CN110148436B - 一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台 - Google Patents

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Abstract

本发明的目的在于提供一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，行程大、载物平台面积大、结构紧凑。该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，包括机架、载物平台、X向驱动‑放大机构、X向辅助机构、Y向驱动‑放大机构和Y向辅助机构，X向的第一连杆机构与Y向的第一连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第二连杆机构与Y向的第二连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第一连杆机构和Y向的第二连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动；X向的第二连杆机构和Y向的第一连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动。

Description

一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台
技术领域
本发明涉及一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台。
背景技术
柔性压电微动平台是由压电驱动器驱动、通过柔性结构传递位移的微位移机构。柔性压电微动平台具有无需装配、无传动间隙、无摩擦与磨损、位移分辨率小（可达到纳米级），响应时间短（可达到毫秒级）、刚度大、体积小、承载能力强等优点，被广泛应用于精密加工与测试、光纤对接、微零件装配、细胞微操作等需要微/纳米定位的技术领域中。
中国专利CN204897391U公开了一种基于柔性铰链放大的压电微动平台，利用双摇杆机构作为放大机构、对压电堆叠驱动器的输出位移进行放大，使微动平台具有较大的行程。但是，该压电微动平台存在以下问题：1、放大机构对载物平台输出的驱动力有限。该压电微动平台的放大机构与解耦机构铰接、解耦机构与载物平台铰接，也就是说放大机构不是与载物平台直接连接，压电堆叠驱动器传递至载物平台的输出位移在一定程度上被弱化。另外，由于该压电微动平台的放大机构结构不够紧凑，位于载物平台一侧的放大机构只有一个，如果在载物平台的一侧放置多个放大机构，多个放大机构同时对载物平台进行驱动，多个放大机构将占用较大的体积。2、载物平台面积较小。3、该专利只披露了压电微动平台具有两个的自由度（X轴、Y轴）。
发明内容
本发明的目的在于提供一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，行程大、载物平台面积大、结构紧凑，还能够检测载物平台的位移和驱动-放大机构的输出力。
一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，包括机架、载物平台、X向驱动-放大机构、X向辅助机构、Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构，X向驱动-放大机构和X向辅助机构分别设于载物平台的两侧，Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构分别设于载物平台的两侧，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有各自的驱动单元和放大单元，放大单元包括对称设置的第一连杆机构和第二连杆机构，连杆机构的两个摇杆分别与机架铰接，主动摇杆具有摇杆延伸段，摇杆延伸段的自由端与驱动单元的输出端通过柔性铰链相连；连杆具有连杆延伸段，连杆延伸段的自由端与连接薄板相连，连接薄板的另一端与载物平台相连；X向辅助机构和Y向辅助机构分别包括各自的一对随动块，每个随动块具有柔性薄板组，柔性薄板组包括与机架相连的第一柔性薄板和与载物平台相连的第二柔性薄板，第一柔性薄板和第二柔性薄板正交，随动块与机架之间、随动块与载物平台之间都有距离；X向的第一连杆机构与Y向的第一连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第二连杆机构与Y向的第二连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第一连杆机构和Y向的第二连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动；X向的第二连杆机构和Y向的第一连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动。优选的，驱动单元是压电执行器。
当X向驱动-放大机构输出位移时，载物平台产生沿X轴的位移；当Y向驱动-放大机构输出位移时，载物平台产生沿Y轴的位移；在X向的第一连杆机构和Y向的第二连杆机构的驱动下、或在X向的第二连杆机构和Y向的第一连杆机构的驱动下，载物平台绕Z轴转动；从而实现载物平台的三自由度运动。另外，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有对称设置的第一连杆机构和第二连杆结构，提高驱动力输出的稳定性和精度，提高微动平台的整体稳定性。
