CN114636543A - 一种滤光片光谱检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种滤光片光谱检测装置，包括依次相互连接的光源、激发单色器、光纤耦合装置、光纤、角度调节样品室、信号采集装置、发射单色器和光电检测器件以及光束整形装置。光源发出的激发光经激发单色器变成单色光，由光纤传输到角度调节样品室，经光束整形装置准直或聚焦，照射到滤光片上；再通过信号采集装置采集滤光片的透射光或反射光信号，传输到发射单色器，由光电检测器件检测其强度值。入射光线、待测滤光片与检测窗口三者相对夹角通过转动两个旋转装置实现。本发明使用带有透镜模组的信号采集装置，提高了信号收集效率；使用单色器分光，可得到任一激发波长下的发射光谱，适用于各种类型滤光片在入射角度变化下的透射或反射光谱检测。

Description

一种滤光片光谱检测装置

技术领域

本发明涉及光学分析仪器和光学测量技术领域，具体而言，尤其涉及一种滤光片光谱检测装置。

背景技术

一般的镀膜滤光片在使用时均要求特定的工作角度，这是因为在角度偏折的情况下其光谱特性将发生不同程度的改变。现有使用滤光片的光学系统往往忽视了这一问题，或者缺少校正的方法，导致得到的数据并不能反映样品真实的情况。研究角度变化对滤光片性能参数的影响，不仅可以指导滤光片的设计制造，还可以将这一特性应用到现有的光学测量系统中，丰富现有装置的功能，修正角度带来的测量误差。在对滤光片光谱性能随光线入射角度变化的研究中，基于分光光度法的可变角度检测装置是最常用的设备。

目前这类滤光片光谱测试装置均使用入射方向与收集方向夹角呈90°或180°的固定光路结构，通过改变滤光片放置的角度实现多角度测量。如一种可调透射角度滤光片测试装置(CN208476500U)，其激发光路和收集光路固定不变，通过改变样品的放置角度实现不同入射角度下透射或散射信号测量。这种结构不能用于不同入射角度下滤光片反射光谱的测量。这是因为当入射光线相对滤光片的夹角发生改变时，出射光线仍能较好地与入射光线保持平行，而反射光线相对滤光片的夹角却会发生改变。而现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备，均采用微型光纤光谱仪，虽然实现了角度可调功能，可用于透射光谱和反射光谱测试，但是其分析精度有限，不适用于窄带滤光片或高截止深度滤光片的测试。如一种多角度可调光纤探头检测装置(动态光散射多角度可调光纤探头检测装置与方法，CN104237085A)，其圆筒型外壳上设有两组弧形滑槽，滑槽上分别安装有独立可调的滑动装置；两组滑动装置上分别设置有激发光纤探头和收集光纤探头，样品固定于内部样品台上，通过滑动激发光纤探头和收集光纤探头改变入射角度和收集角度。这种设计的缺点首先在于结构过于复杂，每个光纤探头都需要进行光束的整形，并且要在转动过程中保持光束交点的一致性，难度极高；外壳上开有滑槽，易受环境光影响；滑动机构置于外壳上的滑槽中，滑槽内外两侧受力不均匀，易发生形变，影响实验精度。这种结构的特性导致该装置的精度和灵敏度不高，不利于高精度的光谱分析，且不适用于高截止深度的滤光片测试。故开发一套入射方向和收集方向夹角可变的检测装置，对研究不同类型滤光片光谱性能随角度变化的现象具有重要意义。

发明内容

根据上述提出的现有滤光片检测设备不能用于不同入射角度下滤光片反射光谱的测量，以及现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备不适用于窄带滤光片或高截止深度滤光片的测试的技术问题，而提供一种滤光片光谱检测装置。本发明主要利用两个同心圆形旋转装置，内侧旋转装置上放置待测滤光片，外侧旋转装置上放置激发光纤探头，通过旋转内侧旋转装置改变待测滤光片与检测窗口的相对夹角，并通过转动外侧旋转装置改变入射光线与待测滤光片的相对夹角，从而实现入射角和收集角的独立调整；使用带有透镜模组的信号采集装置，较之使用光纤收集具有更高的灵敏度。

