CN114265077A - 用于自混合干涉法的激光传感器模块 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种激光传感器模块(150)。激光传感器模块包括：配置为发射调制激光的第一激光源(152)；配置为以第一调制驱动电流驱动第一激光源以使其发射调制激光的电路(159)；配置为检测调制激光的检测器(156)，调制激光感应出具有由对调制激光的调制引起的变化的光电流；和配置为发射调制光的第二激光源(154)。电路配置为用第二调制驱动电流驱动第二激光源以使其发射调制光。检测器配置为检测调制光，电路配置为调整第二调制驱动电流的幅度以感应出对光电流的贡献，该贡献补偿由第一激光源的激光感应出的光电流的变化。还描述了包括激光传感器模块的装置和用于补偿激光传感器模块的检测器检测到的光电流的变化的方法以及对应的计算机程序。

Description

用于自混合干涉法的激光传感器模块
技术领域
本发明涉及一种具有至少两个激光源的激光传感器模块。本发明还涉及一种装置、特别是涉及一种包括这种激光传感器模块的检测器装置或移动通信装置。本发明还涉及对应的方法和对应的计算机程序。
背景技术
基于激光二极管的激光装置对于光学传感应用很有吸引力。特别是VCSEL作为一种特定类型的激光二极管，其中，激光束发射垂直于晶片表面，VCSEL与集成光电二极管(VIP)相结合为甚至更具吸引力的构件，因为它们在一个封装中提供光源和检测器。使用基于带有集成光电二极管(VIP)的VCSEL的激光装置的光学传感应用是例如粒子感测、距离感测、速度感测等。基于VCSEL的激光装置由于低成本、低功耗、高灵敏度、小尺寸、自对准光路等是有利的。
用于所述感测目的的已知的技术是自混合干涉法，其中诸如光电二极管之类的检测器位于激光器后或者可以是激光器结构本身的一部分。在一般的自混合干涉系统中，在激光器前放置一个透镜，激光束击中一个例如需要确定其速度的物体，从物体反射的光在激光中发生干涉。这会导致检测器检测到的强度变化。
对于许多应用，需要调制激光电流，因为这会导致波长变化，然后将其用于改进距离和/或绝对速度的检测。
然而，使用调制的激光电流会导致一些缺点，因为由激光源发射并由检测器检测到的光的强度变化导致光电流的变化，与自混合干扰信号的幅度相比，光电流的变化很大。这可能会导致几个问题、例如前端电子器件中光电二极管信号的削波。这些问题可以通过提供特殊的电子器件来补偿光电流中的这些变化来解决，但这些设施是复杂的，实施起来并不容易，而且这些变化通常不能被显著减少。
因此，需要一种激光传感器模块，其能够高效地处理由发射光的大的强度变化引起的检测器中的问题。
发明内容
本发明的目的是防止激光传感器模块的检测器中的大的强度变化，同时仍然能够改变由激光源发射的测量光束的波长。
在本发明的第一方面提供了一种激光传感器模块，包括：
配置为能够发射调制激光的第一激光源，
电路，其配置为能够以第一调制驱动电流驱动所述第一激光源以使所述第一激光源发射调制激光，以及
检测器，其配置为能够检测所述调制激光，所述调制激光感应出光电流，所述光电流具有由对所述调制激光的调制引起的变化，
其中，所述激光传感器模块还包括：
配置为能够发射调制光的第二激光源，
其中，所述电路配置为能够以第二调制驱动电流驱动所述第二激光源，以使所述第二激光源发射调制光，并且所述检测器配置为能够检测所述调制光，
所述电路配置为能够调整第二调制驱动电流的幅度以感应出对光电流的贡献，所述贡献补偿由所述第一激光源的激光感应出的光电流的变化。
在本发明的另一方面，提出了一种包括激光传感器模块的装置。这种装置特别是包括所述激光传感器模块的检测器装置或移动通信装置。
在本发明的又一个方面，提供了一种对应的方法、一种计算机程序以及非暂时性计算机可读记录介质，所述计算机程序包括程序代码，所述计算机程序在激光传感器模块的处理器或装置的处理器上执行时，所述程序代码用于使激光传感器模块或装置执行本文公开的方法的步骤，在所述非暂时性计算机可读记录介质中存储计算机程序产品，当由处理器执行该计算机程序产品时，执行本文公开的方法。
本发明的优选实施例在从属权利要求中限定。应当理解，所要求保护的方法、计算机程序和介质与所要求保护的激光传感器模块具有相似和/或相同的优选实施例、特别是如从属权利要求中所限定和本文所公开的实施例。
本发明基于这样的想法：不仅使用一个激光源和配置用于检测由激光源发射的光的检测器，而且还使用第二激光源，其中，源自第一激光源的调制光的光电流变化通过由第二激光源发射的调制光感应出的对所述光电流的附加贡献来补偿，反之亦然。
出于所述目的，所述电路基于检测到的由第一激光源发射的调制激光，调整第二调制驱动电流(用于驱动第二激光源)的幅度以在检测器中感应出对光电流的贡献，所述贡献补偿了由第一激光源发射的调制激光引起的光电流的变化。
应当理解，以下描述是等效的，即调整第一调制驱动电流(用于驱动第一激光源)以感应出对光电流的贡献，以便补偿光电流的变化，该光电流是基于检测到的由第二激光源发射的调制光在检测器中感应出。
还需要说明的是，当第一激光源发射激光时、即第一激光源以激光模式操作时，第二激光源不一定必须以激光模式操作。这意味着第二激光源可以通过以激光模式操作来发射激光，或者通过以非激光模式操作来发射非相干、发散的光。稍后参考本发明的其它实施例进一步阐明所述方面。然而，应当注意到，对于本发明而言，至少一个激光源以激光模式操作以发射激光对于将本发明用于自混合干涉的目的是必不可少的。
还应当理解，本发明基于使用至少两个激光源，而两个激光源应被认为是所使用的最小可能数量的激光源。使用更多的激光源肯定是一个可行的选择。
在本说明书中，术语“激光源”包括一个发光元件或发光部件、例如VCSEL的台面。第一激光源和第二激光源(两个台面)可以布置在公共芯片上。例如，在VCSEL的情况下，公共芯片上的两个台面在本说明书中可以表示为两个VCSEL。激光源可以配置为发射700nm至1600nm的光谱范围内的辐射。因此，通常，激光源可以配置为发射红色或红外光谱范围内的电磁辐射，这使得能够将激光传感器模块用于各种应用并且特别利于距离和/或速度测量的应用。
优选地，所述电路可以配置为能够基于检测器所测量的光电流来确定第一调制驱动电流和第二调制驱动电流。因此，电路与检测器和激光源电连接以基于检测器的光电流来调整激光源的驱动电流。
根据一个实施例，所述电路可以配置为能够提供(第一激光源的)第一调制驱动电流和(第二激光源的)第二调制驱动电流，其中，两个驱动电流、即第一和第二调制驱动电流根据波形在预定时间段内变化。
因此，第一调制驱动电流和第二调制驱动电流可以调制为使得这些电流具有例如正弦或余弦波形的形状。
优选地，所述电路配置为能够以相对彼此反相的电流幅度驱动第一激光源和第二激光源。因此，第一调制驱动电流可由第一正弦波调制，第二调制驱动电流可由相对于第一正弦波偏移180°的第二正弦波调制。因此，第一激光源和第二激光源发射的光以及基于所述调制光的检测而感应出的光电流也相应地被调制。
这提供了第二光电流的变化补偿第一光电流的变化的技术效果，反之亦然。
除了通过三角函数调制电流幅度之外，还可以通过三角形激光电流调制来调制电流幅度。使用这种调制通过上述补偿能够消除检测器中感应出的三角形光电流。
第一激光源、第二激光源和检测器可以布置在公共芯片上。在检测器是光电二极管并且激光源是激光二极管、例如VCSEL的情况下，光电二极管也可以集成在至少一个激光二极管中、优选地集成在两个激光二极管中。根据所述配置，光电二极管可以布置在至少一个激光二极管的光学谐振器之外，或者光电二极管可以布置在至少一个激光二极管的光学谐振器之内。如果光电二极管集成在激光二极管中，无论是在激光二极管的光学谐振器之内还是之外，本发明都是特别有利的。
根据一个实施例，第一驱动电流的幅度和第二驱动电流的幅度的变化在0.05mA至0.5mA的范围内。该范围通常允许适当的波长变化以检测物体的距离和/或速度。除此之外，这些变化不会太大，并且可以在检测到的光电流中被高效地补偿。
