CN114384759A - 一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 - Google Patents
一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114384759A CN114384759A CN202111544555.9A CN202111544555A CN114384759A CN 114384759 A CN114384759 A CN 114384759A CN 202111544555 A CN202111544555 A CN 202111544555A CN 114384759 A CN114384759 A CN 114384759A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glycol diacrylate
- fullerol
- acrylate
- acid
- black matrix
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 title claims abstract description 51
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 title claims abstract description 48
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 title claims abstract description 46
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 title claims abstract description 26
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 12
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims abstract description 30
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical group C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 24
- 229910003472 fullerene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 5
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims abstract description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 claims abstract description 4
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims description 41
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 31
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 30
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 claims description 29
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims description 29
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 28
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 28
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 28
- -1 1, 3-dimethylbutyl Chemical group 0.000 claims description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 23
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 20
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 20
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 17
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 17
- VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxypropyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)COC(=O)C=C VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000012467 final product Substances 0.000 claims description 16
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 claims description 15
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 15
- HFBMWMNUJJDEQZ-UHFFFAOYSA-N acryloyl chloride Chemical compound ClC(=O)C=C HFBMWMNUJJDEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 14
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims description 14
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 13
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L sodium carbonate Substances [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims description 12
- QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N Hydroquinone Chemical compound OC1=CC=C(O)C=C1 QIGBRXMKCJKVMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- VHRYZQNGTZXDNX-UHFFFAOYSA-N methacryloyl chloride Chemical compound CC(=C)C(Cl)=O VHRYZQNGTZXDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 10
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 claims description 10
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 10
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 10
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 claims description 10
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 claims description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 10
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N anisole Chemical group COC1=CC=CC=C1 RDOXTESZEPMUJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000012752 auxiliary agent Substances 0.000 claims description 8
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 claims description 8
- 238000001291 vacuum drying Methods 0.000 claims description 8
- LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOC(=O)C=C LEJBBGNFPAFPKQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 7
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 125000004400 (C1-C12) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 6
- XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOC(=O)C(C)=C XFCMNSHQOZQILR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C=C INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N Fumaric acid Chemical compound OC(=O)\C=C\C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-OWOJBTEDSA-N 0.000 claims description 6
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 6
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 claims description 6
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 claims description 6
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920002818 (Hydroxyethyl)methacrylate Polymers 0.000 claims description 5
- JJBFVQSGPLGDNX-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)COC(=O)C(C)=C JJBFVQSGPLGDNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical group NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N Hydroxyethyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCO WOBHKFSMXKNTIM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 claims description 5
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 claims description 5
