CN114283185A

CN114283185A - 尺寸检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质

Info

Publication number: CN114283185A
Application number: CN202111635181.1A
Authority: CN
Inventors: 陈鲁; 肖遥; 佟异; 张嵩
Original assignee: Shenzhen Zhongke Feice Technology Co Ltd
Current assignee: Shenzhen Zhongke Feice Technology Co Ltd
Priority date: 2021-12-29
Filing date: 2021-12-29
Publication date: 2022-04-05

Abstract

本申请公开了一种尺寸检测方法及相关装置，尺寸检测设备获取待测件的检测图像；根据模板图像确定检测图像中的待测区域；获取待测区域的灰度直方图；根据灰度直方图，确定二值化灰度值；根据二值化灰度值对检测图像进行二值化，获取二值图像；对二值图像沿第一方向的每一行与沿第二方向的每一列的特征像素点个数，第一方向与第二方向相垂直；根据二值图像沿第一方向以及第二方向的特征像素点个数，确定待测区域的尺寸。通过尺寸检测方法，能够准确的确定待测件上待测区域的尺寸，从而方便对待测件的尺寸进行检测，避免待测件由于尺寸过大或过小却未进行准确检测，解决了对待测件的检测效率降低的问题。

Description

尺寸检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质

技术领域

本申请涉及检测技术领域，尤其涉及尺寸检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。

背景技术

在对晶圆进行检测过程中，在对晶圆表面的缺陷进行检测之前，首先需要检测晶圆表面不同功能区域的尺寸进行检测，在确定晶圆上不同功能区域的尺寸满足要求后，再对晶圆功能区域存在的缺陷进行检测，在对晶圆的功能区域尺寸进行检测时，由于拍照的图片进行处理时，在根据处理后的图片进行判断时，经常由于无法对功能区域进行准确判断，从而导致对功能区域的尺寸判断不准确，使功能区域尺寸不合格的产品流入后续工序，影响对待测件的检测效率以及降低了对待测件的检测准确率。

发明内容

本申请实施例提供一种尺寸检测方法、装置、设备及计算机可读存储介质。

第一方面，本申请实施例提供一种尺寸检测方法，所述尺寸检测方法包括：

获取待测件的检测图像；

确定所述检测图像中的待测区域；

确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；

根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。

可选的，所述确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直，包括：

确定所述待测区域的灰度直方图；

根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像；

确定所述二值图像对应所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直。

可选的，所述根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值，包括：

确定所述灰度直方图中灰度值小于预设灰度值的灰度值分布；

确定所述灰度值分布中，所述灰度值小于预设灰度值的像素点数量最多的像素点对应的灰度值，作为二值化灰度值。

可选的，所述待测区域的尺寸包括沿第一方向的第一尺寸以及沿第二方向的第二尺寸，所述根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸，包括：

确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量；

根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸。

可选的，所述确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量，包括：

沿第一方向对所述预设待测区域进行逐行扫描确定沿第一方向每一行的像素点数量，以及沿第二方向对所述预设待测区域进行逐列扫描确定沿第二方向上每一列的像素点数量；

根据沿第一方向的像素点数量确定所述第一预设数量以及根据沿第一方向的像素点数量所述第二预设数量。

可选的，所述根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸，包括：

当所述待测区域沿第一方向的第一像素点个数与所述第一预设数量的比值达到第一预设比例时，确定该行第一方向的第一像素点个数为所述第一尺寸；

当所述待测区域沿第二方向的第二像素点个数与所述第二预设数量的比值达到第二预设比例时，确定该行第二方向的第二像素点个数为所述第二尺寸。

可选的，所述根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像，之后还包括：

确定所述二值图像的检测区域；

根据所述检测区域，执行确定所述二值图像对应所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数的步骤。

可选的，所述确定所述二值图像的检测区域，包括：

确定所述二值图像中所述待测区域的中心位置，以所述中心位置向第一方向的第一检测长度以及沿第二方向的第二检测长度确定所述二值图像的检测区域。

第二方面，本申请实施例提供一种尺寸检测装置，所述尺寸检测装置包括：

获取单元，用于获取待测件的检测图像；

确定单元，用于确定所述检测图像中的待测区域；

所述确定单元，还用于确定所述待测区域的灰度直方图；

所述确定单元，还用于根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

图像处理单元，用于根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像；

所述确定单元，还用于确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；

所述确定单元，还用于根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。

第三方面，本申请实施例提供一种尺寸检测设备，包括处理器、存储器、收发器，以及一个或多个程序，所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被配置由所述处理器执行，所述程序包括用于执行如上述任一项实施方式所述的方法中的步骤的指令。

