CN114700807A - 图像采集装置以及划片机 - Google Patents
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- B23Q11/0042—Devices for removing chips
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Abstract
本发明公开了一种图像采集装置以及划片机,包括:图像采集结构安装壳体,图像采集结构安装壳体的底板上开设有至少一个观察孔;吹气装置,包括工作气管和平衡气管;工作气管的出口朝向观察孔内设置;平衡气管的出口朝向图像采集结构安装壳体的内壁设置,使从平衡气管吹出的气流通过冲击内壁反射发散到图像采集结构安装壳体的内部空间内,并在图像采集结构安装壳体的内外压差作用下流向观察孔,在工作气管吹过观察孔的气流的共同作用下形成上窄下宽的喇叭型的气流,以抵消工作气管吹向工件表面后反弹回的气流。
Description
技术领域
本申请涉及一种划片机技术领域,尤其涉及一种图像采集装置以及划片机。
背景技术
划片机在切割产品过程中,需要图像系统的介入,采集切割形状,及切割道,是划片机使用中不可或缺的一部分。所以图像系统的稳定,对于划片机的精度至关重要,其作用相当于人之双目。图像系统可以直接影响到划片机的切割精度,现如今对于划片机的精度要求日益严格,所以一定要保证图像系统的稳定。
在现有技术中,图像系统通常采用图像采集结构附加单只吹气结构,以实现划片机切割过程中,去除工件表面水珠从而实现看清图像的办法。如果工件表面有水珠残留,图像采集结构在观察工件时会发生光学折射,从而造成视觉偏差,进而造成精度偏差,所以图像采集结构中的吹气结构必不可少;但在切割作业过程中经常会有图像异动现象的发生,影响了划片机精度和切割产品的品质。
发明内容
现有吹气结构,在吹气过程中因出气口比较细小,相对气压很大,所以造成出气口乱流,从而引起图像采集装置同频率共振,而且因为吹气结构与相机部分固定在一起,所以带动这个装置微量晃动,造成图像异动,进而影响划片机精度,影响切割产品的品质。为了克服现有技术的不足,本申请实施例提供一种图像采集装置,改善了吹气结构,避免了图像采集装置振动,从根本上解决图像晃动问题。
本发明实施例提供了一种图像采集装置,包括:
图像采集结构安装壳体,呈封闭结构,所述图像采集结构安装壳体的底板上开设有至少一个观察孔;
图像采集结构,安装在所述图像采集结构安装壳体内,且所述图像采集结构与所述观察孔对准并相隔一定距离设置;
吹气装置,包括工作气管和平衡气管;所述工作气管的出口朝向所述观察孔内设置,用于通过吹气去除暴露在观察孔处的工件表面的水珠;所述平衡气管的出口朝向所述图像采集结构安装壳体的内壁设置,使从所述平衡气管吹出的气流通过冲击所述内壁反射发散到所述图像采集结构安装壳体的内部空间内,并在所述图像采集结构安装壳体的内外压差作用下流向所述观察孔,在所述工作气管吹过所述观察孔的气流的共同作用下形成上窄下宽的喇叭型的气流,以抵消所述工作气管吹向所述工件表面后反弹回的气流。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述图像采集结构包括用于采集图像的图像采集主体,以及设置在所述图像采集主体正下方,且与所述图像采集主体分体设置的环光源固定台,所述环光源固定台上设有环光源,所述工作气管、所述平衡气管分别设置在所述图像采集结构的环光源固定台上。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述图像采集装置还包括设置在所述图像采集结构安装壳体的内壁上的基体,所述基体用于安装所述图像采集结构。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述图像采集结构包括高倍图像采集结构和低倍图像采集结构,所述高倍图像采集结构和所述低倍图像采集结构并列设置在所述图像采集结构安装壳体内,所述观察孔对应所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构分别设有两个,所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构上均分别设置有所述工作气管,所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构二者中至少其中之一上设置有所述平衡气管。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述低倍图像采集结构、所述高倍图像采集结构二者其中之一上设有一个所述平衡气管、一个所述工作气管,二者其中之另一上设有两个所述工作气管。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,一个所述平衡气管、三个所述工作气管并排设置,且所述平衡气管设置在所述高倍图像采集结构的远离所述低倍图像采集结构的一侧,或设置在所述低倍图像采集结构的远离所述高倍图像采集结构的一侧。