CN114593993A - 一种微尺度拉伸试验测量装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种微尺度拉伸试验测量装置，包括试样，其顶端与缓冲夹持机构相连，底端与传递夹持机构的一端相连，传递夹持机构的另一端与力施加机构相连，在缓冲夹持机构、传递夹持机构之间设置有检测模块，两者均采用柔顺机构设计，呈轴向对称分布，且两者的轴向中心线重合，试样设置在轴向中心线上，力施加机构用于通过传递夹持机构向试样沿轴向中心线施加牵引力，以便对试样实施拉伸测试；传递夹持机构用于夹持试样的底端，且将力施加机构产生的牵引力传递到试样上；缓冲夹持机构用于夹持试样的顶端，且对传递夹持机构所受到的牵引力进行缓冲；检测模块用于检测缓冲夹持机构、传递夹持机构之间的相对位移，以便测量试样的拉伸位移。
Description
技术领域
本发明属于微尺度测量的技术领域，具体涉及一种微尺度拉伸试验测量装置。
背景技术
在精密仪器领域，如测量仪器、超精密加工、光学准直以及机器人系统等诸多领域，音圈电极驱动器和柔性机构分别作为微位移驱动和导向部件的精密定位平台在有着广泛应用，柔顺机构，主要靠机构中的柔性构件的变形来实现机构的主要运动和功能，它同样也能实现力、能量和运动的转换和传递，它在轻微型化领域应用前景相当广泛。近年来，随着以低维碳材料为代表的新材料的出现，准确测量自支撑薄膜(如碳纳米管增强纳米复合薄膜和各种巴基纸)的机械性能的需求日益迫切。因此，基于柔顺机构的变形原理开发的测量装置对于自支撑薄膜的检测意义显著。
发明内容
本发明提供一种微尺度拉伸试验测量装置，构建了基于柔顺机构的微尺度拉伸平台，包括两组柔顺机构，它们上下对称安置，实现对试件的拉伸测试，其中处于上方的柔顺机构由类似的双平行四杆机构组成，处于下方的柔顺机构由平行对称的负刚度梁组成，以解决寄生位移问题，实现试件拉伸的大尺度精密测量。
本发明可通过以下技术方案实现：
一种微尺度拉伸试验测量装置，包括试样，所述试样的顶端与缓冲夹持机构相连，底端与传递夹持机构的一端相连，所述传递夹持机构的另一端与力施加机构相连，在所述缓冲夹持机构、传递夹持机构之间设置有检测模块，
所述缓冲夹持机构、传递夹持机构均采用柔顺机构设计，呈轴向对称分布，且两者的轴向中心线重合，所述试样设置在轴向中心线上，
所述力施加机构用于通过传递夹持机构向试样沿轴向中心线施加牵引力，以便对试样实施拉伸测试；所述传递夹持机构用于夹持试样的底端，且将力施加机构产生的牵引力传递到试样上；所述缓冲夹持机构用于夹持试样的顶端，且对传递夹持机构所受到的牵引力进行缓冲；所述检测模块用于检测缓冲夹持机构、传递夹持机构之间的相对位移，以便测量试样的拉伸位移。
进一步，所述传递夹持机构包括镜像对称设置的两个传递柔顺机构，两个所述传递柔顺机构之间设置有第一连接件，每个传递柔顺机构均包括平行间隔设置的多个负刚度梁，所有的负刚度梁的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，所述第一连接件的顶面设置有下夹具，底面与力施加机构相连，所述下夹具用于夹持试件的底端；
所述缓冲夹持机构包括镜像对称设置的两个缓冲柔顺机构，两个所述缓冲柔顺机构之间设置有第二连接件，每个缓冲柔顺机构均包括平行间隔设置的多个正刚度梁，所有的正刚度梁的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，所述第二连接件的底面设置有上夹具，所述上夹具用于夹持试件的顶端；
所述检测模块设置为激光位移传感器，所述激光位移传感器在下夹具的顶面或者上夹具的底面，用于测量下夹具的顶面和上夹具的底面之间的相对位移。
进一步，所述第一连接件与两个传递柔顺机构采用一体化成形设计，所述第二连接件与两个缓冲柔顺机构也采用一体化成形设计，均利用线切割工艺在基板上加工而成。
进一步，所述传递柔顺机构包括上下间隔设置的四个第一横梁，它们的一端共同连接至第一竖梁，处于中间的两个第一横梁的另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第一横梁的另一端共同连接至基板，
处于中间的两个第一横梁为平行设置的两个负刚度梁，处于上下两端的两个第一横梁为平行设置的两个正刚度梁；
所述缓冲柔顺机构包括上下间隔设置的四个第二横梁，它们均为正刚度梁，其一端共同连接至第二竖梁，处于中间的两个第二横梁的另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第二横梁的另一端共同连接至基板。
进一步，在所述第一连接件的下部设置有空心槽，所述空心槽相对传递柔顺机构的轴向中心线对称设置。
进一步，所述负刚度梁与水平方向的夹角设置为三至七度。
本发明有益的技术效果在于：
(1)所选柔顺机构所需空间小、低摩擦磨损、线切割加工的集成特性以及MEMS加工的平面特性，成为精密力学测量机构的首选，可实现薄膜微拉伸力学响应的精密测量；
(2)为了便于力的精确测量，设计了测量力的柔顺机构，在竖直方向测量试件和测量力的柔顺机构串联安置；
(3)本发明采用的柔性铰链具有结构形状简单，便于加工，加工成本低等优点，本发明旨在解决自支撑薄膜试件力学响应的测量问题，具有一定新颖性。
附图说明
图1为本发明的总体结构示意图；
图2为采用本发明的测试装置进行测试时的系统结构示意图；
其中，1-传递柔顺机构，11-负刚度梁，2-第一连接件，3-下夹具，4-力施加机构，5-缓冲柔顺机构，51-正刚度梁，6-第二连接件，7-上夹具，8-基板，9-空心槽。
具体实施方式
下面结合附图及较佳实施例详细说明本发明的具体实施方式。
参照附图1，本发明提供了一种微尺度拉伸试验测量装置，包括试样，该试样的顶端与缓冲夹持机构相连，底端与传递夹持机构的一端相连，该传递夹持机构的另一端与力施加机构相连，在缓冲夹持机构、传递夹持机构之间设置有检测模块，该缓冲夹持机构、传递夹持机构均采用柔顺机构设计，呈轴向对称分布，且两者的轴向中心线重合，该试样设置在轴向中心线上，该力施加机构用于通过传递夹持机构向试样沿轴向中心线施加牵引力，以便对试样实施拉伸测试；该传递夹持机构用于夹持试样的底端，且将力施加机构产生的牵引力传递到试样上；该缓冲夹持机构用于夹持试样的顶端，且对传递夹持机构所受到的牵引力进行缓冲；该检测模块用于检测缓冲夹持机构、传递夹持机构之间的相对位移，以便测量试样的拉伸位移。这样，采用柔顺机构设计的传递夹持机构和缓冲夹持机构，没有其他传统机构中的间隙、摩擦、磨损及润滑等复杂问题，从而可以提高测量精度，增加测量结果的可靠性，减少维护成本，同时柔顺机构轴向对称式的设计，方便力施加机构实施竖直方向单自由度力的加载，为提高试件拉伸测试的精度提供进一步的保障。
具体地，该传递夹持机构包括镜像对称设置的两个传递柔顺机构1，这两个传递柔顺机构1之间设置有第一连接件2，每个传递柔顺机构1均包括平行间隔设置的多个负刚度梁11，所有的负刚度梁11的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，从而形成相对第一连接件的镜像对称分布，在第一连接件2的顶面设置有下夹具3，底面与力施加机构4相连，该下夹具3用于夹持试件的底端，这样，力施加机构4如音圈电机产生的牵引力通过第一连接件2就可以均匀地传递到两个传递柔顺机构1上，而采用负刚度梁设计，可以适当增加柔顺机构的牵引行程，为实现试件拉伸的大尺度精密测量提供物理基础。
为了进一步缓冲传递夹持机构所受到的牵引力，降低负刚度梁被损坏的风险，我们在传递夹持机构的上方设置有缓冲夹持机构，该缓冲夹持机构同样采用镜像对称设计，包括镜像对称设置的两个缓冲柔顺机构5，这两个缓冲柔顺机构5之间设置有第二连接件6，每个缓冲柔顺机构5均包括平行间隔设置的多个正刚度梁51，所有的正刚度梁51的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，第二连接件6的底面设置有上夹具7，该上夹具7用于夹持试件的顶端，这样，通过试件将传递夹持机构所受到的牵引力进一步传递到缓冲夹持机构的对个正刚度梁上，通过正刚度梁的变形受力，完成对传递夹持机构的受力缓冲，从而可以降低传递夹持机构中负刚度梁受力过大而造成损坏的风险，提高整个测量装置的安全性，增加其使用寿命。
考虑到柔顺机构本身的性能特征，我们可以在铝质等材料的基板8上采用线切割工艺一次性加工成形缓冲夹持机构和传递夹持机构，即将第一连接件与两个传递柔顺机构采用一体化成形设计，第二连接件与两个缓冲柔顺机构也采用一体化成形设计，在加工传递柔顺机构1时，可以设计上下间隔设置的四个第一横梁，它们的一端共同连接至第一竖梁，该第一竖梁和与其连接四个第一横梁的一端处于悬空状态，以便增加传递夹持机构的可变形尺度，处于中间的两个第一横梁的另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第一横梁的另一端共同连接至基板，并且处于中间的两个第一横梁为平行设置的两个负刚度梁，其与水平方向的夹角可以设置为3-7度，优选为5度，处于上下两端的两个第一横梁为平行设置的两个正刚度梁；同时为了减少机构自重带来的测量误差，在第一连接件的下部开矩形的空心槽9，该空心槽9相对传递柔顺机构的轴向中心线对称设置。
在加工缓冲柔顺机构5时，可以设计上下间隔设置的四个第二横梁，它们均为正刚度梁，其一端共同连接至第二竖梁，处于中间的两个第二横梁的另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第二横梁的另一端共同连接至基板，同样该第二竖梁和与其连接四个第二横梁的一端处于悬空状态，以便增加缓冲夹持机构的可变形尺度。
在上夹具7和下夹角3上可以设计对称的螺纹孔，以便于与试件进行紧固。
该检测模块可以设置为激光位移传感器等非接触式传感器，该激光位移传感器在下夹具的顶面，其激光照射至上夹具的底面，从而可以用于测量下夹具的顶面和上夹具的底面之间的相对位移即试件被拉伸的位移，完成拉伸测试，同样激光位移传感器也可以设置在上夹具的底面。
另外，该检测模块还可以包括非接触式的力传感器，该力传感器设置在传递夹持机构或者缓冲夹持机构上，用于测量它们所受到的牵引力，进而反向测试力施加机构的输出力，从而有助于整个测试装置的闭合控制，也可以检测传递夹持机构或者缓冲夹持机构所能够承受的力，提高安全性能。
在使用本发明的测试装置进行拉伸测试时，参照附图2，将预先选取的音圈电机驱动器安装到第一连接件的相应位置上，用于沿着竖直方向实施牵引力，拟采用非接触式的位置传感器安装到上夹具或者下夹具的相应位置，用于测量上夹具和下夹具沿竖直方向的相对位移，同时拟采用非接触式的力传感器测量传递夹持机构或者缓冲夹持机构所受到的力，待测试的试件两端利用螺钉连接在上夹具和下夹具上，保证试件处于悬空状态，保证试件处于被测量的安装位置。测试时整个机构竖直在光学平台上，音圈电机的底端固定在光学平台之上。
可以使用个人计算机对微尺度拉伸测试进行监视和控制，力传感器和位移传感器的电压信号是通过美国国家仪器有限公司提供的终端接口块获得，使用Labview软件提供测试的用户界面。用户可以直接输入微拉伸速度和期望的拉伸方向，模拟信号被放大器放大，然后再传送至音圈电机驱动器，音圈电机驱动器产生输出力来驱动传递夹持机构，第一连接件在传递柔顺机构的引导下产生沿竖直方向的位移，同时，位移传感器和力传感器测量实时位置信号并传输给信号处理模块，信号处理模块将位移信号和力信号转换成模拟信号，通过模数转换器转换成数字信号实时传输给上位机。国家仪器公司(NI)的嵌入式测控系统Compactrio和单片机(MCU)也可以用于实现位移信号的检测。
虽然以上描述了本发明的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这些仅是举例说明，在不背离本发明的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，因此，本发明的保护范围由所附权利要求书限定。
Claims (6)
1.一种微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：包括试样，所述试样的顶端与缓冲夹持机构相连，底端与传递夹持机构的一端相连，所述传递夹持机构的另一端与力施加机构相连，在所述缓冲夹持机构、传递夹持机构之间设置有检测模块，
所述缓冲夹持机构、传递夹持机构均采用柔顺机构设计，呈轴向对称分布，且两者的轴向中心线重合，所述试样设置在轴向中心线上，
所述力施加机构用于通过传递夹持机构向试样沿轴向中心线施加牵引力，以便对试样实施拉伸测试；所述传递夹持机构用于夹持试样的底端，且将力施加机构产生的牵引力传递到试样上；所述缓冲夹持机构用于夹持试样的顶端，且对传递夹持机构所受到的牵引力进行缓冲；所述检测模块用于检测缓冲夹持机构、传递夹持机构之间的相对位移，以便测量试样的拉伸位移。
2.根据权利要求1所述的微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：所述传递夹持机构包括镜像对称设置的两个传递柔顺机构，两个所述传递柔顺机构之间设置有第一连接件，每个传递柔顺机构均包括平行间隔设置的多个负刚度梁，所有的负刚度梁的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，所述第一连接件的顶面设置有下夹具，底面与力施加机构相连，所述下夹具用于夹持试件的底端；
所述缓冲夹持机构包括镜像对称设置的两个缓冲柔顺机构，两个所述缓冲柔顺机构之间设置有第二连接件，每个缓冲柔顺机构均包括平行间隔设置的多个正刚度梁，所有的正刚度梁的一端共同连接在一起，另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，所述第二连接件的底面设置有上夹具，所述上夹具用于夹持试件的顶端；
所述检测模块设置为激光位移传感器，所述激光位移传感器在下夹具的顶面或者上夹具的底面，用于测量下夹具的顶面和上夹具的底面之间的相对位移。
3.根据权利要求2所述的微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：所述第一连接件与两个传递柔顺机构采用一体化成形设计，所述第二连接件与两个缓冲柔顺机构也采用一体化成形设计，均利用线切割工艺在基板上加工而成。
4.根据权利要求3所述的微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：所述传递柔顺机构包括上下间隔设置的四个第一横梁，它们的一端共同连接至第一竖梁，处于中间的两个第一横梁的另一端共同连接至第一连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第一横梁的另一端共同连接至基板，
处于中间的两个第一横梁为平行设置的两个负刚度梁，处于上下两端的两个第一横梁为平行设置的两个正刚度梁；
所述缓冲柔顺机构包括上下间隔设置的四个第二横梁，它们均为正刚度梁，其一端共同连接至第二竖梁，处于中间的两个第二横梁的另一端共同连接至第二连接件的左侧面或者右侧面，处于上下两端的两个第二横梁的另一端共同连接至基板。
5.根据权利要求4所述的微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：在所述第一连接件的下部设置有空心槽，所述空心槽相对传递柔顺机构的轴向中心线对称设置。
6.根据权利要求2所述的微尺度拉伸试验测量装置，其特征在于：所述负刚度梁与水平方向的夹角设置为三至七度。
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|---|---|
| CN (1) | CN114593993A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116985629A (zh) * | 2023-09-28 | 2023-11-03 | 华东交通大学 | 一种柔顺恒力机构 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100064765A1 (en) * | 2007-08-31 | 2010-03-18 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Apparatus and method for material testing of microscale and nanoscale samples |
| US20100095780A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Hysitron Incorporated | Micro/nano-mechanical test system employing tensile test holder with push-to-pull transformer |
| CN104913974A (zh) * | 2015-05-12 | 2015-09-16 | 吉林大学 | 材料微观力学性能双轴拉伸-疲劳测试系统及其测试方法 |
| CN106680089A (zh) * | 2017-01-13 | 2017-05-17 | 合肥工业大学 | 具有夹持对中引导的柔性铰链微构件拉伸测试装置 |
| CN108724147A (zh) * | 2018-07-27 | 2018-11-02 | 山东大学 | 一种夹持力输出为恒力且可调的柔性微夹钳 |
| CN113187700A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-07-30 | 上海工程技术大学 | 一种电磁驱动的mems微泵装置 |
-
2022
- 2022-02-11 CN CN202210129517.5A patent/CN114593993A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20100064765A1 (en) * | 2007-08-31 | 2010-03-18 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Apparatus and method for material testing of microscale and nanoscale samples |
| US20100095780A1 (en) * | 2008-10-07 | 2010-04-22 | Hysitron Incorporated | Micro/nano-mechanical test system employing tensile test holder with push-to-pull transformer |
| CN104913974A (zh) * | 2015-05-12 | 2015-09-16 | 吉林大学 | 材料微观力学性能双轴拉伸-疲劳测试系统及其测试方法 |
| CN106680089A (zh) * | 2017-01-13 | 2017-05-17 | 合肥工业大学 | 具有夹持对中引导的柔性铰链微构件拉伸测试装置 |
| CN108724147A (zh) * | 2018-07-27 | 2018-11-02 | 山东大学 | 一种夹持力输出为恒力且可调的柔性微夹钳 |
| CN113187700A (zh) * | 2021-04-20 | 2021-07-30 | 上海工程技术大学 | 一种电磁驱动的mems微泵装置 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| MIN ZOU 等: "Progresses in Tensile, Torsional, and Multifunctional Soft Actuators", 《ADVANCED FUNCTIONAL MATERIALS》, vol. 31, no. 39, 31 January 2021 (2021-01-31), pages 2007437 * |
| ZHAOZHAO WANG 等: "Design and Analysis of a Novel Compliant Tensile Testing Module Based on Buckled Fixed-Guided Beam", 《IEEE ACCESS》, vol. 9, 4 October 2021 (2021-10-04), pages 136985 - 136993, XP011882734, DOI: 10.1109/ACCESS.2021.3117597 * |
| 蓝双 等: "新型准零刚度系统的设计、分析与仿真", 《机械强度》, vol. 40, no. 3, 31 December 2018 (2018-12-31), pages 515 - 521 * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116985629A (zh) * | 2023-09-28 | 2023-11-03 | 华东交通大学 | 一种柔顺恒力机构 |
| CN116985629B (zh) * | 2023-09-28 | 2024-04-26 | 华东交通大学 | 一种柔顺恒力机构 |
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