本发明采用的技术手段如下：

一种滤光片光谱检测装置，包括：依次相互连接的光源、激发单色器、光纤耦合装置、光纤、角度调节样品室、信号采集装置、发射单色器和光电检测器件以及安装在角度调节样品室上的光束整形装置；

所述角度调节样品室包括外壳和置于外壳内的旋转机构，所述旋转机构由两个独立的同心圆形旋转装置组成，内侧旋转装置上设置有滤光片夹持结构，用于放置待测滤光片；外侧旋转装置上设置有支撑结构，用于固定所述光束整形装置，通过两个旋转装置改变入射光角度和收集光角度；

所述光源与所述激发单色器之间通过装有多个透镜的套筒连接，使所述光源发出的光经过多个透镜汇聚到所述激发单色器中，并经所述激发单色器变成单色光；

所述激发单色器的出光口位置与所述光纤耦合装置相连，所述光纤耦合装置连接所述光纤的一端，所述光纤的另一端与所述光束整形装置相连，使所述激发单色器发出的单色光经过所述光纤传输到所述角度调节样品室中，并经所述光束整形装置准直或聚焦，照射到待测滤光片表面；

所述外壳上设置有光学检测窗口，用于安装所述信号采集装置；所述信号采集装置为装有透镜的圆筒，其一端固定在所述外壳上，另一端与所述发射单色器相连，使待测滤光片的反射光或透射光信号经过所述信号采集装置内的透镜收集并汇聚到所述发射单色器中；所述光电检测器件放置在所述发射单色器的出光口位置，用于检测信号强度；

所述信号采集装置的位置固定不变，通过旋转所述内侧旋转装置改变待测滤光片与所述光学检测窗口的相对夹角，并通过转动所述外侧旋转装置改变入射光线与待测滤光片的相对夹角。

进一步地，所述外壳为长方体结构，材质为可屏蔽电磁干扰的合金，内壁涂覆吸光材料或处理成吸光层。

进一步地，所述光纤的纤芯材质为石英，数量为1-120根，芯径为10-800um，长度为1-5m。

进一步地，所述光纤耦合装置包括第一光纤接口、一个或两个透镜及壳体；所述透镜置于所述壳体内部，用于将所述激发单色器发出的单色光耦合到所述光纤中；所述第一光纤接口设置在所述壳体上远离所述激发单色器的一端，用于连接所述光纤；所述壳体上设有调节螺孔，用于调节所述光纤耦合装置与所述激发单色器出光口的相对位置。

进一步地，所述光束整形装置安装在所述外侧旋转装置的支撑结构上靠近所述激发单色器的一侧，位于所述光纤与待测滤光片之间，包括第二光纤接口、一个或两个透镜及整形外壳；所述透镜置于所述整形壳体内部，用于将所述光纤输出的单色光准直或者聚焦，照射到待测滤光片上；所述第二光纤接口设置在所述壳体的一端，用于连接所述光纤；所述整形外壳上设有用于固定的螺孔，用于将所述光束整形装置固定到所述支撑结构上。

进一步地，所述信号采集装置包括一个或两个透镜和一个圆筒状外壳；所述透镜置于所述圆筒状外壳内，用于将从样品发出的光汇聚到所述发射单色器中；所述圆筒状外壳的一端固定在所述角度调节样品室的检测窗口上，另一端与所述发射单色器相连。

进一步地，所述光源为气体放电灯，波长为250-2500nm，功率为50-500W。

进一步地，所述激发单色器为光栅型单色器。

进一步地，所述发射单色器为光栅型单色器。

进一步地，所述光电检测器件为光电倍增管(PMT)、雪崩光电二极管(APD)、硅光电二极管(PD)或电荷耦合光电检测器(CCD)。

较现有技术相比，本发明的滤光片光谱检测装置具有以下优点：

1、传统滤光片检测设备不具备角度调节功能，一种设备只能检测一种类型滤光片特定角度下的透过光谱或者反射光谱，本发明设计的转动结构即角度调节样品室，具有收集光路角度调整功能，可实现各种滤光片的透过光谱以及反射光谱测量。

2、现有的具有角度调整功能的滤光片光谱检测设备均选择转动样品，只能检测滤光片的透射光谱，不能直接检测滤光片的反射光谱。本发明设计的转动结构即角度调节样品室，可实现入射角和收集角独立可调，适用于各种滤光片的透射光谱以及反射光谱测试。

3、现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备，均采用光纤激发和光纤收集，其缺点是激发光纤和收集光纤的传输光效率低，在旋转过程中光轴的交点不易对准，导致灵敏度低、实施难度大。本发明使用带有透镜的信号采集装置，使收集方向始终对准待测样品，较之光纤收集提高了灵敏度，降低了调试难度。

4、现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备，均采用微型光纤光谱仪，分析精度有限，不适用于窄带滤光片或高截止深度滤光片的测试。本发明的激发单色器和发射单色器均使用光栅分光单色器，分析精度高，适用于一般滤光片及窄带滤光片测试；并搭配光子计数系统，对弱光信号具有较高的探测精度，适用于高截止深度的滤光片测量。

5、现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备，样品台均暴露在外界空气当中，易受环境噪声影响。本发明设计的角度调节样品室使用可屏蔽电磁干扰的金属或合金材质的外壳，避免了环境光干扰；且内壁涂覆吸光材料或处理成吸光层，抑制了杂散光，提升了检测灵敏度。

综上，应用本发明的技术方案能够解决现有滤光片检测设备不能用于不同入射角度下滤光片反射光谱的测量，以及现有的激发光路和收集光路可调整的光学检测设备不适用于窄带滤光片或高截止深度滤光片的测试的问题。

基于上述理由本发明可在各种滤光片在入射角度变化下的透射或反射光谱检测等领域广泛推广。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做以简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明滤光片光谱检测装置的整体结构示意图。

图2为本发明中角度调节样品室结构示意图。

图中：1、角度调节样品室；2、光纤；3、光纤耦合装置；4、光束整形装置；5、信号采集装置；6、光源；7、激发单色器；8、发射单色器；9、光电检测器件；11、待测滤光片；13、外壳。

具体实施方式

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本发明。

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本发明的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

如图所示，本发明提供了一种滤光片光谱检测装置，包括：依次相互连接的光源6、激发单色器7、光纤耦合装置3、光纤2、角度调节样品室1、信号采集装置5、发射单色器8和光电检测器件9以及安装在角度调节样品室1上的光束整形装置4。

所述角度调节样品室1包括外壳13和置于外壳13内的旋转机构，所述旋转机构由两个独立的同心圆形旋转装置组成，内侧旋转装置上设置有滤光片夹持结构，用于放置待测滤光片11；外侧旋转装置上设置有支撑结构，用于固定所述光束整形装置4，通过两个旋转装置改变入射光角度和收集光角度。

所述光源6与所述激发单色器7之间通过装有多个透镜的套筒连接，使所述光源6发出的光经过多个透镜汇聚到所述激发单色器7中，并经所述激发单色器7变成单色光。

所述激发单色器7的出光口位置与所述光纤耦合装置3相连，所述光纤耦合装置3连接所述光纤2的一端，所述光纤2的另一端与所述光束整形装置4相连，使所述激发单色器7发出的单色光经过所述光纤2传输到所述角度调节样品室1中，并经所述光束整形装置4准直或聚焦，照射到待测滤光片11表面。

所述外壳13上设置有光学检测窗口，用于安装所述信号采集装置5；所述信号采集装置5为装有透镜的圆筒，其一端固定在所述外壳13上，另一端与所述发射单色器8相连，使待测滤光片11的反射光或透射光信号经过所述信号采集装置5内的透镜收集并汇聚到所述发射单色器8中；所述光电检测器件9放置在所述发射单色器8的出光口位置，用于检测信号强度。

所述信号采集装置5的位置固定不变，通过旋转所述内侧旋转装置改变待测滤光片11与所述光学检测窗口的相对夹角，并通过转动所述外侧旋转装置改变入射光线与待测滤光片11的相对夹角。

优选的，所述外壳13为长方体结构，材质为可屏蔽电磁干扰的合金，内壁涂覆吸光材料或处理成吸光层。

优选的，所述光纤2的纤芯材质为石英，数量为1-120根，芯径为10-800um，长度为1-5m。

优选的，所述光纤耦合装置3包括第一光纤接口、一个或两个透镜及壳体；所述透镜置于所述壳体内部，用于将所述激发单色器7发出的单色光耦合到所述光纤2中；所述第一光纤接口设置在所述壳体上远离所述激发单色器7的一端，用于连接所述光纤2；所述壳体上设有调节螺孔，用于调节所述光纤耦合装置3与所述激发单色器7出光口的相对位置。

优选的，所述光束整形装置4安装在所述外侧旋转装置的支撑结构上靠近所述激发单色器7的一侧，位于所述光纤2与待测滤光片11之间，包括第二光纤接口、一个或两个透镜及整形外壳；所述透镜置于所述整形壳体内部，用于将所述光纤2输出的单色光准直或者聚焦，再照射到待测滤光片11上；所述第二光纤接口设置在所述壳体的一端，用于连接所述光纤2；所述整形外壳上设有用于固定的螺孔，用于将所述光束整形装置4固定到所述支撑结构上。

优选的，所述信号采集装置5包括一个或两个透镜和一个圆筒状外壳；所述透镜置于所述圆筒状外壳内，用于将从样品发出的光汇聚到所述发射单色器8中；所述圆筒状外壳的一端固定在所述角度调节样品室1的检测窗口上，另一端与所述发射单色器8相连。

优选的，所述光源6为气体放电灯，波长为250-2500nm，功率为50-500W。

优选的，所述激发单色器7为光栅型单色器。

优选的，所述发射单色器8为光栅型单色器。

优选的，所述光电检测器件9为光电倍增管PMT、雪崩光电二极管APD、硅光电二极管PD或电荷耦合光电检测器CCD。

实施例1

一种滤光片光谱检测装置，如图1和图2所示，由角度调节样品室1、光纤，2、光纤耦合装置3、光束整形装置4、信号采集装置5、光源6、激发单色器7、发射单色器8和光电检测器件9组成；角度调节样品室1包括外壳13和两个独立的同心圆形旋转装置；内侧旋转装置上部为圆形旋转台，下部竖直方向设置有第一步进电机，通过第一步进电机带动上方圆形旋转台旋转；外侧旋转装置上部为环形旋转台，且与内侧旋转装置上部的圆形旋转台同心，下部水平方向设置有第二步进电机，通过第二步进电机以及内部传动齿轮带动上方环形旋转台旋转；内侧旋转装置的圆形旋转台上设置有滤光片夹持结构，包括两个相对放置的夹持片以及底部的椭圆形通孔，两个夹持片中间形成的扁平空间用于放置待测滤光片11，通过底部的椭圆形通孔调整两个夹持片的相对位置，以固定待测滤光片11；外侧旋转装置的环形旋转台上设置有长方体状的支撑结构，上部设有螺孔以固定光束整形装置4，下部设有螺孔以连接外侧旋转装置；通过两个旋转装置改变入射光角度和收集光角度；光源6与激发单色器7之间用一个装有多个透镜的套筒连接，使光源6发出的光经过透镜汇聚到激发单色器7中；激发单色器7出光口位置安装有光纤耦合装置3，光纤耦合装置3连接光纤2的一端，光纤2的另一端与安装在角度调节样品室1上的光束整形装置4相连，使激发单色器7发出的单色光经过光纤2传输到角度调节样品室1中，并经光束整形装置4准直或聚焦，照射到待测滤光片11表面；外壳13上设置有光学检测窗口，用于安装信号采集装置5；信号采集装置5为装有透镜的圆筒，其一端固定在角度调节样品室1的外壳13上，另一端与发射单色器8相连，使滤光片的反射光或透射光经过信号采集装置5内的透镜收集并汇聚到发射单色器8中；光电检测器件9放置在发射单色器8出光口位置，用于检测信号强度；信号采集装置5的位置固定不变，通过旋转内侧旋转装置改变待测滤光片11与检测窗口的相对夹角以改变收集光角度，并通过转动外侧旋转装置改变入射光线与待测滤光片11的相对夹角以改变入射光角度。

角度调节样品室1的外壳为长方体结构，材质为铝合金，内壁经阳极氧化处理成吸光层。光纤耦合装置3包括第一光纤接口、一个透镜及壳体；透镜用于将激发单色器7发出的单色光耦合到光纤2中；第一光纤接口用于连接光纤2；壳体上设有调节螺孔，内部连接有螺栓，用于调节光纤耦合装置3与激发单色器7出光口的相对位置。光束整形装置4包括第二光纤接口、一个透镜及整形外壳；透镜用于将光纤2输出的单色光准直，再照射到滤光片上；第二光纤接口用于连接光纤2；整形外壳上设有用于固定的螺孔，内部连接有螺栓，用于将光束整形装置4固定到外侧旋转装置的支撑结构上。信号采集装置5包括一个透镜和一个圆筒状外壳；透镜用于将从样品发出的光汇聚到发射单色器8中；圆筒状外壳一端通过螺栓固定在角度调节样品室1的检测窗口上，另一端通过螺栓与发射单色器8相连。

光源为150W氙灯，波长范围为250-1200nm；激发单色器7为光栅型单色器，使激发光变为线宽1nm的单色光；发射单色器8为光栅型单色器；石英光纤一根2为长2m、芯径400um的多模石英光纤；光束整形装置4带有一个平凸透镜，将激发光准直为平行光，照射到待测滤光片11表面。信号采集装置5带有一个平凸透镜，收集并传输滤光片的透射光；使用发射单色器8，将滤光片的透射光分解为单色光；光电检测器件9为光电倍增管(PMT)，用于获得发射单色器8输出的每一个单色光的强度值。

使用上述滤光片光谱检测装置对带通滤光片透过谱图在入射角度下的变化进行测试，首先测得该滤光片在0°入射和0°收集条件下的透射光谱图；再转动放置滤光片的内侧旋转装置，改变收集角度；再旋转放置光纤的外侧旋转装置，使入射角度等于收集角度；再进行透射光谱测试。将前后两次透射光谱图进行对比，即可得到透过谱图随角度变化的情况。

另一种测试方法：对分光滤光片的反射谱图在入射角度下的变化进行测试：首先测得该滤光片在45°入射和45°收集条件下的反射光谱图；再转动放置滤光片的内侧旋转装置，改变收集角度；再旋转放置光纤的外侧旋转装置，使入射角度等于收集角度；再进行反射光谱测试。将前后两次透射光谱图进行对比，即可得到透过谱图随角度变化的情况。

实施例2

如实施例1所述的滤光片光谱检测装置，其区别在于：角度调节样品室1的外壳11内壁经过氟碳喷涂；光纤2为60根芯径50um，长度为5m的石英光纤；光纤耦合装置3含有两个透镜，光束整形装置4含有两个透镜，信号采集装置5含有两个透镜；光电检测器件9为电荷耦合光电检测器(CCD)。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种滤光片光谱检测装置，其特征在于，包括：依次相互连接的光源(6)、激发单色器(7)、光纤耦合装置(3)、光纤(2)、角度调节样品室(1)、信号采集装置(5)、发射单色器(8)和光电检测器件(9)以及安装在角度调节样品室(1)上的光束整形装置(4)；

所述角度调节样品室(1)包括外壳(13)和置于外壳(13)内的旋转机构，所述旋转机构由两个独立的同心圆形旋转装置组成，内侧旋转装置上设置有滤光片夹持结构，用于放置待测滤光片(11)；外侧旋转装置上设置有支撑结构，用于固定所述光束整形装置(4)，通过两个旋转装置改变入射光角度和收集光角度；

所述光源(6)与所述激发单色器(7)之间通过装有多个透镜的套筒连接，使所述光源(6)发出的光经过多个透镜汇聚到所述激发单色器(7)中，并经所述激发单色器(7)变成单色光；

所述激发单色器(7)的出光口位置与所述光纤耦合装置(3)相连，所述光纤耦合装置(3)连接所述光纤(2)的一端，所述光纤(2)的另一端与所述光束整形装置(4)相连，使所述激发单色器(7)发出的单色光经过所述光纤(2)传输到所述角度调节样品室(1)中，并经所述光束整形装置(4)准直或聚焦，照射到待测滤光片(11)表面；

所述外壳(13)上设置有光学检测窗口，用于安装所述信号采集装置(5)；所述信号采集装置(5)为装有透镜的圆筒，其一端固定在所述外壳(13)上，另一端与所述发射单色器(8)相连，使待测滤光片(11)的反射光或透射光信号经过所述信号采集装置(5)内的透镜收集并汇聚到所述发射单色器(8)中；所述光电检测器件(9)放置在所述发射单色器(8)的出光口位置，用于检测信号强度；

所述信号采集装置(5)的位置固定不变，通过旋转所述内侧旋转装置改变待测滤光片(11)与所述光学检测窗口的相对夹角，并通过转动所述外侧旋转装置改变入射光线与待测滤光片(11)的相对夹角。

2.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述外壳(13)为长方体结构，材质为可屏蔽电磁干扰的合金，内壁涂覆吸光材料或处理成吸光层。

3.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述光纤(2)的纤芯材质为石英，数量为1-120根，芯径为10-800um，长度为1-5m。

4.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述光纤耦合装置(3)包括第一光纤接口、一个或两个透镜及壳体；所述透镜置于所述壳体内部，用于将所述激发单色器(7)发出的单色光耦合到所述光纤(2)中；所述第一光纤接口设置在所述壳体上远离所述激发单色器(7)的一端，用于连接所述光纤(2)；所述壳体上设有调节螺孔，用于调节所述光纤耦合装置(3)与所述激发单色器(7)出光口的相对位置。

5.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述光束整形装置(4)安装在所述外侧旋转装置的支撑结构上靠近所述激发单色器(7)的一侧，位于所述光纤(2)与待测滤光片(11)之间，包括第二光纤接口、一个或两个透镜及整形外壳；所述透镜置于所述整形壳体内部，用于将所述光纤(2)输出的单色光准直或者聚焦，照射到待测滤光片(11)上；所述第二光纤接口设置在所述壳体的一端，用于连接所述光纤(2)；所述整形外壳上设有用于固定的螺孔，用于将所述光束整形装置(4)固定到所述支撑结构上。

6.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述信号采集装置(5)包括一个或两个透镜和一个圆筒状外壳；所述透镜置于所述圆筒状外壳内，用于将从样品发出的光汇聚到所述发射单色器(8)中；所述圆筒状外壳的一端固定在所述角度调节样品室(1)的检测窗口上，另一端与所述发射单色器(8)相连。

7.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述光源(6)为气体放电灯，波长为250-2500nm，功率为50-500W。

8.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述激发单色器(7)为光栅型单色器。

9.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述发射单色器(8)为光栅型单色器。

10.根据权利要求1所述的滤光片光谱检测装置，其特征在于，所述光电检测器件(9)为光电倍增管(PMT)、雪崩光电二极管(APD)、硅光电二极管(PD)或电荷耦合光电检测器(CCD)。

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