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述低倍图像采集结构、所述高倍图像采集结构上均分别设有一个所述平衡气管、一个所述工作气管。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述低倍图像采集结构上、所述高倍图像采集结构上的所述平衡气管、所述工作气管并排设置,所述高倍图像采集结构上的所述平衡气管设置在所述高倍图像采集结构的远离所述低倍图像采集结构的一侧,所述低倍图像采集结构上的所述平衡气管设置在所述低倍图像采集结构的远离所述高倍图像采集结构的一侧。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述平衡气管和所述工作气管均为弯管管道,所述弯管管道包括直管部分和倾斜管部分,且所述直管部分和倾斜管部分相交成135度,所述倾斜管部分未与所述直管部分相接的一端形成所述平衡气管的出口,且所述倾斜管部分与所述工件所处的水平面之间的夹角呈45度。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述平衡气管设置的数目小于所述工作气管设置的数目时,所述平衡气管的气压大于所述工作气管的气压。
根据本发明实施例所提供的图像采集装置,所述图像采集装置还包括挡板组件,所述挡板组件通过传动装置带动用于遮挡或打开所述观察孔。
本实施例还提供一种划片机,具有如上述实施例所述的图像采集装置。
本发明的有益效果为:本发明实施例提供了一种图像采集装置,通过在吹气装置中新增设平衡气管,气流通过平衡气管后,冲击到图像采集结构安装壳体的内壁上后会反射发散到整个图像采集结构安装壳体的内部,因为图像采集结构安装壳体相对封闭,只有下方底板上的观察孔,以及上方的出线口,因此,造成图像采集结构安装壳体的内部压力稍大于外部压力,当图像采集装置开始工作时,平衡气管中的发散的空气因为内外压力差,由下方观察孔流出,同时在所述工作气管吹过所述观察孔的气流的共同作用下,使中心部分空气流速快,边缘流速稍慢,空气向边缘发散,形成喇叭口状的气流。喇叭口状的气流会与从工件表面反弹后的气流相互抵消,在工件表面与所述图像采集结构安装壳下沿之间形成层流,从而消除了湍流引起的同频共振,使整个图像采集装置稳定运行。避免了图像采集装置发生共振晃动,使图像采集装置采集到的图像清晰而准确,以保证设备运行精准。进而也提高了划片机的切割精度,保证了产品的品质。
附图说明
下面结合附图,通过对本申请的具体实施方式详细描述,将使本申请的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1为本实施例所提供的图像采集装置示意图。
图2为本实施例所提供的吹气装置的局部放大示意图。
图3为本实施例所提供的吹气管结构示意图。
图4为本实施例所提供的气流形状示意图。
图5为本实施例所提供一种划片机结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例,本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
在本申请的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开,下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然,它们仅仅为示例,并且目的不在于限制本申请。此外,本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母,这种重复是为了简化和清楚的目的,其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外,本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子,但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。
由于现有技术中的划片机图像系统所采集的图像存在异动或不清晰的问题,改变划片机吹气结构中的出气管位置可以有效杜绝划片机图像系统的图像晃动以及图像不清晰的问题。故本实施例提供了一种新设计的图像采集装置以及划片机。
如图1-图5所示,本发明实施例提供了一种图像采集装置,包括:图像采集结构安装壳体1,呈封闭结构,所述图像采集结构安装壳体1的底板上开设有至少一个观察孔12;
图像采集结构200,安装在所述图像采集结构安装壳体1内,且所述图像采集结构200与所述观察孔12对准并相隔一定距离设置;一定距离在具体设置时,只要便于图像采集结构200通过所述观察孔12对工件进行图像采集,工作气管9能够向所述观察孔12内吹气即可。