优选地，第一激光源和第二激光源被以幅度在0.05mA至2mA范围内的驱动电流操作。因此，可以选择例如以1.5mA的第一直流驱动电流幅度和约0.2mA的交流幅度变化来操作第一激光二极管，从而在1.4mA至1.6mA的范围内操作第一激光源。该范围通常高于所用典型VCSEL的阈值操作电流幅度。因此，可以以激光模式操作所述第一激光源以发射激光。然后可以以例如大约0.3mA的第二直流驱动电流幅度和大约0.4mA的交流幅度变化来操作第二激光二极管以在0.1mA至0.5mA的范围内操作第二激光源，这个范围通常是低于所用典型VCSEL的阈值操作电流幅度。
这些值仅是示例性的，但优选地，第一驱动电流的幅度的变化与第二驱动电流的幅度的变化基本相同。如果幅度的变化差异很大，则不能高效地实现对光电流变化的补偿作用。如果第一激光源和第二激光源中的一个以低于阈值的驱动电流操作，则优选地对第一激光源和第二激光源使用不同的直流驱动电流幅度，因为低于所述阈值的光电二极管电流的斜率显著低于高于所述阈值的光电二极管电流的斜率。
通常，电路还可以配置为能够不同地改变由第一激光源和第二激光源发射的光的强度和/或波长以获得两个激光源的不同发射波长和不同输出功率。
如上所述，对于自混合干涉法来说重要的是至少一个激光源以激光模式操作。如果只有一个激光源以激光模式操作，则所提出的补偿光电流的大的变化的概念也有效。因此，根据一个实施例，该电路可以配置为以大于所述第一激光源的阈值操作电流幅度的第一驱动电流幅度驱动第一激光源，以小于所述第二激光源的阈值操作电流幅度的第二激光电流幅度驱动第二激光源。然而，即使这种配置是一个可行的选择，但对于许多应用来说，则更希望两个激光电流幅度都大于相应激光二极管的相应阈值操作电流幅度，以在具有相干的窄光束光发射的激光模式下操作两个激光源。例如，这将通过以1.5mA的直流电流幅度和0.2mA的交流幅度变化来驱动两个激光源来完成。两个激光源上的调制信号将反相以实现补偿。
应当理解，本发明的优选实施例还可以是从属权利要求与相应独立权利要求的任意组合。
其它有利实施例限定如下。
附图说明
参考下文描述的实施例，本发明的这些和其他方面将变得显而易见并被阐明。在附图中：
图1示出了根据本发明的包括两个激光二极管以及集成光电二极管的激光传感器模块的一个实施例的示意性横截面；
图2示出了根据本发明的形成在芯片上的激光传感器模块的俯视图；
图3示出了图2的两个激光二极管与光电二极管的连接的连接方案；
图4是示出了典型的光电二极管电流和激光输出功率与激光二极管电流的关系的图；
图5是示出了对由彼此反相的调制驱动电流操作的两个激光源的输出功率进行调制的图；
图6示出了用于补偿如图1-图3所示的激光传感器模块的检测器的光电流变化的方法的流程图；
图7是在根据本发明的激光传感器模块前使用透镜测量物体倾斜量的配置的示意图；以及
图8示出了利用图7所示的配置来测量物体宽度的示意图。
具体实施方式
图1示出了根据本发明的包括两个激光二极管152、154以及集成光电二极管156的激光传感器模块150的一个实施例的示意性横截面。
在下文中，本发明的检测器被称为“光电二极管”，本发明的激光源被称为“激光二极管”。
激光传感器模块150包括第一激光二极管152和第二激光二极管154。这些激光二极管152、154可以分别配置为垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。VCSEL可以具有本领域已知的台面结构53a、53b。VCSEL可以配置为具有公共光学谐振腔54，该公共光学谐振腔54包括下分布式布拉格反射器(DBR)56和上DBR 58a、58b。反射器56和58a、58b形成第一激光二极管152和第二激光二极管154的相应的光学谐振腔54。根据图1中所示的实施例，下分布式布拉格反射器56由第一激光二极管152和第二激光二极管154共享。激光活性量子阱层57a、57b和电流限制层59a、59b可以如本领域已知地布置在下DBR与上DBR之间。
激光传感器模块150还包括光电二极管156。在该实施例中，光电二极管156集成在激光二极管152、154的光学谐振腔54中。在本实施例中，光电二极管156集成在激光二极管的下DBR中，该激光二极管还包括上DBR 58a、58b和在DBR之间具有量子阱的激光活性介质。将光电二极管156集成到下DBR 56中可以如下完成。下DBR 56可以由三个区域组成：从在激光活性介质下方的n掺杂层开始，变化到p掺杂层，之后是放置在驻波型式的波腹周围的光电二极管156的本征吸收层，以便获得激光二极管152、154的受激发射与自发发射的最大响应能力和最大对比。光电二极管156的p-i-n结构由另外的n掺杂层完成。n掺杂DBR中央部分中的谐振腔内接触部68a、68b均用作VCSEL阴极和光电二极管阳极。根据所示的实施例，第一谐振腔内接触部68a被实施用于第一激光二极管152，第二谐振腔内接触部68b被实施用于第二激光二极管154。
应当注意，图1中所示的实施例仅是示例性的。特别地，可以修改激光传感器模块150、例如通过将光电二极管156在下DBR与基板52之间集成到激光二极管152、154中以形成光电二极管，该光电二极管位于光学谐振腔54之外。与这种具有外部光电检测器的激光二极管不同，图1所示的具有内部光电检测器的实施例不仅对由激光二极管发射的辐射的受激发射(激光)敏感，而且对由激光二极管发射的辐射的自发发射(LED光)敏感。由于以激光模式操作一个激光二极管而以非激光模式操作另一个激光二极管是本发明的可行选择，因此如图1所示的具有内部光电检测器的激光传感器模块150的实施例可能是有利的。
除了图1所示的激光传感器模块150的构件之外，激光传感器模块150还包括电路，该电路未在图1中示出而在下文参考图2和图3进行解释。
图2示出了根据本发明的形成在芯片上的激光传感器模块150的俯视图，图3示出了图2的两个激光二极管与光电二极管之间的连接的连接方案。激光传感器模块150可以与图1中所示的相同。
激光传感器模块150包括分别配置为VCSEL的两个激光二极管152、154。每个VCSEL具有已经参考图1描述的台面结构。因此，激光传感器模块150也可以表示为具有两个台面的激光装置。VCSEL 152、154布置在公共芯片170上。激光传感器模块150还包括单个光电二极管156和电接触部158，该电接触部158仅在图2中可见。单个光电二极管156可以集成到两个激光二极管152、154中，在谐振腔外或者在谐振腔内。光电二极管156分别单独地从两个激光二极管152、154接收辐射。
图3示出了两个激光二极管152、154与光电二极管156之间的电连接的连接方案。除了这些构件之外，激光传感器模块150还包括电路159。电路159配置为能够控制激光二极管152、154和光电二极管156，并针对激光二极管152、154中的多个激光二极管驱动电流测量光电二极管156中的光电二极管电流。VPD表示光电二极管阴极160与接触部162之间的光电二极管电压，接触部162与激光二极管152、154的阴极处于相同的电位。此外，接触部162与用于接触光电二极管156的阳极层的附加正向偏压二极管157的阴极处于相同的电位。IPD表示可由电路159根据由激光二极管152、154发射并由光电二极管156接收的辐射测量的光电二极管电流。应理解，多于两个的激光二极管可以集成在激光传感器模块150中。
电路159可以配置为通过使用所测量的公共光电二极管156的光电二极管电流来单独和/或交替地设置和确定每个激光二极管152、154的驱动电流。根据本发明的原理，电路159配置为能够以第一调制驱动电流驱动第一激光二极管152，以使第一激光二极管152发射调制激光。光电二极管156配置为能够检测所述调制激光，所述调制激光感应出具有由所述调制激光的调制引起的变化的光电流。此外，电路159配置为能够以第二调制驱动电流驱动第二激光二极管154，以使所述第二激光二极管154发射也被光电二极管156检测的调制光。第二激光二极管154的这种调制光会贡献于光电流。根据本发明的原理，电路159调整第二调制驱动电流的幅度以通过第二激光二极管154的调制光感应出对光电流的这种贡献，所述贡献可补偿由第一激光二极管152发射的调制激光引起的光电流的变化。因此，源自第一激光二极管152的光电流变化被源自第二激光二极管154的光电流变化补偿。
图4是示出了典型的光电二极管电流和激光输出功率与激光二极管电流的关系的图。可以清楚地看到，较大的激光二极管驱动电流导致发射光的输出功率较大，这会在光电二极管中感应出较大的光电流。对激光二极管的驱动电流的调制直接导致对发射光的输出功率的调制，这会在光电二极管中感应出具有变化的光电流。
在激光二极管的三角形激光调制的情况下(也如图5所示)，激光电流可以例如从2.2mA减小到2.0mA，如图4中的调制电流箭头所示。这导致不期望的例如0.1mA的光电流减小。为了补偿这种光电流变化，如图4中补偿电流箭头所示，可以将增加的激光驱动电流、例如从0.1mA增加到0.5mA用于另一个激光二极管。这导致了0.1mA的光电流增大，从而消除不期望的光电流变化。因为第二激光二极管仍然在阈值以下操作，所以这几乎不会影响第二激光源的附加激光输出功率。
图5是示出了对由相对彼此反相的调制驱动电流操作的两个激光源的输出功率进行调制的图。示例性地，第一激光二极管和第二激光二极管以三角形激光电流调制驱动。正如上面已经参考图4所解释的，这导致激光二极管的发射光的输出功率的三角形调制。由于第一激光二极管和第二激光二极管的输出功率值相对彼此反相，因此在检测器中感应出不包括任何变化的总光电流。
图6示出了用于补偿以上参看图1-图3所描述的激光传感器模块150的检测器156的光电流变化的方法100的流程图。
在步骤102中，以第一调制驱动电流驱动第一激光源152，以使所述第一激光源152发射调制激光。在步骤104中，所述调制激光由检测器156检测并且感应出光电流，该光电流具有由对所述调制激光的调制引起的变化。在步骤106中，以第二调制驱动电流驱动第二激光源154，以使所述第二激光源154发射调制光。在步骤108中，由检测器156检测由第二激光源154发射的所述调制光，其中，调整第二调制驱动电流的幅度以感应出对光电流的贡献，该贡献补偿由第一激光源152发射的激光引起的光电流的变化。因此，优选地获得没有任何变化的光电流、即仅具有直流分量而没有交流分量的电流。应当理解，图6所示的步骤的顺序仅是示例性的，所有这些步骤应被视为等效的。
图7示出了在根据本发明的激光传感器模块150之前使用透镜190来测量物体200a的倾斜量201的配置的示意图。该配置示例性地示出了一种需要调制激光电流的SMI应用，因为使用直流激光电流不能测量物体的绝对速度和/或距离。
激光传感器模块150同样包括具有集成的光电二极管(VIP)的VCSEL，并且通过将透镜190放置在激光传感器模块150之前，使得第一激光源152发射的光的方向相对于第二激光源154发射的光倾斜。应当理解，透镜190也可以直接附接到第一激光源152和第二激光源154中的至少一个，以使第一激光源152发射的光的方向相对于由第二激光源154发射的激光倾斜。这可以通过本领域已知的任何合适的技术、例如光刻来实现。为了测量如图7所示的物体200a的倾斜量201，激光源152、154都以激光模式操作。因此，激光传感器模块150的第一激光源152和第二激光源154均以大于第一激光源152和第二激光源154的相应的操作阈值的调制驱动电流驱动。
两个激光束都照射到物体200a上，并且从物体200a反射的光在激光中干涉，导致产生自混合干涉(SMI)信号，该自混合干涉(SMI)信号然后由激光传感器模块150的检测器156检测。可以使用跨阻放大器(TIA)检测小SMI信号。这种TIA的典型电阻值约为1MΩ。通常需要附接的电路来消除如图5所示的三角形调制型式，但由于上面参照图6描述的消除方法，不需要附加的电路。可以导出从第一激光源152和第二激光源154到物体200a的距离，并且可以通过比较距离来测量物体200a的倾斜量201。
如果对于距离测量还需要增大的检测范围，则有利地为第一激光源152和第二激光源154附加地使用两种不同的孔径尺寸(未示出)。因此，可以调整dλ/dI参数(也称为斜率效率)，其中，λ是一个激光源的发射光的相应波长，I是发射光的强度。通过调整该参数，对于第一激光源152和第二激光源154的检测到的多普勒频率不同。这些不同的多普勒频率都可以被激光传感器模块150的检测器156检测。由于多普勒频率的不同，一个激光源可以用于附近的物体，而另一个激光源可以用于较远的物体。
图8示出了利用图7所示的配置来测量物体200b的宽度202的示意图。在这种情况下，激光传感器模块用于例如在生产线中检查物体200b的宽度202是否具有期望的尺寸。该配置示例性地示出了另一个需要调制激光电流的SMI应用。激光传感器模块可以与图7所示的相同。第一激光源152和第二激光源154发射激光。物体可以沿着至少一个方向移动到多个不同的位置。根据物体200b的位置，由第一激光源152和/或第二激光源154发射的两个激光束或仅一个激光束或没有激光束照射到物体200a上。从物体200b反射的光同样在激光中干涉，导致产生自混合干涉(SMI)信号，该自混合干涉(SMI)信号然后由激光传感器模块150的检测器156检测。因为根据物体200b的位置，两个激光束、一个激光束或没有激光束被反射，所以在各种不同位置测量允许评估物体200b的宽度202。
虽然已经在附图和前面的描述中详细示出和描述了本发明，但是这样的图示和描述被认为是说明性的或示例性的而不是限制性的；本发明不限于所公开的实施例。通过研究附图、公开内容和所附权利要求，本领域技术人员在实践要求保护的发明时可以理解和实施对所公开的实施例的其它变化。
在权利要求中，词语“包括”不排除其它要素或步骤，并且不定冠词“一个”不排除多个。单个元件或其它单元可以实现权利要求中记载的多个条目的功能。仅在相互不同的从属权利要求中记载某些措施的事实并不表示这些措施的组合不能被有利地使用。
计算机程序可以存储/分布在合适的非暂时性介质上、例如与其它硬件一起提供或作为其它硬件的一部分提供的光存储介质或固态介质，但也可以以其它形式、例如通过互联网或其它有线或无线电信系统分布。
权利要求中的任何附图标记不应被解释为限制范围。

Claims (15)

1.一种激光传感器模块(150)，包括：
配置为能够发射调制激光的第一激光源(152)，
电路(159)，其配置为能够以第一调制驱动电流驱动所述第一激光源(152)以使所述第一激光源(152)发射调制激光，以及
检测器(156)，其配置为能够检测所述调制激光，所述调制激光感应出光电流，所述光电流具有由对所述调制激光的调制引起的变化，
其中，所述激光传感器模块(150)还包括：
配置为能够发射调制光的第二激光源(154)，
所述电路(159)配置为能够以第二调制驱动电流驱动所述第二激光源(154)，以使所述第二激光源(154)发射调制光，并且所述检测器(156)配置为能够检测所述调制光，
所述电路(159)配置为能够调整第二调制驱动电流的幅度以感应出对光电流的贡献，所述贡献补偿由所述第一激光源(152)的激光感应出的光电流的变化。
2.根据权利要求1所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够基于所测量的检测器(156)的光电流确定第一调制驱动电流和第二调制驱动电流。
3.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够提供第一调制驱动电流和第二调制驱动电流，所述第一调制驱动电流和第二调制驱动电流都根据波形在预定时间段上变化。
4.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够以相对彼此反相的电流幅度驱动所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)。
5.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够以三角形激光电流调制驱动所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)。
6.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述第一激光源(152)、所述第二激光源(154)和所述检测器(156)布置在公共芯片(170)上；或者所述检测器(156)是光电二极管，激光源(152、154)是激光二极管，所述光电二极管集成在至少一个激光二极管中并布置在所述至少一个激光二极管的光学谐振器(54)外；或者所述光电二极管集成在至少一个激光二极管中并布置在至少一个激光二极管的光学谐振器(54)之内。
7.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，第一驱动电流的幅度和第二驱动电流的幅度的变化在0.05mA至0.5mA的范围内。
8.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够不同地改变由所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)发射的光的强度和/或波长。
9.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为：
能够以大于所述第一激光源(152)的阈值操作电流幅度的第一驱动电流幅度驱动所述第一激光源(152)，以便以激光模式操作所述第一激光源(152)，以及
能够以小于所述第二激光源(154)的阈值操作电流幅度的第二激光电流幅度驱动所述第二激光源(154)，以便非激光模式操作所述第二激光源(154)。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的激光传感器模块(150)，
其中，所述电路(159)配置为能够以分别大于所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)的相应的阈值操作电流幅度的第一激光电流幅度和第二激光电流幅度驱动所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)，以使所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)以激光模式操作。
11.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)，其中，所述激光传感器模块(150)还具有：
用于所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)的不同孔径尺寸，以针对两个激光源不同地调制发射激光的波长相对于发射激光强度的变化，其中，所述检测器(156)配置为能够检测由所述第一激光源(152)发射的调制激光和由所述第二激光源(154)发射的调制激光，以检测不同孔径引起的不同的多普勒频率。
12.根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块，其中，所述激光传感器模块(150)还包括：
透镜(190)，其附接到所述第一激光源(152)和所述第二激光源(154)中的至少一个，以使由所述第一激光源(152)发射的激光的方向相对于由所述第二激光源(154)发射的激光倾斜，以产生空间分离的光束，用于测量物体(200)的倾斜量(201)和/或物体(200)的宽度(202)。
13.一种包括根据前述权利要求中任一项所述的激光传感器模块(150)的装置。
14.一种用于补偿激光传感器模块(150)的检测器(156)的光电流变化的方法(100)，包括以下步骤：
以第一调制驱动电流驱动第一激光源(152)，以使所述第一激光源(152)发射调制激光，
通过检测器(156)检测所述调制激光，所述调制激光感应出光电流，所述光电流具有由对所述调制激光的调制引起的变化，
以第二调制驱动电流驱动第二激光源(154)，以使所述第二激光源(154)发射调制光，
通过所述检测器(156)检测所述调制光，
其中，第二调制驱动电流的幅度被调整以感应出对光电流的贡献，所述贡献补偿由所述第一激光源(152)的激光感应出的光电流的变化。
15.一种包括程序代码的计算机程序，其中，当所述计算机程序在根据权利要求1至12中任一项所述的激光传感器模块的处理器或根据权利要求13所述的装置的处理器上执行时，所述程序代码用于使所述激光传感器模块或所述装置执行根据权利要求14所述的方法的步骤。
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