CN114512574A - 一种异质结太阳能电池的连续化制造设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体器件制造技术领域，公开了一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，该异质结太阳能电池的连续化制造设备包括传输腔、上料腔、下料腔及反应腔；上料腔、多个反应腔及下料腔依次螺旋设置在传输腔侧壁上；传输腔中部设有输送立柱及与输送立柱连接的螺旋驱动机构；输送立柱上具有多个螺旋分布设置的输送组件；螺旋驱动机构用于驱动输送立柱进行螺旋升降运动；该设备设置螺旋分布的上料腔、多个反应腔及下料腔及螺旋分布的多个输送组件，使得输送组件在螺旋驱动机构驱动输送立柱运动的作用下，持续将工件输送到不同的反应腔中进行表面加工，实现了异质结太阳能电池的连续化制造。

Description

一种异质结太阳能电池的连续化制造设备

技术领域

本申请涉及半导体器件制造技术领域，具体而言，涉及一种异质结太阳能电池的连续化制造设备。

背景技术

异质结太阳能电池的制造过程一般需要进行多个工艺条件的反应过程，一般需要多个设备配合使用才能制造出预期所需的异质结太阳能电池，也有采用团簇式组合的制造设备集成不同反应工艺，但现有集成多个工艺条件反应腔的异质结太阳能电池制造设备一般是通过单一机械手进行工件载板的转移，以将工件逐步转移至不同的反应腔中进行表面加工以使工件逐步加工成所需的异质结太阳能电池板，然而，这类制造设备只能进行单一工件的移动，工件移动受限导致反应腔利用效率低，无法实现异质结太阳能电池的连续化自动生产。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，实现异质结太阳能电池的连续化自动生产。

本申请提供了一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，用于制造异质结太阳能电池，包括：传输腔、上料腔、下料腔及反应腔；

所述上料腔、多个所述反应腔及所述下料腔依次螺旋设置在所述传输腔侧壁上；

所述传输腔中部设有输送立柱及与所述输送立柱连接的螺旋驱动机构；

所述输送立柱上具有多个螺旋分布设置的输送组件；

所述螺旋驱动机构用于驱动所述输送立柱进行螺旋升降运动以使所述输送组件与对应的所述反应腔或所述上料腔或所述下料腔连接。

本申请的异质结太阳能电池的连续化制造设备的输送组件在螺旋驱动机构驱动输送立柱运动的作用下，持续将工件输送到不同的反应腔中进行表面加工，使得多个反应腔能同时对不同工件进行表面加工，实现了异质结太阳能电池的连续化制造。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述输送组件包括：

传输盒，固定在所述输送立柱上，且具有朝向所述传输腔内壁开设的传输口；

第一水平输送机构，设置在所述传输盒内，用于推送或接收工件。

在该示例的异质结太阳能电池的连续化制造设备中，每个输送组件设置对应的第一水平输送机构，能实现工件的同步送出或异步送出，简化了现有采用机械手作为传输结构的复杂度的同时，能根据反应进程或不同反应腔的工况状态进行工件的按需输送。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述输送组件还包括：

温度调节机构，安装在所述传输盒中，用于调节所述传输盒内的所述工件的温度以对所述工件进行预热或降温。

在该示例的异质结太阳能电池的连续化制造设备中，输送组件在接收反应腔中工件前，利用温度调节机构将其内温度调节至对应反应腔中的降温过程的终点温度，使得其能在与对应的反应腔保持同样温度的情况下接收工件，从而避免工件因温度环境骤变而产生翘起或其他加工缺陷；输送组件在将工件推送至反应腔前，利用温度调节机构将其内温度调节至对应反应腔中的升温过程的起始温度，使得其能在与对应的反应腔保持同样温度的情况下推送工件，从而避免工件因温度环境骤变而产生翘起或其他加工缺陷。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述传输盒设有绝热层。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述传输腔呈圆柱状，在所述输送立柱进行螺旋升降运动的过程中，所述传输口与所述传输腔内壁贴合。

在该示例的异质结太阳能电池的连续化制造设备中，传输口与传输腔内壁贴合使得输送组件在螺旋升降过程中，传输腔内壁能作为传输口的端封，从而减少传输盒在螺旋升降过程中产生温度波动。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述传输口外壁上设有滚珠弹簧，所述传输腔内壁上设有多个能与所述滚珠弹簧配合的卡槽。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述上料腔、多个所述反应腔及所述下料腔连接所述传输腔的一侧设有插板阀。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述上料腔、多个所述反应腔及所述下料腔内设有用于推送或接收工件的第二水平输送机构。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述上料腔和下料腔内均设有用于存放工件的工件盒以及用于调节所述工件盒高度的升降机构。

所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其中，所述输送组件的数量比所述反应腔的数量多一。

由上可知，本申请提供了一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，设置螺旋分布的上料腔、多个反应腔及下料腔及螺旋分布的多个输送组件，使得输送组件在螺旋驱动机构驱动输送立柱运动的作用下，持续将工件输送到不同的反应腔中进行表面加工，使得多个反应腔能同时对不同工件进行表面加工，实现了异质结太阳能电池的连续化制造，有效提高了异质结太阳能电池的生产自动化进程；此外，输送组件设计为螺旋分布使得输送组件在水平方向上能设计为位置交叠状态，从而有效减少传输腔的占地面积，使得本申请的异质结太阳能电池的连续化制造设备的结构更紧凑。

附图说明

图1为本申请实施例提供的异质结太阳能电池的连续化制造设备的立体结构示意图。

图2为本申请实施例提供的异质结太阳能电池的连续化制造设备的侧向剖视结构示意图。

图3为本申请实施例提供的异质结太阳能电池的连续化制造设备中的输送组件与反应腔正对时的局部放大侧向剖视结构示意图。

图4为本申请实施例提供的异质结太阳能电池的连续化制造设备中的输送组件与反应腔正对时的局部放大俯视向剖视结构示意图。

图5为本申请另一实施例提供的异质结太阳能电池的连续化制造设备的立体结构示意图。

附图标记：1、传输腔；2、上料腔；3、下料腔；4、反应腔；5、输送立柱；6、螺旋驱动机构；7、输送组件；8、插板阀；9、第二水平输送机构；11、卡槽；21、工件盒；22、升降机构；61、螺杆；62、螺母；63、旋转驱动机构；71、传输盒；72、第一水平输送机构；73、温度调节机构；74、绝热层；75、滚珠弹簧；711、传输口。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接或可以相互通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

请参照图1-图5，图1-图5是本申请一些实施例中的一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，用于制造异质结太阳能电池，包括：传输腔1、上料腔2、下料腔3及反应腔4；

上料腔2、多个反应腔4及下料腔3依次螺旋设置在传输腔1侧壁上；

传输腔1中部设有输送立柱5及与输送立柱5连接的螺旋驱动机构6；

输送立柱5上具有多个螺旋分布设置的输送组件7；

螺旋驱动机构6用于驱动输送立柱5进行螺旋升降运动以使输送组件7与对应的反应腔4或上料腔2或下料腔3连接。

本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备用于制造异质结太阳能电池，因此，设备中的多个反应腔4应当理解为能对工件（硅片）表面进行不同工艺处理的反应组件，使得工件表面能依次形成不同层面结构以制造异质结太阳能电池。

具体地，上料腔2、反应腔4及下料腔3均属于工件腔，其中，上料腔2用于存放未加工的工件，即用于存放未进行处理加工的硅片；反应腔4用于对工件进行表面处理，使硅片表面逐步形成不同的结构层；下料腔3用于存放加工完成的工件，即用于存放由具有异质结的硅片构成的太阳能电池板。

具体地，上料腔2、多个反应腔4及下料腔3为沿一轴螺旋线设置在传输腔1侧壁上，即假定传输腔1外壁上具有轴向延伸且均匀分布的螺旋构造线，上料腔2、多个反应腔4及下料腔3依次设置在该螺旋构造线上；同理，螺旋分布设置的多个输送组件7为沿一轴螺旋线设置在输送立柱5上，即多个输送组件7依次设置在一假定设置在输送立柱5表面、轴向延伸且均匀分布的螺旋构造线上。

在一些优选的实施方式中，依次螺旋设置在传输腔1侧壁上的上料腔2、多个反应腔4及下料腔3为等距设置，即在上料腔2、多个反应腔4及下料腔3中相邻的两个腔体之间的水平距离和竖向距离相等；多个输送组件7在输送立柱5上也为等距设置，即在多个输送组件7中，相邻的两个输送组件7之间的朝向角度差和竖向距离相等，使得任一输送组件7与工件腔配合时，其余输送组件7均有与其配合连接的工件腔；其中，两个输送组件7的朝向角度差为两个输送组件7水平送出工件的方向的角度差，两个输送组件7之间的竖向距离为两者之间的最小距离。

在一些优选的实施方式中，安装在传输腔1上的上料腔2、多个反应腔4及下料腔3为由低到高依次设置或由高到低依次设置，在本申请实施例中，如图1所示，优选为由低到高依次设置，该高度设置以对应腔体与传输腔1连接的端口作为划分基准。

更具体地，本申请实施例中的异质结太阳能电池的连续化制造设备的工作原理如下：输送立柱5上最低处的输送组件7从上料腔2上接收未加工的工件，输送立柱5在螺旋驱动机构6驱动下进行螺旋上升运动，使得最低处的输送组件7正对最低处的反应腔4，然后输送组件7将其内工件送入该反应腔4中进行第一步表面加工，在加工过程中，螺旋驱动机构6驱动输送立柱5螺旋下降使最低处的输送组件7返回至正对上料腔2的位置，最低处的输送组件7从上料腔2中接收新的未加工的工件，次低处的输送组件7则从最低处的反应腔4中接收完成第一步表面加工的工件，其后，螺旋驱动机构6重复执行上述螺旋升降过程，以将工件逐步往上输送，使工件依次完成多步表面加工而形成异质结太阳能电池板而送入下料腔3中进行存放。

具体地，在螺旋驱动机构6驱动输送立柱5进行螺旋上升前，应确保输送组件7接收了对应工件腔中的工件，即需确保上料腔2对最低端输送组件7送入了新的未加工的工件以及确保各反应腔4内没有工件，以使得在输送立柱5螺旋上升后，输送组件7对应的反应腔4均为空置状态。

更具体地，在螺旋驱动机构6驱动输送立柱5进行螺旋下降前，应确保输送组件7均将其内的工件送出，使其处于空载状态，使得输送组件7返回位置后能从对应的上料腔2或反应腔4内接收工件。

本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备，设置螺旋分布的上料腔2、多个反应腔4及下料腔3及螺旋分布的多个输送组件7，使得输送组件7在螺旋驱动机构6驱动输送立柱5运动的作用下，持续将工件输送到不同的反应腔4中进行表面加工，使得多个反应腔4能同时对不同工件进行表面加工，实现了异质结太阳能电池的连续化制造，有效提高了异质结太阳能电池的生产自动化进程。

更具体地，输送组件7设计为螺旋分布使得输送组件7在水平方向上能设计为位置交叠状态，从而有效减少传输腔1的占地面积，使得本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备的结构更紧凑，能设置在更小的场地空间中使用。

在一些优选的实施方式中，输送组件7的数量比反应腔4的数量多一。

具体地，输送组件7的数量比反应腔4数量多一个便能确保在设备运行过程中，每个反应腔4能同时置入对应加工阶段的工件进行表面处理，同时能确保将完成加工的工件送入下料腔3中进行存放，实现了资源合理化利用，即在确保本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备实现了异质结太阳能电池的连续化加工的同时合理化控制设备成本；此外，在该数量设定下，输送立柱5重复进行固定行程的螺旋上升及螺旋下降运动便能完成工件的逐级上升输送过程，具有设计逻辑简单的优势。

在一些优选的实施方式中，该异质结太阳能电池的连续化制造设备还包括控制器（图示未画出），控制器与螺旋驱动机构6、反应腔4、上料腔2、下料腔3及输送组件7电性连接，用于控制上述各个功能部件配合运动以对工件进行加工而实现异质结太阳能电池的连续自动化制造。

在一些优选的实施方式中，螺旋驱动机构6为用于驱动轴类件进行螺旋运动的驱动结构，在本申请实施例中，螺旋驱动机构6优选为包括：

螺杆61，与输送立柱5固定连接；

螺母62，与螺杆61螺纹连接；

旋转驱动机构63，用于驱动螺母62转动。

具体地，螺杆61通过密封轴承与传输腔1密封连接，螺母62及旋转驱动机构63设置在传输腔1外，从而确保传输腔1具有气密性，避免外部气体进入设备内而影响工件加工质量。

更具体地，旋转驱动机构63驱动螺母62进行相对于传输腔1的旋转运动，使得螺杆61进行相对于传输腔1的螺旋上升或螺旋下降运动，进而带动与之固定连接的输送立柱5进行螺旋上升或螺旋下降运动。

更具体地，旋转驱动机构63为电机齿轮配合结构或电机皮带轮配合结构或气缸齿条齿轮配合结构；为确保输送组件7能准确且顺利地调节到与对应的工件腔对应的位置上，在本申请实施例中，旋转驱动机构63优选为采用电机齿轮配合结构，其中电机为步进电机或伺服电机，使得电机能产生固定的旋转量驱动螺母62旋转以使得螺杆61进行准确的螺旋位移行程。

在一些优选的实施方式中，输送组件7包括：

传输盒71，固定在输送立柱5上，且具有朝向传输腔1内壁开设的传输口711；

第一水平输送机构72，设置在传输盒71内，用于推送或接收工件。

具体地，输送组件7用于将工件输送至对应的工件腔中，为了减少不同输送组件7内的工况状态及传输腔1内工况状态产生相互影响，本申请实施例中，将输送组件7的载体设置为盒体形式，即上述具有传输口711的传输盒71，从而提高工件的加工质量。

更具体地，输送组件7通过第一水平输送机构72接收对应工件腔送出的工件，并将工件移动至传输盒71中特定位置进行暂存；在输送组件7持有工件的状态而螺旋上升至正对对应的工件腔的位置后，输送组件7通过第一水平输送机构72将对应的工件送入对应工件腔中；在本申请实施例中，每个输送组件7设置对应的第一水平输送机构72，能实现工件的同步送出或异步送出，简化了现有采用机械手作为传输结构的复杂度的同时，能根据反应进程或不同反应腔4的工况状态进行工件的按需输送。

在一些优选的实施方式中，第一水平输送机构72为用于驱动盛有工件的载板的水平推送机构，可以为电动滚轮传动机构、液压缸推送机构、气缸推送机构、电动推杆机构、电动皮带轮传动机构等中的一种，在本申请实施例中，考虑到异质结太阳能电池的连续化制造设备运行过程中，各个反应腔4的反应条件需满足一定的高温参数，第一水平输送机构72优选为电动滚轮传动机构，即为通过控制电机驱动滚轮的转动量来控制载板水平行进的行程的传动结构，能使得盛有工件的载板能准确推送到工件腔中预设位置，也能使得输送组件7顺利接收盛有工件的载板。

在一些优选的实施方式中，输送组件7还包括：

温度调节机构73，安装在传输盒71中，用于调节传输盒71内的工件的温度以对工件进行预热或降温。

具体地，不同反应腔4用于对工件进行不同工艺的表面加工，不同工艺的表面加工具有不同的工况要求，主要区别体现在温度差异和反应气体的用量及组分差异上，其中，反应腔4表面加工过程一般包含升温、保温反应及降温过程，不同反应腔4对于送入的工件具有一定的不同的初始温度要求；本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备，在输送组件7中设置温度调节机构73，用于在将工件送入对应的反应腔4前，将工件温度调节至对应的反应腔4所需的初始温度要求，从而使得工件在送入对应的反应腔4前，具有对应于对应反应腔4的初始温度要求的温度。

更具体地，输送组件7在接收反应腔4中工件前，利用温度调节机构73将其内温度调节至对应反应腔4中的降温过程的终点温度，使得其能在与对应的反应腔4保持同样温度的情况下接收工件，从而避免工件因温度环境骤变而产生翘起或其他加工缺陷；输送组件7在将工件推送至反应腔4前，利用温度调节机构73将其内温度调节至对应反应腔4中的升温过程的起始温度，使得其能在与对应的反应腔4保持同样温度的情况下推送工件，从而避免工件因温度环境骤变而产生翘起或其他加工缺陷。

更具体地，输送组件7在接收工件后，便立即利用温度调节机构73进行工件的下一阶段的温度调节，即从上一个反应腔4的终点温度调节到下一个反应腔4的初始温度，以缩短温度调节过程所需的时间。

更具体地，输送组件7在与反应腔4对接且工件达到该反应腔4中的升温过程的起始温度时，便将工件推送入对应的反应腔4中进行对应的表面加工，从而提高设备运行效率，使得各个输送组件7及反应腔4实现异步运行。

更具体地，温度调节机构73可以是内嵌在传输盒71中，还可以是设置在传输盒71内部，当温度调节机构73内嵌在传输盒71时，温度调节机构73通过对传输盒71进行温度调节以改变传输盒71温度进而改变传输盒71内气体温度，从而实现工件的温度的间接调节；当温度调节机构73设置在传输盒71内部时，温度调节机构73通过直接与工件接触的方式来直接调节工件的温度。

更具体地，温度调节机构73采用内嵌在传输盒71的设置方式时，可以是内嵌在传输盒71中的电热丝结构，通过电热丝进行传输盒71升温并通过自然冷却的方式进行传输盒71的降温，还可以是设置在传输盒71中的流道结构，通过往流道中通入热流体或冷流体以对传输盒71进行升温或降温。

更具体地，温度调节机构73采用设置在传输盒71内部的设置方式时，可以是电热升降托盘结构，升降托盘可朝向盛有工件的载板移动并与载板接触，然后通过电加热的方式对载板进行传热升温，另外，工件通过自然冷却的方式进行降温。

在本申请实施例中，如图3所示，为了简化温度调节机构73的安装方式，温度调节机构73优选为内嵌在传输盒71中的电热丝结构。

在一些优选的实施方式中，传输盒71中设有用于测取工件的温度或传输盒71内气体的温度的温度传感器（图示未画出），以判别工件是否已经调节到所需温度。

在一些优选的实施方式中，传输盒71设有绝热层74。

具体地，为了避免不同输送组件7间的温度相互影响而影响工件的加工质量，传输盒71外表上覆盖有绝热层74，能避免传输盒71内温度向外扩散，也使得传输盒71内温度在调节结束后保持稳定状态。

更具体地，绝热层74优选为石墨毡层。

在一些优选的实施方式中，传输腔1为正多棱柱状或圆柱状，当传输腔1为正多棱柱状时，其棱数与工件腔数量一致，如图5所示，如反应腔4为四个时，工件腔为六个，故传输腔1为正六棱柱状，使得工件腔能等距设置；在一些实施例中，在传输腔1为正多棱柱状时，传输盒71的传输口711设置电动开关的遮挡门，使得在温度调节机构73调节工件温度的过程中，传输盒71能形成完全密闭结构，提高工件的温度调节精度及效率。

在一些优选的实施方式中，传输腔1呈圆柱状，在输送立柱5进行螺旋升降运动的过程中，传输口711与传输腔1内壁贴合。

具体地，传输口711与传输腔1内壁贴合使得输送组件7在螺旋升降过程中，传输腔1内壁能作为传输口711的端封，从而减少传输盒71在螺旋升降过程中产生温度波动。

更具体地，输送立柱5的螺旋上升过程还可以分成两个阶段进行，在输送组件7均接收到工件后，输送立柱5在螺旋驱动机构6驱动作用下螺旋上升第一行程，使得传输腔1内壁密封传输口711，在所有温度调节结构完成工件的温度调节后，输送立柱5在螺旋驱动机构6驱动作用下螺旋上升第二行程，使得传输口711正对对应的反应腔4；该实施方式中，利用了反应腔4内壁对传输盒71进行密封，有效提高工件的温度调节精度及效率。

在一些优选的实施方式中，如图4所示，传输口711外壁上设有滚珠弹簧75，传输腔1内壁上设有多个能与滚珠弹簧75配合的卡槽11。

具体地，传输盒71利用滚珠弹簧75的滚珠与传输腔1内壁的滚动连接，使得传输盒71能顺利地沿着圆柱状的传输腔1内壁进行滑动；在传输盒71螺旋上升或下降到预定位置时（如传输口711正对反应腔4时），滚珠弹簧75的滚珠与卡槽11配合，限定传输盒71与反应腔4的配合位置，使得输送组件7与反应腔4配合到位，确保工件能顺利进行转移；在螺旋驱动机构6驱动作用下，滚珠弹簧75的弹簧端被压缩使滚珠脱离卡槽11便能使得传输盒71再次进行螺旋移动。

在一些优选的实施方式中，上料腔2、多个反应腔4及下料腔3连接传输腔1的一侧设有插板阀8。

具体地，插板阀8能密封对应的工件腔，避免工件腔在工件存放或反应过程中受传输腔1内环境影响而影响了工件的加工质量。

在一些优选的实施方式中，上料腔2、多个反应腔4及下料腔3内设有用于推送或接收工件的第二水平输送机构9。

具体地，第二水平输送机构9的结构与第一水平输送机构72的结构相同，用于配合第一水平输送机构72将工件送入对应的传输盒71中，以及用于配合第一水平输送机构72接收对应的传输盒71中的工件。

在一些优选的实施方式中，上料腔2和下料腔3内均设有用于存放工件的工件盒21以及用于调节工件盒21高度的升降机构22。

具体地，为了实现异质结太阳能电池的连续自动化加工，本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备中的上料腔2及下料腔3需存放足够数量的工件，因此，上料腔2和下料腔3内均设有用于存放工件的工件盒21以及用于调节工件盒21高度的升降机构22，以实现工件盒21的高度调节，使得上料腔2的工件能顺利送入最低处的输送组件7中，使得下料腔3能顺利接收最高处的输送组件7送入的工件。

更具体地，升降机构22优选为电动丝杆组件，其中，上料腔2上的电动丝杆组件的驱动端设于上料腔2顶部，下料腔3上的电动丝杆组件的驱动端设于下料腔3底部，使得本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备的结构更紧凑，有效减少设备的占用空间。

在一些优选的实施方式中，反应腔4数量优选为四个，故输送组件7优选五个。

在一些优选的实施方式中，多个反应腔4至少包括一个设置于最低处的用于对工件进行去除表面氧化物处理的氧化层刻蚀腔，以及两个以上的用于对工件进行沉积非晶硅膜处理的沉积反应腔4，其中，沉积反应腔4的反应类型、数量、工艺条件为根据异质结太阳能电池的生产工艺进行调节以使硅片上能形成预期所需的异质结，从而实现异质结太阳能电池的制造，本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备旨在提供一种能实现异质结太阳能电池的连续自动化生产设备，并不对异质结太阳能电池的类型和工艺类型进行限制。

综上，本申请实施例提供了一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，设置螺旋分布的上料腔2、多个反应腔4及下料腔3及螺旋分布的多个输送组件7，使得输送组件7在螺旋驱动机构6驱动输送立柱5运动的作用下，持续将工件输送到不同的反应腔4中进行表面加工，使得多个反应腔4能同时对不同工件进行表面加工，实现了异质结太阳能电池的连续化制造，有效提高了异质结太阳能电池的生产自动化进程；输送组件7设计为螺旋分布使得输送组件7在水平方向上能设计为位置交叠状态，从而有效减少传输腔1的占地面积，使得本申请实施例的异质结太阳能电池的连续化制造设备的结构更紧凑，能设置在更小的场地空间中使用。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施方式”、“某些实施方式”、“示意性实施方式”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。

以上所述的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种异质结太阳能电池的连续化制造设备，用于制造异质结太阳能电池，其特征在于，包括：传输腔（1）、上料腔（2）、下料腔（3）及反应腔（4）；

所述上料腔（2）、多个所述反应腔（4）及所述下料腔（3）依次螺旋设置在所述传输腔（1）侧壁上；

所述传输腔（1）中部设有输送立柱（5）及与所述输送立柱（5）连接的螺旋驱动机构（6）；

所述输送立柱（5）上具有多个螺旋分布设置的输送组件（7）；

所述螺旋驱动机构（6）用于驱动所述输送立柱（5）进行螺旋升降运动以使所述输送组件（7）与对应的所述反应腔（4）或所述上料腔（2）或所述下料腔（3）连接。

2.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述输送组件（7）包括：

传输盒（71），固定在所述输送立柱（5）上，且具有朝向所述传输腔（1）内壁开设的传输口（711）；

第一水平输送机构（72），设置在所述传输盒（71）内，用于推送或接收工件。

3.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述输送组件（7）还包括：

温度调节机构（73），安装在所述传输盒（71）中，用于调节所述传输盒（71）内的所述工件的温度以对所述工件进行预热或降温。

4.根据权利要求3所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述传输盒（71）设有绝热层（74）。

5.根据权利要求2所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述传输腔（1）呈圆柱状，在所述输送立柱（5）进行螺旋升降运动的过程中，所述传输口（711）与所述传输腔（1）内壁贴合。

6.根据权利要求5所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述传输口（711）外壁上设有滚珠弹簧（75），所述传输腔（1）内壁上设有多个能与所述滚珠弹簧（75）配合的卡槽（11）。

7.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述上料腔（2）、多个所述反应腔（4）及所述下料腔（3）连接所述传输腔（1）的一侧设有插板阀（8）。

8.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述上料腔（2）、多个所述反应腔（4）及所述下料腔（3）内设有用于推送或接收工件的第二水平输送机构（9）。

9.根据权利要求1所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述上料腔（2）和下料腔（3）内均设有用于存放工件的工件盒（21）以及用于调节所述工件盒（21）高度的升降机构（22）。

10.根据权利要求1-9任一项所述的异质结太阳能电池的连续化制造设备，其特征在于，所述输送组件（7）的数量比所述反应腔（4）的数量多一。

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