CN114262660A - 一种基因测序面板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基因测序面板及其制作方法，涉及基因测序技术领域，基因测序面板包括：衬底；第一绝缘层，位于所述衬底的一侧，设置有用于容纳核酸链的第一凹槽；第一电极对，位于所述第一绝缘层远离所述衬底一侧，包括第一驱动电极和第一检测电极；所述第一驱动电极和所述第一检测电极在所述衬底的垂直投影分别位于所述第一凹槽在所述衬底垂直投影的两侧。本发明提供一种基因测序面板及其制作方法，以实现为核酸链提供存储空间，对核酸链重复测试。
Description
技术领域
本发明涉及基因测序技术领域，尤其涉及一种基因测序面板及其制作方法。
背景技术
脱氧核糖核酸(DNA)测序技术是现代牛命科学研究的核心技术之一。为实现千美元人类基因组(TDG)、百美元人类基因组(HDG)目标，推进个体化疾病诊断与治疔，迫切需要一种低成本、高通量的直接测序方法。基于纳米孔的单分子测序被认为是最有希单实现十述目标的关键技术。
纳米孔测序技术是通过单链核酸分子通过纳米孔，由于物理占位效应产生相应的阻塞电流，对产生的信号进行读取来分析核苷酸信息的基因测序技术。
发明内容
本发明提供一种基因测序面板及其制作方法，以实现为核酸链提供存储空间，对核酸链重复测试。
第一方面，本发明实施例提供一种基因测序面板，包括：
衬底；
第一绝缘层，位于所述衬底的一侧，设置有用于容纳核酸链的第一凹槽；
第一电极对，位于所述第一绝缘层远离所述衬底一侧，包括第一驱动电极和第一检测电极；所述第一驱动电极和所述第一检测电极在所述衬底的垂直投影分别位于所述第一凹槽在所述衬底垂直投影的两侧。
第二方面，本发明实施例提供一种基因测序面板的制作方法，包括：
在衬底的一侧形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层远离所述衬底的一侧形成第一电极层；
刻蚀所述第一电极层形成第一电极对；所述第一电极对包括第一驱动电极和第一检测电极；
刻蚀所述第一绝缘层对应于所述第一驱动电极与所述第一检测电极之间的区域形成第一凹槽。
本发明实施例提供一种基因测序面板，在第一电极对与衬底之间设置第一绝缘层，并在第一绝缘层中设置有用于容纳核酸链的第一凹槽。核酸链通过第一纳米孔后，可以被第一凹槽所存储。在测序完成后，可以使第一凹槽中存储的核酸链反向运动，从而对核酸链重复测试。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种基因测序面板的剖视结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图3为沿图2中AA’方向的剖面结构示意图；
图4为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图；
图5为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图6为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图7为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图8为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图9为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图；
图10为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图；
图11为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图；
图12为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图13为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图；
图14为沿图13中BB’方向的剖面结构示意图；
图15为本发明实施例提供的一种基因测序面板的制作方法流程图；
图16为本发明实施例提供的一种基因测序面板的制作过程示意图；
图17为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作方法流程图；
图18为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作过程示意图；
图19为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作方法流程图；
图20为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作过程示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。
图1为本发明实施例提供的一种基因测序面板的剖视结构示意图，参考图1，基因测序面板包括衬底10、第一绝缘层21和第一电极对41。第一绝缘层21位于衬底10的一侧，第一绝缘层21设置有用于容纳核酸链的第一凹槽31。第一电极对41位于第一绝缘层21远离衬底10一侧，第一电极对41包括第一驱动电极411和第一检测电极412。第一驱动电极411和第一检测电极412相邻并间隔一间隙(记为第一纳米孔H1)。第一驱动电极411和第一检测电极412在衬底10的垂直投影分别位于第一凹槽31在衬底10垂直投影的两侧。
当没有核酸链通过第一纳米孔H1时，第一驱动电极411和第一检测电极412无法导通电连接。当存在核酸链通过第一纳米孔H1时，第一驱动电极411和第一检测电极412可以导通电连接，且第一驱动电极411和第一检测电极412之间的连接电阻与核酸链上的核苷酸类型相关。故而，在第一驱动电极411上施加驱动信号，并根据第一检测电极412上接收到的检测信号强度，可以实现对通过第一纳米孔H1的核苷酸类型的判定，继而实现基因测序。
本发明实施例提供一种基因测序面板，在第一电极对41与衬底10之间设置第一绝缘层21，并在第一绝缘层21中设置有用于容纳核酸链的第一凹槽31。核酸链通过第一纳米孔H1后，可以被第一凹槽31所存储。在测序完成后，可以使第一凹槽31中存储的核酸链反向运动，从而对核酸链重复测试。
可选地，第一绝缘层21包括有机绝缘层。相对于无机绝缘层的制程工艺而言，有机绝缘层的制程工艺所形成的膜层厚度更大，有利于增大第一凹槽31的体积，增加核酸链的存储空间。
在一实施方式中，有机绝缘层包括聚酰亚胺和/或树脂。
在其他实施方式中，第一绝缘层21可以包括多层有机绝缘层，或者，第一绝缘层21可以包括至少一层有机绝缘层和至少一层无机绝缘层。
可选地，垂直于衬底10的方向，有机绝缘层的厚度D1大于或者等于1μm且小于或者等于3μm。
第一纳米孔H1的孔径需要根据第一凹槽31的孔径进行设定。在通常的情况下，第一纳米孔H1的孔径可以等于第一凹槽31的孔径。在另一些情况下，第一纳米孔H1的孔径可以大于第一凹槽31的孔径。
可选地，第一凹槽31的孔径D2大于或者等于2nm且小于或者等于10nm。本发明对于第一凹槽31的形状不做限定。其中，第一凹槽31的孔径D2，指的是，第一凹槽31在衬底10的垂直投影所形成的图形中，任意两点的最远距离。例如，第一凹槽31在衬底10垂直投影为圆形，第一凹槽31的孔径D2指的是圆形的直径。再如，第一凹槽31在衬底10垂直投影为正方形，第一凹槽31的孔径D2指的是正方形的对角线。
图2为本发明实施例提供的一种基因测序面板的俯视结构示意图，图3为沿图2中AA’方向的剖面结构示意图，参考图2和图3，基因测序面板还包括第一驱动电极线51和第一检测电极线52。第一驱动电极线51与第一驱动电极411电连接。通过第一驱动电极线51为第一驱动电极411施加驱动信号。第一检测电极线52与第一检测电极412电连接。通过第一检测电极线52导出第一检测电极412上接收到的检测信号。
基因测序面板可以包括多个行列排布第一电极对41，以实现对大量核酸链的检测。在一实施方式中，可以采用主动式的布线方式，一行(或者一列)中的第一电极对41共用同一条电极线。在另一实施方式中，可以采用被动式的布线方式，为每一个第一电极对41单独设置一条驱动电极线(或者检测电极线)。
参考图2和图3，多个第一电极对41沿第一方向和第二方向阵列排布，第一方向与第二方向交叉。第一方向与第二方向可以垂直，或者第一方向与第二方向可以呈大于0°且小于90°的夹角。沿第一方向排列的一行第一检测电极412与同一条第一检测电极线52电连接。沿第二方向排列的一列第一驱动电极411与同一条第一驱动电极线51电连接。
示例性地，参考图2和图3，将两条第一驱动电极线51分别记为第一子驱动电极线511和第二子驱动电极线512。将两条第一检测电极线52分别记为第一子检测电极线521和第二子检测电极线522。为第一子驱动电极线511提供驱动信号时，可以通过第一子检测电极线521和第二子检测电极线522分别检测两个第一纳米孔H1中通过的核酸链。为第二子驱动电极线512提供驱动信号时，可以通过第一子检测电极线521和第二子检测电极线522分别检测另外两个第一纳米孔H1中通过的核酸链。
可选地，参考图3，第一绝缘层21位于第一检测电极线52与第一驱动电极线51之间。第一绝缘层21作为间隔层，将第一检测电极线52与第一驱动电极线51间隔开，防止第一检测电极线52与第一驱动电极线51未经过第一纳米孔H1而直接电连接，即防止第一检测电极线52与第一驱动电极线51短路。