第四方面，本申请实施例提供一种计算机可读存储介质，存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上述任一项实施方式所述的方法。

可以看出，在本申请实施例中，所述尺寸检测设备获取待测件的检测图像；确定所述检测图像中的待测区域；确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。通过所述尺寸检测方法，能够准确的确定所述待测件上待测区域的尺寸，从而方便对待测件的尺寸进行检测，避免所述待测件由于尺寸过大或过小却未进行准确检测，解决了对所述待测件的检测效率降低的问题。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本申请实施例提供的一种尺寸检测方法的流程示意图；

图2是本申请实施例提供的一种二值图像的示意图；

图3是本申请实施例提供的一种尺寸检测设备的结构示意图；

图4是本申请实施例提供的一种尺寸检测装置的结构示意图。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。

以下分别进行详细说明。

本申请的说明书和权利要求书及所述附图中的术语“第一”、“第二”、“第三”和“第四”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。

在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。

请参见图1，图1是本申请实施例提供的一种尺寸检测方法的流程示意图，如图1所示，所述尺寸检测方法包括：

步骤10，获取待测件的检测图像；

其中，所述待测件为晶圆，可以理解的是，所述待测件还可以为玻璃基板或其他需要用于表面检测的产品。

可以理解的是，本申请所述的尺寸检测方法，当检测设备已经通过其他方式采集到的待测件的检测图像后，可以省略步骤10，直接执行步骤20中的确定所述检测图像中的待测区域的步骤。

步骤20，确定所述检测图像中的待测区域；

其中，所述模板图像可以为用户预先设置的模板图像，还可以为标准件或其他产品的检测图像，具体的，所述模板图像包括用于确定待测件的待测区域。

其中，所述检测图像中的待测区域对应所述待测件需要进行检测的区域，具体的，所述待测件为晶圆，所述晶圆上设置有多个导电线路，并且为了方便同时多个导电线路进行连接，在所述晶圆上设置一个导电凸出区域，所述导电凸出区域与多个导电线路连接，到外部元件需要与多个导电线路同时进行连接时，可以使外部元件直接与所述导电凸出区域进行连接，从而方便与所述导电凸出区域相连的全部导电线路进行连接。在一具体实施方式中，所述待测区域为所述晶圆的导电凸出区域。

步骤30，确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；

其中，在对所述检测图像进行二值化处理，并获取所述二值图像后，为了方便确定所述待测区域的尺寸，需要确定所述二值图像对应所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，在一具体实施方式中，所述待测区域为矩形，所述第一方向与所述待测区域的一侧边缘平行，所述第二方向与所述待测区域的另一侧边缘平行，所述第一方向与所述第二方向垂直。

在可选的实施方式中，所述确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直，包括：

确定所述待测区域的灰度直方图；

其中，灰度直方图用于对图像或图像中的某一区域的灰度级分布进行统计，具体的，灰度直方图是将数字图像中的所有像素，按照灰度值的大小，统计其出现的频率。灰度直方图是灰度级的函数，它表示图像中具有某种灰度级的像素的个数，反映了图像中某种灰度出现的频率。

根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

其中，在确定所述待测区域的灰度直方图后，还需要对所述检测图像进行二值化处理，从而方便对所述检测图像对应的待测件的尺寸进行检测。

其中，在对检测图像进行二值化过程中，为了方便对待测区域进行判断，将灰度值大于或等于所述二值化灰度值的像素点的灰度值调整为255，使其调整为白色像素点，将灰度值小于所述二值化灰度值的像素点的灰度值调整为，使其调整为黑色像素点。

其中，所述根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值，包括：

确定所述灰度值小于预设灰度值的像素点数量最多的对应的灰度值，作为二值化灰度值。

其中，所述预设灰度值为50、100或其他灰度值，所述预设灰度值可以为用户输入或预设的灰度值，还可以为根据所述检测图像进行计算得到的灰度值。

其中，在采集所述待测件的图像时，所述待测件上的功能区域，例如导电区域的灰度值较高，但是非功能区域的灰度值较低，因此可以通过根据预设灰度值对检测检测图像上的像素点进行划分。

具体的，在一具体实施方式中，所述检测图像中包括多个像素点，每个像素点具有一个与其对应灰度值，为了方便对二值化灰度值进行确定，确定所述灰度直方图中灰度值小于预设灰度值的灰度值，在根据每个像素点的灰度值确定所述灰度直方图后，根据所述灰度直方图确定所述检测图像的灰度值分布，再确定灰度之小于预设灰度值的像素点作为对应的二值化灰度值，再根据二值化灰度值对检测图像进行二值化处理，从而降低对检测图像二值化过程中的细节影响，降低细节损失，减少图像处理过程中产生的噪点，提高检测效率。