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C(C)=C JKNCOURZONDCGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C=C DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 2-Methylbenzenesulfonic acid Chemical compound CC1=CC=CC=C1S(O)(=O)=O LBLYYCQCTBFVLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCO GNSFRPWPOGYVLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 3-methylideneoxolane-2,5-dione Chemical compound C=C1CC(=O)OC1=O OFNISBHGPNMTMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N N-Methylolacrylamide Chemical compound OCNC(=O)C=C CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CGBYBGVMDAPUIH-UHFFFAOYSA-N acide dimethylmaleique Natural products OC(=O)C(C)=C(C)C(O)=O CGBYBGVMDAPUIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 claims description 4
- IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N cyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCC=CC1C(O)=O IFDVQVHZEKPUSC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- CGBYBGVMDAPUIH-ARJAWSKDSA-N dimethylmaleic acid Chemical compound OC(=O)C(/C)=C(/C)C(O)=O CGBYBGVMDAPUIH-ARJAWSKDSA-N 0.000 claims description 4
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N methoxybenzene Substances CCCCOC=C UZKWTJUDCOPSNM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N n-(hydroxymethyl)-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCO DNTMQTKDNSEIFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000000449 nitro group Chemical group [O-][N+](*)=O 0.000 claims description 4
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 claims description 4
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N tetrahydrophthalic acid Natural products OC(=O)C1=C(C(O)=O)CCCC1 UFDHBDMSHIXOKF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 125000003837 (C1-C20) alkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- 125000004765 (C1-C4) haloalkyl group Chemical group 0.000 claims description 3
- UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4-dimethylphenyl)propan-1-one Chemical compound CCC(=O)C1=CC=C(C)C=C1C UWFRVQVNYNPBEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 2-(3-hydroxyphenyl)phenol Chemical compound OC1=CC=CC(C=2C(=CC=CC=2)O)=C1 XKZQKPRCPNGNFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C LTHJXDSHSVNJKG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ODGCZQFTJDEYNI-UHFFFAOYSA-N 2-methylcyclohex-3-ene-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1(C)C=CCCC1C(O)=O ODGCZQFTJDEYNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 3-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound OCCCOC(=O)C=C QZPSOSOOLFHYRR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 6-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCCCOC(=O)C(C)=C SAPGBCWOQLHKKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 6-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCCCCOC(=O)C=C FIHBHSQYSYVZQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229930185605 Bisphenol Natural products 0.000 claims description 3
- VOWWYDCFAISREI-UHFFFAOYSA-N Bisphenol AP Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C=1C=CC(O)=CC=1)(C)C1=CC=CC=C1 VOWWYDCFAISREI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HTVITOHKHWFJKO-UHFFFAOYSA-N Bisphenol B Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(CC)C1=CC=C(O)C=C1 HTVITOHKHWFJKO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- SDDLEVPIDBLVHC-UHFFFAOYSA-N Bisphenol Z Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1C1(C=2C=CC(O)=CC=2)CCCCC1 SDDLEVPIDBLVHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N [2,2-dimethyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C(C)=C ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- AZPAETVIVPKYDD-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate prop-2-enoic acid Chemical compound C(C=C)(=O)O.C(C=C)(=O)O.C(C1CO1)OC(C=1C(C(=O)OCC2CO2)=CC=CC1)=O AZPAETVIVPKYDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ONKGYNSXPCRJFR-UHFFFAOYSA-N bis(oxiran-2-ylmethyl) benzene-1,2-dicarboxylate;2-methylprop-2-enoic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O.CC(=C)C(O)=O.C=1C=CC=C(C(=O)OCC2OC2)C=1C(=O)OCC1CO1 ONKGYNSXPCRJFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 claims description 3
- CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N linalool Chemical compound CC(C)=CCCC(C)(O)C=C CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N methacrylamide Chemical compound CC(=C)C(N)=O FQPSGWSUVKBHSU-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N methyl 1,3-benzoxazole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC=C2OC(C(=O)OC)=NC2=C1 YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N oxiran-2-ylmethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC1CO1 RPQRDASANLAFCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N thiophenol Chemical group SC1=CC=CC=C1 RMVRSNDYEFQCLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- QPLWHGUVWSUCSM-UHFFFAOYSA-N 3-ethoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCOC=C(C)C(N)=O QPLWHGUVWSUCSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- UKFRRTBLGCQOHJ-UHFFFAOYSA-N 3-methoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound COC=C(C)C(N)=O UKFRRTBLGCQOHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- XPLBWKKMTXCTDB-UHFFFAOYSA-N 4-(2-ethyl-5-propan-2-ylphenyl)phenol Chemical compound CCC1=CC=C(C(C)C)C=C1C1=CC=C(O)C=C1 XPLBWKKMTXCTDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- JRHRGDYSAMZWQE-UHFFFAOYSA-N C(C)OCC=C(C(=O)N)C Chemical compound C(C)OCC=C(C(=O)N)C JRHRGDYSAMZWQE-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- LHGVFZTZFXWLCP-UHFFFAOYSA-N guaiacol Chemical group COC1=CC=CC=C1O LHGVFZTZFXWLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000002390 rotary evaporation Methods 0.000 claims description 2
- XQAVYBWWWZMURF-UHFFFAOYSA-N OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO XQAVYBWWWZMURF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 16
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 14
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 11
- 230000032050 esterification Effects 0.000 description 6
- 238000005886 esterification reaction Methods 0.000 description 6
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 3
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 125000000687 hydroquinonyl group Chemical group C1(O)=C(C=C(O)C=C1)* 0.000 description 3
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 3
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N monopropylene glycol Natural products CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N o-cresol Chemical compound CC1=CC=CC=C1O QWVGKYWNOKOFNN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- XOFYZVNMUHMLCC-ZPOLXVRWSA-N prednisone Chemical compound O=C1C=C[C@]2(C)[C@H]3C(=O)C[C@](C)([C@@](CC4)(O)C(=O)CO)[C@@H]4[C@@H]3CCC2=C1 XOFYZVNMUHMLCC-ZPOLXVRWSA-N 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- WNILQWYHQCFQDH-UHFFFAOYSA-N (2-oxooctylideneamino) 1-(4-phenylsulfanylphenyl)cyclohexa-2,4-diene-1-carboxylate Chemical compound C=1C=C(SC=2C=CC=CC=2)C=CC=1C1(C(=O)ON=CC(=O)CCCCCC)CC=CC=C1 WNILQWYHQCFQDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PWMWNFMRSKOCEY-UHFFFAOYSA-N 1-Phenyl-1,2-ethanediol Chemical compound OCC(O)C1=CC=CC=C1 PWMWNFMRSKOCEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 1-propoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCOCC(C)OC(C)=O DMFAHCVITRDZQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)propane-1,3-diol prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxyethoxy)ethanol Chemical compound COCCOCCO SBASXUCJHJRPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 2-trimethoxysilylbenzoic acid Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C1=CC=CC=C1C(O)=O WYYQKWASBLTRIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 3-methoxybutyl acetate Chemical compound COC(C)CCOC(C)=O QMYGFTJCQFEDST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004203 4-hydroxyphenyl group Chemical group [H]OC1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- FMATUOIOQSQLKJ-UHFFFAOYSA-N C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C1(C(=O)ON=CC(CC)=O)CC=CC=C1 Chemical compound C1(=CC=CC=C1)SC1=CC=C(C=C1)C1(C(=O)ON=CC(CC)=O)CC=CC=C1 FMATUOIOQSQLKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- LOCXTTRLSIDGPS-UHFFFAOYSA-N [[1-oxo-1-(4-phenylsulfanylphenyl)octan-2-ylidene]amino] benzoate Chemical compound C=1C=C(SC=2C=CC=CC=2)C=CC=1C(=O)C(CCCCCC)=NOC(=O)C1=CC=CC=C1 LOCXTTRLSIDGPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N diethylene glycol Chemical class OCCOCCO MTHSVFCYNBDYFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- 125000004494 ethyl ester group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 1
- PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N hexa-1,5-diene Chemical group C=CCCC=C PYGSKMBEVAICCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002847 impedance measurement Methods 0.000 description 1
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 1
- ULYOZOPEFCQZHH-UHFFFAOYSA-N n-(methoxymethyl)prop-2-enamide Chemical compound COCNC(=O)C=C ULYOZOPEFCQZHH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DYLMGWPMAXPGEB-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-2-methylprop-2-enamide Chemical compound CCONC(=O)C(C)=C DYLMGWPMAXPGEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RMQLWXQTAOCGHL-UHFFFAOYSA-N n-ethoxy-n-methylprop-2-enamide Chemical compound CCON(C)C(=O)C=C RMQLWXQTAOCGHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002923 oximes Chemical class 0.000 description 1
- 125000003356 phenylsulfanyl group Chemical group [*]SC1=C([H])C([H])=C([H])C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000011895 specific detection Methods 0.000 description 1
- 238000010025 steaming Methods 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[2-(7-oxabicyclo[4.1.0]heptan-4-yl)ethyl]silane Chemical compound C1C(CC[Si](OC)(OC)OC)CCC2OC21 DQZNLOXENNXVAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/027—Non-macromolecular photopolymerisable compounds having carbon-to-carbon double bonds, e.g. ethylenic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C67/00—Preparation of carboxylic acid esters
- C07C67/08—Preparation of carboxylic acid esters by reacting carboxylic acids or symmetrical anhydrides with the hydroxy or O-metal group of organic compounds
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C07—ORGANIC CHEMISTRY
- C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
- C07C69/00—Esters of carboxylic acids; Esters of carbonic or haloformic acids
- C07C69/52—Esters of acyclic unsaturated carboxylic acids having the esterified carboxyl group bound to an acyclic carbon atom
- C07C69/533—Monocarboxylic acid esters having only one carbon-to-carbon double bond
- C07C69/54—Acrylic acid esters; Methacrylic acid esters
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
- G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
- G02F1/1335—Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
- G02F1/133509—Filters, e.g. light shielding masks
- G02F1/133512—Light shielding layers, e.g. black matrix
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯,其特征在于,富勒醇丙烯酸酯本体的化学通式为:
Description
技术领域
本发明涉及黑色矩阵光刻胶领域,尤其涉及一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法。
背景技术
随着平板显示技术的发展,全面屏技术对于黑色矩阵光刻胶的表面阻抗性能又有了更高的要求。表面阻抗性能如不足,会导致平板显示设备边缘出现异常条纹,影响显示效果。黑色矩阵中含有炭黑,本身具备一定的导电性,而随着加工过程中烘烤温度的提升和时间的延长,光刻胶内炭黑间距将进一步缩短,降低表面阻抗性能。
富勒烯结构由于其具备立体空间构型,天然的形成了微观笼状结构,在受热条件下由于其空间位阻较大,结构稳定,可以抑制聚合物的熔融流动,从而使得材料具有良好的硬度及耐热性。应用于黑色矩阵时,可以有效地保持炭黑分子间的距离,当导电粒子的距离维持在一定水准时,材料的阻抗性能并不会出现下降,因此能解决黑色矩阵光刻胶表面阻抗不足的问题。但是若单独将富勒烯结构引入黑色矩阵光刻胶中,会由于分散体系的差异导致析出,从而影响光刻胶的使用。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯.
本发明还提供了一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法。
本发明还提供了一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物。
本发明还提供了一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物的应用方法。
本发明的创新点在于对富勒烯结构进行双键改性后,可以使其与光刻胶组分具有更好的相容性,一方面又能利用富勒烯的结构来保持材料的抗阻性能,另一方面将其改性后又很好的解决了相容性的问题。
为实现上述发明目的,本发明的技术方案是:
一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯,其特征在于,包括富勒醇丙烯酸酯本体,所述富勒醇丙烯酸酯本体的化学通式为:
其中,
R为富勒基;
X为甲基或氢原子;
n为10~20的整数。
一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得。
进一步地,所述含双键物质为丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯;富勒醇由C60或C70的富勒烯制得。
进一步地,包括以下步骤:
(1)将富勒醇、水和缚酸剂混合得到一号混合液;
(2)将丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯与阻聚剂混合得到滴加液;
(3)将液加液滴加到一号混合液中,在0~5℃下反应1~3h,再进行升温反应,升温反应时将温度升温至20~30℃,反应12~40h得到一号反应物;
(4)将一号反应物过滤得到一号滤渣,将一号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃以下干燥得到最终产物;
所述富勒醇、水和缚酸剂、丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯的摩尔量1:40~60:15~30:10~20;阻聚剂的量为丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯重量的500~1000ppm。
进一步地,所述阻聚剂为羟基苯甲醚或者对苯二酚;碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠、碳酸氢钠或碳酸钠水溶液;干燥前可采用旋蒸法除水,干燥采用真空干燥,干燥温度为20~50℃,干燥时间为12~30h。
进一步地,包括以下步骤:
(1)将富勒醇、水混合得到初混液;
(2)在初混液中加入催化剂和阻聚剂得到二号混合液;
(3)将丙烯酸或甲基丙烯酸慢慢滴加到二号混合液中,滴加结束后进行升温反应,升温反应时将温度升至100~170℃,反应4~8h得到二号反应物;
(4)将二号反应物过滤得到二号滤渣,将二号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃以下干燥得到最终产物;
所述富勒醇、丙烯酸或甲基丙烯酸、水的摩尔量1:10~20:40~60;阻聚剂的量为丙烯酸或甲基丙烯酸重量的500~1000ppm、催化剂的加入量为丙烯酸或甲基丙烯酸重量的10000ppm。
进一步地,催化剂为甲苯磺酸、浓硫酸;阻聚剂为苯甲醚或者对苯二酚;碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠、碳酸氢钠或碳酸钠水溶液;干燥采用真空干燥,干燥温度为20~50℃,干燥时间为12~30h。
一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,其特征在于,包括以下质量百分比的组份:5~15%的碱可溶树脂,1~4%的富勒醇丙烯酸酯,1~5%的单体,0.5~2%的光引发剂,0.1~0.5%的助剂,20~40%的色浆以及50~70%的溶剂。
进一步地,所述碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
X为双酚Z、双酚芴、双酚B、4,4’-(1-甲基亚乙基)双(2-甲基苯酚)、A,A,A’-三(4-羟苯基)-1-乙基-4-异丙苯、4,4’-(1,3-二甲基丁基)二苯酚、双酚AP、9,9’-二[(4-羟乙氧基)苯基]芴中的一种;
Z为顺丁烯二酸、2,3-二甲基顺丁烯二酸、降冰片烯二酸、四氢邻苯二甲酸、甲基四氢邻苯二甲酸中的一种。
进一步地,所述单体为丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、羟甲基丙烯酰胺、羟甲基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、巴豆酸、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、丙烯酸二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二甲基丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二甲基丙烯酸酯中的一种或多种混合。
进一步地,所述光引发剂为肟酯类,通式为:其中R1为R2为苯基、C1~C20的烷基、氰基、硝基或C1~C4的卤代烷基,R3为C2~C12的烷基或C4~C8的酰基,R4~R8为H、卤素原子、C1~C12的烷基、苯基或苯硫酚基,R9和R10为H、卤素原子、C1~C12的烷基或苯基;所述助剂为硅烷偶联剂和流平剂。
一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物的应用方法,应用于黑色矩阵光刻胶中。
本发明的有益效果是:
1、本发明对富勒烯结构进行双键改性后,可以使其与光刻胶组分具有更好的相容性,一方面又能利用富勒烯的结构来保持材料的抗阻性能,另一方面将其改性后又很好的解决了相容性的问题。
2、本发明用于制备黑色矩阵光刻胶,制得的产品热稳定性良好,力学性能优良,耐候性强,且具有优良的表面阻抗性能,可以有效解决由于黑色矩阵光刻胶表面阻抗性能较差而引起的产品不良,满足终端产品需求,应用前景广阔。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
实施例1:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯,包括富勒醇丙烯酸酯本体,所述富勒醇丙烯酸酯本体的化学通式为:
其中,
R为富勒基;
X为甲基或氢原子;
n为10~20的整数。
实施例2:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C60的富勒烯制得。具体将富勒醇、水和缚酸剂混合得到一号混合液;将含双键物质的丙烯酰氯与阻聚剂混合得到滴加液;阻聚剂为羟基苯甲醚,将液加液滴加到一号混合液中,在0℃下反应1h,再进行升温反应,升温反应时将温度升温至20℃,反应12h得到一号反应物;将一号反应物过滤得到一号滤渣,将一号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃下干燥12h得到最终产物;富勒醇、水和缚酸剂、丙烯酰氯的摩尔量1:40:15:10;阻聚剂的量为丙烯酰氯重量的500ppm;碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠水溶液;干燥前采用旋蒸法除水,干燥采用真空干燥。
化学反应式为:
对实施例2中的富勒醇和得到的最终产物富勒醇丙烯酸酯进行红外光谱测试,可以看到富勒醇在1660波数处没有C=C双键吸收峰,在3100-3400波数间有明显羟基峰。最终产物C=C双键峰出现,同时羟基峰大幅减小,酯化转化率达90%。
实施例3:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C70的富勒烯制得。具体将富勒醇、水和缚酸剂混合得到一号混合液;将含双键物质的甲基丙烯酰氯与阻聚剂混合得到滴加液;阻聚剂为对苯二酚;将液加液滴加到一号混合液中,在2℃下反应2h,再进行升温反应,升温反应时将温度升温至25℃,反应25h得到一号反应物;将一号反应物过滤得到一号滤渣,将一号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在35℃以下干燥20h得到最终产物;富勒醇、水和缚酸剂、甲基丙烯酰氯的摩尔量1:50:22:15;阻聚剂的量为甲基丙烯酰氯重量的750ppm。碱洗时的碱为5wt%碳酸氢钠水溶液。
对实施例3的富勒醇和最终产物富勒醇丙烯酸酯进行红外光谱测试,可以看到富勒醇在1660波数处没有C=C双键吸收峰,在3100-3400波数间有明显羟基峰。最终产物C=C双键峰出现,同时羟基峰大幅减小,酯化转化率达94%。
实施例4:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C60的富勒烯制得。具体将富勒醇、水和缚酸剂混合得到一号混合液;将含双键物质的丙烯酰氯与阻聚剂混合得到滴加液;阻聚剂为对苯二酚;将液加液滴加到一号混合液中,在5℃下反应3h,再进行升温反应,升温反应时将温度升温至30℃,反应40h得到一号反应物;将一号反应物过滤得到一号滤渣,将一号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在20℃以下干燥30h得到最终产物;富勒醇、水和缚酸剂、丙烯酰氯的摩尔量1:60:30:20;阻聚剂的量为丙烯酰氯重量的1000ppm。碱洗时的碱为5wt%碳酸钠水溶液。
对实施例4的富勒醇和最终产物富勒醇丙烯酸酯进行红外光谱测试,可以看到富勒醇在1660波数处没有C=C双键吸收峰,在3100-3400波数间有明显羟基峰。最终产物C=C双键峰出现,同时羟基峰大幅减小,酯化转化率达96%。
实施例5:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C60的富勒烯制得。具体将富勒醇、水混合得到初混液;在初混液中加入催化剂和阻聚剂得到二号混合液;催化剂为甲苯磺酸;阻聚剂为苯甲醚;将含双键物质的丙烯酸慢慢滴加到二号混合液中,滴加结束后进行升温反应,升温反应时将温度升至100℃,反应4h得到二号反应物;将二号反应物过滤得到二号滤渣,将二号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在20℃下干燥12h得到最终产物,酯化转化率达85%。干燥采用真空干燥;富勒醇、丙烯酸、水的摩尔量1:10:40;阻聚剂的量为丙烯酸重量的500~1000ppm、催化剂的加入量为丙烯酸重量的10000ppm。碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠水溶液。
化学反应式为:
实施例6:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C70的富勒烯制得。具体将富勒醇、水混合得到初混液;在初混液中加入催化剂和阻聚剂得到二号混合液;催化剂为浓硫酸;阻聚剂为对苯二酚;将含双键物质的甲基丙烯酸慢慢滴加到二号混合液中,滴加结束后进行升温反应,升温反应时将温度升至135℃,反应6h得到二号反应物;将二号反应物过滤得到二号滤渣,将二号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在35℃下干燥20h得到最终产物,酯化转化率达95%。干燥采用真空干燥;富勒醇、甲基丙烯酸、水的摩尔量1:15:50;阻聚剂的量为甲基丙烯酸重量的750ppm、催化剂的加入量为甲基丙烯酸重量的10000ppm。碱洗时的碱为5wt%碳酸氢钠水溶液。
实施例7:一种用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得;富勒醇由C60的富勒烯制得。具体将富勒醇、水混合得到初混液;在初混液中加入催化剂和阻聚剂得到二号混合液;催化剂为甲苯磺酸;阻聚剂为苯甲醚;将含双键物质的丙烯酸慢慢滴加到二号混合液中,滴加结束后进行升温反应,升温反应时将温度升至170℃,反应8h得到二号反应物;将二号反应物过滤得到二号滤渣,将二号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃下干燥30h得到最终产物,酯化转化率达90%。干燥采用真空干燥;富勒醇、丙烯酸、水的摩尔量1:20:60;阻聚剂的量为丙烯酸重量的1000ppm、催化剂的加入量为丙烯酸重量的10000ppm。碱洗时的碱为5wt%碳酸钠水溶液。
实施例8:一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,包括以下质量百分比的组份:5%的碱可溶树脂,4%的富勒醇丙烯酸酯,5%的单体,2%的光引发剂,0.5%的助剂,20%的色浆以及63.5%的溶剂。
碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
实施例9:一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,包括以下质量百分比的组份:15%的碱可溶树脂,1%的富勒醇丙烯酸酯,1%的单体,0.5%的光引发剂,0.5%的助剂,32.4%的色浆以及50%的溶剂。
碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
实施例10:一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,包括以下质量百分比的组份:5.5%的碱可溶树脂,1.8%的富勒醇丙烯酸酯,1.7%的单体,0.8%的光引发剂,0.2%的助剂,40%的色浆以及50%的溶剂。
碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
单体为羟甲基丙烯酰胺;
实施例11:一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,包括以下质量百分比的组份:6%的碱可溶树脂,1.5%的富勒醇丙烯酸酯,1.5%的单体,0.7%的光引发剂,0.3%的助剂,20%的色浆以及70%的溶剂。
碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
实施例12:参考实施例8:碱可溶树脂具有如下通式:
其中,
Z为顺丁烯二酸、2,3-二甲基顺丁烯二酸、降冰片烯二酸、四氢邻苯二甲酸、甲基四氢邻苯二甲酸中的一种。
单体还可以为丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、羟甲基丙烯酰胺、羟甲基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、巴豆酸、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、丙烯酸二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二甲基丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二甲基丙烯酸酯中的一种或多种混合。
光引发剂为肟酯类,通式为:其中R1为或R2为苯基、C1~C20的烷基、氰基、硝基或C1~C4的卤代烷基,R3为C2~C12的烷基或C4~C8的酰基,R4~R8为H、卤素原子、C1~C12的烷基、苯基或苯硫酚基,R9和R10为H、卤素原子、C1~C12的烷基或苯基。
助剂可以使用硅烷偶联剂和流平剂。
其中,硅烷偶联剂含有至少一个选自羧基,甲基丙烯酰基,异氰酸基,亚氨基或环氧基团的活性取代基。硅烷偶联剂的具体实例包括但不局限于三甲氧基甲硅烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯酰氧基三甲氧基硅烷、γ-环氧基丙基三甲氧基硅烷、β-(3,4-环氧环己基)乙基三甲氧基硅烷。这些偶联剂可以单独使用或组合使用。
流平剂可以使用氟类流平剂或硅类流平剂。市售的流平剂可以包括来自道康宁东丽硅的DC3PA、DC7PA、SH11PA/SH21PA和SH8400,来自GE东芝硅酮的TSF-4440/TSF-4300/TSF-4445/TSF-4446和TSF-4452,来自BYK的BYK-333、BYK-307、BYK-354和BYK-399,来自大日本油墨化学工业有限公司的Megaface F-470、F-471、F-475、F-482、F-489、F-554和F-563。
溶剂可以使用本领域中已知并且用于制备树脂组合物的任何溶剂,溶剂与树脂组合物的组分相容但不反应。
溶剂的实例可以包括
二醇醚类,如乙二醇单乙醚;
酯类,如2-羟基丙酸乙酯;
二乙二醇类,如二乙二醇单甲醚;
丙二醇烷基醚乙酸酯类,如丙二醇甲醚醋酸酯和丙二醇丙醚醋酸酯;
乙酸烷氧基烷基酯类,如乙酸3-甲氧基丁酯。
溶剂可以单独使用或以两种或更多种的组合形式使用。
光引发剂选自肟酯类,
光引发剂的特定实例可以包括:1-苯基-1,2-丙二酮-2-(邻乙氧基羰基)肟、1-【4-(苯硫基)苯基】-辛烷-1,2-二酮-2-(邻苯甲酰基肟)、邻苯甲酰基-4‘-(巯基苯)苯甲酰基-己基-酮肟、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]壬烷-1,2-壬烷-2-肟-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-壬烷-1,2-壬烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]-戊烷-1,2-戊烷-2-肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6-苯甲酰基-9H-咔唑-3-基]辛-1-酮肟-O-乙酸酯、1-[9-乙基-6(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唯3-基]-乙-1阍胎-O-苯甲酸酯、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲酰基)-9H-咔唑-3-基]乙-1-酮肟-O-乙酸酯、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1,2-丁二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-(O-苯甲酰基肟)、1,2-辛二酮-1-[4-(苯硫基)苯基]-2-[O-(4-甲基苯甲酰基肟)]等及其混合物。
实施例13:一种由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物的应用方法,将实施例8、9、10、11的树脂组合物应用于黑色矩阵光刻胶中。
性能测试
对比的树脂组合物:将实施例8中的富勒醇丙烯酸酯全部替换成单体。
将实施例8、9、10、11以及对比的树脂组合物分别进行涂布,将树脂组合物均匀涂覆于玻璃基板上,在100℃加热板上干燥100秒形成涂膜,利用曝光机以100mJ/cm2的能量进行曝光,随后在浓度0.045%的KOH显影液中进行显影90秒,随后放置于230℃烘箱中30分钟,形成涂层8~11及对比涂层。
制得的涂层进行性能表征,包括附着力、表面硬度、耐老化性、耐热性、耐化性以及表面阻抗性能。具体检测方法和步骤如下:
(1)附着力测定:参照国家标准GB/T1720-1979的检测方法进行测试评级,分为1-7级,1级最好,漆膜完整无损。
(2)表面硬度测定:参照国家标准GB/T6739-1996的检测方法进行测试评级,评级数越高,表示性能越好。
(3)耐老化性能测定和评价方法:将涂层放置于ATLAS-UV 2000老化仪连续照射200小时,然后将涂层用台式色差分光光度仪Datacolor600测试光阻涂层照射前后的色差(ΔE),ΔE值越小,表示光阻涂层耐老化性越好。