示例性地，参考图2和图3，第一驱动电极线51位于衬底10与第一检测电极线52之间。第一检测电极线52、第一检测电极412和第一驱动电极411同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第一检测电极线52、第一检测电极412和第一驱动电极411，节省了工艺制程。第一驱动电极线51与第一驱动电极411分别位于第一绝缘层21的两侧，通过贯穿第一绝缘层21的过孔电连接。
图4为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图，参考图4，第一检测电极线52位于衬底10与第一驱动电极线51之间。第一驱动电极线51、第一检测电极412和第一驱动电极411同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第一驱动电极线51、第一检测电极412和第一驱动电极411，节省了工艺制程。第一检测电极线52与第一检测电极412分别位于第一绝缘层21的两侧，通过贯穿第一绝缘层21的过孔电连接。
图5为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，参考图5，基因测序面板还包括多路选择电路，多路选择电路包括多个晶体管。以两个晶体管进行示例。该两个晶体管分别记为第一晶体管M1和第二晶体管M2。第一晶体管M1的栅极与第一选择端SW1电连接，第一晶体管M1的第一极与第一子驱动电极线511电连接，第一晶体管M1的第二极与第一驱动信号端VDD1电连接。第二晶体管M2的栅极与第二选择端SW2电连接，第二晶体管M2的第一极与第二子驱动电极线512电连接，第二晶体管M2的第二极与第一驱动信号端VDD1电连接。在第一选择端SW1将第一晶体管M1导通，第二选择端SW2将第二晶体管M2截止时，第一驱动信号端VDD1输入的驱动信号被施加到第一子驱动电极线511上。在第一选择端SW1将第一晶体管M1截止，第二选择端SW2将第二晶体管M2导通时，第一驱动信号端VDD1输入的驱动信号被施加到第二子驱动电极线512上。由此，第一子驱动电极线511和第二子驱动电极线512共用第一驱动信号端VDD1。需要说明的是，在其他实施方式中，还可以至少三条第一驱动电极线51共用同一个第一驱动信号端VDD1。
类似的，在一实施方式中，还可以将多条第一检测电极线52电连接至多路选择电路，至少两条第一检测电极线52共用同一个第一检测信号端。
可以理解的是，第一驱动电极411和第一检测电极412的形状可以根据需要设定，只要第一驱动电极411和第一检测电极412之间间隔第一纳米孔H1即可。
示例性地，参考图5，第一驱动电极411呈直线状，并沿第一方向延伸。第一检测电极412呈L型，包括沿第一方向延伸的线段和沿第二方向延伸的线段。
图6为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，参考图6，第一驱动电极411呈直线状，并沿第一方向延伸。第一检测电极412呈直线状，并沿第二方向延伸。
图7为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，参考图7，第一驱动电极411和第一检测电极412均呈直线状，且第一驱动电极411和第一检测电极412在同一条直线上，第一驱动电极411以及第一检测电极412的延伸方向与第一方向交叉，第一驱动电极411以及第一检测电极412的延伸方向与第二方向交叉。
图8为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，参考图8，多个第一电极对41对沿第一方向和第二方向阵列排布，第一方向与第二方向交叉。第一检测电极线52与一个第一检测电极412电连接。第一驱动电极线51与一个第一驱动电极411电连接。也就是说，为每一个第一检测电极412设置一条单独的第一检测电极线52，同一行中任意两个第一检测电极412不共用第一检测电极线52。为每一个第一驱动电极411设置一条单独的第一驱动电极线51，同一列中任意两个第一驱动电极411不共用第一驱动电极线51。
图9为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图，参考图9，基因测序面板还包括第二绝缘层22。第二绝缘层22位于第一绝缘层21与第一电极对41之间，第二绝缘层22设置有与第一凹槽31连通的第二凹槽32。第二绝缘层22位于第一检测电极线52与第一驱动电极线51之间。第二绝缘层22作为间隔层，将第一检测电极线52与第一驱动电极线51间隔开，防止第一检测电极线52与第一驱动电极线51未经过第一纳米孔H1而直接电连接，即防止第一检测电极线52与第一驱动电极线51短路。另一方面，本发明实施例设置第一绝缘层21和第二绝缘层22，第一绝缘层21设置有第一凹槽31，第二绝缘层22设置有第二凹槽32，第一凹槽31和第二凹槽32可以共同作为容纳核酸链的空间，从而增加了核酸链的存储空间。
示例性地，参考图9，第一驱动电极线51位于第一绝缘层21与第二绝缘层22之间。第一检测电极线52、第一检测电极412和第一驱动电极411同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第一检测电极线52、第一检测电极412和第一驱动电极411，节省了工艺制程。第一驱动电极线51与第一驱动电极411分别位于第二绝缘层22的两侧，通过贯穿第二绝缘层22的过孔电连接。
图10为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图，参考图10，第一检测电极线52位于第一绝缘层21与第二绝缘层22之间。第一驱动电极线51、第一检测电极412和第一驱动电极411同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第一驱动电极线51、第一检测电极412和第一驱动电极411，节省了工艺制程。第一检测电极线52与第一检测电极412分别位于第二绝缘层22的两侧，通过贯穿第二绝缘层22的过孔电连接。
图11为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的剖视结构示意图，参考图11，第一检测电极线52位于第一绝缘层21与衬底10之间。第一驱动电极线51、第一检测电极412和第一驱动电极411同层。第一检测电极线52与第一检测电极412通过贯穿第一绝缘层21和第二绝缘层22的过孔电连接。
在其他实施方式中，第一驱动电极线51位于第一绝缘层21与衬底10之间。第一驱动电极线51与第一驱动电极411通过贯穿第一绝缘层21和第二绝缘层22的过孔电连接。
图12为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，参考图10，基因测序面板还包括检测设备60。检测设备60与多条第一检测电极线52电连接，检测设备60通过逐行扫描第一检测电极线52的方式进行检测。
示例性地，为第一子驱动电极线511提供驱动信号时，检测设备60首先扫描第一子检测电极线521，通过第一子检测电极线521检测第一个第一纳米孔H1中通过的核酸链。然后扫描第二子检测电极线522，通过第二子检测电极线522检测第二个第一纳米孔H1中通过的核酸链。
图13为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的俯视结构示意图，图14为沿图13中BB’方向的剖面结构示意图，参考图13和图14，基因测序面板还包括第三绝缘层23和第二电极对42。第三绝缘层23位于第一电极对41远离衬底10一侧，第三绝缘层23设置有与第一凹槽31连通的第三凹槽33。第二电极对42位于第三绝缘层23远离衬底10一侧，第二电极对42包括第二驱动电极421和第二检测电极422。第二驱动电极421和第二检测电极422相邻并间隔一间隙(记为第二纳米孔H2)。第二驱动电极421和第二检测电极422在衬底10的垂直投影分别位于第三凹槽33在衬底10垂直投影的两侧。
核酸链可以依次通过第二纳米孔H2和第一纳米孔H1。当存在核酸链通过第二纳米孔H2时，第二驱动电极421和第二检测电极422可以导通电连接，且第二驱动电极421和第二检测电极422之间的连接电阻与核酸链上的核苷酸类型相关。该同一条核酸链在通过第二纳米孔H2的同时或者之后，还可以通过第一纳米孔H1，此时，第一驱动电极411和第一检测电极412可以导通电连接，且第一驱动电极411和第一检测电极412之间的连接电阻与核酸链上的核苷酸类型相关。本发明实施例中，在第二驱动电极421上施加驱动信号，并根据第二检测电极422上接收到的检测信号强度，可以实现核酸链的第一次基因测序。在第一驱动电极411上施加驱动信号，并根据第一检测电极412上接收到的检测信号强度，可以实现核酸链的第二次基因测序。故而，本发明实施例，在一个测序过程中，可以实现同一条核酸链的至少两次基因测序。
可选地，参考图13和图14，基因测序面板还包括位于第三绝缘层23远离衬底10一侧的第二驱动电极线61和第二检测电极线62。第二驱动电极线61与第二驱动电极421电连接。通过第二驱动电极线61为第二驱动电极421施加驱动信号。第二检测电极线62与第二检测电极422电连接。通过第二检测电极线62导出第二检测电极422上接收到的检测信号。
基因测序面板还包括第四绝缘层24，第四绝缘层24位于第三绝缘层23与第二电极对42之间。第四绝缘层24设置有与第一凹槽31以及第三凹槽33连通的第四凹槽34。第四绝缘层24位于第二检测电极线62与第二驱动电极线61之间。第四绝缘层24作为间隔层，将第二检测电极线62与第二驱动电极线61间隔开，防止第二检测电极线62与第二驱动电极线61未经过第二纳米孔H2而直接电连接，即防止第二检测电极线62与第二驱动电极线61短路。
示例性地，参考图14，第二驱动电极线61位于第三绝缘层23与第四绝缘层24之间。第二检测电极线62、第二检测电极422和第二驱动电极421同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第二检测电极线62、第二检测电极422和第二驱动电极421，节省了工艺制程。第二驱动电极线61与第二驱动电极421分别位于第四绝缘层24的两侧，通过贯穿第四绝缘层24的过孔电连接。
在其他实施方式中，第二检测电极线62位于第三绝缘层23与第四绝缘层24之间。第二驱动电极线61、第二检测电极422和第二驱动电极421同层，从而可以在同一工艺中，采用同种材料同时形成第二驱动电极线61、第二检测电极422和第二驱动电极421，节省了工艺制程。第二检测电极线62与第二检测电极422分别位于第四绝缘层24的两侧，通过贯穿第四绝缘层24的过孔电连接。
基于同样的发明构思，本发明实施例提供一种基因测序面板的制作方法，图15为本发明实施例提供的一种基因测序面板的制作方法流程图，图16为本发明实施例提供的一种基因测序面板的制作过程示意图，结合参考图1、图15和图16，该制作方法包括：
S101、在衬底10的一侧形成第一绝缘层21。
S102、在第一绝缘层21远离衬底10的一侧形成第一电极层410。
S103、刻蚀第一电极层410形成第一电极对41，第一电极对41包括第一驱动电极411和第一检测电极412。
本步骤中，通过干法刻蚀或者湿法刻蚀的方式刻蚀第一电极层410，将第一电极层410图案化，形成第一电极对41。
S104、刻蚀第一绝缘层21对应于第一驱动电极411与第一检测电极412之间的区域形成第一凹槽31。
本步骤中，刻蚀第一绝缘层21对应于第一纳米孔H1的位置，在第一纳米孔H1的下方形成第一凹槽31。
本发明实施例提供一种基因测序面板的制作方法，在衬底10的一侧形成第一绝缘层21，在第一绝缘层21远离衬底10的一侧形成第一电极层410，刻蚀第一电极层410形成第一驱动电极411和第一检测电极412，并第一驱动电极411和第一检测电极412之间第一纳米孔H1的下方形成第一凹槽31。核酸链通过第一纳米孔H1后，可以被第一凹槽31所存储。在测序完成后，可以使第一凹槽31中存储的核酸链反向运动，从而对核酸链重复测试。
图17为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作方法流程图，图18为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作过程示意图，结合参考图4、图16、图17和图18，该制作方法包括：
S201、在衬底10的一侧形成第一检测电极线52。
S202、在衬底10的一侧形成第一绝缘层21。
本步骤中，第一绝缘层21覆盖第一检测电极线52。
S203、刻蚀第一绝缘层21形成露出第一检测电极线52的第一过孔71。
S204、在第一绝缘层21远离衬底10的一侧形成第一电极层410。
S205、刻蚀第一电极层410形成第一驱动电极411、第一检测电极412，以及形成与第一驱动电极411电连接的第一驱动电极线51。第一检测电极412形成于第一过孔71上。
本步骤中，第一检测电极412形成于第一过孔71上，第一检测电极412通过第一过孔71与第一检测电极线52电连接。
S206、刻蚀第一绝缘层21对应于第一驱动电极411与第一检测电极412之间的区域形成第一凹槽31。
本发明实施例提供的制作方法中，先形成第一检测电极线52，再形成第一绝缘层21，然后再形成第一驱动电极线51、第一驱动电极411和第一检测电极412。
图19为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作方法流程图，图20为本发明实施例提供的另一种基因测序面板的制作过程示意图，结合参考图3、图16、图19和图20，该制作方法包括：
S301、在衬底10的一侧形成第一驱动电极线51。
S302、在衬底10的一侧形成第一绝缘层21。
S303、刻蚀第一绝缘层21形成露出第一驱动电极线51的第二过孔72。
S304、在第一绝缘层21远离衬底10的一侧形成第一电极层410。
S305、刻蚀第一电极层410形成第一驱动电极411、第一检测电极412，以及形成与第一检测电极412电连接的第一检测电极线52。第一驱动电极411形成于第二过孔72上。
本步骤中，第一驱动电极411形成于第二过孔72上，第一驱动电极411通过第二过孔72与第一驱动电极线51电连接。
S306、刻蚀第一绝缘层21对应于第一驱动电极411与第一检测电极412之间的区域形成第一凹槽31。
本发明实施例提供的制作方法中，先形成第一驱动电极线51，再形成第一绝缘层21，然后再形成第一检测电极线52、第一驱动电极411和第一检测电极412。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。
Claims (14)
1.一种基因测序面板，其特征在于，包括：
衬底；
第一绝缘层，位于所述衬底的一侧，设置有用于容纳核酸链的第一凹槽；
第一电极对，位于所述第一绝缘层远离所述衬底一侧，包括第一驱动电极和第一检测电极；所述第一驱动电极和所述第一检测电极在所述衬底的垂直投影分别位于所述第一凹槽在所述衬底垂直投影的两侧。
2.根据权利要求1所述的基因测序面板，其特征在于，所述第一绝缘层包括有机绝缘层。
3.根据权利要求2所述的基因测序面板，其特征在于，垂直于所述衬底的方向，所述有机绝缘层的厚度大于或者等于1μm且小于或者等于3μm。
4.根据权利要求1所述的基因测序面板，其特征在于，还包括第一驱动电极线和第一检测电极线，所述第一驱动电极线与所述第一驱动电极电连接，所述第一检测电极线与所述第一检测电极电连接。
5.根据权利要求4所述的基因测序面板，其特征在于，多个所述第一电极对沿第一方向和第二方向阵列排布，所述第一方向与所述第二方向交叉；
沿所述第一方向排列的一行所述第一检测电极与同一条所述第一检测电极线电连接，沿所述第二方向排列的一列所述第一驱动电极与同一条所述第一驱动电极线电连接。
6.根据权利要求4所述的基因测序面板，其特征在于，多个所述第一电极对沿第一方向和第二方向阵列排布，所述第一方向与所述第二方向交叉；
所述第一检测电极线与一个所述第一检测电极电连接，所述第一驱动电极线与一个所述第一驱动电极电连接。
7.根据权利要求4所述的基因测序面板，其特征在于，所述第一绝缘层位于所述第一检测电极线与所述第一驱动电极线之间。
8.根据权利要求1所述的基因测序面板，其特征在于，所述第一凹槽的孔径大于或者等于2nm且小于或者等于10nm。
9.根据权利要求4所述的基因测序面板，其特征在于，还包括第二绝缘层，所述第二绝缘层位于所述第一绝缘层与所述第一电极对之间，设置有与所述第一凹槽连通的第二凹槽；
所述第二绝缘层位于所述第一检测电极线与所述第一驱动电极线之间。
10.根据权利要求4所述的基因测序面板，其特征在于，还包括检测设备，所述检测设备与多条所述第一检测电极线电连接，通过逐行扫描所述第一检测电极线的方式进行检测。
11.根据权利要求1所述的基因测序面板，其特征在于，还包括：
第三绝缘层，位于所述第一电极对远离所述衬底一侧，设置有与所述第一凹槽连通的第三凹槽；
第二电极对，位于所述第三绝缘层远离所述衬底一侧，包括第二驱动电极和第二检测电极；所述第二驱动电极和所述第二检测电极在所述衬底的垂直投影分别位于所述第三凹槽在所述衬底垂直投影的两侧。
12.根据权利要求11所述的基因测序面板，其特征在于，还包括位于所述第三绝缘层远离所述衬底一侧的第二驱动电极线和第二检测电极线，所述第二驱动电极线与所述第二驱动电极电连接，所述第二检测电极线与所述第二检测电极电连接；
所述基因测序面板还包括第四绝缘层，所述第四绝缘层位于所述第三绝缘层与所述第二电极对之间，设置有与所述第一凹槽以及所述第三凹槽连通的第四凹槽；
所述第四绝缘层位于所述第二检测电极线与所述第二驱动电极线之间。
13.一种基因测序面板的制作方法，其特征在于，包括：
在衬底的一侧形成第一绝缘层；
在所述第一绝缘层远离所述衬底的一侧形成第一电极层；
刻蚀所述第一电极层形成第一电极对；所述第一电极对包括第一驱动电极和第一检测电极；
刻蚀所述第一绝缘层对应于所述第一驱动电极与所述第一检测电极之间的区域形成第一凹槽。
14.根据权利要求13所述的制作方法，其特征在于，在衬底的一侧形成第一绝缘层之前，还包括：
在所述衬底的一侧形成第一检测电极线；
在所述第一绝缘层远离所述衬底的一侧形成第一电极层之前，还包括：
刻蚀所述第一绝缘层形成露出所述第一检测电极线的第一过孔；所述第一检测电极形成于所述第一过孔上；
在刻蚀所述第一电极层形成第一电极对的同时，还包括：
刻蚀所述第一电极层，形成与所述第一驱动电极电连接的第一驱动电极线；
或者，
在衬底的一侧形成第一绝缘层之前，还包括：
在所述衬底的一侧形成第一驱动电极线；
在所述第一绝缘层远离所述衬底的一侧形成第一电极层之前，还包括：
刻蚀所述第一绝缘层形成露出所述第一驱动电极线的第二过孔；所述第一驱动电极形成于所述第二过孔上；
在刻蚀所述第一电极层形成第一电极对的同时，还包括：
刻蚀所述第一电极层，形成与所述第一检测电极电连接的第一检测电极线。
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