CN114543711A - 一种气体距离测量系统传感数据处理方法 - Google Patents

一种气体距离测量系统传感数据处理方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114543711A
CN114543711A CN202210103705.0A CN202210103705A CN114543711A CN 114543711 A CN114543711 A CN 114543711A CN 202210103705 A CN202210103705 A CN 202210103705A CN 114543711 A CN114543711 A CN 114543711A
Authority
CN
China
Prior art keywords
phi
value
distance
impedance
gas concentration
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202210103705.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114543711B (zh
Inventor
王璐珩
南茂元
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central South University
Original Assignee
Central South University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central South University filed Critical Central South University
Priority to CN202210103705.0A priority Critical patent/CN114543711B/zh
Publication of CN114543711A publication Critical patent/CN114543711A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114543711B publication Critical patent/CN114543711B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B13/00—Measuring arrangements characterised by the use of fluids
    • G01B13/02—Measuring arrangements characterised by the use of fluids for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种气体距离测量系统传感数据处理方法，属于传感技术领域。该方法将三个与测量系统获取的传感器电阻值最接近的标定电阻值及其所对应的标定气体浓度值作为计算气体浓度值的有效气体浓度‑电阻传感特性标定数据；在各标定浓度值下，将三个与测量系统获取的传感器阻抗值最接近的标定阻抗值及其所对应的标定距离值作为有效距离‑阻抗传感特性标定数据，进而得到各标定气体浓度值下与传感器阻抗值相对应的距离值。将所述距离值与其所对应的标定气体浓度值作为有效气体浓度‑距离特性标定数据，进而用阻抗值得到距离值。用本发明提出的方法能实现气体浓度和距离的同时测量，特别适用于现代工业设备狭小曲面层间气体和距离测量等领域。

Description

一种气体距离测量系统传感数据处理方法
技术领域
本发明属于传感技术领域，特别涉及到气体和距离测量。
背景技术
现代大型工业设备的关键部件中存在着狭小曲面层间结构，在系统运行中，层间结构充斥着气体且层间间隙会发生变化。为确保系统安全，需要测量狭小曲面层间的气体和距离。由于层间间隙狭小、接触表面不规则，因此亟需减少传感器的种类和数量。目前，中南大学自动化学院传感器实验室研制了基于气敏元件线圈化的气体距离传感器，有潜力实现层间气体和距离测量。但在测量过程中，电涡流效应和气敏效应交织在一起共同引发传感器阻抗的变化，因此给气体和距离测量带来困难。故而，如何设计传感数据处理方法以分离传感器阻抗对气体和距离的响应是亟需解决的难题。
发明内容
本发明的目的是为克服现有技术的不足之处，提出一种气体距离测量系统传感数据处理方法，包括以下步骤：
(1)、确定气体-电阻传感器特性的N个标定气体浓度值φi(i＝1，2，...，N)，并得到与φi对应的标定电阻值Ri；确定气体浓度值为φi时的距离-阻抗传感器特性的M个标定距离值Gj(j＝1，2，...，M)，并得到与Gj对应的标定阻抗值Z(φi，Gj)；
(2)、通过测量系统的直流通道获取传感器电阻值为RX，通过测量系统的交流通道获取传感器的阻抗值为ZX；
得到与RX在数值上最接近的三个标定电阻值：Rn、Rn+1和Rn+2(1≤n≤N-2)，从而确定与所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2相对应的标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2，将所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2与标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2作为有效气体浓度-电阻传感特性标定数据，进而利用所述有效气体浓度-电阻传感特性标定数据得到待测气体浓度φX的计算公式，如式(a)所示：
Figure BSA0000264851230000011
确定当气体浓度为φn的情况下与所述ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)(1≤q≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)相对应的标定距离值Gq、Gq+1和Gq+2，将所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)与标定距离值Gq、Gq+1和Gq+2作为气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn且传感器阻抗值为ZX时的距离值G(φn，ZX)的计算公式，如式(b)所示：
Figure BSA0000264851230000021
确定当气体浓度为φn+1的情况下与所述ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)(1≤k≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)相对应的标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2，将所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)与标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2作为气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+1且传感器的阻抗值为ZX时的间隙值G(φn+1，ZX)的计算式，如式(c)所示：
Figure BSA0000264851230000022
确定当气体浓度为φn+2的情况下与所述ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)(1≤p≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)相对应的标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2，将所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)与标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2作为气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+2且为阻抗值为ZX时的距离G(φn+2，ZX)的计算式，如式(d)所示：
Figure BSA0000264851230000023
将所述标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2与所述G(φn，ZX)、G(φn+1，ZX)和G(φn+2，ZX)作为传感器阻抗值为ZX时的有效气体浓度-距离特性标定数据，进而得到待测距离GX的计算式，如式(e)所示：
Figure BSA0000264851230000024
本发明的特点及效果：
本发明提出的一种气体距离测量系统传感数据处理方法，先获取气体-电阻传感特性标定数据和各标定气体浓度值下的距离-阻抗传感特性标定数据。在测量中，将三个与测量系统获取的传感器电阻值最接近的标定电阻值及其所对应的标定气体浓度值作为有效气体浓度-电阻传感特性标定数据，进而利用电阻-气体浓度转换算法得到待测气体浓度值；在各标定浓度值下，将三个与测量系统获取的传感器阻抗值最接近的标定阻抗值及其所对应的标定距离值作为有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用阻抗-距离转换算法得到各标定气体浓度值下与传感器阻抗值相对应的距离值。将所述与传感器阻抗值相对应的距离值与其所对应的标定气体浓度值作为有效气体浓度-距离特性标定数据，进而利用气体浓度-距离转换算法得到待测距离值。用本发明提出的方法能实现气体浓度和距离的同时测量，特别适用于现代工业设备狭小曲面层间气体和距离双参数测量等领域。
具体实施方式
(1)、将气体距离传感器探头置于封闭容器中并施加不同浓度的乙醇蒸汽，用万用表获取传感器在不同乙醇蒸汽浓度下的电阻值，确定气体浓度-电阻传感器特性的N个标定电阻值Ri(i＝1，2，...，N)并得到与Ri对应的标定气体浓度值φi；
(2)、改变金属目标物与气体距离传感器之间的距离以改变距离，用LCR表得到传感器的阻抗值，确定气体浓度值为φi(i＝1，2，...，N)时的距离-阻抗传感器特性的M个标定距离值的Gj(j＝1，2，...，M)，并得到与Gj对应的标定阻抗值Z(φi，Gj)，
(3)、通过测量系统的直流通道获取传感器的电阻值为RX，通过测量系统的交流通道获取传感器的阻抗值为ZX；
(4)、计算测量系统所获取的传感器电阻值RX与标定电阻值Ri的偏差值Δi，如式(f)所示：
Δi＝|RX-Ri| (f)
通过比较所述N个偏差值Δi，得到数值最小的三个偏差值：Δn+1、Δn和Δn+2(1≤n≤N-2)，进而得到与RX在数值上最接近的三个标定电阻值：Rn、Rn+1和Rn+2，从而确定与所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2相对应的标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2，将所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2与标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2作为有效气体浓度-电阻传感特性标定数据，进而利用所述有效气体浓度-电阻传感特性标定数据得到待测气体浓度φX的计算公式，如式(g)所示：
Figure BSA0000264851230000031
(5)、计算测量系统在气体浓度为φn的情况下所获得的传感器阻抗值ZX与标定阻抗值Zj(φn，Gj)之间的偏差值
Figure BSA0000264851230000032
如式(h)所示：
Figure BSA0000264851230000041
通过比较所述M个偏差值
Figure BSA0000264851230000042
得到数值最小的三个偏差值：
Figure BSA0000264851230000043
和
Figure BSA0000264851230000044
(1≤q≤M-2)，进而得到当气体浓度为φn的情况下与ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)相对应的标定间隙值Gq、Gq+1和Gq+2，将所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)与标定间隙值Gq、Gq+1和Gq+2作为气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn且传感器阻抗值为ZX时的距离值G(φn，ZX)的计算公式，如式(i)所示：
Figure BSA0000264851230000045
(6)、计算测量系统在气体浓度为φn+1的情况下所获得的传感器阻抗值ZX与标定阻抗值Zj(φn+1，Gj)之间的偏差值
Figure BSA0000264851230000046
如式(j)所示：
Figure BSA0000264851230000047
通过比较所述M个偏差值
Figure BSA0000264851230000048
得到数值最小的三个偏差值：
Figure BSA0000264851230000049
和
Figure BSA00002648512300000410
(1≤k≤M-2)，进而得到当气体浓度为φn+1的情况下与ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)相对应的标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2，将所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)与标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2作为气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+1且传感器的阻抗值为ZX时的距离值G(φn+1，ZX)的计算式，如式(k)所示：
Figure BSA00002648512300000411
式中，Gk、Gk+1和Gk+2分别为对应于Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)的标定距离值；
(7)、计算测量系统在气体浓度为φn+2的情况下所获得的传感器阻抗值ZX与标定阻抗值Zj(φn+2，Gj)之间的偏差值
Figure BSA0000264851230000051
如式(1)所示：
Figure BSA0000264851230000052
通过比较所述M个偏差值
Figure BSA0000264851230000053
得到数值最小的三个偏差值：
Figure BSA0000264851230000054
和
Figure BSA0000264851230000055
(1≤p≤M-2)，进而得到当气体浓度为φn+2的情况下与ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)相对应的标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2，将所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)与标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2作为气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+2且为阻抗值为ZX时的距离G(φn+2，ZX)的计算式，如式(m)所示：
Figure BSA0000264851230000056
式中，Gp、Gp+1和Gp+2分别为对应于Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)的标定间隙值；
(8)、将所述标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2与所述G(φn，ZX)、G(φn+1，ZX)和G(φn+2，ZX)作为传感器阻抗值为ZX时的有效气体浓度-距离特性标定数据，进而得到待测距离GX的计算式，如式(n)所示：
Figure BSA0000264851230000057