其中，在根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像，之后还包括：

确定所述二值图像的检测区域；

其中，请参照图2，所述第一方向为所述检测图像的水平方向，所述第二方向为所述检测图像的竖直方向，所述第一方向与所述第二方向垂直。

其中，所述检测区域用于表示对所述待测区域进行尺寸检测时，苏搜狐检测设备的检测范围，具体的，当所述二值图像包括多个待测区域时，为了方便对所述待测区域进行检测，避免由于待测区域外的其他区域的像素点影响对所述待测区域的检测结果，需要首先确定所述二值图像的检测区域。

其中，所述确定所述二值图像的检测区域，包括：

其中，所述第一检测长度为500像素、600像素或其他长度。

其中，所述第二检测长度为500像素、600像素或其他长度。

其中，在确定所述二值图像的检测区域时，首先确定所述待测区域的中心位置，具体的，所述待测区域的中心位置可以根据所述模板图像的预设待测区域的位置信息进行确定，还可以通过用户输入的位置信息进行确定。

其中，在确定所述中心位置后，根据所述第一检测长度与所述第二检测长度确定所述二值图像的检测区域，在一具体实施方式中，所述第一检测长度与所述第二检测长度的比例与所述模板图像中预设待测区域沿第一方向的长度和第二方向的长度的比例相等，从而能够保证所述检测区域能够完全覆盖所述待测区域。

步骤40，根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。

其中，在确定沿第一方向的第一像素点个数以及沿第二方向的第二像素点个数后，根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数确定所述待测区域的尺寸。

其中，所述检测图像中的每个像素点均对应所述待测件上的一定尺寸，在一具体实施方式中，所述待测件的拍照区域沿第一方向的长度为100mm，所述待测件的拍照区域对应的检测图像的沿第一方向的像素点个数为1000，那么可以确定每个像素点对应所述待测件沿第一方向的长度为0.1mm。

其中，所述待测区域的尺寸包括沿第一方向的第一尺寸以及沿第二方向的第二尺寸，所述根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸，还包括：

根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述检测图像中的特征区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述检测图像中的特征区域沿第二方向的第二尺寸。

其中，为了方便确定所述检测图像中的待测区域的尺寸，首先需要确定所述模板图像的预设待测区域的尺寸，并根据预设待测区域对所述检测图像中的边缘进行确定。

其中，所述确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量，包括：

其中，当预设待测区域为矩形时，所述预设待测区域每一行沿第一方向的像素点数量相等，那么任一行沿第一方向的像素点数量为所述预设待测区域的第一预设数量，所述预设待测区域每一列沿第二方向的像素点数量相等，那么任一列沿第二方向的像素点数量为所述预设待测区域的第一预设数量。

当预设待测区域的边角为折线形或圆形时，所述预设待测区域每一行沿第一方向的像素点数量不相等，那么确定沿第一方向的像素点数量最多的所在行的像素点数量为所述第一预设数量；所述预设待测区域每一列沿第二方向的像素点数量不相等，那么确定沿第二方向的像素点数量最多的所在列的像素点数量为所述第二预设数量；

其中，所述根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸，包括：

其中，所述第一预设比例为70％、80％或其他值。

其中，所述第二预设比例为70％、80％或其他值。

其中，当所述待测区域的待测区域的边角为圆弧形或折线形时，所述待测区域的边缘可以不进行检测，从而提高对所述待测区域的检测效率。在一具体实施方式中，所述模板图像沿第一方向的第一预设数量为100像素，沿第二方向的第二预设数量为200像素，所述第一预设比例为80％，所述第一预设比例为90％，在对所述检测图像的特征区域逐行进行检测时，当任一行的第一像素点个数与所述第一预设数量的比值达到80％时，且前一行的第一像素点个数与所述第一预设数量的比值未达到80％时，确定所述第一像素点个数当前所在的行位置为所述待测区域沿第一方向的一侧边缘，当任一行的第一像素点个数与所述第一预设数量的比值达到80％时，且后一行的第一像素点个数与所述第一预设数量的比值未达到80％时，确定所述第一像素点个数当前所在的行位置为所述待测区域沿第一方向的另一侧边缘。

依次类推，当任一列的第二像素点个数与所述第一预设数量的比值达到90％时，且前一列的第二像素点个数与所述第一预设数量的比值未达到90％时，确定所述第二像素点个数当前所在的列位置为所述待测区域沿第一方向的一侧边缘，当任一列的第二像素点个数与所述第一预设数量的比值达到90％时，且后一列的第二像素点个数与所述第一预设数量的比值未达到90％时，确定所述第二像素点个数当前所在的列位置为所述待测区域沿第一方向的另一侧边缘。

通过设置第一预设比例以及第二预设比例，能够避免因为噪点对检测图像的特征区域造成误判，在一具体实施方式中，所述第一预设数量为100，所述第一预设比例为80％，分别为A1至A100，首先所述检测设备从左至右逐行进行检测，当检测到A19行的白色像素点个数为79个，A20行的白色像素点个数为80个时，A19行的像素点个数小于第一预设数量与第一预设比例的乘积，A20行的像素点个数大于等于了第一预设数量与第一预设比例的乘积，因此，确定A20行为特征区域的上侧边缘。

同理当检测到A80行的白色像素点的个数为80个，A81行的白色像素点个数为78个时，A80行的像素点个数大于等于了第一预设数量与第一预设比例的乘积，A81行的像素点个数小于第一预设数量与第一预设比例的乘积，那么A80行为特征区域的下侧边缘。

在确定A20列为特征区域的左侧边缘，A80列为特征区域的右侧边缘时，确定特征区域沿第一方向的第一像素点个数为80-20＝60个像素点。

可以理解的是，在确定所述特征区域沿第二方向上的第二尺寸时，所用方法与确定特征区域的第一尺寸的方式相同，在此不再赘述。

在确定所述检测图像的沿第一方向上的第一像素点个数以及沿第二方向的第二像素点个数后，再根据第一像素点个数确定第一尺寸以及根据第二像素点个数确定第二尺寸，在一具体实施方式中，当每个像素点对应所述待测件沿第一方向的长度为0.1mm，第一像素点个数为100，第二像素点个数为200时，那么所述待测区域的沿第一方向的第一尺寸为100*0.1＝10mm，沿第二方向的第二尺寸为200*0.1＝20mm。

在本申请的实施方式中，所述尺寸检测设备获取待测件的检测图像；确定所述检测图像中的待测区域；确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。通过所述尺寸检测方法，能够准确的确定所述待测件上待测区域的尺寸，从而方便对待测件的尺寸进行检测，避免所述待测件由于尺寸过大或过小却未进行准确检测，解决了对所述待测件的检测效率降低的问题。

请参阅图3，图3是本申请实施例提供的一种尺寸检测设备的结构示意图，如图所示，该服务设备包括处理器、存储器、收发器口以及一个或多个程序，其中，上述一个或多个程序被存储在上述存储器中，并且被配置由上述处理器执行，上述程序包括用于执行以下步骤的指令：

获取待测件的检测图像；

确定所述检测图像中的待测区域；

在本申请的一实现方式中，在确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直方面，上述程序包括具体用于执行以下步骤的指令：

确定所述待测区域的灰度直方图；

根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

在本申请的一实现方式中，在根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值方面，上述程序包括还用于执行以下步骤的指令：

在本申请的一实现方式中，在根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸方面，上述程序包括具体用于执行以下步骤的指令：

在本申请的一实现方式中，在确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量方面，上述程序之后还具体用于执行以下步骤的指令：

在本申请的一实现方式中，在根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸方面，上述程序包括具体用于执行以下步骤的指令：

在本申请的一实现方式中，在根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像方面，上述程序之后还用于执行以下步骤的指令：

确定所述二值图像的检测区域；

在本申请的一实现方式中，在确定所述二值图像的检测区域方面，上述程序具体用于执行以下步骤的指令：

需要说明的是，本实施例的具体实现过程可参见上述方法实施例所述的具体实现过程，在此不再叙述。

请参阅图4，图4是本申请实施例提供的一种尺寸检测装置，应用于尺寸检测设备，所述尺寸检测设备包括：

获取单元410，用于获取待测件的检测图像；

确定单元420，用于确定所述检测图像中的待测区域；

所述确定单元420，还用于确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直；

所述确定单元420，还用于根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸。

在本申请的一实现方式中，在根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值方面，所述确定单元420具体用于：

确定所述待测区域的灰度直方图；

根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

确定所述灰度值分布中，所述灰度值小于预设灰度值的像素点数量最多的像素点对应的灰度值，作为二值化灰度值。。

在本申请的一实现方式中，在根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸方面，所述确定单元420具体用于：

在本申请的一实现方式中，在确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量方面，所述确定单元420具体用于：

在本申请的一实现方式中，在根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸方面，所述确定单元420具体用于：

在本申请的一实现方式中，在根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像方面，所述确定单元420之后还用于：

确定所述二值图像的检测区域；

在本申请的一实现方式中，在确定所述二值图像的检测区域方面，所述确定单元420具体用于：

需要说明的是，确定单元420以及图像处理单元430可通过处理器来实现，获取单元410通过收发来实现。

本申请实施例还提供了一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如上述方法实施例中服务设备所描述的部分或全部步骤。

本申请实施例还提供了一种计算机程序产品，其中，所述计算机程序产品包括存储了计算机程序的非瞬时性计算机可读存储介质，所述计算机程序可操作来使计算机执行如上述方法中服务设备所描述的部分或全部步骤。该计算机程序产品可以为一个软件安装包。

本申请实施例所描述的方法或者算法的步骤可以以硬件的方式来实现，也可以是由处理器执行软件指令的方式来实现。软件指令可以由相应的软件模块组成，软件模块可以被存放于随机存取存储器(RandomAccess Memory，RAM)、闪存、只读存储器(Read OnlyMemory，ROM)、可擦除可编程只读存储器(Erasable Programmable ROM，EPROM)、电可擦可编程只读存储器(Electrically EPROM，EEPROM)、寄存器、硬盘、移动硬盘、只读光盘(CD-ROM)或者本领域熟知的任何其它形式的存储介质中。一种示例性的存储介质耦合至处理器，从而使处理器能够从该存储介质读取信息，且可向该存储介质写入信息。当然，存储介质也可以是处理器的组成部分。处理器和存储介质可以位于ASIC中。另外，该ASIC可以位于接入网设备、目标网络设备或核心网设备中。当然，处理器和存储介质也可以作为分立组件存在于接入网设备、目标网络设备或核心网设备中。

本领域技术人员应该可以意识到，在上述一个或多个示例中，本申请实施例所描述的功能可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或者其任意组合来实现。当使用软件实现时，可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令。在计算机上加载和执行所述计算机程序指令时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以是通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线(例如同轴电缆、光纤、数字用户线(DigitalSubscriber Line，DSL))或无线(例如红外、无线、微波等)方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集成的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质(例如，软盘、硬盘、磁带)、光介质(例如，数字视频光盘(DigitalVideo Disc，DVD))、或者半导体介质(例如，固态硬盘(Solid State Disk，SSD))等。

以上所述的具体实施方式，对本申请实施例的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本申请实施例的具体实施方式而已，并不用于限定本申请实施例的保护范围，凡在本申请实施例的技术方案的基础之上，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包括在本申请实施例的保护范围之内。

Claims

1.一种尺寸检测方法，其特征在于，所述尺寸检测方法包括：

获取待测件的检测图像；

确定所述检测图像中的待测区域；

2.根据权利要求1所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述确定所述待测区域沿第一方向的每一行的第一像素点个数与沿第二方向的每一列的第二像素点个数，所述第一方向与所述第二方向相垂直，包括：

确定所述待测区域的灰度直方图；

根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值；

3.根据权利要求2所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述根据所述灰度直方图，确定二值化灰度值，包括：

4.根据权利要求2所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述待测区域的尺寸包括沿第一方向的第一尺寸以及沿第二方向的第二尺寸，所述根据所述第一像素点个数与所述第二像素点个数，确定所述待测区域的尺寸，包括：

5.根据权利要求4所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述确定模板图像中预设待测区域沿第一方向的第一预设数量与沿第二方向的第二预设数量，包括：

6.根据权利要求4所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述根据第一预设数量与所述第一像素点个数确定所述待测区域沿第一方向的第一尺寸，以及根据第二预设数量与所述第二像素点个数确定所述待测区域沿第二方向的第二尺寸，包括：

7.根据权利要求2所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述根据所述二值化灰度值对所述检测图像进行二值化，获取二值图像，之后还包括：

确定所述二值图像的检测区域；

8.根据权利要求7所述的尺寸检测方法，其特征在于，所述确定所述二值图像的检测区域，包括：

9.一种尺寸检测装置，其特征在于，所述尺寸检测装置包括：

获取单元，用于获取待测件的检测图像；

确定单元，用于确定所述检测图像中的待测区域；

10.一种尺寸检测设备，其特征在于，包括处理器、存储器、收发器，以及一个或多个程序，所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被配置由所述处理器执行，所述程序包括用于执行如权利要求1-8任一项所述的方法中的步骤的指令。

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如权利要求1-8任一项所述的方法。