作为优选的方案，主动摇杆和摇杆延伸段是T形杆，T形杆包括横臂和直臂，直臂的一端与连杆通过柔性铰链相连、直臂的另一端与驱动单元的输出端通过柔性铰链相连；横臂的一端与直臂固定连接、横臂的另一端通过柔性铰链与机架连接。优选的，驱动单元的输出位移与T形杆直臂垂直。T形杆以横臂与机架的连接点为支点，对驱动单元的输出位移进行放大。直臂与连杆的连接点到支点之间形成主动摇杆，直臂与驱动单元的连接点到支点之间形成摇杆延伸段。优选的，驱动单元与横臂的连接点、横臂与机架的铰接点位于直臂的同一侧。从而驱动-放大机构结构紧凑，使微动平台整体具有较小的体积。
作为优选的方案，连杆为L形，L形连杆一端通过连接薄板与载物平台相连，L形连杆的另一端通过柔性铰链分别与从动摇杆和主动摇杆相连。L形连杆以L形连杆与从动摇杆的连接点为支点、对输出位移进行进一步放大。L形连杆与从动摇杆的连接点、L形连杆与主动摇杆的连接点之间形成连杆，L形连杆与从动摇杆的连接点、L形连杆与柔性薄板连接点之间形成连杆延伸段；连杆延伸段的长度大于连杆长度。优选的，从动摇杆通过柔性铰链与机架铰接。从动摇杆可以是L形块、方块。
作为优选的方案，驱动单元通过位移传递机构与主动摇杆连接，位移传递机构包括刚性支架、内柔性薄板组、刚性输出杆和外柔性薄板组，刚性支架呈U形，刚性支架的开口端设有内柔性薄板组，内柔性薄板组包括两对内柔性薄板，两对内柔性薄板关于刚性输出杆对称，每个内柔性薄板一端与刚性输出杆连接、另一端与刚性支架连接；刚性支架、内柔性薄板组和刚性输出杆构成内双平行四连杆机构；刚性支架的封闭端的外侧对称地设有一对外柔性薄板，封闭端的外柔性薄板与刚性支架的侧臂平行，且封闭端的外柔性薄板一端与刚性支架封闭端连接、另一端与机架连接；驱动单元位于刚性支架内，驱动单元一端抵紧刚性支架封闭端、另一端抵紧刚性输出杆的内端；刚性输出杆的外端通过柔性铰链与主动摇杆的延伸段连接。刚性输出杆的内端指的是，刚性输出杆位于刚性支架中的一端；刚性输出杆的外端指的是，与刚性输出杆的内端相对的一端。优选的，每个驱动单元均有预紧螺杆，预紧螺杆依次穿过机架和刚性支架、抵紧驱动单元。
作为优选的方案，载物平台在与X向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和X向第一连杆机构的连接薄板、连接载物平台和X向第二连杆机构的连接薄板之间。如此，增大载物平台的有效载物面积。优选的，载物平台在与X向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于X向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
作为优选的方案，载物平台在与Y向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和Y向第一连杆机构的连接薄板、连接载物平台和Y向第二连杆机构的连接薄板之间。如此，增大载物平台的有效载物面积。优选的，载物平台在与Y向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于Y向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
作为优选的方案，该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括位移检测装置，位移检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和/或第二柔性薄板上。优选的，位移检测装置是安装于连接薄板和/或第二柔性薄板两侧面上的位置检测应变片。
位置检测应变片组成桥接电路，桥接电路通过应变放大器放大后、由A/D口通过PCI板卡传输到工控机上，工控机通过计算获得载物平台的位移，x= U 1/k 1，x为平台位移，U 1为桥接电路经应变放大器放大后的输出电压，k 1为比例系数。工控机在计算载物平台位移之前需要先校准获得比例系数k 1，具体做法是：（1）驱动-放大机构驱动载物平台在X轴或Y轴方向发生位移；（2）利用电容或激光位移传感器检测载物平台位移x 0，并测量位置检测应变片的输出电压U 1，根据公式k 1=U 1/ x 0计算位移与输出电压的比例系数k 1。
作为优选的方案，该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括输出力检测装置，输出力检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和/或第二柔性薄板上。输出力检测装置用于检测施加在载物平台上的驱动力。优选的，输出力检测装置是安装于连接薄板和/或第二柔性薄板两侧面上的输出力检测应变片。优选的，位移检测装置和输出力检测装置分别安装在不同的连接薄板或第二柔性薄板上。
输出力检测应变片组成桥接电路，桥接电路通过应变放大器放大后、由A/D口通过PCI板卡传输到工控机上，工控机通过计算获得驱动-放大机构的驱动力，F=U 2/k 2，F为驱动-放大机构的驱动力，U 2为桥接电路经应变放大器放大后的输出电压，k 2为比例系数。工控机在计算驱动-放大机构的驱动力之前需要先校准获得比例系数k 2，具体做法是：（1）驱动-放大机构驱动载物平台在X轴或Y轴方向发生位移；（2）利用输出力传感器检测驱动-放大机构的驱动力F 0，并测量输出力检测应变片的输出电压U 2，根据公式k 2=U 2/ F 0计算输出力与输出电压的比例系数k 2。
作为优选的方案，所有的连接薄板和第二柔性薄板上均安装有位移检测装置或输出力检测装置；载物平台的每一侧均对应具有位移检测装置和输出力检测装置。从而更加精确地检测载物平台的位移和驱动-放大机构的输出力。
作为优选的方案，该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台通过线切割一体成型。如此成型的柔性压电微动平台无需装配、无间隙、无摩擦、导向精度高。
本发明的有益效果： 1、微动平台具有X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有第一连杆机构和第二连杆机构，载物平台能够在X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构的驱动下，产生X向位移、Y向位移和绕Z轴转动，从而实现载物平台的三自由度运动。
2、X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有第一连杆机构和第二连杆机构，能够增大输出力和载物平台行程，提高输出力的稳定性和精度，提高微动平台的整体稳定性。
3、驱动-放大机构结构紧凑、占用位置小，使微动平台具有较大的行程和较小的整体尺寸。
4、 载物平台具有延伸部，增加了载物平台的有效载物面积。
5、 微动平台还具有位移检测装置和输出力检测装置，能够对载物平台的位移和驱动-放大机构的输出力进行实时检测。
6、整个微动平台通过线切割一体成型，无需装配、无间隙、无摩擦、导向精度高。
7、重量轻、操作方便，适用于微操作机器人系统和微机电系统。
附图说明
图1是本发明一个实施例的示意图。
图2是本发明一个实施例各部件的示意图。
图3是本发明一个实施例的立体图。
图4是图3中位移传递机构的放大立体图。
图5是本发明一个实施例的位置检测应变片和输出力检测应变片的检测原理图。
具体实施方式
下面结合具体实施例对本发明进行一步的详细说明。
一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，如图1所示，包括机架1、载物平台2、X向驱动-放大机构、X向辅助机构4、Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构6，X向驱动-放大机构和X向辅助机构分别设于载物平台2的两侧，Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构分别设于载物平台2的两侧，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有各自的驱动单元和放大单元，放大单元包括对称设置的第一连杆机构和第二连杆机构，连杆机构的两个摇杆分别与机架铰接，主动摇杆具有摇杆延伸段，摇杆延伸段的自由端与驱动单元的输出端通过柔性铰链相连；连杆具有连杆延伸段，连杆延伸段的自由端与连接薄板相连，连接薄板的另一端与载物平台相连；X向辅助机构和Y向辅助机构分别包括各自的一对随动块8，每个随动块具有柔性薄板组，柔性薄板组包括与机架相连的第一柔性薄板801和与载物平台相连的第二柔性薄板802，第一柔性薄板和第二柔性薄板正交，随动块8与机架1之间、随动块8与载物平台2之间都有距离；X向的第一连杆机构301与Y向的第一连杆机构501关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第二连杆机构302与Y向的第二连杆机构502关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第一连杆机构301和Y向的第二连杆机构502驱动载物平台绕Z轴转动；X向的第二连杆机构302和Y向的第一连杆机构501驱动载物平台绕Z轴转动。驱动单元是压电执行器。
当X向驱动-放大机构输出位移时，载物平台产生沿X轴的位移；当Y向驱动-放大机构输出位移时，载物平台产生沿Y轴的位移；在X向的第一连杆机构和Y向的第二连杆机构的驱动下、或在X向的第二连杆机构和Y向的第一连杆机构的驱动下，载物平台绕Z轴转动；从而实现载物平台的三自由度运动。另外，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有对称设置的第一连杆机构和第二连杆结构，提高驱动力输出的稳定性和精度，提高微动平台的整体稳定性。
如图2所示，以Y向驱动-放大机构5的第一连杆机构501为例，主动摇杆5011是T形杆，T形杆包括横臂和直臂，直臂的一端与连杆5012通过柔性铰链相连、直臂的另一端与驱动单元5013的输出端通过柔性铰链相连；横臂的一端与直臂固定连接、横臂的另一端通过柔性铰链与机架1连接。驱动单元5013的输出位移与T形杆直臂垂直。T形杆以横臂与机架的连接点为支点，对驱动单元的输出位移进行放大。直臂与连杆的连接点到支点之间形成主动摇杆，直臂与驱动单元的连接点到支点之间形成摇杆延伸段。驱动单元与横臂的连接点、横臂与机架的铰接点位于直臂的同一侧。从而驱动-放大机构结构紧凑，使微动平台整体具有较小的体积。
如图2所示，以Y向驱动-放大机构5的第一连杆机构501为例，连杆5012为L形，L形连杆5012一端通过连接薄板701与载物平台2相连，L形连杆5012的另一端通过柔性铰链分别与从动摇杆5014和主动摇杆5011相连。L形连杆以L形连杆与从动摇杆的连接点为支点、对输出位移进行进一步放大。L形连杆与从动摇杆的连接点、L形连杆与主动摇杆的连接点之间形成连杆，L形连杆与从动摇杆的连接点、L形连杆与柔性薄板连接点之间形成连杆延伸段；连杆延伸段的长度大于连杆长度。如图2所示，从动摇杆5014通过柔性铰链与机架1铰接。从动摇杆是L形块。在一些实施例中，从动摇杆可以是方块。
如图2~4所示，以Y向驱动-放大机构5的第二连杆机构502为例，驱动单元通过位移传递机构与主动摇杆连接，位移传递机构包括刚性支架901、内柔性薄板组、刚性输出杆903和外柔性薄板组，刚性支架901呈U形，刚性支架901的开口端设有内柔性薄板组，内柔性薄板组包括两对内柔性薄板902，两对内柔性薄板902关于刚性输出杆903对称，每个内柔性薄板902一端与刚性输出杆903连接、另一端与刚性支架901连接；刚性支架901、内柔性薄板组和刚性输出杆903构成内双平行四连杆机构；刚性支架901的封闭端的外侧对称地设有一对外柔性薄板904，封闭端的外柔性薄板904与刚性支架901的侧臂平行，且封闭端的外柔性薄板904一端与刚性支架901封闭端连接、另一端与机架1连接；驱动单元位于刚性支架901内，驱动单元一端抵紧刚性支架901封闭端、另一端抵紧刚性输出杆903的内端；刚性输出杆903的外端通过柔性铰链与主动摇杆的延伸段连接。刚性输出杆的内端指的是，刚性输出杆位于刚性支架中的一端；刚性输出杆的外端指的是，与刚性输出杆的内端相对的一端。每个驱动单元均有预紧螺杆，预紧螺杆依次穿过机架和刚性支架、抵紧驱动单元。
如图2所示，载物平台在与X向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和X向第一连杆机构的连接薄板703、连接载物平台和X向第二连杆机构的连接薄板704之间。如此，增大载物平台的有效载物面积。载物平台在与X向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于X向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
如图2所示，载物平台在与Y向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和Y向第一连杆机构的连接薄板701、连接载物平台和Y向第二连杆机构的连接薄板702之间。如此，增大载物平台的有效载物面积。载物平台在与Y向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于Y向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括位移检测装置，位移检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和第二柔性薄板上。位移检测装置是安装于连接薄板和第二柔性薄板两侧面上的位置检测应变片。
在一些实施例中，位移检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板或第二柔性薄板上。
如图5所示，位置检测应变片组成桥接电路，桥接电路通过应变放大器放大后、由A/D口通过PCI板卡传输到工控机上，工控机通过计算获得载物平台的位移，x= U 1/k 1，x为平台位移，U 1为桥接电路经应变放大器放大后的输出电压，k 1为比例系数。工控机在计算载物平台位移之前需要先校准获得比例系数k 1，具体做法是：（1）驱动-放大机构驱动载物平台在X轴或Y轴方向发生位移；（2）利用电容或激光位移传感器检测载物平台位移x 0，并测量位置检测应变片的输出电压U 1，根据公式k 1=U 1/ x 0计算位移与输出电压的比例系数k 1。
该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括输出力检测装置，输出力检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和第二柔性薄板上。输出力检测装置用于检测施加在载物平台上的驱动力。输出力检测装置是安装于连接薄板和第二柔性薄板两侧面上的输出力检测应变片。位移检测装置和输出力检测装置分别安装在不同的连接薄板或第二柔性薄板上。
在一些实施例中，输出力检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板或第二柔性薄板上。
如图5所示，输出力检测应变片组成桥接电路，桥接电路通过应变放大器放大后、由A/D口通过PCI板卡传输到工控机上，工控机通过计算获得驱动-放大机构的驱动力，F=U 2/k 2，F为驱动-放大机构的驱动力，U 2为桥接电路经应变放大器放大后的输出电压，k 2为比例系数。工控机在计算驱动-放大机构的驱动力之前需要先校准获得比例系数k 2，具体做法是：（1）驱动-放大机构驱动载物平台在X轴或Y轴方向发生位移；（2）利用输出力传感器检测驱动-放大机构的驱动力F 0，并测量输出力检测应变片的输出电压U 2，根据公式k 2=U 2/ F 0计算输出力与输出电压的比例系数k 2。
所有的连接薄板和第二柔性薄板上均安装有位移检测装置或输出力检测装置；载物平台的每一侧均对应具有位移检测装置和输出力检测装置。如图2所示，连接薄板701、连接薄板704、第二柔性薄板802、第二柔性薄板8022两侧安装有位置检测应变片；连接薄板702、连接薄板703、第二柔性薄板8021、第二柔性薄板8023两侧安装有输出力检测应变片，从而更加精确地检测载物平台的位移和驱动-放大机构的输出力。
该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台通过线切割一体成型。如此成型的柔性压电微动平台无需装配、无间隙、无摩擦、导向精度高。
本说明书实施例所述的内容仅仅是对发明构思的实现形式的列举，本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思所能够想到的等同技术手段。

Claims (10)

1.一种大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：包括机架、载物平台、X向驱动-放大机构、X向辅助机构、Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构，X向驱动-放大机构和X向辅助机构分别设于载物平台的两侧，Y向驱动-放大机构和Y向辅助机构分别设于载物平台的两侧，X向驱动-放大机构和Y向驱动-放大机构分别具有各自的驱动单元和放大单元，放大单元包括对称设置的第一连杆机构和第二连杆机构，连杆机构的两个摇杆分别与机架铰接，主动摇杆具有摇杆延伸段，摇杆延伸段的自由端与驱动单元的输出端通过柔性铰链相连；连杆具有连杆延伸段，连杆延伸段的自由端与连接薄板相连，连接薄板的另一端与载物平台相连；所述主动摇杆的一端与连杆通过柔性铰链相连；X向辅助机构和Y向辅助机构分别包括各自的一对随动块，每个随动块具有柔性薄板组，柔性薄板组包括与机架相连的第一柔性薄板和与载物平台相连的第二柔性薄板，第一柔性薄板和第二柔性薄板正交，随动块与机架之间、随动块与载物平台之间都有距离；X向的第一连杆机构与Y向的第一连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第二连杆机构与Y向的第二连杆机构关于X轴和Y轴的角平分线对称，X向的第一连杆机构和Y向的第二连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动；X向的第二连杆机构和Y向的第一连杆机构驱动载物平台绕Z轴转动。
2.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：主动摇杆和摇杆延伸段是T形杆，T形杆包括横臂和直臂，直臂的一端与连杆通过柔性铰链相连、直臂的另一端与驱动单元的输出端通过柔性铰链相连；横臂的一端与直臂固定连接、横臂的另一端通过柔性铰链与机架连接。
3.如权利要求1或2所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：连杆为L形，L形连杆一端通过连接薄板与载物平台相连，L形连杆的另一端通过柔性铰链分别与从动摇杆和主动摇杆相连。
4.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：驱动单元通过位移传递机构与主动摇杆连接，位移传递机构包括刚性支架、内柔性薄板组、刚性输出杆和外柔性薄板组，刚性支架呈U形，刚性支架的开口端设有内柔性薄板组，内柔性薄板组包括两对内柔性薄板，两对内柔性薄板关于刚性输出杆对称，每个内柔性薄板一端与刚性输出杆连接、另一端与刚性支架连接；刚性支架、内柔性薄板组和刚性输出杆构成内双平行四连杆机构；刚性支架的封闭端的外侧对称地设有一对外柔性薄板，封闭端的外柔性薄板与刚性支架的侧臂平行，且封闭端的外柔性薄板一端与刚性支架封闭端连接、另一端与机架连接；驱动单元位于刚性支架内，驱动单元一端抵紧刚性支架封闭端、另一端抵紧刚性输出杆的内端；刚性输出杆的外端通过柔性铰链与主动摇杆的延伸段连接。
5.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：载物平台在与X向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和X向第一连杆机构的连接薄板、连接载物平台和X向第二连杆机构的连接薄板之间。
6.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：载物平台在与X向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于X向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
7.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：载物平台在与Y向驱动-放大机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于连接载物平台和Y向第一连杆机构的连接薄板、连接载物平台和Y向第二连杆机构的连接薄板之间。
8.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：载物平台在与Y向辅助机构连接的一侧具有延伸部，延伸部位于Y向辅助机构的一对柔性薄板组之间。
9.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括位移检测装置，位移检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和/或第二柔性薄板上；该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台还包括输出力检测装置，输出力检测装置安装于与载物平台连接的连接薄板和/或第二柔性薄板上；位移检测装置和输出力检测装置分别安装在不同的连接薄板或第二柔性薄板上；所有的连接薄板和第二柔性薄板上均安装有位移检测装置或输出力检测装置，载物平台的每一侧均对应具有位移检测装置和输出力检测装置。
10.如权利要求1所述的大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台，其特征在于：该大行程、可转动的三自由度并联柔性微动平台通过线切割一体成型。
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