CN114289237A - 一种自动补液的雾化装置 - Google Patents
一种自动补液的雾化装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114289237A CN114289237A CN202210097489.3A CN202210097489A CN114289237A CN 114289237 A CN114289237 A CN 114289237A CN 202210097489 A CN202210097489 A CN 202210097489A CN 114289237 A CN114289237 A CN 114289237A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- liquid
- tank
- atomizer
- pipe
- atomization
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000012530 fluid Substances 0.000 title claims abstract description 40
- 238000001802 infusion Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 171
- 238000000889 atomisation Methods 0.000 claims abstract description 66
- 230000001502 supplementing effect Effects 0.000 claims abstract description 38
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 10
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 9
- 239000003595 mist Substances 0.000 claims description 4
- 238000002637 fluid replacement therapy Methods 0.000 claims 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 5
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 2
- 238000011160 research Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000013589 supplement Substances 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 101001073212 Arabidopsis thaliana Peroxidase 33 Proteins 0.000 description 1
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 101001123325 Homo sapiens Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Proteins 0.000 description 1
- 102100028961 Peroxisome proliferator-activated receptor gamma coactivator 1-beta Human genes 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 1
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 1
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 230000002572 peristaltic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
Abstract
本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即实现第一液体的液面高度保持不变，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池生产设备技术领域，尤其涉及一种自动补液的雾化装置。
背景技术
太阳能是人类取之不尽用之不竭的可再生能源、同时也是清洁能源，不会产生任何的环境污染。在太阳能的有效利用中，太阳能光电利用是近些年来发展最快、最具活力的研究领域，太阳能电池发电是其中最受瞩目的项目之一。为此，人们研制并开发了太阳能电池。近年来PERC(发射极及背表面钝化)太阳能电池进入发展的瓶颈期，钙钛矿太阳能电池由于成本低、效率高，作为研究热点的新型技术，已逐步从实验室走向量产化。
钙钛矿太阳能电池常是在镀有透明导电薄膜的玻璃上制备，无论是晶硅电池还是钙钛矿电池在制作过程中都需要制备较多的薄膜层，进而减少薄膜层对光线的反射，提高发电效率。目前，由于等离子体雾相气化沉积设备所制备的薄膜层具备特殊的物理化学特性，因此等离子体雾相气化沉积设备被广泛地用于钙钛矿太阳能电池的量化生产中。
等离子体雾相气化沉积设备的工艺气体特性为雾相，薄膜层的制备需要精确控制，且对工艺气体的均匀性及稳定性要求较高；雾相的工艺气体获得需要雾化发生器，其雾化原理为雾化发生器产生的超声波通过雾化介质传播至液面，在气液界面处形成表面张力波，由于超声空化作用而使液体分子作用力破坏，进而从液体表面脱出形成雾滴，从而液体被雾化为气溶胶状态。所以液面距离雾化发生器的高度对于液体的雾化特性非常重要，但由于雾化本身的过程经常伴随着消耗液体而导致液面高度降低，这样就会导致现有技术中的雾化装置经常会遇到液面波动问题，进而导致雾化浓度波动，影响镀膜工艺的质量。
因此，亟需设计一种自动补液的雾化装置来解决现有技术中的技术问题。
发明内容
本发明的目的在于提出一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置结构简单、能够保持液面高度稳定，且能够精确控制液面高度，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
为达此目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种自动补液的雾化装置，包括：
补液槽，所述补液槽内盛装有第一液体，且所述补液槽内设置有超声雾化片，所述超声雾化片能够将所述补液槽内的所述第一液体雾化为雾滴；
储液槽，所述储液槽内盛装有第二液体，且所述补液槽内设置有驱动装置，所述驱动装置能够将所述第二液体驱动至所述补液槽内，以使所述第一液体的体积保持不变。
作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括补液管，所述补液管的一端连通于所述驱动装置，另一端连通于所述补液槽。
作为一种可选的技术方案，所述补液槽和所述储液槽之间设置有隔板，所述隔板上开设有溢流孔，所述溢流孔的高度高于所述第二液体的液面高度。
作为一种可选的技术方案，所述溢流孔的位置沿所述第一液体的液面高度方向可调节。
作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括雾化槽，所述雾化槽与所述补液槽连通，所述超声雾化片能够将雾化槽内的第一液体雾化为雾滴。
作为一种可选的技术方案，所述超声雾化片设置在所述雾化槽的正下方，且所述超声雾化片固接于所述补液槽的内壁上。
作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括第一管路和第二管路，所述第一管路和所述第二管路均连通于所述雾化槽，所述第一管路中通有惰性气体；所述惰性气体能够带动所述雾滴流动至所述第二管路。
作为一种可选的技术方案，所述第一管路伸入所述雾化槽内的长度大于所述第二管路伸入所述雾化槽内的长度。
作为一种可选的技术方案，所述自动补液的雾化装置包括三通管路，所述三通管路包括管路a、管路b和管路c，所述管路a连通于所述第二管路，所述管路b连通于工艺腔室，所述管路c连通于所述储液槽。
作为一种可选的技术方案，所述三通管路上包覆有冷凝装置。
本发明的有益效果在于：本发明提供一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置主要包括补液槽和储液槽。其中，补液槽内盛装有第一液体，且补液槽内设置有超声雾化片，超声雾化片能够将补液槽内的第一液体雾化为雾滴。储液槽内盛装有第二液体，且补液槽内设置有驱动装置，驱动装置能够将第二液体驱动至补液槽内，以使第一液体的体积保持不变。该自动补液的雾化装置通过驱动装置以一定的速度，不断地驱动储液槽中的第二液体进入至补液槽中，补液槽中多余的第一液体通过溢流孔流回储液槽，进而实现补液槽中的第一液体的体积恒定，即确保第一液体的液面高度保持不变，进而使得经过超声雾化片形成的雾滴浓度和体积达到工艺的要求，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
附图说明
图1为本发明提供的自动补液的雾化装置的结构示意图。
附图标记
1、补液槽；11、超声雾化片；2、储液槽；21、驱动装置；22、补液管；3、雾化槽；4、隔板；41、溢流孔；5、第一管路；6、第二管路；7、三通管路；71、冷凝装置。
具体实施方式
为使本发明解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。
在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
如图1所示，本实施例提供一种自动补液的雾化装置，该自动补液的雾化装置不仅能够应用于太阳能电池制造过程中，而且还能应用于其他半导体元器件的制备工艺中。该自动补液的雾化装置主要包括补液槽1和储液槽2。其中，补液槽1内盛装有第一液体，且补液槽1内设置有超声雾化片11，超声雾化片11能够将补液槽1内的第一液体雾化为雾滴。储液槽2内盛装有第二液体，且补液槽1内设置有驱动装置21，驱动装置21能够将第二液体驱动至补液槽1内，以使第一液体的体积保持不变。
基于以上设计，示例性地，在本实施例中设定第一液体和第二液体均为无水乙醇，超声雾化片11选取振动频率为1.0MHZ～3.0MHZ的超声雾化换能装置，驱动装置21选取蠕动泵。且在本发明的一些实施例中，作业人员通过补液管22将储液槽2与补液槽1进行连通。具体地，补液管22的一端连通于驱动装置21，另一端连通于补液槽1。这样使得驱动装置21能够将储液槽2中的第二液体驱动至补液槽1中，进而确保补液槽1中的第一液体的体积恒定，即确保第一液体的液面高度保持不变，进而使得经过超声雾化片11形成的雾滴浓度和体积达到工艺的要求，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。值得注意的是，补液管22靠近雾化槽3的一端与第一液体的液面保持5cm-10cm的距离，这样能够避免第一液体经补液管22倒吸至第二液体中。
优选地，在本发明的一些实施例中，自动补液的雾化装置还包括控制器，控制器电连接于驱动装置21，控制器中存储有预先编辑的计算机程序，进而使得控制器能够按照特定的程序对驱动装置21进行驱动，使驱动装置21带动储液槽2中的第二液体以一定的速率进入补液槽1中。示例性地，驱动装置21能够以20ml/min的速率驱动储液槽2中的第二液体以一定的速率进入补液槽1中，当然，作业人员能够根据实际工艺需求，通过修改控制器中的计算机程序，进而改变驱动装置21驱动第一液体的速度。
可选地，在本实施例中，补液槽1中第二液体的液面距离超声雾化片11的距离为5mm～100mm。示例性地，作业人员可以根据实际工艺要求，设定该距离为5mm、20mm、30mm、55mm、100mm等数值，此处不再一一赘述。
与现有技术相比，该自动补液的雾化装置通过驱动装置21以一定的速度，不断地驱动储液槽2中的第二液体进入至补液槽1中，补液槽1中多余的第一液体通过溢流孔41流回储液槽2，进而实现补液槽1中的第一液体的体积恒定，即确保第一液体的液面高度保持不变，进而使得经过超声雾化片11形成的雾滴浓度和体积达到工艺的要求，提升镀膜质量，进而提高太阳能电池的发电效率。
如图1所示，在本实施例中，补液槽1和储液槽2之间设置有隔板4，隔板4能够将储液槽2中的第一液体和补液槽1中的第二液隔开，避免两者发生相互流动导致第一液体和第二液体的液面高度一致。在本实施例中，选取耐磨、耐腐蚀的不锈钢材质制作隔板4。隔板4上开设有溢流孔41，溢流孔41的高度高于第二液体的液面高度，这样使得当补液槽1中的第二液体超过雾化所需要的液面高度时，多余的第一液体能够通过溢流再次回到储液槽2中，达到精确控制第一液面高度的目的，同时也避免造成第一液体浪费，节约成本。
进一步地，溢流孔41的位置沿第一液体的液面高度方向可调节，这样能够满足不同工艺对雾滴的浓度和体积的不同要求，也就是说，当客户对薄膜层的厚度和致密性有不同要求时，作业人员能够通过灵活调节溢流孔41的高度位置，进而实现改变雾滴的浓度和体积，以满足工艺要求，从而提高自动补液的雾化装置的灵活适用性。
如图1所示，在本实施例中，自动补液的雾化装置包括雾化槽3，雾化槽3与补液槽1连通，超声雾化片11能够将雾化槽3内的第一液体雾化为雾滴。优选地，沿着第一液体高度方向的投影面积，雾化槽3的截面面积小于补液槽1的截面面积。这样使得经过超声雾化片11雾化后形成的雾滴能够优先沿着截面面积较小的雾化槽3流动，进而有利于加快雾滴运动的速率，避免雾滴在补液槽1中长时间堆积停留。
进一步地，超声雾化片11设置在雾化槽3的正下方，且超声雾化片11固接于补液槽1的内壁上，这样使得经过超声雾化片11雾化后形成的雾滴能够尽快进入至雾化槽3中，也就是说，缩短雾滴进入雾化槽3的距离，进而节约提高雾滴运动的效率。
如图1所示，在本实施例中，自动补液的雾化装置包括第一管路5和第二管路6，第一管路5和第二管路6均连通于雾化槽3，第一管路5中通有惰性气体；惰性气体能够带动雾滴流动至第二管路6。这样能够有利于加快雾滴流出雾化槽3的速率，进而避免雾滴堆积在雾化槽3中。在本实施例中，选取氮气或者氩气作为惰性气体。当然，在本发明的一些实施例中，作业人员还可以选取氖气、氪气或氙气中的一种或者多种组合作为惰性气体，此处不再一一赘述。
进一步地，如图1所示，在本实施例中，第一管路5伸入雾化槽3内的长度大于第二管路6伸入雾化槽3内的长度。这样使得惰性气体在雾化槽3的上部区域与雾滴进行充分混合，进而避免雾滴由于化学性质活泼而在第二管路6中发生不必要的危险。
更进一步地，自动补液的雾化装置还包括三通管路7，三通管路7包括管路a、管路b和管路c，管路a连通于第二管路6，管路b连通于工艺腔室，管路c连通于储液槽2，且三通管路7上包覆有冷凝装置71。这样使得惰性气体能够带动雾滴进入三通管路7中，一部分雾滴经冷凝装置71冷凝后进入储液槽2中，进而节约成本，另一部分雾滴经过管路b进入工艺腔室内。进而用于太阳能电池的生产工艺中。在本实施例中，第一管路5和第二管路6的周侧均包覆有保温隔热套，进而减少雾滴的液化现象，从而提高该自动补液的雾化装置的精确控制性与工艺稳定性。
显然，本发明的上述实施例仅仅是为了清楚说明本发明所作的举例，而并非是对本发明的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种自动补液的雾化装置，其特征在于，包括：
补液槽(1)，所述补液槽(1)内盛装有第一液体，且所述补液槽(1)内设置有超声雾化片(11)，所述超声雾化片(11)能够将所述补液槽(1)内的所述第一液体雾化为雾滴；
储液槽(2)，所述储液槽(2)内盛装有第二液体，且所述补液槽(1)内设置有驱动装置(21)，所述驱动装置(21)能够将所述第二液体驱动至所述补液槽(1)内，以使所述第一液体的体积保持不变。
2.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括补液管(22)，所述补液管(22)的一端连通于所述驱动装置(21)，另一端连通于所述补液槽(1)。
3.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述补液槽(1)和所述储液槽(2)之间设置有隔板(4)，所述隔板(4)上开设有溢流孔(41)，所述溢流孔(41)的高度高于所述第二液体的液面高度。
4.根据权利要求3所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述溢流孔(41)的位置沿所述第一液体的液面高度方向可调节。
5.根据权利要求1所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括雾化槽(3)，所述雾化槽(3)与所述补液槽(1)连通，所述超声雾化片(11)能够将雾化槽(3)内的第一液体雾化为雾滴。
6.根据权利要求5所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述超声雾化片(11)设置在所述雾化槽(3)的正下方，且所述超声雾化片(11)固接于所述补液槽(1)的内壁上。
7.根据权利要求5所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括第一管路(5)和第二管路(6)，所述第一管路(5)和所述第二管路(6)均连通于所述雾化槽(3)，所述第一管路(5)中通有惰性气体；所述惰性气体能够带动所述雾滴流动至所述第二管路(6)。
8.根据权利要求7所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述第一管路(5)伸入所述雾化槽(3)内的长度大于所述第二管路(6)伸入所述雾化槽(3)内的长度。
9.根据权利要求7所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述自动补液的雾化装置包括三通管路(7)，所述三通管路(7)包括管路a、管路b和管路c，所述管路a连通于所述第二管路(6)，所述管路b连通于工艺腔室，所述管路c连通于所述储液槽(2)。
10.根据权利要求9所述的自动补液的雾化装置，其特征在于，所述三通管路(7)上包覆有冷凝装置(71)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210097489.3A CN114289237A (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 一种自动补液的雾化装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202210097489.3A CN114289237A (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 一种自动补液的雾化装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114289237A true CN114289237A (zh) | 2022-04-08 |
Family
ID=80977827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202210097489.3A Pending CN114289237A (zh) | 2022-01-27 | 2022-01-27 | 一种自动补液的雾化装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114289237A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115415097A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-12-02 | 北京大学 | 一种集成式雾化装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103623720A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-03-12 | 东南大学 | 一种制备纳米流体的微分添加雾化分散方法与装置 |
| CN105032679A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-11 | 重庆理工大学 | 一种超声雾化源 |
| JP2016190173A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 株式会社Flosfia | 霧化装置および成膜装置 |
| CN112190797A (zh) * | 2020-10-31 | 2021-01-08 | 河南省中医院（河南中医药大学第二附属医院） | 一种麻醉科用麻醉药物喷雾装置 |
| CN113413732A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-09-21 | 荆门市格林美新材料有限公司 | 一种废气雾化冷却处理设备 |
| CN113856978A (zh) * | 2021-11-18 | 2021-12-31 | 广州大学 | 一种可调控的超声雾化装置 |
| CN216779226U (zh) * | 2022-01-27 | 2022-06-21 | 昆山晟成光电科技有限公司 | 一种自动补液的雾化装置 |
-
2022
- 2022-01-27 CN CN202210097489.3A patent/CN114289237A/zh active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103623720A (zh) * | 2013-12-19 | 2014-03-12 | 东南大学 | 一种制备纳米流体的微分添加雾化分散方法与装置 |
| JP2016190173A (ja) * | 2015-03-30 | 2016-11-10 | 株式会社Flosfia | 霧化装置および成膜装置 |
| CN105032679A (zh) * | 2015-08-14 | 2015-11-11 | 重庆理工大学 | 一种超声雾化源 |
| CN112190797A (zh) * | 2020-10-31 | 2021-01-08 | 河南省中医院（河南中医药大学第二附属医院） | 一种麻醉科用麻醉药物喷雾装置 |
| CN113413732A (zh) * | 2021-07-05 | 2021-09-21 | 荆门市格林美新材料有限公司 | 一种废气雾化冷却处理设备 |
| CN113856978A (zh) * | 2021-11-18 | 2021-12-31 | 广州大学 | 一种可调控的超声雾化装置 |
| CN216779226U (zh) * | 2022-01-27 | 2022-06-21 | 昆山晟成光电科技有限公司 | 一种自动补液的雾化装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115415097A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-12-02 | 北京大学 | 一种集成式雾化装置 |
| CN115415097B (zh) * | 2022-08-17 | 2024-01-09 | 北京大学 | 一种集成式雾化装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN216779226U (zh) | 一种自动补液的雾化装置 | |
| CN114289237A (zh) | 一种自动补液的雾化装置 | |
| CN101501913B (zh) | 燃料电池、电子装置以及燃料供给方法 | |
| CN101987204A (zh) | 灭菌物质供给装置及隔离器 | |
| CN101660158A (zh) | 一种薄膜制备装置 | |
| CN113871658A (zh) | 一种固定式燃料电池电站用加湿系统及控制方法 | |
| US20220411926A1 (en) | Atomizing apparatus for film formation, film forming apparatus using the same, and semiconductor film | |
| US20210382288A1 (en) | Apparatus and method for applying a liquid immersion medium into a clearance between a microscope objective and a specimen to be examined under the microscope | |
| CN219251957U (zh) | 一种汽液分离罐 | |
| CN101318166A (zh) | 制备大面积透明导电膜专用超声喷雾发生器 | |
| CN108046612A (zh) | 一种制备镀膜玻璃的方法及装置 | |
| CN216496730U (zh) | 过氧化氢干雾灭菌器 | |
| CN1087834C (zh) | 超声雾化器 | |
| CN109706433A (zh) | 一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法 | |
| CN114871041A (zh) | 一种可互换喷嘴微量超声喷涂系统 | |
| CN112599640B (zh) | 铜铟镓硒薄膜太阳能电池的缓冲层沉积装置 | |
| CN219143868U (zh) | 一种导电薄膜喷淋刻蚀装置 | |
| CN210458362U (zh) | 用于化学气相沉积反应的供气系统 | |
| JP5568743B2 (ja) | 霧化装置の恒温水循環システム、霧化装置、及び、配線形成装置 | |
| CN109921064B (zh) | 基于超声波振动加湿器的小型质子交换膜燃料电池 | |
| CN115007388B (zh) | 一种双向雾化装置 | |
| CN114953934B (zh) | 一种活性雾离子芯片及其电子雾化装置 | |
| CN218655168U (zh) | 一种自控气液流动的雾化装置 | |
| CN219232741U (zh) | 一种喷雾装置的供水设备 | |
| CN218571389U (zh) | 雾化装置和雾化设备 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination |