CN114279244B - 一种半导体制造的尾气回收系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体制造的尾气回收系统，包括，换热机构，用于与尾气接触进行热量交换收集热量，尾气分化加速机构，设置在换热机构之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与换热机构接触进行热量交换，换热机构包括集热结构和换热板，分化压缩结构设置在尾气管道上并设置在相邻两个换热板之间，本发明通过分化压缩结构对尾气进行分隔运输并压缩处理对尾气进行加压，使得加压后的尾气对换热板表面形成冲击，通过尾气产生的冲击避免尾气中含有的颗粒杂质粘附在换热板表面造成热交换效率下降导致热能浪费的问题，其次通过通气保障结构对尾气加压通过的路径进行疏通，保证尾气热量回收处理过程的持续进行，提高了尾气的回收处理效率。

Description

一种半导体制造的尾气回收系统

技术领域

本发明涉及尾气处理分离技术领域，具体涉及一种半导体制造的尾气回收系统。

背景技术

半导体，是指常温下导电性能介于导体和绝缘体之间的材料，在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明等领域均有应用，在科技发展和经济发展中具有非常重要的作用，常见的半导体材料有硅、锗和砷化镓等，其中硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。

半导体材料在制造生产的过程中会产生大量对空气具有污染性的尾气，这种尾气需要经过处理后才能进行排放以避免对环形造成污染，且尾气中含有可以进行回收利用的物质材料以及能源，例如尾气中含有较大的热量，为了避免热量的浪费需要对尾气进行回收处理，避免资源浪费，现有一般通过换热装置进行热量置换，即通过换热板材与尾气接触进行热量交换完成对尾气中热量的回收利用，提高对尾气的回收处理利用率，但通过换热板材与尾气长时间接触时，由于尾气中含有的颗粒杂质会造成换热板材表面粘附大量杂质颗粒形成杂志层，导致尾气热量交换效率降低，造成大量热能的浪费，因此，需要设计一种半导体制造的尾气回收系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种半导体制造的尾气回收系统，解决了现有的尾气在回收处理时与换热板材长时间接触进行热量交换导致换热板材表面粘附大量颗粒杂质导致热交换效率下降造成热量浪费的问题。

为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：

一种半导体制造的尾气回收系统，包括：

换热机构，用于与尾气接触进行热量交换收集热量；

尾气分化加速机构，设置在所述换热机构之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与所述换热机构接触进行热量交换；

所述换热机构包括集热结构和换热板，所述换热板设置有多个并等间距排列在所述集热结构上，所述集热结构用于对所述换热板上与尾气接触交换的热量进行收集；

所述尾气分化加速机构包括尾气管道、分化压缩结构和通气保障结构，所述尾气管道设置在所述集热结构上，所述分化压缩结构设置在所述尾气管道上并设置在相邻两个所述换热板之间，所述通气保障结构设置有多个并设置在所述分化压缩结构上位于相邻换热板之间的位置；

其中，所述分化压缩结构用于分隔尾气并压缩加速与所述换热板表面接触，且所述通气保障结构用于对所述分化压缩结构上尾气通过的路径进行疏通。

作为本发明的一种优选方案，所述分化压缩结构包括与所述尾气管道连通的封闭管道，所述封闭管道的端部沿直线等间距设置有多个位于相邻两个换热板之间的分化管道，每个所述分化管道的内侧壁上均设置有多个供尾气通过的尾气通槽，所述封闭管道内设置有活动压缩装置；

其中，所述通气保障结构设置对应的所述分化管道的外壁上，且所述活动压缩装置分化压缩多个所述分化管道内的尾气并通过所述尾气通槽喷射至对应的所述换热板的表面，所述尾气通槽206和所述通气保障结构203配合连接限制喷射出的尾气返回所述分化管道并在一定气压下限制尾气通过所述尾气通槽206。

作为本发明的一种优选方案，所述活动压缩装置包括设置在所述封闭管道内壁的伸缩装置和滑动连接在所述封闭管道内壁上并与所述伸缩装置端部连接的滑动连接板，所述滑动连接板上靠近所述分化管道的一侧设置有多个连杆，每个所述连杆的端部均设置有与所述分化管道内壁滑动密封连接的推板，每个所述推板上均设置有换气孔；

其中，所述推板用于压缩对应所述分化管道内的尾气，且所述换气孔用于在所述推板复位时供尾气通过。

作为本发明的一种优选方案，所述换气孔包括设置在所述推板内部的空腔，所述空腔的与所述推板运动方向相垂直的两个内壁上均开设有与所述空腔外部连通的通孔，所述空腔内部滑动连接有用于密封所述通孔的密封板，所述密封板上远离所述封闭管道的一侧和所述空腔的内壁之间共同设置有压紧弹簧，所述空腔的内侧壁上沿所述推板的运动方向设置有多个通气槽。

作为本发明的一种优选方案，所述通气槽内靠近所述封闭管道的一侧设置有多个与气泵连通的气孔，且多个所述气孔喷射的气流分别朝向所述通气槽的内壁。

作为本发明的一种优选方案，所述推板上远离所述封闭管道的一侧沿中心线向外延伸设置有环形外延座，所述环形外延座的周侧设置有用于清扫所述分化管道内壁的毛刷。

作为本发明的一种优选方案，所述环形外延座的周侧上位于所述毛刷和所述推板之间的位置滑动套接有环形滑动板，所述环形滑动板上靠近所述毛刷的一侧设置有多个针状突起，所述环形滑动板上还设置有与所述密封板连接的中间连接板，且所述中间连接板用于带动所述环形滑动板与所述密封板同步运动并通过所述针状突起对所述毛刷进行清理，所述密封板密封所述通孔时所述针状突起与所述毛刷不接触。

作为本发明的一种优选方案，所述通气保障结构包括贯穿设置在所述分化管道外壁上滑动槽，每个所述滑动槽内均滑动密封连接有滑动柱，多个所述滑动柱的端部共同连接有网板，所述网板的一侧设置有多个与所述分化管道外壁连接并套设在所述滑动柱上的复位弹簧，所述网板对应所述尾气通槽设置有多个密封柱，每个所述密封柱上均设置有用于导引尾气流动方向的导引板，且所述密封柱在所述复位弹簧未发生形变时密封所述尾气通槽内部。

作为本发明的一种优选方案，所述密封柱的端部设置有两个相互连接的斜面，且两个所述斜面的连接处位于所述密封柱的端面平分处。

作为本发明的一种优选方案，所述导引板包括设置在所述密封柱上的环形槽，所述环形槽内滑动套设有连接弹簧，所述连接弹簧连接有与所述环形槽滑动套接的环形连接板，所述环形连接板上沿所述密封柱的轴向设置有与所述分化管道外壁相抵的承接板，所述承接板的周侧设置有弧形板，所述承接板上设置有供尾气通过的导引槽。

本发明与现有技术相比较具有如下有益效果：

本发明通过分化压缩结构对尾气进行分隔运输并压缩处理对尾气进行加压，使得加压后的尾气对换热板表面形成冲击，通过尾气产生的冲击避免尾气中含有的颗粒杂质粘附在换热板表面造成热交换效率下降导致热能浪费的问题，其次通过通气保障结构对尾气加压通过的路径进行疏通，保证尾气热量回收处理过程的持续进行，提高了尾气的回收处理效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。

图1为本发明实施例提供一种半导体制造的尾气回收系统的结构示意图；

图2为本发明实施例提供换气孔部分的结构示意图

图3为本发明实施例提供尾气分化加速机构的侧面结构示意图。

图中的标号分别表示如下：

1-换热机构；2-尾气分化加速机构；

101-集热结构；102-换热板；

201-尾气通道；202-分化压缩结构；203-通气保障结构；204-封闭管道；205-分化管道；206-尾气通槽；207-活动压缩装置；208-伸缩装置；209-滑动连接板；210-连杆；211-推板；212-换气孔；213-空腔；214-通孔；215-密封板；216-压紧弹簧；217-通气槽；218-气孔；219-环形外延座；220-毛刷；221-环形滑动板；222-针状突起；223-中间连接板；224-滑动槽；225-滑动柱；226-网板；227-复位弹簧；228-密封柱；229-导引板；230-斜面；231-环形槽；232-连接弹簧；233-环形连接板；234-承接板；235-弧形板；236-导引槽。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1至图3所示，本发明提供了一种半导体制造的尾气回收系统，包括：

换热机构1，用于与尾气接触进行热量交换收集热量；

尾气分化加速机构2，设置在换热机构1之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与换热机构1接触进行热量交换；

换热机构1包括集热结构101和换热板102，换热板102设置有多个并等间距排列在集热结构101上，集热结构101用于对换热板102上与尾气接触交换的热量进行收集；

尾气分化加速机构2包括尾气管道201、分化压缩结构202和通气保障结构203，尾气管道201设置在集热结构101上，分化压缩结构202设置在尾气管道201上并设置在相邻两个换热板102之间，通气保障结构203设置有多个并设置在分化压缩结构202上位于相邻换热板102之间的位置；

其中，分化压缩结构202用于分隔尾气并压缩加速与换热板102表面接触，且通气保障结构203用于对分化压缩结构202上尾气通过的路径进行疏通。

本发明在使用时，尾气通过尾气管道201进入分化压缩结构202内分割压缩加速后通入相邻的换热板102之间进行热量交换，由换热板102交换的热量由集热结构101进行收集使用，避免了尾气中热能的浪费，提高了尾气的回收利用率。

其次，尾气通过压缩加速对换热板102表面具有一定的冲击力，避免了尾气中含有的杂质颗粒粘附在换热板102表面形成杂质层造成热交换效率下降导致尾气中热能大量浪费的问题。

且通气保障结构203对分化压缩结构202中尾气通过的路径进行疏通，保证了尾气中热能回收处理过程的持续性，提高了尾气回收处理的效率。

分化压缩结构202包括与尾气管道201连通的封闭管道204，封闭管道204的端部沿直线等间距设置有多个位于相邻两个换热板102之间的分化管道205，每个分化管道205的内侧壁上均设置有多个供尾气通过的尾气通槽206，封闭管道204内设置有活动压缩装置207；

其中，通气保障结构203设置对应的分化管道205的外壁上，且活动压缩装置207分化压缩多个分化管道205内的尾气并通过尾气通槽206喷射至对应的换热板102的表面，尾气通槽206和通气保障结构203配合连接限制喷射出的尾气返回分化管道并在一定气压下限制尾气通过尾气通槽206。

分化压缩结构202在使用时，尾气通过尾气管道201进入封闭管道204内部，并进入多个分化管道205分割成多份，由活动压缩装置207对分化管道205内的尾气压缩至至一定程度后尾气通槽206打开，压缩后的尾气通过尾气通槽206与换热板102表面发生冲击接触进行热量交换，完成对尾气中热能的回收利用，且避免了尾气中含有的杂质颗粒粘附在换热板102表面形成杂质层造成热交换效率下降导致尾气中热能大量浪费的问题。

其次，尾气通槽206与通气保障结构203配合限制喷射至换热板102表面的尾气回流至分化管道205内部，避免了对已经进行热交换的尾气重复回收利用造成尾气回收处理的效率下降，同时在一定的尾气压力下限制尾气通过尾气通槽206，保证尾气在进行一定程度的压缩后再通过尾气通槽206以保证对换热板102表面具有一定的冲击力。

活动压缩装置206包括设置在封闭管道204内壁的伸缩装置208和滑动连接在封闭管道204内壁上并与伸缩装置208端部连接的滑动连接板209，滑动连接板209上靠近分化管道205的一侧设置有多个连杆210，每个连杆210的端部均设置有与分化管道205内壁滑动密封连接的推板211，每个推板211上均设置有换气孔212；

其中，推板211用于压缩对应分化管道205内的尾气，且换气孔212用于在推板211复位时供尾气通过。

活动压缩装置206用于在分化管道205内压缩尾气并推动尾气通过尾气通槽206产生加速效果与换热板102表面发生冲击接触。

伸缩装置208带动滑动连接板209沿封闭管道204内壁滑动并通过连杆210同时带动多个推板211同步运动，推板211压缩分化管道205内部的尾气，并在尾气压缩到一定程度后，在气压的作用下尾气通槽206打开，尾气通过尾气通槽与换热板102表面发生冲击接触完成热量交换，避免了尾气中含有的杂质颗粒粘附在换热板102表面形成杂质层造成热交换效率下降导致尾气中热能大量浪费的问题。

当推板211在伸缩装置208的带动下复位时分化管道205内部气压小于尾气通槽206打开所需的气压，此时尾气通槽206关闭，分化管道205内部形成负压，此时换气孔212在负压的作用下打开供尾气通过使得分化管道205内重新填充尾气以进行下一次的压缩，保证了分化管道205内部尾气的持续填充，使得尾气压缩喷射过程持续进行，且在复位过程中在分化管道205内部填充尾气，提高了尾气的热量回收处理效率。

换气孔212包括设置在推板211内部的空腔213，空腔213的与推板211运动方向相垂直的两个内壁上均开设有与空腔213外部连通的通孔214，空腔213内部滑动连接有用于密封通孔214的密封板215，密封板215上远离封闭管道204的一侧和空腔213的内壁之间共同设置有压紧弹簧216，空腔213的内侧壁上沿推板211的运动方向设置有多个通气槽217。

换气孔212在使用时，当尾气通槽206关闭时分化管道205内部形成负压，在负压的作用下密封板215沿空腔213内壁滑动打开一侧的通孔214并压缩压紧弹簧216，封闭管道204内的尾气依次通过通孔214、通气槽217和通孔214进入分化管道205内，当分化管道205内被尾气填充满之后密封板215在气体压力和压紧弹簧216的作用下重新封闭通孔214，此时推板211可再一次的压缩尾气进行热量交换，保证了尾气热交换过程的持续进行，且避免了负压对推板211复位过程的干涉。

在本实施例中，压紧弹簧216始终处于压缩状态，即密封板215在压紧弹簧216的弹力作用下封闭通孔214，保证通孔214的密封性。

通气槽217内靠近封闭管道204的一侧设置有多个与气泵连通的气孔218，且多个气孔218喷射的气流分别朝向通气槽217的内壁。

通过设置的气孔218喷射气流，避免尾气中含有的颗粒杂质粘附在通气槽217内部产生堵塞阻碍尾气的通过，保证尾气始终舒畅通过通气槽217和通孔214进入分化管道205内部进行压缩。

推板211上远离封闭管道204的一侧沿中心线向外延伸设置有环形外延座219，环形外延座219的周侧设置有用于清扫分化管道205内壁的毛刷220。

通过设置的毛刷220，推板211在运动过程中带动环形外延座219同步运动使得毛刷220对分化管道205内壁进行清扫，避免分化管道205内壁表面粘附较多尾气中的杂质颗粒导致推板211的密封性受到影响造成尾气的压缩效果受到影响。

其次，环形外延座219上呈环形，避免了对尾气的通过产生干涉。

环形外延座219的周侧上位于毛刷220和推板211之间的位置滑动套接有环形滑动板221，环形滑动板221上靠近毛刷220的一侧设置有多个针状突起222，环形滑动板221上还设置有与密封板215连接的中间连接板223，且中间连接板223用于带动环形滑动板221与密封板215同步运动并通过针状突起222对毛刷220进行清理，密封板215密封通孔214时针状突起222与毛刷220不接触。

当密封板215解除对通孔214的密封时，密封板215通过中间连接板223带动环形滑动板221沿环形外延座219滑动，使得针状突起222对毛刷220上粘附的杂质颗粒进行清除，保证毛刷220对分化管道205内壁的清理效果。

通气保障结构203包括贯穿设置在分化管道205外壁上滑动槽224，每个滑动槽224内均滑动密封连接有滑动柱225，多个滑动柱225的端部共同连接有网板226，网板226的一侧设置有多个与分化管道205外壁连接并套设在滑动柱225上的复位弹簧227，网板226对应尾气通槽206设置有多个密封柱228，每个密封柱228上均设置有用于导引尾气流动方向的导引板229，且密封柱228在复位弹簧227未发生形变时密封尾气通槽206内部。

通气保障结构203在使用时，推板211压缩尾气使得分化管道205内部气体压力增大，滑动柱225和密封柱228在气体压力的作用下分别沿滑动槽224和尾气通槽206滑动，且密封柱228在气体压力的作用下与尾气通槽206脱离接触，滑动柱225与滑动槽224保持接触，且复位弹簧227在滑动柱225的作用下发生压缩，此时尾气可正常通过尾气通槽206与换热板102表面接触进行热量交换。

当分化管道205内部尾气排出后，滑动柱225和密封柱228在复位弹簧227和气体压力的作用下复位，且密封柱228在网板226的作用下保持运动轨迹不变以与尾气通槽206密封滑动连接或者脱离连接。

且滑动柱225在滑动槽224内的位置被限定，当滑动柱225复位时沿滑动槽224向分化管道205内运动有一个最大限度，避免滑动柱225的端部运动至分化管道205内部与推板211的运动发生干涉。

网板226用于对密封柱228起连接定位作用，且呈网格状结构避免对尾气与换热板102的接触产生阻碍。

导引板229用于对通过尾气通槽206的尾气的流向进行引导，由于尾气通过尾气通槽206时沿密封柱228的端部向周侧流动导致与换热板102表面的冲击效果降低，通过导引板229引导尾气的流向与换热板102表面接触，保证尾气对换热板102表面发生冲击接触。

密封柱228的端部设置有两个相互连接的斜面230，且两个斜面230的连接处位于密封柱228的端面平分处。

通过设置的斜面230，使得通过尾气通槽206的尾气沿斜面230流动，斜面230用于对尾气的流向进行引导，避免了尾气沿密封柱228端部周侧流动。

导引板229包括设置在密封柱228上的环形槽231，环形槽231内滑动套设有连接弹簧232，连接弹簧232连接有与环形槽231滑动套接的环形连接板233，环形连接板233上沿密封柱228的轴向设置有与分化管道205外壁相抵的承接板234，承接板234的周侧设置有弧形板235，承接板234上设置有供尾气通过的导引槽236。

当密封柱228位于尾气通槽206内部时，承接板234与分化管道205的外壁相抵，连接弹簧232发生形变，避免对密封柱228的运动产生干涉。

当密封柱228运动至尾气通槽206外时，环形连接板233在连接弹簧232的作用下沿环形槽231滑动使得承接板234始终与分化管道205的外壁保持接触，使得通过尾气通槽206的尾气直接通过导引槽236进入弧形板235内调整流向与换热板102表面接触，避免了尾气通过尾气通槽206后发生溢散而向密封柱228端部周侧流动导致降低对换热板102表面的冲击效果。

该系统的大致工作过程：尾气通入尾气通道201并依次经过封闭管道204、分化管道205分化成多股，伸缩装置208启动带动多个推板211在分化管道205内运动压缩尾气，在分化管道205内部尾气压力到达一定大小时，尾气推动滑动柱225和密封柱228沿滑动槽224和尾气通槽206运动打开尾气通槽206和滑动槽224，尾气在气压的作用下喷射至外部的换热机构1表面继续换热，通过尾气的持续喷射压力避免了尾气中含有的杂质颗粒粘附在换热板102表面形成杂质层造成热交换效率下降导致尾气中热能大量浪费的问题。

当分化管道205内的尾气排出之后，在复位弹簧227的弹力作用下密封柱228和滑动柱225重新密封滑动槽224和尾气通槽206，此时启动伸缩装置208反向运动带动推板211反向滑动，分化管道205内产生负压，在负压的作用下密封板215沿空腔213的内壁滑动打开通孔214，使得封闭管道204的尾气通过通孔214的一端并进入通气槽217内，然后再次经过通孔214进入分化管道205内，当伸缩装置208再次反向运动时，密封板215在分化管道205内部气体压力的作用下重新封闭通孔214，分化管道205内的尾气再次被压缩通过尾气通槽206和滑动槽224喷射至换热机构1表面进行换热，循环重复上述操作持续进行尾气的换热。

以上实施例仅为本申请的示例性实施例，不用于限制本申请，本申请的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本申请的实质和保护范围内，对本申请做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本申请的保护范围内。

Claims (6)

1.一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于，包括：

换热机构（1），用于与尾气接触进行热量交换收集热量；

尾气分化加速机构（2），设置在所述换热机构（1）之间，并用于将尾气分隔压缩加速喷射与所述换热机构（1）接触进行热量交换；

所述换热机构（1）包括集热结构（101）和换热板（102），所述换热板（102）设置有多个并等间距排列在所述集热结构（101）上，所述集热结构（101）用于对所述换热板（102）上与尾气接触交换的热量进行收集；

所述尾气分化加速机构（2）包括尾气管道（201）、分化压缩结构（202）和通气保障结构（203），所述尾气管道（201）设置在所述集热结构（101）上，所述分化压缩结构（202）设置在所述尾气管道（201）上并设置在相邻两个所述换热板（102）之间，所述通气保障结构（203）设置有多个并设置在所述分化压缩结构（202）上位于相邻换热板（102）之间的位置；

其中，所述分化压缩结构（202）用于分隔尾气并压缩加速与所述换热板（102）表面接触，且所述通气保障结构（203）用于对所述分化压缩结构（202）上尾气通过的路径进行疏通；

所述分化压缩结构（202）包括与所述尾气管道（201）连通的封闭管道（204），所述封闭管道（204）的端部沿直线等间距设置有多个位于相邻两个换热板（102）之间的分化管道（205），每个所述分化管道（205）的内侧壁上均设置有多个供尾气通过的尾气通槽（206），所述封闭管道（204）内设置有活动压缩装置（207）；

其中，所述通气保障结构（203）设置对应的所述分化管道（205）的外壁上，且所述活动压缩装置（207）分化压缩多个所述分化管道（205）内的尾气并通过所述尾气通槽（206）喷射至对应的所述换热板（102）的表面，所述尾气通槽（206）和所述通气保障结构（203）配合连接限制喷射出的尾气返回所述分化管道（205）并在一定气压下限制尾气通过所述尾气通槽（206）；

所述活动压缩装置（207）包括设置在所述封闭管道（204）内壁的伸缩装置（208）和滑动连接在所述封闭管道（204）内壁上并与所述伸缩装置（208）端部连接的滑动连接板（209），所述滑动连接板（209）上靠近所述分化管道（205）的一侧设置有多个连杆（210），每个所述连杆（210）的端部均设置有与所述分化管道（205）内壁滑动密封连接的推板（211），每个所述推板（211）上均设置有换气孔（212）；

其中，所述推板（211）用于压缩对应所述分化管道（205）内的尾气，且所述换气孔（212）用于在所述推板（211）复位时供尾气通过；

所述换气孔（212）包括设置在所述推板（211）内部的空腔（213），所述空腔（213）的与所述推板（211）运动方向相垂直的两个内壁上均开设有与所述空腔（213）外部连通的通孔（214），所述空腔（213）内部滑动连接有用于密封所述通孔（214）的密封板（215），所述密封板（215）上远离所述封闭管道（204）的一侧和所述空腔（213）的内壁之间共同设置有压紧弹簧（216），所述空腔（213）的内侧壁上沿所述推板（211）的运动方向设置有多个通气槽（217）；

所述通气保障结构（203）包括贯穿设置在所述分化管道（205）外壁上滑动槽（224），每个所述滑动槽（224）内均滑动密封连接有滑动柱（225），多个所述滑动柱（225）的端部共同连接有网板（226），所述网板（226）的一侧设置有多个与所述分化管道（205）外壁连接并套设在所述滑动柱（225）上的复位弹簧（227），所述网板（226）对应所述尾气通槽（206）设置有多个密封柱（228），每个所述密封柱（228）上均设置有用于导引尾气流动方向的导引板（229），且所述密封柱（228）在所述复位弹簧（227）未发生形变时密封所述尾气通槽（206）内部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于：所述通气槽（217）内靠近所述封闭管道（204）的一侧设置有多个与气泵连通的气孔（218），且多个所述气孔（218）喷射的气流分别朝向所述通气槽（217）的内壁。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于：所述推板（211）上远离所述封闭管道（204）的一侧沿中心线向外延伸设置有环形外延座（219），所述环形外延座（219）的周侧设置有用于清扫所述分化管道（205）内壁的毛刷（220）。

4.根据权利要求3所述的一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于：所述环形外延座（219）的周侧上位于所述毛刷（220）和所述推板（211）之间的位置滑动套接有环形滑动板（221），所述环形滑动板（221）上靠近所述毛刷（220）的一侧设置有多个针状突起（222），所述环形滑动板（221）上还设置有与所述密封板（215）连接的中间连接板（223），且所述中间连接板（223）用于带动所述环形滑动板（221）与所述密封板（215）同步运动并通过所述针状突起（222）对所述毛刷（220）进行清理，所述密封板（215）密封所述通孔（214）时所述针状突起（222）与所述毛刷（220）不接触。

5.根据权利要求4所述的一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于：所述密封柱（228）的端部设置有两个相互连接的斜面（230），且两个所述斜面（230）的连接处位于所述密封柱（228）的端面平分处。

6.根据权利要求5所述的一种半导体制造的尾气回收系统，其特征在于：所述导引板（229）包括设置在所述密封柱（228）上的环形槽（231），所述环形槽（231）内滑动套设有连接弹簧（232），所述连接弹簧（232）连接有与所述环形槽（231）滑动套接的环形连接板（233），所述环形连接板（233）上沿所述密封柱（228）的轴向设置有与所述分化管道（205）外壁相抵的承接板（234），所述承接板（234）的周侧设置有弧形板（235），所述承接板（234）上设置有供尾气通过的导引槽（236）。