Claims (1)

1.一种气体距离测量系统传感数据处理方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)、确定气体-电阻传感器特性的N个标定气体浓度值φi(i＝1，2，...，N)，并得到与φi对应的标定电阻值Ri；确定气体浓度值为φi时的距离-阻抗传感器特性的M个标定距离值Gj(j＝1，2，...，M)，并得到与Gj对应的标定阻抗值Z(φi，Gj)；
(2)、通过测量系统获取传感器的电阻值为RX，进而得到与所述RX最接近的三个标定电阻值：Rn、Rn+1和Rn+2(1≤n≤N-2)，从而确定与所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2相对应的标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2，将所述标定电阻值Rn、Rn+1和Rn+2与标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2作为有效气体浓度-电阻传感特性标定数据，进而利用所述有效气体浓度-电阻传感特性标定数据得到待测气体浓度φX的计算公式，如式(a)所示：
Figure FSA0000264851220000011
(3)、通过测量系统获取传感器的阻抗值为ZX，进而得到当气体浓度为φn的情况下与所述ZX最接近的三个标定阻抗值：Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)(1≤q≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)相对应的标定距离值Gq、Gq+1和Gq+2，将所述标定阻抗值Z(φn，Gq)、Z(φn，Gq+1)和Z(φn，Gq+2)与标定距离值Gq、Gq+1和Gq+2作为气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn且传感器阻抗值为ZX时的距离值G(φn，ZX)的计算公式，如式(b)所示：
Figure FSA0000264851220000012
确定当气体浓度为φn+1的情况下与所述ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)(1≤k≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)相对应的标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2，将所述标定阻抗值Z(φn+1，Gk)、Z(φn+1，Gk+1)和Z(φn+1，Gk+2)与标定距离值Gk、Gk+1和Gk+2作为气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+1时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+1且传感器的阻抗值为ZX时的间隙值G(φn+1，ZX)的计算式，如式(c)所示：
Figure FSA0000264851220000021
确定当气体浓度为φn+2的情况下与所述ZX在数值上最接近的三个标定阻抗值：Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)(1≤p≤M-2)，从而确定与所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)相对应的标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2，将所述标定阻抗值Z(φn+2，Gp)、Z(φn+2，Gp+1)和Z(φn+2，Gp+2)与标定距离值Gp、Gp+1和Gp+2作为气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据，进而利用所述气体浓度为φn+2时的有效距离-阻抗传感特性标定数据得到气体浓度为φn+2且为阻抗值为ZX时的距离G(φn+2，ZX)的计算式，如式(d)所示：
Figure FSA0000264851220000022
将所述标定气体浓度值φn、φn+1和φn+2与所述G(φn，ZX)、G(φn+1，ZX)和G(φn+2，ZX)作为传感器阻抗值为ZX时的有效气体浓度-距离特性标定数据，进而得到待测距离GX的计算式，如式(e)所示：
Figure FSA0000264851220000023
CN202210103705.0A 2022-01-23 2022-01-23 一种气体距离测量系统传感数据处理方法 Active CN114543711B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210103705.0A CN114543711B (zh) 2022-01-23 2022-01-23 一种气体距离测量系统传感数据处理方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202210103705.0A CN114543711B (zh) 2022-01-23 2022-01-23 一种气体距离测量系统传感数据处理方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114543711A true CN114543711A (zh) 2022-05-27
CN114543711B CN114543711B (zh) 2023-08-25

Family

ID=81673503

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202210103705.0A Active CN114543711B (zh) 2022-01-23 2022-01-23 一种气体距离测量系统传感数据处理方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114543711B (zh)

Citations (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1213777A (zh) * 1997-09-03 1999-04-14 费加罗技研株式会社 气体检测方法及其装置
JP2002071640A (ja) * 2001-07-05 2002-03-12 Denso Corp ガス濃度検出装置
US6613207B1 (en) * 1999-12-14 2003-09-02 Robert Bosch Gmbh Electrochemical sensor for ascertaining gas concentrations in gases
US20040134782A1 (en) * 2002-12-26 2004-07-15 Denso Corporation Gas concentration measuring apparatus
CN1554023A (zh) * 2001-08-09 2004-12-08 �����ѧ�͹�ҵ�о���֯ 用于检测流体中杂质的方法和设备
CN1714291A (zh) * 2002-06-03 2005-12-28 北亚利桑那大学董事会 混合微悬臂传感器
CN101299031A (zh) * 2008-06-27 2008-11-05 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于气体传感器阵列的汽车尾气检测方法
CN101464126A (zh) * 2009-01-09 2009-06-24 清华大学 一种测量曲面间隙和力的集成化柔顺式传感器的制备方法
CN102536406A (zh) * 2012-02-10 2012-07-04 金坛鸿鑫电子科技有限公司 一种颗粒物传感器及其测量方法
CN104617373A (zh) * 2015-01-08 2015-05-13 大连交通大学 一种电子标签式气体传感器及其实现方法
WO2015106607A1 (zh) * 2014-01-17 2015-07-23 无锡华润上华半导体有限公司 气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法
CN105784555A (zh) * 2016-04-22 2016-07-20 西人马（厦门）科技有限公司 尘埃浓度检测装置和尘埃浓度检测方法
CN105806898A (zh) * 2016-03-10 2016-07-27 电子科技大学 一种用于气体传感器的气体浓度标定方法
JP2018017539A (ja) * 2016-07-26 2018-02-01 ミナト医科学株式会社 ガス濃度測定装置
CN108037161A (zh) * 2017-12-26 2018-05-15 南方科技大学 一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途
CN110095395A (zh) * 2019-06-03 2019-08-06 深圳市森世泰科技有限公司 用于气体颗粒物浓度测量的芯片、传感器及测量方法
CN110940457A (zh) * 2019-11-07 2020-03-31 中南大学 一种柔性压距传感器标定曲线修正方法
CN111220571A (zh) * 2020-01-20 2020-06-02 中南大学 一种基于幅值离散度的二次谐波信号拟合方法及系统
CN113075264A (zh) * 2021-03-30 2021-07-06 北京艾森泰科科技有限责任公司 通过传感器信号值拟合计算臭气浓度值的方法和装置
CN113138210A (zh) * 2021-06-22 2021-07-20 电子科技大学 一种智能气体传感器的自适应局部高斯温湿度补偿方法
US20210302365A1 (en) * 2018-07-23 2021-09-30 Sumitomo Chemical Company Limited Semiconductor gas sensor and method for sensing two or more gases using contact resistance and sheet resistance
CN113514502A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 中国石油化工股份有限公司 多维度多参量气体传感器及其制备方法、气体检测方法
CN113588710A (zh) * 2021-09-29 2021-11-02 武汉祺璞科技有限公司 一种混合气体的组分浓度检测装置及方法及应用

Patent Citations (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1213777A (zh) * 1997-09-03 1999-04-14 费加罗技研株式会社 气体检测方法及其装置
US6613207B1 (en) * 1999-12-14 2003-09-02 Robert Bosch Gmbh Electrochemical sensor for ascertaining gas concentrations in gases
JP2002071640A (ja) * 2001-07-05 2002-03-12 Denso Corp ガス濃度検出装置
CN1554023A (zh) * 2001-08-09 2004-12-08 �����ѧ�͹�ҵ�о���֯ 用于检测流体中杂质的方法和设备
CN1714291A (zh) * 2002-06-03 2005-12-28 北亚利桑那大学董事会 混合微悬臂传感器
US20040134782A1 (en) * 2002-12-26 2004-07-15 Denso Corporation Gas concentration measuring apparatus
CN101299031A (zh) * 2008-06-27 2008-11-05 中国科学院合肥物质科学研究院 一种基于气体传感器阵列的汽车尾气检测方法
CN101464126A (zh) * 2009-01-09 2009-06-24 清华大学 一种测量曲面间隙和力的集成化柔顺式传感器的制备方法
CN102536406A (zh) * 2012-02-10 2012-07-04 金坛鸿鑫电子科技有限公司 一种颗粒物传感器及其测量方法
WO2015106607A1 (zh) * 2014-01-17 2015-07-23 无锡华润上华半导体有限公司 气体浓度计、微流传感器、温敏电阻结构及其制造方法
CN104617373A (zh) * 2015-01-08 2015-05-13 大连交通大学 一种电子标签式气体传感器及其实现方法
CN105806898A (zh) * 2016-03-10 2016-07-27 电子科技大学 一种用于气体传感器的气体浓度标定方法
CN105784555A (zh) * 2016-04-22 2016-07-20 西人马（厦门）科技有限公司 尘埃浓度检测装置和尘埃浓度检测方法
JP2018017539A (ja) * 2016-07-26 2018-02-01 ミナト医科学株式会社 ガス濃度測定装置
CN108037161A (zh) * 2017-12-26 2018-05-15 南方科技大学 一种基于氟化咪唑离子凝胶的二氧化碳气体传感器及其制备方法和用途
US20210302365A1 (en) * 2018-07-23 2021-09-30 Sumitomo Chemical Company Limited Semiconductor gas sensor and method for sensing two or more gases using contact resistance and sheet resistance
CN110095395A (zh) * 2019-06-03 2019-08-06 深圳市森世泰科技有限公司 用于气体颗粒物浓度测量的芯片、传感器及测量方法
CN110940457A (zh) * 2019-11-07 2020-03-31 中南大学 一种柔性压距传感器标定曲线修正方法
CN111220571A (zh) * 2020-01-20 2020-06-02 中南大学 一种基于幅值离散度的二次谐波信号拟合方法及系统
CN113514502A (zh) * 2020-04-10 2021-10-19 中国石油化工股份有限公司 多维度多参量气体传感器及其制备方法、气体检测方法
CN113075264A (zh) * 2021-03-30 2021-07-06 北京艾森泰科科技有限责任公司 通过传感器信号值拟合计算臭气浓度值的方法和装置
CN113138210A (zh) * 2021-06-22 2021-07-20 电子科技大学 一种智能气体传感器的自适应局部高斯温湿度补偿方法
CN113588710A (zh) * 2021-09-29 2021-11-02 武汉祺璞科技有限公司 一种混合气体的组分浓度检测装置及方法及应用

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张强;吴强;张保勇;高霞;刘传海;: "阻抗测试方法在瓦斯水合防突模拟实验中的应用", 煤炭学报, no. 12 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN114543711B (zh) 2023-08-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3028275B2 (ja) センサの較正方法
US5394084A (en) Method and apparatus for reducing errors in eddy-current conductivity measurements due to lift-off by interpolating between a plurality of reference conductivity measurements
WO2012028007A1 (zh) 晶片边缘膜厚测量方法
CN110988272A (zh) 用于修正氢气传感器的测量值的方法
EP1523664A1 (en) System and method for mass flow detection device calibration
TWI404966B (zh) 決定基板上導電層的厚度之方法及裝置
CN106500581A (zh) 一种非铁磁性金属上非铁磁性金属涂镀层厚度的测量方法
CN107677888A (zh) 一种金属电导率涡流检测方法
CN114543711A (zh) 一种气体距离测量系统传感数据处理方法
CN113031514B (zh) 一种基于计量学的R-test标定不确定度评定方法
CN108169565B (zh) 一种用于电导率测量的非线性温度补偿方法
CN111999378B (zh) 一种基于tmr传感器的金属材料电导率和厚度的测量方法
KR20080022556A (ko) 기판 상의 일 세트의 도전층에 대한 전기 응답을최적화하기 위한 방법 및 장치
CN114485978B (zh) 一种基于材料电导率-温度特性的非接触式测温方法与装置
CN114002378B (zh) 气体浓度传感器的浓度检测方法
US10578584B2 (en) Calibration device for non-destructive inspection/measurement system and non-destructive inspection/measurement method
CN112964923B (zh) 基于磁传感器阵列的非环绕式电流测量方法
CN108128771B (zh) 冷壁cvd法石墨烯制备装置的参数在线量值保证系统及方法
US20040070393A1 (en) Differential measurement method using eddy-current sensing to resolve a stack of conducting films on substrates
Yakimov et al. Reducing the impact of electroconductivity and the gap between the pipe and the transducer at measuring thickness of electroconductive pipe walls using the eddy-current method
Yakimov et al. Thickness measuring of electroconductive pipe walls using the dual-frequency eddy-current method
JP2014153093A (ja) 電磁流速計の校正システム、校正係数の算出システム及びその方法
Urzędniczok A numerical method of correcting the influence of the additional quantities for nonselective sensors
CN116519747B (zh) 一种漆面厚度计算和基材材质识别方法
CN114383493B (zh) 一种非接触式金属表面非导电覆盖层厚度测量方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant