CN114483530A - 一种卧式排气设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种卧式排气设备，包括烘箱、内真空组件、外真空组件、供氮件、氮气循环组件。烘箱形成真空室，真空室能够打开或封闭，烘箱包括外壳和内壳，内壳设有加热结构，外壳和内壳之间具有隔热间隙，内壳开设有气孔；内真空组件具有内真空抽气口；外真空组件具有外真空抽气口；供氮件，与真空室相连，用于向真空室提供氮气；氮气循环组件设置于隔热间隙对应气孔处，能够使得外壳和内壳之间的氮气在气孔流动。本申请的卧式排气设备，能够缩短降温时间，提高工作效率。

Description

一种卧式排气设备

技术领域

本申请涉及真空排气技术领域，尤其涉及一种卧式排气设备。

背景技术

现有的排气设备通常包括烘箱、真空组件等，烘箱形成真空室，行波管等真空器件可以放置在真空室内。封闭真空室后，真空组件抽气，以对行波管进行排气。在排气过程中，烘箱内需要加热，以提高排气的效果，而且，排气完成后，需要在烘箱处于封闭的状态下进行降温，以防止行波管发生氧化。但是，目前大多采用自然冷却的方法进行降温，而烘箱内部具有一定的真空度，热传导慢，导致降温时间长，效率低。

发明内容

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种卧式排气设备，能够缩短降温时间，提高工作效率，有效的解决了现有技术中存在的问题。

为了解决上述问题，本申请提供一种卧式排气设备，包括烘箱、内真空组件、外真空组件、供氮件、氮气循环组件，所述烘箱形成真空室，所述真空室能够打开或封闭，所述烘箱包括外壳和内壳，所述内壳设有加热结构，所述外壳和所述内壳之间具有隔热间隙，所述内壳开设有气孔；所述内真空组件具有内真空抽气口；所述外真空组件具有外真空抽气口；所述供氮件与所述真空室相连，用于向所述真空室提供氮气；所述氮气循环组件设置于所述隔热间隙对应所述气孔处，能够使得所述外壳和所述内壳之间的氮气在所述气孔流动。

进一步的，所述氮气循环组件包括导流风扇，所述导流风扇安装在所述内壳的上侧。

进一步的，所述内壳的底部设有承托行波管的固定底架，所述固定底架设有循环孔，所述氮气循环组件能够使得氮气由所述内壳内部流动至所述隔热间隙后再经由所述循环孔流动至所述内壳。

进一步的，所述隔热间隙还设有导热组件，所述导热组件包括金属翅片、驱动部，所述金属翅片可活动的设置在所述隔热间隙，以使得所述金属翅片在隔热位置和导热位置之间切换，所述金属翅片在隔热位置时，所述金属翅片与所述内壳或所述外壳中的至少一个分离，所述金属翅片处于导热位置时，所述金属翅片与所述内壳和所述外壳同时抵接；所述驱动部与所述金属翅片传动连接，带动所述金属翅片活动。

进一步的，所述金属翅片活动设置在所述固定底架和所述外壳的底壁之间。

进一步的，所述外壳侧壁的相对两侧壁的底部形成阻隔所述隔热间隙的分隔壁，另外两侧壁的底部形成供氮气流动的流动口，所述驱动部为活动安装在所述流动口的隔热阀板，所述隔热阀板与所述金属翅片传动连接，以使得氮气推开所述隔热阀板时，所述隔热阀板带动金属翅片移动至导热位置。

进一步的，所述隔热阀板滑动的设置在所述隔热间隙，且所述金属翅片滑动的设置在所述隔热间隙，所述金属翅片的顶部和/或底部设有多个外凸的倾斜段，所述外壳的内壁或所述内壳的底壁对应所述倾斜段的位置设有倾斜延伸的导热面，所述隔热阀板被所述氮气推动时能带动所述金属翅片移动，以使得所述倾斜段抵接在所述导热面。

进一步的，所述隔热间隙设有分隔开的导气腔和安装所述金属翅片的安装腔，所述隔热阀板覆盖所述流动口的口部，所述内壳的底壁开设有连通所述循环孔的导气槽，以使得所述隔热阀板移动至所述导气槽位置处时所述导气槽连通所述流动口。

进一步的，所述隔热阀板通过弹性件连接于所述外壳的内壁。

进一步的，所述固定底架支撑所述行波管的两端，以使所述行波管处于大致水平状态。

本申请的有益效果在于，供氮件向真空室提供氮气以进行降温，可以缩短降温时间，提高工作效率，并且氮气循环组件能够使氮气在内壳内部和隔热间隙之间循环流动，提高氮气在真空室分布的均匀性，提高降温的效果。本申请的卧式排气设备有效的解决了现有技术中存在的问题。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1为本申请一实施例中卧式排气设备的结构示意图。

图2为本申请一实施例中金属翅片处于隔热位置的结构示意图。

图3为图2中A处的局部放大示意图。

图4为本申请一实施例中金属翅片处于导热位置结构示意图。

图5为图4中B处的局部放大示意图。

其中：1、烘箱；101、真空室；102、外壳；1021、分隔壁；103、内壳；1031、气孔；1032、导气槽；104、加热结构；105、隔热间隙；1051、导气腔；1052、安装腔；106、流动口；107、导热面；2、内真空组件；3、外真空组件；4、氮气循环组件；401、导流风扇；5、固定底架；501、循环孔；6、导热组件；601、金属翅片；6011、倾斜段；602、驱动部；7、供氮件；8、弹性件。

具体实施方式

为了更清楚的阐释本申请的整体构思，下面再结合说明书附图以示例的方式进行详细说明。

需说明，在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

另外，在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。但注明直接连接则说明连接地两个主体之间并不通过过度结构构建连接关系，只通过连接结构相连形成一个整体。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

在本申请中，如图1至图5所示，提供了一种卧式排气设备，包括烘箱1、内真空组件2、外真空组件3、供氮件7、氮气循环组件4。烘箱1形成真空室101，真空室101能够打开或封闭，烘箱1包括外壳102和内壳103，内壳103设有加热结构104，外壳102和内壳103之间具有隔热间隙105，内壳103开设有气孔1031；内真空组件2具有内真空抽气口；外真空组件3具有外真空抽气口；供氮件7与真空室101相连，用于向真空室101提供氮气；氮气循环组件4设置于隔热间隙105对应气孔1031处，能够使得外壳102和内壳103之间的氮气在气孔1031流动。

本申请提供的卧式排气设备在使用时，可以打开真空室101，将行波管放置于真空室101内，内真空组件2的内真空抽气口与行波管的内部连通，外真空组件3的外真空抽气口与真空室101连通。将真空室101封闭后，内真空组件2能够抽取行波管内部的气体，以对行波管内部进行排气；外真空组件3能够抽取真空室101内的气体，以对行波管外壁和烘箱1内壁进行排气。

加热结构104可以对真空室101进行加热，以使行波管的管壁上的气体脱附，脱附的气体分别由内真空组件2、外真空组件3抽走，从而提高真空度。而且，在加热的过程中，隔热间隙105能够起到隔热的作用，尤其是在抽真空后，提高了隔热间隙105的真空度，从而能够减少热量的散失，提高热量的利用率。行波管内部的真空度达到的要求后，供氮件7可以向真空室101提供氮气以进行降温，氮气是由液氮转化而成，在转化的过程中氮气可以吸收热量，缩短降温时间，提高工作效率。并且，氮气循环组件4能够使氮气在内壳103内部和隔热间隙105之间循环流动，氮气在隔热间隙105流动时，能够吸收外壳102和内壳103的热量，在内壳103内部流动时，能够吸收行波管及内壳103的热量，氮气循环组件4提高氮气在烘箱1内分布的均匀性，提高降温的效果。

需要说明的是，本申请对加热结构、内真空组件、外真空组件、供氮件不做限定，可以采用现有技术中的结构。

在优选的实施例中，进一步的具体的说，氮气循环组件4包括导流风扇401，导流风扇401安装在内壳103的上侧。导流风扇401在运转时能够促进氮气在内壳103内部和隔热间隙105之间循环流动，提高氮气在烘箱1内分布的均匀性，提高降温的效果。

在优选的实施例中，进一步的具体的说，内壳103的底部设有承托行波管的固定底架5，固定底架5设有循环孔501，氮气循环组件4能够使得氮气由内壳103内部流动至隔热间隙105后再经由循环孔501流动至内壳103。氮气在隔热间隙105和内壳103内部之间循环流动，使氮气充分接触烘箱1和行波管，从而提高吸收烘箱1和行波管的热量的效果，提高降温的效果。而且，氮气能够由固定底架5的循环孔501流动至行波管，从而吸收行波管的热量，以提高对行波管的降温效果。

进一步的具体的说，隔热间隙105还设有导热组件6，导热组件6包括金属翅片601、驱动部602。金属翅片601可活动的设置在隔热间隙105，以使得金属翅片601在隔热位置和导热位置之间切换，金属翅片601在隔热位置时，金属翅片601与内壳103或外壳102中的至少一个分离，金属翅片601处于导热位置时，金属翅片601与内壳103和外壳102同时抵接；驱动部602与金属翅片601传动连接，带动金属翅片601活动。

在加热时，驱动部602使金属翅片601处于隔热位置，内壳103和外壳102之间不接触，能够减少热量的传递，减少烘箱1内的热量散失。在冷却时，驱动部602使金属翅片601处于导热位置，金属翅片601与内壳103和外壳102同时抵接，金属翅片601能够传导热量，使热量由内壳103、金属翅片601、外壳102传递到外界环境中，能够提高散热的效果，进一步缩短降温的时间。

对于金属翅片601的设置，进一步的具体的说，金属翅片601活动设置在内壳103底壁和外壳102底壁之间。金属翅片601的设置位置靠近承托行波管的固定底架5，以使行波管的热量能够由固定底架5、内壳103、金属翅片601、外壳102依次传递至外界，能提高行波管散热效率。

进一步的具体的说，外壳102侧壁的相对两侧壁的底部形成阻隔隔热间隙105的分隔壁1021，另外两侧壁的底部形成供氮气流动的流动口106，驱动部602为活动安装在流动口106的隔热阀板，隔热阀板与金属翅片601传动连接，以使得氮气推开隔热阀板时，隔热阀板带动金属翅片601移动至导热位置。分隔壁1021能够限制氮气的流动路径，使氮气朝流动口106流动，进而氮气能够对隔热阀板施加足够的压力以推开隔热阀板。

进一步的具体的说，隔热阀板滑动的设置在隔热间隙105，金属翅片601滑动的设置在隔热间隙105，金属翅片601的顶部和/或底部设有多个外凸的倾斜段6011，外壳102的内壁或内壳103的底壁对应倾斜段6011的位置设有倾斜延伸的导热面107，隔热阀板被氮气推动时能带动金属翅片601移动，以使得倾斜段6011抵接在导热面107。

金属翅片601的顶部和底部均设置倾斜段6011时，外壳102的内壁和内壳103的底壁均设有倾斜延伸的导热面107。在加热过程中，金属翅片601位于隔热位置，金属翅片601的倾斜段6011与外壳102和内壳103的导热面107错位，金属翅片601不接触外壳102和内壳103，以减少热量散失到外界。降温时，向真空室101内通入氮气，氮气推动隔热阀板以使金属翅片601移动，金属翅片601的倾斜段6011和导热面107接触，以将烘箱1内的热量传导至外界。另外，倾斜段6011增加了金属翅片601的导热面107积，倾斜延伸的导热面107增大了外壳102和内壳103的导热面107积，提高了导热的效果，有利于缩短降温时间。

需要说明的是，在本实施例，金属翅片601仅顶部设有多个外凸的倾斜段6011时，内壳103的底壁对应倾斜段6011的位置设有倾斜延伸的导热面107，金属翅片601的底部与外壳102始终处于接触状态。金属翅片601仅底部设有多个外凸的倾斜段6011时，外壳102的底壁对应倾斜段6011的位置设有倾斜延伸的导热面107，金属翅片601的顶部与内壳103始终处于接触状态。

进一步的具体的说，隔热间隙105设有分隔开的导气腔1051和安装金属翅片601的安装腔1052，隔热阀板覆盖流动口106的口部，内壳103的底壁开设有连通循环孔501的导气槽1032，以使得隔热阀板移动至导气槽1032位置处时导气槽1032连通流动口106。

通入氮气前，隔热阀板覆盖流动口106的口部，通入氮气后，氮气能够对隔热阀板施加足够的压力，以使隔热阀板移动并带动金属翅片601移动至导热位置，并使导气槽1032连通流动口106。导气腔1051内的氮气由导气槽1032、固定底架5的循环孔501进入内壳103的内部，并吸收行波管的热量。由于导气腔1051和安装腔1052分隔，氮气不进入安装腔1052，能够防止氮气和金属翅片601进行热交换，进而防止氮气把金属翅片601的热量带进内壳103内部，使氮气可以充分吸收行波管及烘箱1的热量。金属翅片601在导热位置时，能够实现烘箱1和外界环境热交换，以辅助氮气实现降温，氮气和金属翅片601共同作用，能够缩短降温的时间。

进一步的具体的说，隔热阀板通过弹性件8连接于外壳102的内壁。在降温时，通入隔热间隙105的氮气对隔热阀板施加压力，弹簧能够拉伸，隔热阀板带动金属翅片601移动至导热位置。当压力消除时，弹簧自动回缩，隔热阀板带动金属翅片601移动至隔热位置。

进一步的具体的说，固定底架5支撑行波管的两端，以使行波管处于大致水平状态。行波管处于大致水平状态，方便烘箱1内各部件及行波管的布置。

需要说明的是，在本实施例中，行波管处于大致水平状态是指由于误差会导致行波管与水平面存在微小的倾斜角度。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于系统实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原理之内所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的权利要求范围之内。

Claims (10)

1.一种卧式排气设备，其特征在于，包括：

烘箱，所述烘箱形成真空室，所述真空室能够打开或封闭，所述烘箱包括外壳和内壳，所述内壳设有加热结构，所述外壳和所述内壳之间具有隔热间隙，所述内壳开设有气孔；

内真空组件，所述内真空组件具有内真空抽气口；

外真空组件，所述外真空组件具有外真空抽气口；

供氮件，所述供氮件与所述真空室相连，用于向所述真空室提供氮气；

氮气循环组件，所述氮气循环组件设置于所述隔热间隙对应所述气孔处，能够使得所述外壳和所述内壳之间的氮气在所述气孔流动。

2.根据权利要求1所述的卧式排气设备，其特征在于，所述氮气循环组件包括导流风扇，所述导流风扇安装在所述内壳的上侧。

3.根据权利要求1所述的卧式排气设备，其特征在于，所述内壳的底部设有承托行波管的固定底架，所述固定底架设有循环孔，所述氮气循环组件能够使得氮气由所述内壳内部流动至所述隔热间隙后再经由所述循环孔流动至所述内壳。

4.根据权利要求3所述的卧式排气设备，其特征在于，所述隔热间隙还设有导热组件，所述导热组件包括：

金属翅片，所述金属翅片可活动的设置在所述隔热间隙，以使得所述金属翅片在隔热位置和导热位置之间切换，所述金属翅片在隔热位置时，所述金属翅片与所述内壳或所述外壳中的至少一个分离，所述金属翅片处于导热位置时，所述金属翅片与所述内壳和所述外壳同时抵接；

驱动部，所述驱动部与所述金属翅片传动连接，带动所述金属翅片活动。

5.根据权利要求4所述的卧式排气设备，其特征在于，所述金属翅片活动设置在所述内壳底壁和所述外壳底壁之间。

6.根据权利要求5所述的卧式排气设备，其特征在于，所述外壳侧壁的相对两侧壁的底部形成阻隔所述隔热间隙的分隔壁，另外两侧壁的底部形成供氮气流动的流动口，所述驱动部为活动安装在所述流动口的隔热阀板，所述隔热阀板与所述金属翅片传动连接，以使得氮气推开所述隔热阀板时，所述隔热阀板带动金属翅片移动至导热位置。

7.根据权利要求6所述的卧式排气设备，其特征在于，所述隔热阀板滑动的设置在所述隔热间隙，且所述金属翅片滑动的设置在所述隔热间隙，所述金属翅片的顶部和/或底部设有多个外凸的倾斜段，所述外壳的内壁或所述内壳的底壁对应所述倾斜段的位置设有倾斜延伸的导热面，所述隔热阀板被所述氮气推动时能带动所述金属翅片移动，以使得所述倾斜段抵接在所述导热面。

8.根据权利要求6所述的卧式排气设备，其特征在于，所述隔热间隙设有分隔开的导气腔和安装所述金属翅片的安装腔，所述隔热阀板覆盖所述流动口的口部，所述内壳的底壁开设有连通所述循环孔的导气槽，以使得所述隔热阀板移动至所述导气槽位置处时所述导气槽连通所述流动口。

9.根据权利要求7所述的卧式排气设备，其特征在于，所述隔热阀板通过弹性件连接于所述外壳的内壁。

10.根据权利要求3所述的卧式排气设备，其特征在于，所述固定底架支撑所述行波管的两端，以使所述行波管处于大致水平状态。

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