吹气装置,包括工作气管9和平衡气管10;所述工作气管9的出口朝向所述观察孔12内设置,用于通过吹气去除暴露在观察孔12处的工件表面的水珠,工件表面包括开设切割道的位置,以及未开设切割道的位置,工作气管9的设置,能够吹除工件表面的水珠,使采集到的图像清晰而准确,以保证设备运行精准;所述平衡气管10的出口朝向所述图像采集结构安装壳体1的内壁设置,使从所述平衡气管10吹出的气流通过冲击所述内壁反射发散到所述图像采集结构安装壳体1的内部空间内,并在所述图像采集结构安装壳体1的内外压差作用下流向所述观察孔12,在所述工作气管9吹过所述观察孔12的气流的共同作用下形成上窄下宽的喇叭型的气流,以抵消所述工作气管9吹向所述工件表面后反弹回的气流。
气流通过平衡气管10后,冲击到图像采集结构安装壳体1的内壁上后会反射发散到整个图像采集结构安装壳体1的内部,因为图像采集结构安装壳体1相对封闭,只有下方底板上的观察孔12,以及上方的出线口,因此,造成内部压力稍大于外部压力,当图像采集装置开始工作时,平衡气管10中的发散的空气因为内外压力差,由下方观察孔12流出,同时在所述工作气管9吹过所述观察孔12的气流的共同作用下,使中心部分空气流速快,边缘流速稍慢,空气向边缘发散,形成喇叭口状的气流400,如图4所示。喇叭口状的气流400会与从工件表面反弹后的气流相互抵消,在工件表面与所述图像采集结构安装壳体1下沿之间形成层流,从而消除了湍流引起的同频共振,使整个图像采集装置稳定运行。避免了图像采集装置发生共振晃动,使图像采集装置采集到的图像清晰而准确,以保证设备运行精准。
具体地,图像采集结构安装壳体1呈箱体状,由底板、顶板、以及设置在底板与顶板之间的若干侧壁围成,其中观察孔12设置在底板上,出线口设置在顶板上,若干侧壁组成图像采集结构保护壳2。其中平衡气管10吹出的气流可以吹向底板的内壁,也可以吹向任一侧壁的内壁,甚至顶板的内壁,优选吹向侧壁的内壁上。
进一步的,图像采集结构安装壳体1的其中一侧壁上设有基体,基体用于承载并固定所述图像采集结构的各个元件,在划片机切割工件过程中保证整个图像采集装置稳定的结构;图像采集结构安装壳体1呈箱体状能够保护图像采集结构等电子元件不被切割腔中大量的冷却水损坏。
如图1所示,在一个实施例中,所述图像采集结构200包括用于采集图像的图像采集主体,以及设置在所述图像采集主体正下方,且与所述图像采集主体分体设置的环光源固定台4,所述环光源固定台4上设有环光源8,所述工作气管9、所述平衡气管10分别设置在所述图像采集结构的环光源固定台4上,因此,无需额外设置用于固定工作气管9、平衡气管10的安装架,整个结构更为简单紧凑,更重要的是,环光源固定台4不是直接与图像采集主体连接,而是直接固定在基体上,因此,工作气管9、平衡气管10工作时,产生的微小振动不会直接传递在图像采集主体上,进一步提高了图像采集结构采集图像的清晰准确性。具体的,图像采集主体包括镜筒固定台3,固定在镜筒固定台3的镜筒6,设置在镜筒6上方的相机5、以及设置在镜筒固定台3上的点光源7。所述图像采集主体包括高倍图像采集结构201和低倍图像采集结构202,所述高倍图像采集结构201中的相机5和镜筒6为高倍相机和高倍镜筒,而所述低倍图像采集结构202中的相机5和镜筒6为低倍相机和低倍镜筒。所述高倍图像采集结构201和所述低倍图像采集结构202可以应用在不同场景上,两套图像采集结构可以进行切换,根据实际需求来进行使用。
如图1和图2所示,在一个实施例中,所述高倍图像采集结构201和所述低倍图像采集结构202并列设置在所述图像采集结构安装壳体1内,所述观察孔12对应所述高倍图像采集结构201和低倍图像采集结构202分别设有两个,所述高倍图像采集结构201和低倍图像采集结构202上均分别设置有所述工作气管9,所述高倍图像采集结构201和低倍图像采集结构202二者中至少其中之一上设置有所述平衡气管10。具体地,所述吹气装置至少有四根气管,在本实施例中均以四根气管为例说明。所述吹气装置的四根气管中至少有一根为平衡气管10,其他的气管均为工作气管9。且所述平衡气管10发吹气方向为图像采集结构安装壳体1的内部,并不是直接吹向观察孔12,而其他的所述工作气管9的吹气方向则是直接吹向观察孔12,朝向切割的工件表面上。如图2所示,为所述吹气装置的局部放大示意图,如图中所示所述吹气装置共有四根有一定角度的吹气管(包括3根工作气管9、1根平衡气管10),在吹气管上端连接有进气管来供应压缩空气,所述吹气装置经由电磁阀来控制吹气时机。吹气管在吹气时以特定角度,特定的空气压力对工件进行吹气,以实现去除工件表面水珠的目的。
在一个实施例中,所述低倍图像采集结构202、所述高倍图像采集结构201二者其中之一上设有一个所述平衡气管10、一个所述工作气管9,二者其中之另一上设有两个所述工作气管9。一个所述平衡气管10、三个所述工作气管9并排设置,且所述平衡气管10设置在所述高倍图像采集结构201的远离所述低倍图像采集结构202的一侧,或设置在所述低倍图像采集结构202的远离所述高倍图像采集结构201的一侧。具体地,所述吹气装置包括一个所述平衡气管10和三个所述工作气管9。其中,所述平衡气管10可以设置在所述高倍图像采集结构201的最左侧或者设置在所述低倍图像采集结构202的最右侧,即所述平衡气管10需要设置在所述环光源固定台4的边缘端,最左侧边缘或最右侧边缘均可。
在一个实施例中,所述低倍图像采集结构202、所述高倍图像采集结构201上均分别设有一个所述平衡气管10、一个所述工作气管9。所述低倍图像采集结构202上、所述高倍图像采集结构201上的所述平衡气管10、所述工作气管9并排设置,所述高倍图像采集结构201上的所述平衡气管10设置在所述高倍图像采集结构201的远离所述低倍图像采集结构202的一侧,所述低倍图像采集结构202上的所述平衡气管10设置在所述低倍图像采集结构202的远离所述高倍图像采集结构201的一侧。具体地,如若单只所述平衡气管10不能达到消除湍流引起的同频共振的效果,则可以在所述环光源固定台4的两侧各设置一支平衡气管10。其中,在所述高倍图像采集结构201的所述环光源固定台4的左侧设置一支平衡气管10,右侧设置一支工作气管9;在所述低倍图像采集结构202的所述环光源固定台4的左侧设置一支工作气管9,右侧设置一支平衡气管10;即所述平衡气管10设置在图像采集结构200的两侧位置,而所述工作气管9则设置在图像采集结构200的中间位置上。
通过多次实验发现,只要将任何一路所述工作气管9作为平衡气管10吹向图像采集结构安装壳体1的内壁,图像晃动即可有效杜绝。
如图3所示,在一个实施例中,所述平衡气管10和所述工作气管9均为弯管管道,所述弯管管道包括直管部分301和倾斜管部分302,且所述直管部分301和倾斜管部分302相交成135度,所述倾斜管部分302未与所述直管部分301相接的一端形成所述平衡气管10的出口,且所述倾斜管部分与所述工件所处的水平面之间的夹角呈45度。具体地,如图3所示,所述平衡气管10和所述工作气管9均为金属吹气管,两种吹气管仅在吹气方向上不同,其他结构均相同。所述平衡气管10朝向所述图像采集结构安装壳体1的内壁,而所述工作气管9朝向所述观察孔12内。所述平衡气管10和所述工作气管9内外表面光洁度较好,便于气体通过无阻碍,而且金属管带有角度,可以改变气体方向,让气体吹到需要的位置,管内气体流动方向如截面内箭头标识方向流动吹出。
在一个实施例中,由于工作气管9设置的数目比平衡气管10设置的数目多,因此,为了达到好的气流抵消效果,优选所述平衡气管10的气压大于所述工作气管9的气压。具体地,当工作气管9设置三根,平衡气管10设置一根时,所述工作气管9的气压设定在0.4Mpa左右,而所述平衡气管10的气压则设定在0.45Mpa左右。当然所述平衡气管10和所述工作气管9的气压可根据平衡气管10和工作气管9设置的数目,以及实际需求做出相应的调整。
进一步的,所述图像采集装置还包括挡板组件11,所述挡板组件11通过传动装置带动用于遮挡或打开所述观察孔12,在使用时,所述挡板组件11在切割时将所述观察孔12挡住,避免切割过程中水雾水滴溅入,所述挡板组件11在图像采集时打开,图像采集结构200通过观察孔12对工件进行图像采集。
基于同一发明构思,本实施例还提供一种划片机,具有如本实施例中所提供的图像采集装置。
如图5所示,为本实施例所提供的一种划片机的结构示意图。所述划片机主要包括工作盘70,用于承载工件;本实施例所提供的图像采集装置20,通过光学成像采集工件的图像信息,包括采集切割形状以及切割道,并将所采集的图像信息反馈到设备控制中心,进行数据处理;X运动轴30,可带动所述工作盘70沿图中坐标系X方向前后运动;Y1Z1运动轴40和Y2Z2运动轴50,所述Y1Z1运动轴40以及所述Y2Z2运动轴50可以沿坐标系Y方向左右运动,和沿着Z方向上下运动;所述图像采集装置20设置在所述Y1Z1运动轴40上,可以随着所述Y1Z1运动轴40一起运动;主轴60,所述主轴60可以带动刀片切割工件的回转运动体,所述划片机包括两支主轴60,分别设置在所述Y1Z1运动轴40和所述Y2Z2运动轴50上,跟随所述Y1Z1运动轴40和所述Y2Z2运动轴50一起运动。
在使用所述切片机切割产品时,待切割的工件利用真空吸附在所述工作盘70表面,所述工作盘70设置在所述X运动轴30上。所述X运动轴30带所述工作盘70上的工件运动到预备切割位置,所述Y1Z1运动轴40和所述Y2Z2运动轴50带着所述主轴60按照软件设定参数对工件进行切割操作,在切割过程中会有冷却水与气体对工件进行清洗。所述图像采集装置20在采集工件的图像信息时,所述图像采集装置20内的工作气管会吹气去除暴露在观察孔处的工件表面的水珠,而平衡气管可以抵消所述工作气管吹向所述工件表面后反弹回的气流,从而消除了湍流引起的同频共振,使整个图像采集装置稳定运行。避免了图像采集装置发生共振晃动,使图像采集装置采集到的图像清晰而准确,以保证设备运行精准。
以上对本申请实施例所提供的一种图像采集装置以及划片机进行了详细介绍,本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述,以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的技术方案及其核心思想;本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例的技术方案的范围。
Claims (12)
1.一种图像采集装置,其特征在于,包括:
图像采集结构安装壳体,呈封闭结构,所述图像采集结构安装壳体的底板上开设有至少一个观察孔;
图像采集结构,安装在所述图像采集结构安装壳体内,且所述图像采集结构与所述观察孔对准并相隔一定距离设置,
吹气装置,包括工作气管和平衡气管;所述工作气管的出口朝向所述观察孔内设置,用于通过吹气去除暴露在观察孔处的工件表面的水珠;所述平衡气管的出口朝向所述图像采集结构安装壳体的内壁设置,使从所述平衡气管吹出的气流通过冲击所述内壁反射发散到所述图像采集结构安装壳体的内部空间内,并在所述图像采集结构安装壳体的内外压差作用下流向所述观察孔,在所述工作气管吹过所述观察孔的气流的共同作用下形成上窄下宽的喇叭型的气流,以抵消所述工作气管吹向所述工件表面后反弹回的气流。
2.根据权利要求1所述的图像采集装置,其特征在于,所述图像采集结构包括用于采集图像的图像采集主体,以及设置在所述图像采集主体正下方,且与所述图像采集主体分体设置的环光源固定台,所述环光源固定台上设有环光源,所述工作气管、所述平衡气管分别设置在所述图像采集结构的环光源固定台上。
3.根据权利要求2所述的图像采集装置,其特征在于,所述图像采集装置还包括设置在所述图像采集结构安装壳体的内壁上的基体,所述基体用于安装所述图像采集结构。
4.根据权利要求2-3中任一项所述的图像采集装置,其特征在于,所述图像采集结构包括高倍图像采集结构和低倍图像采集结构,所述高倍图像采集结构和所述低倍图像采集结构并列设置在所述图像采集结构安装壳体内,所述观察孔对应所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构分别设有两个,所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构上均分别设置有所述工作气管,所述高倍图像采集结构和低倍图像采集结构二者中至少其中之一上设置有所述平衡气管。
5.根据权利要求4所述的图像采集装置,其特征在于,所述低倍图像采集结构、所述高倍图像采集结构二者其中之一上设有一个所述平衡气管、一个所述工作气管,二者其中之另一上设有两个所述工作气管。
6.根据权利要求5所述的图像采集装置,其特征在于,一个所述平衡气管、三个所述工作气管并排设置,且所述平衡气管设置在所述高倍图像采集结构的远离所述低倍图像采集结构的一侧,或设置在所述低倍图像采集结构的远离所述高倍图像采集结构的一侧。
7.根据权利要求4所述的图像采集装置,其特征在于,所述低倍图像采集结构、所述高倍图像采集结构上均分别设有一个所述平衡气管、一个所述工作气管。
8.根据权利要求7所述的图像采集装置,其特征在于,所述低倍图像采集结构上、所述高倍图像采集结构上的所述平衡气管、所述工作气管并排设置,所述高倍图像采集结构上的所述平衡气管设置在所述高倍图像采集结构的远离所述低倍图像采集结构的一侧,所述低倍图像采集结构上的所述平衡气管设置在所述低倍图像采集结构的远离所述高倍图像采集结构的一侧。
9.根据权利要求1-3中任一项所述的图像采集装置,其特征在于,所述平衡气管和所述工作气管均为弯管管道,所述弯管管道包括直管部分和倾斜管部分,且所述直管部分和倾斜管部分相交成135度,所述倾斜管部分未与所述直管部分相接的一端形成所述平衡气管的出口,且所述倾斜管部分与所述工件所处的水平面之间的夹角呈45度。
10.根据权利要求1-3中任一项所述的图像采集装置,其特征在于,所述平衡气管设置的数目小于所述工作气管设置的数目时,所述平衡气管的气压大于所述工作气管的气压。
11.根据权利要求1-3中任一项所述的图像采集装置,其特征在于,所述图像采集装置还包括挡板组件,所述挡板组件通过传动装置带动用于遮挡或打开所述观察孔。
12.一种划片机,其特征在于,具有如权利要求1-11中任一项所述的图像采集装置。
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CN202210627430.0A CN114700807B (zh) | 2022-06-06 | 2022-06-06 | 图像采集装置以及划片机 |
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Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011079086A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 撮像装置 |
CN102248309A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 苏州天弘激光股份有限公司 | Ccd装置辅助定位的晶圆激光划片方法及其设备 |