(4)耐热性测定和评价方法:用TGA-Q500测试光阻涂层的热分解温度(Td),Td值越大,表示涂层耐热性越好。
(5)表面阻抗测定:将涂层放入230℃的烘箱中烘烤150分钟,取出后用Hiresta-UXMCP-HT800阻抗仪测定表面阻抗,测试探头URS,测试电压10V。
(6)耐透水性测试:参照国家标准GB-T1037-1988的检测方法进行测试,水蒸气透过量越小,耐透水性越强。
表征结果如下表所示:
从上表可以看出,制得的涂层附着力均达到1级,漆膜完整无损,并且具有非常高的硬度。各涂层的热分解温度(Td)均超过400℃,耐热性能优良。利用本发明的富勒醇丙烯酸酯制得的黑色矩阵光刻胶涂层表面阻抗明显高于对比例。此外,利用本发明的富勒醇丙烯酸酯制得的黑色矩阵光刻胶涂层水蒸气透过量明显低于对比例,具有更好的耐透水性。
所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
Claims (12)
2.一种如权利要求1所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,富勒醇丙烯酸酯本体由含双键物质和富勒醇反应制得。
3.根据权利要求2所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,所述含双键物质为丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯;富勒醇由C60或C70的富勒烯制得。
4.根据权利要求3所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将富勒醇、水和缚酸剂混合得到一号混合液;
(2)将丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯与阻聚剂混合得到滴加液;
(3)将液加液滴加到一号混合液中,在0~5℃下反应1~3h,再进行升温反应,升温反应时将温度升温至20~30℃,反应12~40h得到一号反应物;
(4)将一号反应物过滤得到一号滤渣,将一号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃以下干燥得到最终产物;
所述富勒醇、水和缚酸剂、丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯的摩尔量1:40~60:15~30:10~20;阻聚剂的量为丙烯酰氯或甲基丙烯酰氯重量的500~1000ppm。
5.根据权利要求4所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,所述阻聚剂为羟基苯甲醚或者对苯二酚;碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠、碳酸氢钠或碳酸钠水溶液;干燥前可采用旋蒸法除水,干燥采用真空干燥,干燥温度为20~50℃,干燥时间为12~30h。
6.根据权利要求2所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
(1)将富勒醇、水混合得到初混液;
(2)在初混液中加入催化剂和阻聚剂得到二号混合液;
(3)将丙烯酸或甲基丙烯酸慢慢滴加到二号混合液中,滴加结束后进行升温反应,升温反应时将温度升至100~170℃,反应4~8h得到二号反应物;
(4)将二号反应物过滤得到二号滤渣,将二号滤渣碱洗,然后水洗至中性,最后在50℃以下干燥得到最终产物;
所述富勒醇、丙烯酸或甲基丙烯酸、水的摩尔量1:10~20:40~60;阻聚剂的量为丙烯酸或甲基丙烯酸重量的500~1000ppm、催化剂的加入量为丙烯酸或甲基丙烯酸重量的10000ppm。
7.根据权利要求6所述的用于黑色矩阵光刻胶的富勒醇丙烯酸酯的制备方法,其特征在于,催化剂为甲苯磺酸、浓硫酸;阻聚剂为苯甲醚或者对苯二酚;碱洗时的碱为5wt%氢氧化钠、碳酸氢钠或碳酸钠水溶液;干燥采用真空干燥,干燥温度为20~50℃,干燥时间为12~30h。
8.一种由权利要求1所述的富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,其特征在于,包括以下质量百分比的组份:5~15%的碱可溶树脂,1~4%的富勒醇丙烯酸酯,1~5%的单体,0.5~2%的光引发剂,0.1~0.5%的助剂,20~40%的色浆以及50~70%的溶剂。
10.根据权利要求8所述的由富勒醇丙烯酸酯生产出的用于黑色矩阵光刻胶的树脂组合物,其特征在于,所述单体为丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、羟甲基丙烯酰胺、羟甲基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基丙烯酰胺、甲氧基甲基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基丙烯酰胺、乙氧基甲基甲基丙烯酰胺、丙烯酸、甲基丙烯酸、富马酸、马来酸、马来酸酐、衣康酸、衣康酸酐、巴豆酸、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸丁酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸羟乙酯、甲基丙烯酸羟乙酯、丙烯酸羟丙酯、甲基丙烯酸羟丙酯、丙烯酸二甲基氨基乙酯、甲基丙烯酸二甲基氨基乙酯、丙烯酸缩水甘油酯、甲基丙烯酸缩水甘油酯、乙二醇二丙烯酸酯、乙二醇二甲基丙烯酸酯、二乙二醇二丙烯酸酯、二乙二醇二甲基丙烯酸酯、三乙二醇二丙烯酸酯、三乙二醇二甲基丙烯酸酯、四乙二醇二丙烯酸酯、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、丙二醇二丙烯酸酯、丙二醇二甲基丙烯酸酯、新戊二醇二丙烯酸酯、新戊二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二甲基丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三甲基丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、季戊四醇四甲基丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇五甲基丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇六甲基丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二丙烯酸酯、乙二醇二缩水甘油醚二甲基丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二丙烯酸酯、邻苯二甲酸二缩水甘油酯二甲基丙烯酸酯中的一种或多种混合。
12.一种如权利要求8~11任一所述的树脂组合物的应用方法,其特征在于,应用于黑色矩阵光刻胶中。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111544555.9A CN114384759A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202111544555.9A CN114384759A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114384759A true CN114384759A (zh) | 2022-04-22 |
Family
ID=81198509
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202111544555.9A Pending CN114384759A (zh) | 2021-12-16 | 2021-12-16 | 一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114384759A (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013181002A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Osaka Univ | フラーレン誘導体およびその製造方法、並びにこれを用いた樹脂組成物 |
CN108997116A (zh) * | 2017-06-07 | 2018-12-14 | 中国科学院上海有机化学研究所 | 一种富勒烯丙烯酸衍生物及其制备方法和应用 |
CN113087913A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-09 | 北京化工大学常州先进材料研究院 | 一种双键改性笼型倍半硅氧烷及其光阻组合物 |
CN113150223A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-23 | 北京化工大学常州先进材料研究院 | Poss改性丙烯酸酯树脂及其高阻抗黑色矩阵光刻胶组合物 |
-
2021
- 2021-12-16 CN CN202111544555.9A patent/CN114384759A/zh active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013181002A (ja) * | 2012-03-02 | 2013-09-12 | Osaka Univ | フラーレン誘導体およびその製造方法、並びにこれを用いた樹脂組成物 |
CN108997116A (zh) * | 2017-06-07 | 2018-12-14 | 中国科学院上海有机化学研究所 | 一种富勒烯丙烯酸衍生物及其制备方法和应用 |
CN113087913A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-09 | 北京化工大学常州先进材料研究院 | 一种双键改性笼型倍半硅氧烷及其光阻组合物 |
CN113150223A (zh) * | 2021-03-15 | 2021-07-23 | 北京化工大学常州先进材料研究院 | Poss改性丙烯酸酯树脂及其高阻抗黑色矩阵光刻胶组合物 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN1977015B (zh) | 具有优良再加工性的丙烯酸压敏粘合剂组合物 | |
CN101349867B (zh) | 有机-无机复合感光树脂组合物及使用其硬化体的液晶显示元件 | |
CN103357346B (zh) | 颜料分散剂、颜料分散液、彩色光刻胶及其制备和应用 | |
CN101200622A (zh) | 保护粘结膜、屏板及携带电子终端 | |
CN101508846B (zh) | 可用作保护膜的有机-无机复合体树脂组合物 | |
CN104086748A (zh) | 改性环氧丙烯酸酯、光阻组合物及其制备方法和透明光阻 | |
CN104761692A (zh) | 纳米二氧化硅表面引入碳碳双键的改性方法 | |
CN102778814A (zh) | 一种含有酮肟酯类光引发剂的感光性组合物及其应用 | |
US20100280162A1 (en) | Dispersing agent | |
JP4217101B2 (ja) | 焼成用樹脂組成物 | |
CN109739068B (zh) | 炭黑分散体、感光树脂组合物、彩色滤光片、显示装置 | |
CN103130955B (zh) | 一种光刻胶用光敏性寡聚物、其制备方法及负性光刻胶组合物 | |
CN105669892B (zh) | 一种溶剂型共聚树脂及其组合物 | |
CN114380937B (zh) | 一种用于黑色矩阵光刻胶的含金刚烷感光树脂及其制备方法及其树脂组合物及应用方法 | |
CN111574656B (zh) | 一种用于黑色矩阵光刻胶的含氟感光树脂及其树脂组合物 | |
CN114384759A (zh) | 一种用于黑色矩阵光刻胶的浮勒醇丙烯酸酯及其制备方法及树脂组合物及应用方法 | |
CN113087913A (zh) | 一种双键改性笼型倍半硅氧烷及其光阻组合物 | |
CN101906114A (zh) | 一种含阳离子光固化基团的硅氧化合物及其制备方法 | |
JP6972726B2 (ja) | 多彩塗料組成物 | |
CN104761930A (zh) | 用于驱油聚合物的改性纳米二氧化硅功能单体 | |
CN112552768B (zh) | 一种显色涂料组合物 | |
CN112029325B (zh) | 聚丙烯酸酯超疏水涂层的制备方法 | |
KR20180119475A (ko) | 블랙 칼럼 스페이서 형성용의 감광성 수지 조성물, 블랙 칼럼 스페이서, 표시 장치, 및 블랙 칼럼 스페이서의 형성 방법 | |
CN114686027A (zh) | 一种生物基活性稀释剂及其制备的双重固化涂料 | |
TW201447483A (zh) | 負型感光性有機-無機混合式絕緣膜組成物 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |