CN114360992A - 一种双轴倾转样品杆 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及透射电子显微镜配件技术领域，特别是涉及一种双轴倾转样品杆，包括杆身、内推杆、连杆和芯片载台，芯片载台可绕倾转轴线倾转地设在杆身前端，倾转轴线垂直于样品杆轴向，内推杆活动穿设在杆身内，其前端通过连杆与芯片载台连接，内推杆可沿样品杆轴向运动，并通过连杆带动芯片载台绕倾转轴线转动，芯片载台包括载台主体、压盖和导电桥，杆身内穿设有柔性电路板，压盖固定在载台主体上，柔性电路板的前端、芯片和导电桥夹设在载台主体和压盖之间，导电桥的两端分别与芯片和柔性电路板电接触连接。在推拉内推杆带动芯片载台转动时，由于柔性电路板可弯曲，芯片可通过导电桥保持与柔性电路板电连接。
Description
技术领域
本发明涉及透射电子显微镜配件技术领域，特别是涉及一种双轴倾转样品杆。
背景技术
透射电子显微镜作为一种显微观察设备，可以对材料的亚显微结构或超微结构进行有效展示，方便对材料的研究。现有的TEM(透射电子显微镜)样品杆多为单轴倾转样品杆，芯片载台只可绕X轴(样品杆轴向)旋转。
公告号为CN105758876B的专利文献公开了一种双轴倾转样品杆，其芯片载台可绕X轴旋转，还可绕Y轴(垂直于样品杆轴向)旋转，但是其功能单一，不具有对芯片进行电路连接的功能。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种双轴倾转样品杆。
具体地，本发明的技术方案是：
一种双轴倾转样品杆，包括杆身、内推杆、连杆和芯片载台，芯片载台可绕倾转轴线倾转地设在杆身前端，倾转轴线垂直于样品杆轴向，内推杆活动穿设在杆身内，其前端通过连杆与芯片载台连接，内推杆可沿样品杆轴向运动，并通过连杆带动芯片载台绕倾转轴线转动，芯片载台包括载台主体、压盖和导电桥，杆身内穿设有柔性电路板，压盖固定在载台主体上，柔性电路板的前端、芯片和导电桥夹设在载台主体和压盖之间，导电桥的两端分别与芯片和柔性电路板电接触连接。
优选地，所述导电桥固定在压盖上，载台主体上设有定位凸起，芯片的后端和柔性电路板的前端抵靠定位凸起设置。
优选地，所述压盖上设有多个导电桥，多个导电桥并排设置。
优选地，所述载台主体为U型结构，包括底部和相对设置的第一侧壁、第二侧壁，第一侧壁薄于第二侧壁，连杆与第一侧壁转动连接，定位凸起设在载台主体底部上表面，第一侧壁和第二侧壁用于限制柔性电路板和芯片平行于倾转轴线运动，载台主体底部上表面还设有限位台阶，限位台阶和定位凸起限制芯片沿样品杆轴向运动，限位台阶、定位凸起、第一侧壁和第二侧壁围成芯片安装槽。
优选地，所述限位台阶上表面设有让位槽，让位槽与芯片安装槽连通。
优选地，所述载台主体和压盖上分别设有观察通孔，观察通孔的位置与芯片安装槽对应。
优选地，所述压盖的后端与载台主体转动连接，压盖的前端以可拆卸的方式固定在载台主体上。
优选地，所述杆身包括杆身主体和U型框体，U型框体的开放端固定在杆身主体前端，内推杆的前端从杆身主体前端穿出，芯片载台和连杆设在U型框体内侧，芯片载台与U型框体转动连接，连杆的两端分别与内推杆和芯片载台转动连接。
优选地，所述杆身主体上设有沿样品杆轴向的让位通孔和导向通孔，内推杆穿过导向通孔，内推杆与杆身主体之间设有密封圈；柔性电路板穿过让位通孔，插入载台主体与压盖之间，柔性电路板与杆身主体之间密封设置。
优选地，所述杆身主体内设有驱动单元，驱动单元的驱动端与内推杆的后端连接，用于驱动内推杆前后运动。
本发明的有益技术效果：
通过导电桥建立柔性电路板与芯片之间的电连接，在推拉内推杆带动芯片载台转动时，由于柔性电路板可弯曲，芯片可保持与柔性电路板电连接，实现在转动芯片载台时，保持对芯片的电路连接。
附图说明
图1为双轴倾转样品杆(隐藏导电桥和柔性电路板)的结构图；
图2为图1的局部放大图；
图3为双轴倾转样品杆(隐藏导电桥和柔性电路板)压盖打开状态的局部结构图；
图4为杆身的爆炸图；
图5为图4的局部放大图；
图6为双轴倾转样品杆(隐藏杆身、导电桥和柔性电路板)的结构图；
图7为双轴倾转样品杆(隐藏杆身、导电桥和柔性电路板)芯片载台25°倾转状态的局部结构图；
图8为双轴倾转样品杆(隐藏杆身、导电桥和柔性电路板)芯片载台-25°倾转状态的局部结构图；
图9为芯片载台压盖打开状态的结构图；
图10为柔性电路板、芯片、导电桥和芯片载台的组装关系图；
图11为导电桥的结构图。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施例对本发明作进一步详细说明。
实施例一：
如图1至11所示，一种双轴倾转样品杆，包括杆身1、内推杆2、连杆3和芯片载台4，如图3所示，芯片载台4可绕倾转轴线(图3中虚线)倾转地设在杆身1前端，倾转轴线垂直于样品杆轴向，平行于芯片6，内推杆2活动穿设在杆身1内，其前端通过连杆3与芯片载台4连接，内推杆2可沿样品杆轴向运动，并通过连杆3带动芯片载台4绕倾转轴线转动。
芯片载台4包括载台主体41、压盖42和导电桥43。杆身1内穿设有柔性电路板5，压盖42固定在载台主体41上，柔性电路板5的前端、芯片6和导电桥43夹设在载台主体41和压盖42之间，导电桥43的两端分别与芯片6和柔性电路板5电接触连接。
通过导电桥43建立柔性电路板5与芯片6之间的电连接，在推拉内推杆2带动芯片载台4转动时，由于柔性电路板5可弯曲，芯片6可保持与柔性电路板5电连接，实现在转动芯片载台4时，保持对芯片6的电路连接。
如图10所示，在本实施例中，导电桥43固定在压盖42上，打开压盖42后，柔性电路板5与芯片6之间的电连接当即断开，便于使用。在一些实施例中，也可以将导电桥43设在载台主体41上。载台主体41上设有定位凸起411，芯片6的后端和柔性电路板5的前端抵靠定位凸起411设置，便于安装柔性电路板5和芯片6。在一些实施例中，也可以不设定位凸起411。
图10仅示出一个导电桥43，以清楚示出导电桥43与压盖42的连接关系，在本实施例中，对应于芯片6的6个引脚，压盖上设有6个导电桥，6个导电桥并排设置，将芯片6的6个引脚与柔性电路板5的6条导线分别连接。在其它实施例中，可以视需要增加或减少导电桥43的数量。
在本实施例中，导电桥43以可拆卸的方式固定在压盖42上的导电桥安装位421内，便于视需要安装导电桥43。在一些实施例中，导电桥43也可以以不可拆卸的方式固定在压盖42上。
如图10、11所示，在本实施例中，导电桥43为人形，具有头部和2个腿部，导电桥安装位421的形状与导电桥43匹配，导电桥43的头部嵌设在导电桥安装位421内，导电桥43的2个腿部从导电桥安装位421露出，分别与柔性电路板5和芯片6连接。
如图9、10所示，在本实施例中，载台主体41为U型结构，包括底部和相对设置的第一侧壁、第二侧壁，第一侧壁薄于第二侧壁，连杆3与第一侧壁转动连接，定位凸起411设在载台主体41底部上表面(即靠压盖42的表面)，第一侧壁和第二侧壁用于限制柔性电路板5和芯片6平行于倾转轴线运动，载台主体41底部上表面还设有限位台阶412，限位台阶412和定位凸起411限制芯片6沿样品杆轴向运动，限位台阶412、定位凸起411、第一侧壁和第二侧壁围成芯片安装槽。在一些实施例中，也可以不设限位台阶412、第一侧壁、第二侧壁，载台主体41和压盖42可以为其它结构，例如，可以在载台主体41和/或压盖42上设置限位块阻挡柔性电路板5和芯片6移动。
如图9、10所示，在本实施例中，限位台阶412上表面(即靠压盖42的表面)设有让位槽413，让位槽413与芯片安装槽连通，便于取放芯片6。在一些实施例中，也可以不设让位槽413。
如图9所示，载台主体41和压盖42上分别设有观察通孔410、420，观察通孔410、420的位置与芯片安装槽对应，便于对芯片6进行观察。
如图9、10所示，在本实施例中，压盖42的后端与载台主体41转动连接，压盖42的前端以可拆卸的方式固定在载台主体41上，打开压盖42后，压盖42的后端可以限制柔性电路板5移动，便于使用。在本实施例中，压盖42的前端通过1个螺钉固定在载台主体41上，结构简洁，便于使用。在一些实施例中，压盖42也可以以其它结构与载台主体41连接，例如，压盖42的前端通过1个或2个螺钉、后端通过2个螺钉固定在载台主体41上。
如图1至5所示，在本实施例中，杆身1包括杆身主体11和U型框体12，U型框体12的开放端固定在杆身主体11前端，内推杆2的前端从杆身主体11前端穿出，芯片载台4和连杆3设在U型框体12内侧，芯片载台4与U型框体12转动连接，连杆3的两端分别与内推杆2和芯片载台4转动连接，U型框体12可以保护芯片载台4免受磕碰。
如图5所示，杆身主体11上设有沿样品杆轴向的让位通孔111和导向通孔112，内推杆2穿过导向通孔112，内推杆2与杆身主体11之间设有密封圈21(如图6所示)；柔性电路板5穿过让位通孔111，插入载台主体41与压盖42之间，柔性电路板5与杆身主体11之间密封设置，便于制造、组装。柔性电路板5与杆身主体11之间可通过密封胶密封固定，柔性电路板5在杆身主体11与芯片载台4之间预留长度，使芯片载台4可在-25°(如图8所示)至25°(如图7所示)之间灵活倾转。
如图4、6所示，在本实施例中，杆身主体11内设有驱动单元7(例如电机)，驱动单元7的驱动端与内推杆2的后端连接，用于驱动内推杆2前后运动。驱动单元7设在杆身主体11内，充分利用了杆身主体11内的空间，结构紧凑。在一些实施例中，也可以将驱动单元7设在杆身主体11外，通过传动机构与内推杆2连接。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非对本发明的限制。应当指出，本领域的技术人员在阅读完本说明书后，凡在本发明的精神和原则之内所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种双轴倾转样品杆，包括杆身、内推杆、连杆和芯片载台，芯片载台可绕倾转轴线倾转地设在杆身前端，倾转轴线垂直于样品杆轴向，内推杆活动穿设在杆身内，其前端通过连杆与芯片载台连接，内推杆可沿样品杆轴向运动，并通过连杆带动芯片载台绕倾转轴线转动，其特征在于：所述芯片载台包括载台主体、压盖和导电桥，杆身内穿设有柔性电路板，压盖固定在载台主体上，柔性电路板的前端、芯片和导电桥夹设在载台主体和压盖之间，导电桥的两端分别与芯片和柔性电路板电接触连接。
2.如权利要求1所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述导电桥固定在压盖上，载台主体上设有定位凸起，芯片的后端和柔性电路板的前端抵靠定位凸起设置。
3.如权利要求2所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述压盖上设有多个导电桥，多个导电桥并排设置。
4.如权利要求2所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述载台主体为U型结构，包括底部和相对设置的第一侧壁、第二侧壁，第一侧壁薄于第二侧壁，连杆与第一侧壁转动连接，定位凸起设在载台主体底部上表面，第一侧壁和第二侧壁用于限制柔性电路板和芯片平行于倾转轴线运动，载台主体底部上表面还设有限位台阶，限位台阶和定位凸起限制芯片沿样品杆轴向运动，限位台阶、定位凸起、第一侧壁和第二侧壁围成芯片安装槽。
5.如权利要求4所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述限位台阶上表面设有让位槽，让位槽与芯片安装槽连通。
6.如权利要求4所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述载台主体和压盖上分别设有观察通孔，观察通孔的位置与芯片安装槽对应。
7.如权利要求1所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述压盖的后端与载台主体转动连接，压盖的前端以可拆卸的方式固定在载台主体上。
8.如权利要求1所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述杆身包括杆身主体和U型框体，U型框体的开放端固定在杆身主体前端，内推杆的前端从杆身主体前端穿出，芯片载台和连杆设在U型框体内侧，芯片载台与U型框体转动连接，连杆的两端分别与内推杆和芯片载台转动连接。
9.如权利要求8所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述杆身主体上设有沿样品杆轴向的让位通孔和导向通孔，内推杆穿过导向通孔，内推杆与杆身主体之间设有密封圈；柔性电路板穿过让位通孔，插入载台主体与压盖之间，柔性电路板与杆身主体之间密封设置。
10.如权利要求8所述的双轴倾转样品杆，其特征在于：所述杆身主体内设有驱动单元，驱动单元的驱动端与内推杆的后端连接，用于驱动内推杆前后运动。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2024007413A1 (zh) * | 2022-07-04 | 2024-01-11 | 厦门超新芯科技有限公司 | 一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台 |
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2022
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| WO2024007413A1 (zh) * | 2022-07-04 | 2024-01-11 | 厦门超新芯科技有限公司 | 一种扫描电镜原位检测芯片的多功能多工位样品台 |
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