JP2013098438A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
CN206903742U (zh) * | 2017-06-07 | 2018-01-19 | 龙工(上海)机械部件有限公司 | 一种导流降压装置 |
CN208401976U (zh) * | 2018-05-25 | 2019-01-18 | 深圳市创世纪机械有限公司 | 应用于玻璃精雕机的图像采集装置 |
CN208862955U (zh) * | 2018-10-25 | 2019-05-14 | 图灵通诺(北京)科技有限公司 | 一种防凝露图像采集装置 |
CN110216388A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-09-10 | 深圳市弗镭斯激光技术有限公司 | 一种晶圆激光划片装置及定位方法 |
CN110707017A (zh) * | 2018-07-09 | 2020-01-17 | 株式会社迪思科 | 被加工物的干燥方法和切削装置 |
CN212083803U (zh) * | 2020-04-10 | 2020-12-04 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 一种用于划片机显微镜的防护装置 |
CN112326662A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-02-05 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种基于工业相机的图像采集装置 |
CN114211629A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-03-22 | 沈阳和研科技有限公司 | 双轴划片机的y轴精度对准组件及对准方法 |
WO2022105292A1 (zh) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 长鑫存储技术有限公司 | 清洁系统、曝光机台及清洁方法 |
-
2022
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Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011079086A (ja) * | 2009-10-07 | 2011-04-21 | Disco Abrasive Syst Ltd | 撮像装置 |
CN102248309A (zh) * | 2010-05-17 | 2011-11-23 | 苏州天弘激光股份有限公司 | Ccd装置辅助定位的晶圆激光划片方法及其设备 |
JP2013098438A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
CN206903742U (zh) * | 2017-06-07 | 2018-01-19 | 龙工(上海)机械部件有限公司 | 一种导流降压装置 |
CN208401976U (zh) * | 2018-05-25 | 2019-01-18 | 深圳市创世纪机械有限公司 | 应用于玻璃精雕机的图像采集装置 |
CN110707017A (zh) * | 2018-07-09 | 2020-01-17 | 株式会社迪思科 | 被加工物的干燥方法和切削装置 |
CN208862955U (zh) * | 2018-10-25 | 2019-05-14 | 图灵通诺(北京)科技有限公司 | 一种防凝露图像采集装置 |
CN110216388A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-09-10 | 深圳市弗镭斯激光技术有限公司 | 一种晶圆激光划片装置及定位方法 |
CN212083803U (zh) * | 2020-04-10 | 2020-12-04 | 江苏京创先进电子科技有限公司 | 一种用于划片机显微镜的防护装置 |
CN112326662A (zh) * | 2020-09-15 | 2021-02-05 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种基于工业相机的图像采集装置 |
WO2022105292A1 (zh) * | 2020-11-20 | 2022-05-27 | 长鑫存储技术有限公司 | 清洁系统、曝光机台及清洁方法 |
CN114211629A (zh) * | 2022-02-21 | 2022-03-22 | 沈阳和研科技有限公司 | 双轴划片机的y轴精度对准组件及对准方法 |
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