设置有框架结构的保护板6，所述保护板6的上表面高于所述吸液层7的上表面，所述保护板6用于限制所述阴极5下降的最低位置，所述阴极5下降至所述保护板6高度处抵住所述保护板6的上表面。

本发明提供的保护板6主要用于限制阴极5的下降高度，防止阴极5高度过低压伤电池片14。在电镀过程中，阴极5下降至保护板6高度处，阴极5底部导电部则与电池片14接触，确保了每次阴极5的下降位置一致，保证了每次阴极5对电池片14的压力一致，确保了接触电阻的稳定性。

在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种包括上述的太阳能电池电镀装置19的电镀系统装置，如图6所示，所述电镀系统装置包括循环连接的电镀模块、进液模块17和回流模块18，所述进液模块17向电镀模块内输入药液，电池板在电镀模块中进行电镀，吸液层7内的药液经回流模块18收集后返回进液模块17，循环利用；所述电镀模块为上述的太阳能电池电镀装置19。

本发明提供的电镀系统装置中，进液模块17和回流模块18作为辅助单元用于辅助电镀模块完成电镀，回流模块18负责补充药液并对药液进行充分循环，使得药液的浓度与温度均匀稳定。在电镀模式下，进液模块17开启，持续向电镀模块（即本发明限定的太阳能电池电镀装置19）输入药液，电镀模块内的喷盘1密布的通孔12使得喷盘1上表面的多孔阳极8与吸液层7得到充分润湿并达到药液置换的目的。抓取机构将一片或多片电池片14抓取至对应数量的电镀模块上，利用吸液层7表面的药液张力使得电池片14充分贴合于吸液层7表面，此时阴极5下降至与电池片14背面充分接触，下降到指定位置后，电源4对阴极5和多孔阳极8通电，电镀过程中电源4可以根据工艺需求灵活的输出特定电流图形，直至电镀过程结束。

进一步地，所述电镀系统装置还包括抽气模块15和进气模块16，所述抽气模块15和进气模块16分别独立接入所述电镀模块。

所述抽气模块15包括抽气管路，所述抽气管路接入所述喷盘1的入口10，通过所述抽气管路对喷盘1内腔抽气，将吸液层7内的药液吸出。

在本发明中，抽气模块15作为辅助单元，主要用于辅助提升电池片14更换的稳定性和电池片14的更换速率。当电池片14电镀完成后，开启抽气模块15，利用系统真空将电镀模块内吸液层7中的药液吸出，一方面可以对吸液层7内的药液进行有效回收，另一方面吸出药液后也降低了吸液层7与电池片14之间的表面张力，保证后阶段电池片14稳定并快速脱离，同时也大幅减少电池片14将表面的药液携带到下一工序单元。

需要说明的是，本发明中的抽气管路上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类等不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现抽气功能即可，示例性地，如图6所示，抽气管路上沿抽气方向依次设置有第一手动阀20、缓冲罐22和第二自动阀23，其中，缓冲罐22底部还设置有第一自动阀21。

所述进气模块16包括进气管路，所述进气管路接入所述喷盘1的入口10，通过所述进气管路向喷盘1内腔中通气，使得所述电池片14与所述吸液层7脱离。

在本发明中，进气模块16作为辅助单元，与抽气模块15配合使用，当电池片14电镀完成后，首先通过抽气模块15将吸液层7内的药液吸出，降低吸液层7与电池片14之间的表面张力，随后关闭抽气模块15并使用进气模块16向太阳能电池电镀装置19进行微量供气，使得太阳能电池电镀装置19内的电池片14呈现气浮状态，从而克服吸液层7与电池片14之间的表面张力，使得电池片14能顺利脱离吸液层7，脱离后的电池片14根据生产需求，配套自动化机构将电池片14转移至后续工序。根据产能需求，进气模块16可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置19。

需要说明的是，本发明中的进气管路上还设置有必要的阀门和压力计等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现进气功能即可，示例性地，如图6所示，进气管路上沿进气方向依次设置有第二手动阀24、调压阀25、第一压力计26、第一过滤器27、第三自动阀28、止逆阀29和第二压力计30。

进一步地，所述进液模块17包括进液管路，所述进液管路的入口端接入所述回流模块18，所述进液管路的出口端接入所述喷盘1的入口10。

本发明中，进液模块17与电镀模块连接，用于向电镀模块提供稳定的药液供给，根据产能需求，进液模块17可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置19。进液模块17的主要功能包括：（1）用于将储液槽40内的药液输入太阳能电池电镀装置19；（2）精确控制与监控太阳能电池电镀装置19内的药液流量；（3）过滤进液过程中药液内的杂质，保证药液洁净度；（4）可通过自动阀切断太阳能电池电镀装置19的药液供给并切换至进气模块16进气。

电镀过程结束后，回流模块18与进液模块17关闭，抽气模块15开启，充分吸收并回收吸液层7内部药液。随后，抽气模块15关闭，进气模块16开启，得益于吸液层7的多孔结构，微量的气体即可使得电池片14在吸液层7表面达到气浮的状态，使得电池片14与吸液层7脱离，此时抓取机构可将电池片14抓取并移动至下一个单元，整个过程结束。

需要说明的是，本发明中的进液模块17上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现进液功能即可，示例性地，如图6所示，所述进液管路上沿药液流向包括依次设置的第三手动阀31、建浴泵32、第四手动阀33、第三压力计34、第二过滤器35、第四压力计36、第五手动阀37、流量计38和第四自动阀39。

所述回流模块18包括储液槽40，所述储液槽40内储存有药液，所述喷盘1的回流口9接入所述储液槽40；所述储液槽40外接循环管路，所述循环管路上设置有循环泵42。

本发明中，回流模块18包括储液槽40及配套的阀门等，用于切断或开启药液回流，根据产能需求，回流模块18可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置19。回流模块18主要包括储液槽40，储液槽40与太阳能电池电镀装置19之间的连接管路上设置有第五自动阀44，用于切断或开启回流。当进气模块16或抽气模块15开启且进液模块17关闭时，回流模块18的第五自动阀44关闭，切断药液回流，使得气体从太阳能电池电镀装置19中吸液层7表面逸出，从而达成电池片14气浮并脱离吸液层7表面的目的。

其中，储液槽40用于保障电镀过程的药液物理状态的稳定。根据产能需求，储液槽40可以对应单套或多套太阳能电池电镀装置19。储液槽40的主要功能包括：（1）储存药液，（2）与太阳能电池电镀装置19形成药液循环，（3）通过设置循环管路实现槽内循环，确保药液的浓度与温度的稳定。

需要说明的是，本发明中的循环管路上还设置有必要的阀门和输送装置等，但其安装数量、安装顺序和具体种类不作为本发明的发明点，本发明对此不作具体要求和特殊限定，只要能实现循环功能即可，示例性地，如图6所示，进气管路上沿药液流向依次设置有第六手动阀41、循环泵42和第七手动阀43。

在另一个具体实施方式中，本发明提供了一种上述电镀系统装置的电镀方法，所述电镀方法包括：

进液模块17向喷盘1入口10输入药液，药液由喷盘1表面的通孔12喷出后穿过多孔阳极8浸润吸液层7，电池片14送入多孔阳极8和阴极5之间并与吸液层7和阴极5接触进行电镀，吸液层7内的药液穿过喷盘1的回流通道13后流入回流模块18，回流模块18将收集的药液返回进液模块17，循环利用。

进一步地，所述电镀方法还包括：

电镀结束后，通过抽气管路对喷盘1内腔抽气，将吸液层7内的药液吸出，通过进气管路向喷盘1内腔中通气，使得电池片14与吸液层7脱离。

申请人声明，以上所述仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，所属技术领域的技术人员应该明了，任何属于本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，均落在本发明的保护范围和公开范围之内。

Claims (10)

1.一种太阳能电池电镀装置，其特征在于，所述太阳能电池电镀装置包括具有内腔的喷盘，所述喷盘沿轴向开设有至少一个四周封闭的回流通道，所述回流通道由所述喷盘一侧表面贯穿至另一侧表面，所述喷盘的一侧表面还开设有至少一个通孔，所述喷盘上开设有与所述内腔连通的入口；

所述喷盘开设通孔的一侧表面依次层叠设置有多孔阳极和吸液层，所述吸液层上方间隔设置有阴极，所述多孔阳极和阴极接入电源；所述吸液层和所述阴极之间设置有电池片，所述电池片的两侧表面分别接触所述吸液层和所述阴极，通过所述入口向所述内腔喷入药液，药液由所述通孔喷出后穿过所述多孔阳极浸润所述吸液层，所述吸液层内的药液在重力作用下穿过所述回流通道后收集，实现新旧药液的置换。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池电镀装置，其特征在于，所述喷盘远离多孔阳极的一侧还设置有集液槽，所述集液槽与所述回流通道的一端对接，所述集液槽底部开设有回流口，所述吸液层内的药液穿过所述回流通道后流入所述集液槽内，并由所述回流口排出。

3.根据权利要求1所述的太阳能电池电镀装置，其特征在于，所述喷盘表面与所述多孔阳极之间还设置有框架结构的阳极隔板，所述阳极隔板沿所述多孔阳极下表面的周向外缘设置；

所述多孔阳极的上表面还设置有框架结构的阳极压板，所述阳极压板沿所述多孔阳极上表面的周向外缘设置，所述多孔阳极的周向外缘夹设于所述阳极隔板与所述阳极压板之间。

4.根据权利要求3所述的太阳能电池电镀装置，其特征在于，所述阳极压板为阶梯截面的框架结构，所述阳极压板包括由下至上同轴设置的第一压板和第二压板，所述第一压板和第二压板均为框架结构；所述第一压板的外周与所述第二压板的外周对齐，所述第一压板的内周尺寸大于所述第二压板的内周尺寸；

所述阳极隔板、所述多孔阳极、所述阳极压板和所述吸液层由下至上依次层叠后，所述多孔阳极嵌入所述第一压板内部，所述第一压板的下表面与所述阳极隔板的上表面接触，所述吸液层的至少部分嵌入所述第二压板内部。

5.根据权利要求1所述的太阳能电池电镀装置，其特征在于，所述吸液层外周还设置有框架结构的保护板，所述保护板的上表面高于所述吸液层的上表面，所述保护板用于限制所述阴极下降的最低位置，所述阴极下降至所述保护板高度处抵住所述保护板的上表面。

6.一种包括权利要求1-5任一项所述的太阳能电池电镀装置的电镀系统装置，其特征在于，所述电镀系统装置包括循环连接的电镀模块、进液模块和回流模块，所述进液模块向电镀模块内输入药液，电池板在电镀模块中进行电镀，吸液层内的药液经回流模块收集后返回进液模块，循环利用；

所述电镀模块为权利要求1-5任一项所述的太阳能电池电镀装置。

7.根据权利要求6所述的电镀系统装置，其特征在于，所述电镀系统装置还包括抽气模块和进气模块，所述抽气模块和进气模块分别独立接入所述电镀模块；

所述抽气模块包括抽气管路，所述抽气管路接入所述喷盘的入口，通过所述抽气管路对喷盘内腔抽气，将吸液层内的药液吸出；

所述进气模块包括进气管路，所述进气管路接入所述喷盘的入口，通过所述进气管路向喷盘内腔中通气，使得所述电池片与所述吸液层脱离。

8.根据权利要求6所述的电镀系统装置，其特征在于，所述进液模块包括进液管路，所述进液管路的入口端接入所述回流模块，所述进液管路的出口端接入所述喷盘的入口；

所述回流模块包括储液槽，所述储液槽内储存有药液，所述喷盘的回流口接入所述储液槽；所述储液槽外接循环管路，所述循环管路上设置有循环泵。

9.一种使用权利要求6-8任一项所述电镀系统装置进行电镀的方法，其特征在于，所述方法包括：

进液模块向喷盘入口输入药液，药液由喷盘表面的通孔喷出后穿过多孔阳极浸润吸液层，电池片送入多孔阳极和阴极之间并与吸液层和阴极接触进行电镀，吸液层内的药液穿过喷盘的回流通道后流入回流模块，回流模块将收集的药液返回进液模块，循环利用。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

电镀结束后，通过抽气管路对喷盘内腔抽气，将吸液层内的药液吸出，通过进气管路向喷盘内腔中通气，使得电池片与吸液层脱离。

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