CN114500788A - 摄像装置及检查装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够以廉价的结构适当地调节摄像头的高度位置的摄像装置及检查装置。在检查装置中，摄像装置(30)具有摄像头(31)、基座(32)、使第一块(33)相对于基座上下移动的粗调用的第一进给丝杠机构(36)、使与摄像头连接的第二块(34)相对于第一块上下移动的微调用的第二进给丝杠机构(37)、以及限定第二块的停止位置的微型头(38)。第一进给丝杠机构具备连接第一手动手柄(361)的第一螺杆轴(360)，第二进给丝杠机构具备连接第二手动手柄(371)的第二螺杆轴(370)。通过第一进给丝杠机构及第二进给丝杠机构调节摄像头的高度。此时，由微型头对摄像头限定高度位置。

Description

摄像装置及检查装置

技术领域

本发明涉及一种能够调节摄像头的高度位置的摄像装置、及由摄像装置进行基板的检查的检查装置。

背景技术

在显示面板的制造工序中，有时由摄像头对用于显示面板的基板在构成显示面板之前的状态或者构成显示面板后的状态下进行拍摄、检查。在实施该检查工序的检查装置中，由机器人等将基板一次搬运到摄像头的视野内(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2019－52914号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在检查工序中使用的摄像装置中，需要根据基板的种类或检查内容调节基板和摄像头之间的相对位置，因此，在专利文献1所记载的检查装置中，设置有使摄像头升降的升降装置。作为该升降装置，以往使用具备由伺服电动机或步进电动机等电动机驱动的滚珠丝杠的电动升降装置。然而，虽然利用检查装置调节摄像头的高度位置的作业并不经常进行，但是当使用电动升降装置时，存在摄像装置及检查装置的成本显著增大的问题。

鉴于以上的问题，本发明的技术问题在于提供一种能够以廉价的结构适当地调节摄像头的高度位置的摄像装置及检查装置。

解决技术问题所采用的技术方式

为了解决上述技术问题，本发明的特征在于，具有：摄像头；基座；第一进给丝杠机构，所述第一进给丝杠机构具备连接第一手动手柄的第一螺杆轴，使第一块相对于所述基座上下移动；第二进给丝杠机构，所述第二进给丝杠机构具备连接第二手动手柄的第二螺杆轴，使与所述摄像头连接的第二块相对于所述第一块上下移动；以及微型头，所述微型头限定调节所述摄像头的位置时的所述摄像头的停止位置。在本发明中，其特征在于，所述微型头例如具备连接在所述第二块上的固定部件和被所述固定部件支承为能够沿轴线方向移动的主轴，使所述第二螺杆轴旋转时的所述第二块相对于所述第一块的停止位置由所述微型头限定。

在本发明的摄像装置中，具有使摄像头上下移动的第一进给丝杠机构及第二进给丝杠机构，第一进给丝杠机构及第二进给丝杠机构分别是具备连接手动手柄的螺杆轴的进给丝杠机构。因此，可以通过第一进给丝杠机构进行摄像头的位置的粗调，通过第二进给丝杠机构进行摄像头的位置的微调。另外，可以通过微型头限定调节摄像头的位置时的摄像头的停止位置。因此，即使不使用伺服电动机或步进电动机等电动机、或滚珠丝杠等昂贵的部件，也能够以廉价的结构适当地调节摄像头的高度位置。

在本发明的摄像装置中，可以采用以下方式：具有沿上下方向引导所述第二块的直线导向机构。根据该方式，可以使第二块顺畅地上下移动而不会倾斜。

在本发明的摄像装置中，可以采用以下方式：与所述第一螺杆轴啮合的第一螺母部及与所述第二螺杆轴啮合的第二螺母部均设置在所述第一块上。

在本发明的摄像装置中，可以采用以下方式：具有：第一锁定机构，所述第一锁定机构阻止所述第一螺杆轴的旋转；以及第二锁定机构，所述第二锁定机构阻止所述第二螺杆轴的旋转。根据该方式，能够维持摄像头在适当的位置停止的状态。

在将本发明的摄像装置设置在检查装置上的情况下，检查装置具有将基板依次搬运到所述摄像头的视野内的搬运装置。

在本发明的检查装置中，可以采用以下方式：具有摄像头驱动机构，所述摄像头驱动机构使所述摄像头在与所述搬运装置的搬运方向正交的宽度方向上移动。根据该方式，能够检查大的范围。

在本发明的检查装置中，可以采用以下方式：配置有两个所述摄像装置，具有调节两个所述摄像装置的相对位置的调节装置，所述调节装置是具备第三螺杆轴的第三进给丝杠机构，所述第三螺杆轴具备第三手动手柄。根据该方式，能够高效地检查大的范围。

发明效果

在本发明中，具有使摄像头上下移动的第一进给丝杠机构及第二进给丝杠机构，第一进给丝杠机构及第二进给丝杠机构分别是具备连接手动手柄的螺杆轴的进给丝杠机构。因此，可以通过第一进给丝杠机构进行摄像头的高度位置的粗调，通过第二进给丝杠机构进行摄像头的高度位置的微调。另外，可以通过微型头限定调节摄像头的位置时的摄像头的停止位置。因此，即使不使用伺服电动机或步进电动机等电动机、或滚珠丝杠等昂贵的部件，也能够以廉价的结构适当地调节摄像头的高度位置。

附图说明

图1是从搬运方向的上游侧观察应用了本发明的检查装置的立体图。

图2是表示将显示面板设置在图1所示的检查装置上的情形的立体图。

图3是图1所示的检查装置的XZ剖视图。

图4是将图1所示的检查装置的基板保持架附近放大表示的立体图。

图5是示意性表示从搬运方向的下游侧观察图1所示的摄像装置的情形的主视图。

图6是示意性地表示从左侧观察图5所示的摄像装置的情形的侧视图。

图7是本发明的另一实施方式的检查装置的说明图。

附图标记说明

1…显示面板；10…基板；20…基板保持架；30…摄像装置；31…摄像头；32…基座；33…第一块；34…第二块；35…直线导向机构；36…第一进给丝杠机构；37…第二进给丝杠机构；38…微型头；50…支承辊；60…搬运机构；100…检查装置；110…机座；111…投入区域；112…检查区域；113…排出区域；200…基板搬运装置；300…摄像头驱动机构；315…摄像头保持架；321…第一板部；322…第二板部；325…孔；345…连接部件；351…导轨；352…滑块；360…第一螺杆轴；361…第一手动手柄；365…第一螺母部；366…第一锁定机构；368、378…锁定部件；370…第二螺杆轴；371…第二手动手柄；375…第二螺母部；376…第二锁定机构；381…固定部件；382…主轴；383…前端部；384…操作部；390…第二偏光片；400…静电消除器驱动机构；500…调节装置；510…第三进给丝杠机构；511…第三手动手柄；512…螺母部；514…第三螺杆轴；630…吸引孔；641…驱动轴；642…气缸装置；643…夹持部件；X…搬运方向；Y…宽度方向。

具体实施方式

下面，参照附图对具备本发明实施方式的摄像装置30的检查装置100进行说明。在以下的说明中，将相互正交的方向设为X轴方向、Y轴方向及Z轴方向，将基板10的搬运方向、基板10的宽度方向及上下方向分别设为X轴方向、Y轴方向及Z轴方向。因此，对基板10的搬运方向标注X，对上游侧标注X1，对下游侧标注X2进行说明。另外，对基板10的宽度方向标注Y，朝向搬运方向X对右侧标注Y1，对左侧标注Y2进行说明。另外，对上下方向标注Z，对下侧标注Z1，对上侧标注Z2进行说明。

在本发明的检查装置100中，显示面板用的基板在构成显示面板1之前的状态或者构成显示面板1后的状态下搬运。在以下的说明中，以基板10在构成显示面板1后的状态下搬运的情况为中心进行说明。因此，在以下的说明中，不区分基板10和显示面板1，将它们作为显示面板1进行说明。在显示面板1是有机电致发光显示面板的情况下，显示面板1由一块基板10或者以相互对置的方式粘贴在一起的两块基板10构成。另外，在显示面板1是液晶显示面板的情况下，显示面板1为在以相互对置的方式贴合的两块基板10之间设置有液晶层的结构。本发明的检查装置100及基板搬运装置200能够应用于显示面板1是有机电致发光显示面板的情况及液晶显示面板中的任一种，但在以下的说明中，以显示面板1是液晶显示面板的情况为中心进行说明。

(整体结构)

图1是从搬运方向X的上游侧X1观察应用了本发明的检查装置100的立体图。图2是表示将显示面板1设置在图1所示的检查装置100上的情形的立体图。图3是图1所示的检查装置100的XZ剖视图。

在图1、图2及图3中，本实施方式的检查装置100具有机座110和基板搬运装置200，该基板搬运装置200在机座110的上方位置将水平姿势的显示面板1从上游侧X1朝向下游侧X2水平地直线搬运。显示面板1是液晶显示面板，在两块基板10之间设置有液晶层。在检查装置100中，从搬运方向X的上游侧X1朝向下游侧X2配置有显示面板1的投入区域111、显示面板1的检查区域112、及显示面板1的排出区域113。在检查区域112中，拍摄并检查对显示面板1通电时的发光状态的摄像装置30向下设置。在检查装置100中，有时将配置有摄像装置30的检查区域112设为暗室状态。

基板搬运装置200具有分别沿着显示面板1的搬运方向X及与搬运方向X正交的宽度方向Y配置的多个支承辊50和使显示面板1沿着搬运方向X在多个支承辊50上行进的搬运机构60。多个支承辊50分别被经由支柱116支承于机座110上的格子状的框架59支承为能够使旋转中心轴线朝向沿着宽度方向Y的方向旋转。

在本实施方式中，框架59在搬运方向X上配置有多个，多个支承辊50对应于沿搬运方向X配置的多个框架59，分成多个块来配置。在本实施方式中，多个支承辊50沿着搬运方向X分成五个块51、52、53、54、55来配置，在五个块51、52、52、54、55中的每一个上，支承辊50在宽度方向上被配置成四列。因此，支承辊50遍及宽阔的区域而配置。

在从上游侧X1起的第一个块51上设置有辊径大于从上游侧X1起第三个及第四个块53、54的支承辊50。另外，在从上游侧X1起第二个及第五个块52、55上设置有与从上游侧X1起第三个及第四个块53、54同样的辊径小的支承辊50和与第一个块51同样的辊径大的支承辊50。

但是，配置在五个块51、52、53、54、55上的多个支承辊50均配置为辊面的上部位于相同的高度位置。更具体而言，支承辊50在对块51、52、53、54、55中的每一个调节辊面的高度位置之后，通过调节各块51、52、53、54、55的高度位置来调节多个支承辊50的所有高度位置。

就多个支承辊50而言，从下方支承显示面板1的辊面501均为树脂制。更具体而言，多个支承辊50分别是辊面由树脂层构成的轴承辊。树脂层由聚缩醛、聚氨酯、聚酰氨、聚碳酸酯、改性聚苯醚、聚对苯二甲酸丁二酯、硅等构成。该支承辊50例如通过在隔着多个滚动部件在径向外侧与内圈对置的外圈上进行嵌件成型而构成。另外，支承辊50通过在外圈的外周面粘贴树脂层而构成。

(搬运机构60的结构)

图4是将图1所示的检查装置100的基板保持架20附近放大表示的立体图。如图4所示，搬运机构60具备：具备载置显示面板1的载置面21的矩形框状的基板保持架20；沿搬运方向X直线引导基板保持架20的直线导向机构65；以及沿着搬运方向X对基板保持架20进行直线驱动的直线驱动机构61。另外，在基板保持架20上设置有将显示面板1固定在载置面21上的基板保持机构62。

基板保持架20的四个边中在宽度方向Y上对置的一对第一边26、27处于比在搬运方向X上对置的一对第二边28、29低的位置，在一对第一边26、27的上表面设置有载置面21。更具体而言，在基板保持架20上，因为构成上游侧X1的第二边28的支承板280及构成下游侧X2的第二边29的支承板290分别固定在构成右侧Y1的第一边26的支承板260及构成左侧Y2的第一边27的支承板270上，所以支承板260、270处于比支承板280、290低的位置。

在支承板260的上表面中的支承板270侧的端部构成有载置面21，在支承板270的上表面中的支承板260侧的端部构成有载置面21。在本实施方式中，载置面21由相对于支承板260、270的端部以使长边方向沿着搬运方向X的方式配置的多个长方体形状的块件22的上表面构成。

在基板保持架20上设置有与显示面板1的侧面抵接来进行显示面板1的定位的定位辊24。在本实施方式中，在支承板270上，在沿搬运方向X分开的两个部位设置有定位辊24，在支承板280上，在宽度方向Y的中央设置有定位辊24。

基板保持机构62包括在载置面21开设吸引孔630的真空吸盘机构63，吸引孔630经由贯通块件22及支承板260、270的通道与真空泵(未图示)等连接。在本实施方式中，吸引孔630由使长轴朝向搬运方向X的长孔构成。

另外，基板保持机构62包括朝向载置面21按压并固定显示面板1的夹紧机构64。在本实施方式中，夹紧机构64具有在支承板260、270上沿着搬运方向X延伸的驱动轴641、对驱动轴641进行驱动的气缸装置642、以及与驱动轴641连接的多个夹持部件643，多个夹持部件643经由驱动轴641统一切换姿势。在本实施方式中，在夹持部件643中与显示面板1相接的抵接部由弹簧等弹性部件构成，夹持部件643经由弹性部件朝向载置面21推压固定显示面板1。

定位辊24与支承辊50同样，辊面为树脂制。更具体而言，多个定位辊24分别是辊面由树脂层构成的轴承辊。

直线导向机构65具备在俯视时与支承板260、270重叠的位置沿着搬运方向X延伸的一对导轨66和固定于支承板260、270的滑动部件67，在滑动部件67上以横跨导轨66的方式形成有凹部68。导轨66经由支柱117固定于机座110上。

在搬运机构60中，直线驱动机构61由在基板保持架20的右侧沿着搬运方向X延伸的线性电动机610构成，线性电动机610的直线移动部件和基板保持架20经由连接部611连接。

(检查区域112等的结构)

如图3所示，在搬运方向X的中途位置，在支承辊50的搬运方向X上的间距最窄的区域设置有检查区域112。在检查区域112中，朝下配置的摄像装置30拍摄通过检查区域112的显示面板1。此时，向显示面板1供电，以点亮整个表面。在本实施方式中，显示面板1是透射式液晶面板。因此，在检查区域112中，在显示面板1的下方设置有具备第一偏光片(未图示)的背光70，在摄像装置30上设置有相对于第一偏光片配置为交叉尼科耳状态的第二偏振光片(未图示)。因此，只要对由摄像装置30拍摄到的图像进行解析，就可以检测显示面板1的缺陷的数量、位置。

显示面板1比摄像装置30的拍摄范围广。因此，在检查装置100上设置有沿宽度方向Y驱动摄像装置30的摄像头驱动机构300。所以，只要将摄像头驱动机构300进行的驱动和基板搬运装置200进行的驱动组合，就可以拍摄显示面板1的整个表面。

此外，在上游侧X1与摄像装置30相邻的位置设置有静电消除器40，静电消除器40进行显示面板1的静电消除或除尘。在本实施方式中，在静电消除器40中还设置有沿宽度方向Y驱动静电消除器40的静电消除器驱动机构400。

(搬运动作等)

在这样构成的检查装置100中，在进行显示面板1的检查时，操作员将真空吸盘机构63及夹紧机构64设为暂停状态，将显示面板1配置在基板保持架20上，此时，使显示面板1与定位辊24的辊面抵接，进行显示面板1的定位。

接下来，使真空吸盘机构63及夹紧机构64工作，使显示面板1成为固定在基板保持架20上的状态。在该状态下，支承辊50的辊面501从下方与显示面板1抵接，显示面板1的高度位置被辊面501限定。接下来，使直线驱动机构61工作，将基板保持架20搬运到下游侧X2。此时，显示面板1在支承辊50上行进。

接下来，当显示面板1到达检查区域112时，直线驱动机构61停止，由摄像装置30进行显示面板1的显示区域的拍摄。此时，摄像头驱动机构300沿宽度方向Y驱动摄像装置30，摄像装置30拍摄在显示面板1的宽度方向Y上偏移的区域。重复该动作，通过摄像装置30拍摄显示面板1的宽度方向Y上的整体。接下来，直线驱动机构61使显示面板1向下游侧X2移动，以与上述相同的步骤通过摄像装置30在显示面板1上相对于上次沿搬运方向X偏移的位置拍摄显示面板1的宽度方向Y上的整体。重复该动作，通过摄像装置30拍摄显示面板1的整体。

接下来，直线驱动机构61使显示面板1进一步向下游侧X2移动，在显示面板1到达排出区域113的定时停止显示面板1的搬运。接下来，将真空吸盘机构63及夹紧机构64设为暂停状态后，将结束拍摄的显示面板1排出，之后，直线驱动机构61将空的基板保持架20返回至上游侧X1的投入区域111。之后，重复同样的动作。

这样，在本实施方式的检查装置100中，在利用分别沿着显示面板1的搬运方向X及宽度方向Y配置的多个支承辊50的辊面501支承显示面板1的状态下通过搬运机构60搬运显示面板1，使显示面板1在多个支承辊50上行进。另外，多个支承辊50的辊面501为树脂制。因此，与由辊式输送机搬运显示面板1的情况不同，在搬运显示面板1时，显示面板1不易振动。因此，能够抑制显示面板1从支承辊50的局部浮动。因此，即使在显示面板1大型化的情况下，也能够适当地维持显示面板1的高度位置及姿势，因此，显示面板1整体位于摄像装置30的被摄体深度内。因此，能够通过摄像装置30适当地拍摄显示面板1。

另外，在检查装置100中，因为搬运机构60使用保持显示面板1的基板保持架20，所以在显示面板1上施加显示面板1的质量及基板保持架20的质量。因此，能够设为使显示面板1与支承辊50可靠地相接的状态。因此，能够高精度地控制显示面板1的高度位置及姿势。

另外，因为基板保持架20的四个边中在宽度方向Y上对置的一对第一边26、27处于比在搬运方向X上对置的一对第二边28、29低的位置，所以容易以位于显示面板1的搬运方向X的第二边28、29和支承辊50不相互干涉的方式设置支承辊50。

另外，因为在基板保持架20上设置有与显示面板1的侧面抵接而进行显示面板1的定位的定位辊24，所以能够在基板保持架20的规定位置配置显示面板1。

(摄像装置30的结构)

图5是示意性表示从搬运方向X的下游侧X2观察图1所示的摄像装置30的情形的主视图。图6是示意性表示从左侧Y2观察图5所示的摄像装置30的情形的侧视图。在图5及图6中，摄像装置30具有摄像头31、基座32、具备连接第一手动手柄361的第一螺杆轴360的第一进给丝杠机构36、以及具备连接第二手动手柄371的第二螺杆轴370的第二进给丝杠机构37。另外，摄像装置30具有阻止第一螺杆轴360的旋转的第一锁定机构366和阻止第二螺杆轴370的旋转的第二锁定机构376。而且，摄像装置30具有在使摄像头31沿上下方向Z移动而调节摄像头31的高度位置时限定摄像头31的停止位置的微型头38和沿上下方向引导摄像头31的直线导向机构35。

基座32具有使两面朝向搬运方向X的第一板部321和从第一板部321向搬运方向X的上游侧X1突出的第二板部322。另外，在基座32和机座110之间设置有沿宽度方向Y驱动摄像装置30的摄像头驱动机构300。在本实施方式中，在构成摄像头驱动机构300时，在基座32和机座110之间设置有连接基座32的滑块310，在滑块310和机座110之间设置有沿宽度方向Y引导滑块310的直线导向机构320和滚珠丝杠330。直线导向机构320具有固定于机座110的导轨326和滑动部件327。

摄像头31在保持于摄像头保持架315的内侧的状态下相对于基座32的第一板部321配置于搬运方向X的下游侧X2。从摄像头31延伸出进行对摄像头31输入控制信号及输出由摄像头31获取的图像信号的电缆314。在摄像头31的下方位置配置有保持第二偏光片390的偏光片保持架39。

在第一进给丝杠机构36中，第一螺杆轴360在摄像头保持架315和基座32的第一板部321之间沿上下方向延伸，在第一螺杆轴360的上端部连接有第一手动手柄361。在第一块33上设置有与第一螺杆轴360啮合的第一螺母部365，在基座32上保持有将第一螺杆轴360支承为能够旋转的轴承363、364。因此，在第一进给丝杠机构36中，当使第一手动手柄361旋转时，第一块33相对于基座32上下移动。在第一锁定机构366中，当使手动手柄367向关闭方向旋转时，锁定部件368与第一螺杆轴360或第一块33干涉，阻止第一螺杆轴360的旋转。

在第二进给丝杠机构37中，第二螺杆轴370在第一螺杆轴360的侧方沿上下方向延伸，在第二螺杆轴370的上端部连接有第二手动手柄371。在本实施方式中，第二螺杆轴370在从第一螺杆轴360向宽度方向Y的左侧Y2及搬运方向X的下游侧X2分离的位置与第一螺杆轴360平行地延伸。在第一块33上设置有与第二螺杆轴370啮合的第二螺母部375，在第二块34上保持有将第二螺杆轴370支承为能够旋转的轴承373。另外，第二块34构成为以不能跟随第二螺杆轴370旋转的状态与第二螺杆轴370一体地在上下方向Z上移动。因此，在第二进给丝杠机构37中，当使第二手动手柄371旋转时，第二块34相对于第一块33上下移动。在第二锁定机构376中，当使手动手柄377向关闭方向旋转时，锁定部件378与第二螺杆轴370或第二块34干涉，阻止第二螺杆轴370的旋转。

第二块34经由构成其一部分的连接部件345与摄像头保持架315连接。因此，在第一进给丝杠机构36中，当使第一手动手柄361旋转时，第二块34及摄像头31与第一块33一起上下移动。另外，在通过第一锁定机构366阻止第一块33的上下移动的状态下，在第二进给丝杠机构37中，当使第二手动手柄371旋转时，设置在第一块33上的第二螺母部375不会上下移动，因此，摄像头31与第二块34一起上下移动。因此，如后述，可以通过第一进给丝杠机构36对摄像头31的高度位置进行粗调，并且可以通过第二进给丝杠机构37对摄像头31的高度位置进行微调。

微型头38具备固定在第二块34上的固定部件381和被固定部件381支承为能够沿轴线方向移动的主轴382，主轴382从固定部件381向下方突出。在本实施方式中，微型头38的轴线在从第一螺杆轴360向宽度方向Y的右侧Y1分开的位置与第一螺杆轴360平行地延伸。设定主轴382从固定部件381向下方的突出量的操作部384从固定部件381向上方突出。在此，第一块33位于主轴382的下方位置。因此，如果在第一进给丝杠机构36中通过第一手动手柄361使第一螺杆轴360旋转而调节第一块33及第二块34的高度位置之后，在第二进给丝杠机构37中通过第二手动手柄371使第二螺杆轴370旋转而使第二块34移动，直至微型头38的主轴382的前端部383与第一块33抵接为止，则可以将第二块34的高度位置调节由微型头38限定的移动距离。

直线导向机构35具有在相对于第二螺杆轴370向宽度方向Y的两侧分开的位置以沿上下方向延伸的方式固定在基座32上的导轨351和固定在连接部件345上的滑块352，滑块352能够在导轨351上滑动。因此，在通过第一进给丝杠机构36对摄像头31的高度位置进行粗调时、及通过第二进给丝杠机构37对摄像头31的高度位置进行微调时，直线导向机构35经由摄像头保持架315在上下方向上引导摄像头31及第二块34。

(摄像头31的高度位置的调节动作等)

在本实施方式的检查装置100中，需要根据显示面板1的种类等调节显示面板1和摄像头31的相对位置，并将显示面板1的高度位置调节到摄像头31的被摄体深度内。在进行该调节时，首先，将摄像头31设为高于目标高度位置的位置。

接下来，在第一进给丝杠机构36中，当使第一手动手柄361旋转并使第一块33下降时，第二块34及摄像头31下降。接下来，通过第一锁定机构366设为阻止第一螺杆轴360的旋转的状态。由此，在对摄像头31的高度位置进行粗调之后，使手动手柄367向关闭方向旋转，通过第一锁定机构366阻止第一螺杆轴360的旋转。其结果是，第一块33的上下移动被阻止，第一螺母部365的上下移动也被阻止。

接下来，在第二进给丝杠机构37中，当使第二手动手柄371旋转并使第二块34下降时，摄像头31下降。而且，当第一块33与主轴382的前端部383抵接时，使第二手动手柄371的旋转停止，基于摄像头31的拍摄结果判定摄像头31的高度位置是否适当。在此，在判定为摄像头31的高度位置不适当时，将主轴382的前端部383的高度位置向上方偏移一定距离之后，再次在第二进给丝杠机构37中使第二手动手柄371旋转并使第二块34下降，此时，摄像头31下降。而且，当第一块33与主轴382的前端部383抵接时，使第二手动手柄371的旋转停止，基于摄像头31的拍摄结果判定摄像头31的高度位置是否适当。作为该调节的结果，在判定为摄像头31的高度位置适当时，通过第二锁定机构376设为阻止第二螺杆轴370的旋转的状态。由此，对摄像头31的高度位置进行微调。然后，进行显示面板1的点亮检查。

这样，在本实施方式的摄像装置30中，具有使摄像头31上下移动的第一进给丝杠机构36及第二进给丝杠机构37，第一进给丝杠机构36及第二进给丝杠机构37分别是具备连接手动手柄的螺杆轴的进给丝杠机构。因此，可以通过第一进给丝杠机构36进行摄像头31的高度位置的粗调，并通过第二进给丝杠机构37进行摄像头31的高度位置的微调。另外，可以通过微型头38限定摄像头31的高度位置。因此，即使不使用伺服电动机或步进电动机等电动机、或滚珠丝杠等昂贵的部件，也能够以廉价的结构适当地调节摄像头31的高度位置。另外，由于微型头38具备固定在第二块34上的固定部件381和在使第二块34移动时能够与第一块33抵接的主轴382，因此当利用第一进给丝杠机构36调节摄像头31的高度位置时，微型头38与第一块33及第二块34一体地上下移动，当利用第二进给丝杠机构37调节摄像头31的高度位置时，微型头38与第二块34一体地上下移动。因此，在调节摄像头31的高度位置时，微型头38相对于第一块33及第二块34处于适当的高度位置，因此可以使用微型头38容易地调节摄像头31的停止位置。

另外，由于具有沿上下方向引导第二块34的直线导向机构35，所以能够使第二块34顺畅地上下移动而不会倾斜。另外，由于设置有阻止第一螺杆轴360的旋转的第一锁定机构366和阻止第二螺杆轴370的旋转的第二锁定机构376，因此能够维持摄像头31在适当的位置停止的状态。

(另一实施方式)

图7是本发明另一实施方式的检查装置100的说明图。在图7所示的检查装置100中，参照图1～图6进行了说明的摄像装置30在滑块310上配置有两个，在检查装置100上设置有调节两个摄像装置30的相对位置的调节装置500。在本实施方式中，例如，摄像装置30在宽度方向Y上配置有两个，调节装置500能够调节两个摄像装置30在宽度方向Y上的距离。

在本实施方式中，调节装置500是具备连接第三手动手柄511的第三螺杆轴514的第三进给丝杠机构510，第三螺杆轴514贯通形成于图6所示的基座32的第二板部322的孔325。另外，在两个摄像装置30中的一摄像装置30的基座32的第二板部322固定有与第三螺杆轴514啮合的第三螺母部512，在基座32和滑块310之间设置有沿宽度方向引导一摄像装置30的直线导向机构(未图示)。与此相对，就另一摄像装置30而言，基座32固定于滑块310上，在基座32的第二板部322固定有将第三螺杆轴514支承为能够旋转的轴承513。其他结构与参照图1～图6进行了说明的摄像装置30是一样的，因此省略说明。

根据该实施方式，由于能够用两个摄像头31拍摄显示面板1，因此可以扩大拍摄范围。此外，在图7中，在宽度方向Y上配置两个摄像装置30，但也可以在搬运方向X上配置两个摄像装置30。

[其他实施方式]

在上述实施方式中，例示出基板10在构成显示面板1之后的状态下搬运的情况，但也可以将本发明应用于基板10在构成显示面板1之前的状态下进行检查的情况。

Claims (8)

1.一种摄像装置，其特征在于，具有：

摄像头；

基座；

第一进给丝杠机构，所述第一进给丝杠机构具备连接第一手动手柄的第一螺杆轴，且使第一块相对于所述基座上下移动；

第二进给丝杠机构，所述第二进给丝杠机构具备连接第二手动手柄的第二螺杆轴，且使与所述摄像头连接的第二块相对于所述第一块上下移动；以及

微型头，所述微型头限定调节所述摄像头的位置时的所述摄像头的停止位置。

2.根据权利要求1所述的摄像装置，其特征在于，

所述微型头具备：连接在所述第二块上的固定部件；以及被所述固定部件支承为能够沿轴线方向移动的主轴，

使所述第二螺杆轴旋转时的所述第二块相对于所述第一块的停止位置由所述微型头限定。

3.根据权利要求1或2所述的摄像装置，其特征在于，

具有沿上下方向引导所述第二块的直线导向机构。

4.根据权利要求1或2所述的摄像装置，其特征在于，

与所述第一螺杆轴啮合的第一螺母部及与所述第二螺杆轴啮合的第二螺母部均设置在所述第一块上。

5.根据权利要求1或2所述的摄像装置，其特征在于，具有：

第一锁定机构，所述第一锁定机构阻止所述第一螺杆轴的旋转；以及

第二锁定机构，所述第二锁定机构阻止所述第二螺杆轴的旋转。

6.一种检查装置，其具有权利要求1～5中任一项所述的摄像装置，其特征在于，

具备将基板依次搬运到所述摄像头的视野内的搬运装置。

7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

具有摄像头驱动机构，所述摄像头驱动机构使所述摄像头在与所述搬运装置的搬运方向正交的宽度方向上移动。

8.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，

配置有两个所述摄像装置，

具有调节两个所述摄像装置的相对位置的调节装置，

所述调节装置是具备连接第三手动手柄的第三螺杆轴的第三进给丝杠机构。

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