CN114280710B - 一种具有双连续谱束缚态特性的超构表面 - Google Patents
一种具有双连续谱束缚态特性的超构表面 Download PDFInfo
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Abstract
本发明属于超表面技术领域,具体为一种具有双连续谱束缚态特性的超构表面。本发明超构表面是由圆盘或者圆环及C型开口环组成的单元经周期延拓形成的阵列,材料为金;该结构下有一层金膜作为反射层;金属膜下面是作为整体结构的支撑层。其中,所述圆盘或者圆环包含在C型开口环内,并紧贴C型开口环内壁;记圆盘或者圆环的外半径为R,C型开口环开口对应弧度为θ,C型开口环的宽度为r,C型开口环的厚度为h,金膜的厚度为t,单元延拓的周期为P;本发明超构表面结构具有很多的调控自由度,以实现Q值、共振波长、共振模式的调节。
Description
技术领域
本发明属于超表面技术领域,具体涉及具有双连续谱束缚态特性的超构表面。
背景技术
当光与金属纳米颗粒相互作用时,其自由电子可以被入射电场驱动,产生集体振荡,这种现象被称为局域表面等离子共振(LSPRs)。在金属颗粒表面,LSPRs对光场具有极强的约束作用,并且对外界环境的变化十分明显,因此可以进行高灵敏生化传感应用。但是LSPRs自身具有明显的欧姆损耗,使得其品质因子(Q值)非常低。而Q值又与探测精度有关,因此LSPRs的低Q特性限值了其探测性能。
将金属纳米颗粒组成有序的阵列可以产生具有高Q响应的共振。这种由周期阵列中纳米颗粒之间的(即LSPRs之间的)相干作用和耦合产生的新型共振效应,称为表面晶格共振(SLRs)。
上述SLRs虽然具有高Q值的特性,但是其实现往往需要一个折射率分布对称环境下(即结构的基底折射率和外界折射率相同)。如果结构处于上下折射率差较大的环境下,会使其Q值和共振强度都明显的下降。一般而言,SLRs结构的基底折射率为二氧化硅或者玻璃材料,对应的折射率为1.46-1.5左右。生物检测在水相环境下进行,对应折射率为1.33,相对于基底折射率有一定的差异,虽然也有相关报道可以在这种环境下实现SLRs效应,但是其Q值和共振强度都不高。而气体探测直接在空气环境下进行,对应折射率为1,大部分器件在这种大折射率差下不会产生SLRs效应。有报道表明,采用一层厚金属膜作为纳米阵列的基底可以有效解决上下环境折射率需匹配的问题,但是增加的金属膜会带来更多的损耗,影响最终的Q值。
连续谱束缚态BICs是一种处于连续辐射光谱区域的无辐射本征态。BICs的特点在于:尽管其处于连续辐射谱区域但是它并不与辐射场耦合,因此存在无限长的光子寿命,即无穷大的Q值。BICs主要分为对称保护型(SP-BICs)和共振型(也称偶发型,FW-BICs),前者的产生是由于结构面内模式和面外模式对称性在Γ点不兼容;后者的产生是由于结构参数导致了向外辐射完全的干涉相消。理想的BIC仅是数学上的概念,实际中由于加工误差,有限的单元数,材料吸收等原因是无法得到的,这些差异使得BIC转换为准BIC(quasi-BIC),同样具有高Q值(但不是无穷大)。在金属材料体系下,BICs可以看做是SLRs的一种特殊状态。
发明内容
本发明旨在解决上述SLRs普遍存在的需保持环境折射率匹配的问题,无法做到大动态范围内(如大的折射率变化)仍然保持高Q,高信噪比的问题,提供一种具有双连续谱束缚态特性的超构表面。
本发明通过在金属基底上设计出具有BICs特性的SLRs结构来解决上述问题。首先金属基底可以解决结构对对称环境的依赖;接着,通过结构设计产生BICs(或者quasi-BIC)现象可以进一步调节结构整体的Q值,由此,可以实现SLRs共振模式从空气到液体环境中一直保持高信噪比及高Q值。
本发明提供的具有双连续谱束缚态特性的超构表面,是由圆盘(或者圆环)及C型开口环组成的单元经周期延拓形成的阵列,材料为金;后统称其为超构表面;该结构下有一层金膜作为反射层;金属膜下面是衬底,作为整体结构的支撑层。其中,所述圆盘或者圆环包含在C型开口环内,并紧贴C型开口环内壁;记圆盘或者圆环的外半径为R,C型开口环开口对应弧度为θ,C型开口环的宽度为r,C型开口环的厚度为h,金膜的厚度为t,单元延拓的周期为P。
本发明中,所述衬底材料为硅、氧化硅或者玻璃等。
本发明中,金膜厚度t 为20—300nm;优选为80—150nm。
结构单元的参数为:以结构阵列的周期P为650nm-1000nm,圆盘的半径R为100nm-200nm;C型开口环的宽度r为10nm-120nm;C型开口环的角度θ为10°-300°;C型开口环的厚度h为30nm-200nm。
本发明超构表面结构具有很多的调控自由度,以实现Q值、共振波长、共振模式的调节。实现在大动态范围内(如大的折射率变化)仍然保持高Q、高信噪比。
附图说明
图1为本发明具有双连续谱束缚态特性的超构表面单元结构示意图。
图2为超构表面单元在不同C型开口环宽度下的反射谱(空气环境)。
图3为超构表面单元在不同C型开口环宽度下quasi-BICs模式的Q值(空气环境)。
图4为超构表面单元在不同C型开口环角度下的反射谱(空气环境)。
图5为超构表面单元在不同C型开口环角度下quasi-BICs模式的Q值(空气环境)。
图6超构表面在不同金膜厚度下的反射谱(空气环境)。
图7超构表面在不同金属圆盘半径下的反射谱(空气环境)。
图8超构表面在不同圆盘(开口环)厚度下的反射谱(空气环境)。
图9为超构表面单元在不同C型开口环宽度下的反射谱(液体环境)。
图10为超构表面单元在不同C型开口环宽度下的quasi-BICs模式的Q值(液体环境)。
图11为超构表面单元在不同C型开口环角度下的反射谱(液体环境)。
图12为超构表面单元在不同C型开口环角度下的quasi-BICs模式的Q值(液体环境)。
图13 为传感检测系统。
图14为超构表面在不同待测介质条件下,共振波长与反射率的关系。
图15 超构表面在不同周期下,共振波长与反射率的关系(空气环境)。
图中标号:1为衬底,2为金膜,3为圆盘或原环,4为C型开口环。
具体实施方式
下面通过实施例结合附图进一步介绍本发明。
实施例1:开口环宽度的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,金属圆盘半径为170nm,金属C型开口环的角度固定为180°,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为空气,即折射率为1,见图1。通过调节C型开口环的宽度,来实现y轴方向上的结构对称破缺,从而产生quasi-BICs模式。从图2中可以看到,当在C型开口环的宽度为10nm时,在650nm波长附近的位置quasi-BICs模式开始出现,并且随着开口环的宽度逐渐增加模式越来越明显。也就是随着对称破缺程度的增加,理想的BICs条件被破坏,开始与外界辐射场耦合,并转换为具有高Q性质的quasi-BICs模式。图3中,Q值随着开口环宽度增加而减小,这一趋势更加验证了此模式是具有BICs性质的模式。
实施例2:开口环角度的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,圆盘半径为170nm,C型开口环的宽度固定为100nm,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为空气,即折射率为1。通过调节C型开口环的角度,来进一步调节模式的变化情况。图4中,在不同开口环角度下,660nm-700nm的波长范围内都有一个很窄的共振峰。值得注意的是,在开口环角度为100°和225°时,模式突然消失,且附近位置的线宽有收窄的现象。图5中,Q值在开口环100°(或者225°)附近最大,而偏离这个位置时Q值开始明显下降,这一趋势也说明此模式是具有BICs性质的模式。这里不同于实施例1中,固定C型开口环的角度,而是固定C型开口环的宽度来调节角度。不同角度的变化过程中,整个结构一直处于非对称的状态,因此在开口环角度为100°和225°时突然出现的两个BICs模式就不是对称保护型BIC,而是属于FW-BIC的范畴。因此,提出的这个结构既具有SP-BIC的性质,又具有FW-BIC的性质。这种双BIC共同作用下影响的模式具有更高的Q值。
实施例3:金膜厚度的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一定厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,金属圆盘半径为170nm,金属C型开口环的角度固定为180°,C型开口环的宽度固定为100nm,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为空气,即折射率为1。此时结构已经实现了y轴方向上的结构对称破缺,从而可以产生quasi-BICs模式。从图6中可以看到,在其他参数固定的情况下,金膜的厚度等于20nm时,在680nm波长附近的位置quasi-BICs模式开始出现;当金膜厚度大于50nm后,在680nm波长附近的位置quasi-BICs模式开始不随金膜厚度的改变而改变。即说明只要金膜厚度大于20nm,就可以在所述结构中产生BIC性质的高Q模式。
实施例4:圆盘半径的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,结构中心为一定半径的金属圆盘,圆盘外紧贴金属C型开口环,且角度固定为180°,金属C型开口环的宽度为100nm,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为空气,即折射率为1。此时结构已经实现了y轴方向上的结构对称破缺,从而可以产生quasi-BICs模式。从图7中可以看到,在其他参数固定的情况下,金属圆盘的半径在100nm-200nm范围内均能在670nm附近产生具有高Q性质的quasi-BICs模式。
实施例5:圆盘及开口环厚度的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,金属圆盘半径为170nm,金属C型开口环的角度固定为180°,C型开口环的宽度固定为100nm,外界环境为空气,即折射率为1。此时结构已经实现了y轴方向上的结构对称破缺,从而可以产生quasi-BICs模式。从图8中可以看到,在其他参数固定的情况下,金属圆盘的和开口环的厚度在40nm-200nm范围内均能在670nm附近产生具有高Q性质的quasi-BICs模式。
实施例6:开口环宽度的影响(在水中)。
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,圆盘半径为170nm,C型开口环的角度固定为180°,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为水,即折射率为1.333。通过调节C型开口环的宽度,来实现y轴方向上的结构对称破缺,从而产生quasi-BICs模式。从图6中可以看到,此结构在水中也和空气具有相同的性质。图7中,Q值随着开口环宽度增加而减小,这一趋势更加验证了此模式是具有BICs性质的模式,并且相对于空气环境而言,在水相环境下的BICs模式具有更高的Q值。
实施例7:开口环角度的影响(在水中)。
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,圆盘半径为170nm,C型开口环的宽度固定为100nm,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为水,即折射率为1.333。通过调节C型开口环的角度,来进一步调节模式的变化情况。图8中,在不同开口环角度下,860nm-900nm的波长范围内都有一个很窄的共振峰。值得注意的是,在开口环角度为100°和225°时,模式突然消失,且附近位置的线宽有收窄的现象。图9中,Q值在开口环100°附近最大,而偏离这个位置时Q值开始明显下降,这一趋势也说明此模式是具有BICs性质的模式。这里反应出双BIC的特性仍然在水中存在,且Q值更高。
实施例8:
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期为650nm,圆盘半径为170nm,C型开口环的宽度100nm,C型开口环的角度为180°,圆盘及C型开口环的厚度为100nm。此结构在传感检测中的基本原理如下:在结构参数确定的情况下,入射光由于周期性阵列(即光栅)的衍射作用,产生面内传输的衍射光,此衍射光会与阵列中的金属颗粒发生相互作用,同时如果衍射光的波长正好与单个颗粒的LSPRs共振频率相近,这样就可能在wood异常附近的窄波长范围内实现从入射光束到LSPRs模式的强能量转移,从而获得尖锐的SLRs模式。此波长满足公式:λ=nΛ,其中λ为SLRs共振波长,n为测试环境折射率,Λ为结构周期。因此,当测试环境折射率n发生变化时,会引起SLRs共振波长的变化,通过检测波长的移动就可以实现传感。
为了验证本发明的有益效果,采用本发明实施例1制备的一种具有超高品质因数的光微流导模共振芯片(实验中简称为传感芯片)进行了实验,各种实验情况如下。
1、建立测试系统
图10给出了本发明的系统图。在图10中,宽带光源输出的光通过准直元件将光束准直;通过光阑控制准直后的光束光斑大小;通过格兰棱镜调整光的偏振态,偏振光通过非偏振分束镜分为两束光,一束光直接照射在传感芯片上,另一束光通过光谱仪收集,并将光谱信号传至电脑,构成测试本发明的测试系统。
2、测试方法
测试系统如图10所示。将传感芯片含光栅一侧与聚二甲基硅氧烷(PDMS)微流通道固定,中间空隙作为流体通道。此PDMS微流通道有两个端口,分别作为液体进入的入口和流出的出口。用注射泵将液体通过特氟龙管进入流体通道。在微流通道中通入水与二甲基亚砜(DMSO)混合的不同折射率液体1.333,1.3477,1.3624,由于外界环境折射率n的改变,使得具有quasi-BICs特性的SLR共振波长发生改变,见图11,由此实现传感机理。这一实验现象通过光谱仪将数据传至电脑中进行记录。提取不同折射率下的谱线峰值,并建立折射率与共振波长之间的函数关系,经线型拟合,可获得此超构表面的折射率灵敏度为646nm/RIU。
实施例9:阵列周期的影响
支撑材料上(材料为硅、氧化硅或者玻璃)有一层100nm厚度的金膜,此金膜上为设计的阵列结构,阵列周期范围650nm-1000nm,结构中心为170nm半径的金属圆盘,圆盘外紧贴金属C型开口环,且角度固定为180°,金属C型开口环的宽度为100nm,圆盘及C型开口环的厚度为100nm,外界环境为空气,即折射率为1。此时结构已经实现了y轴方向上的结构对称破缺,从而可以产生quasi-BICs模式。从图15中可以看到,在其他参数固定的情况下,金属阵列周期范围650nm-1000nm内均能产生具有高Q性质的quasi-BICs模式。
Claims (2)
1.一种具有双连续谱束缚态特性的超构表面,其特征在于,是由圆盘或者圆环,以及C型开口环组成的单元经周期延拓形成的阵列,材料为金;其下面有一层金膜作为反射层;金膜下面是作为支撑层三衬底,其中,所述圆盘或者圆环包含在C型开口环内,并紧贴C型开口环内壁;圆盘或者圆环的外半径R为100nm-200nm,C型开口环开口对应弧度θ为10°-300°,C型开口环的宽度r为10-120nm,圆盘和C型开口环的厚度h为30nm-200nm,金膜的厚度t为20—300nm,单元延拓的周期P为650-1000nm。
2.根据权利要求1所述的具有双连续谱束缚态特性的超构表面,其特征在于,所述衬底材料为硅、氧化硅或者玻璃。
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