CN114260155A - 一种提高镀膜层附着力的工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种提高镀膜层附着力的工艺,属于气相沉积技术领域,目前的派瑞林镀膜层前期偶联剂附着不均匀,且气相沉积时镀膜层厚度不均匀,导致镀膜层附着力低,容易脱落,本方案包括如下步骤:将工件进行清洗;将工件放入烘箱中,烘干清理工件表面的吸附的水汽;将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内;将反应罐密闭,并抽真空将硅烷偶联剂通过海绵吸附,将海绵投入反应罐内,按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂;将派瑞林加入反应罐内,按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林;系统放气、取出工件。硅烷偶联剂通过海绵吸附,增加分布面积,蒸汽均匀分布到反应罐腔室内,使得偶联剂均匀蒸涂在工件表面,然后再气相沉积涂覆派瑞林,提高镀膜层的附着力。
Description
技术领域
本发明涉及高分子纳米气相沉积技术领域,具体为一种提高镀膜层附着力的工艺。
背景技术
有机高分子纳米薄膜,能够对产品起到耐磨、防腐蚀以及酸碱性防护等效果,常用于橡胶、硅胶、塑料制品的防护,通常是对橡胶、硅胶、塑料制品表面气相沉积涂覆派瑞林镀层进行防护,但是,目前的派瑞林气相沉积涂覆镀膜层存在如下不足:1、目前的偶联剂都是直接滴加在蒸镀反应罐内的,而偶联剂添加量小,蒸汽含量小,难以均匀分布到反应罐内腔,导致偶联剂无法均匀蒸涂在工件表面,后续涂覆形成的派瑞林镀膜层附着力低,镀膜层容易脱落,影响防腐效果;2、目前的气相沉积涂覆时,工件都是固定放置在反应罐内腔中的,蒸涂蒸汽难以均匀包裹工件表面,导致镀膜层不均匀、附着力差。
为此我们提出一种提高镀膜层附着力的工艺用于解决上述问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种提高镀膜层附着力的工艺,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种提高镀膜层附着力的工艺,包括如下步骤:
S1、清洗:将工件通过清洗刷在异丙醇或无水乙醇与汽油按质量比1:1混合的清洗液中进行清洗,清洗后表面清洁度为35-30μg/in2;
S2、烘干驱潮:将工件放入烘箱中,在55-65℃下,烘烤2-3h,完全清理工件表面的吸附的水汽;
S3、工件装机:将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内;
S4、抽真空:将反应罐密闭,并抽真空至10-1-10-3Pa;
S5、蒸涂偶联剂:将硅烷偶联剂通过海绵吸附,将海绵投入反应罐内,按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂;
S5、气相沉积涂覆派瑞林:将派瑞林加入反应罐内,按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林;
S6、系统放气、取出工件。
优选的一种实施案例,步骤S5中,所述硅烷偶联剂的添加量与反应罐体积相关,所述反应罐腔室高1m、直径90cm时,偶联剂添加量为6-10ml;所述反应罐腔室高75cm、直径50cm时,偶联剂添加量为2-6ml。
优选的一种实施案例,所述反应罐包括罐体,所述罐体的顶部卡接罐盖,所述罐盖与罐体的外壁间安装启闭机构,所述罐盖上安装旋转机构,所述旋转机构的底部安装翻转架,所述罐体的侧壁中部安装海绵投料口,所述罐体的内腔底部固定安装承接板,所述承接板的底部与罐体的底板间安装加热板,所述罐体的侧壁底部安装清理门。
优选的一种实施案例,所述启闭机构包括底座,所述罐体的外壁底部固定安装多个底座,所述底座正上方的罐体外壁顶部固定安装导向板,所述罐盖的外壁固定安装多个顶板,所述底座上固定安装液压推杆,所述液压推杆的推杆滑动贯穿导向板并固定连接顶板。
优选的一种实施案例,所述旋转机构包括电机,所述罐盖的顶部固定安装电机所述电机的输出轴贯穿罐盖并固定连接中心齿轮,所述罐盖的底部边缘固定安装齿圈,所述中心齿轮顶部的电机输出轴上转动套接转动架的中部,所述转动架的边缘均转动卡接吊轴,所述吊轴上固定套接滚动齿轮,所述滚动齿轮的两侧分别啮合中心齿轮和齿圈,所述吊轴与转动架间安装翻转架。
优选的一种实施案例,所述罐盖的底部开有安装槽,所述齿圈固定安装在安装槽的内壁上,所述安装槽的底部卡接拖环,所述拖环为台阶状结构,且拖环的大径端通过螺栓连接罐盖的底部,所述拖环的小径端端面滑动贴合齿圈和滚动齿轮的底面边缘。
优选的一种实施案例,所述吊轴的顶部贯穿转动架并固定安装加强板,所述加强板贴合转动架的顶部,所述滚动齿轮沿中心齿轮和齿圈的圆周方向均匀设有三个,所述转动架为Y型结构,且转动架的边缘宽度大于滚动齿轮的直径,所述转动架的边缘两侧底部连接翻转架。
优选的一种实施案例,所述翻转架包括吊杆,所述转动架的边缘两侧底部均固定连接吊杆的一端,所述吊杆的另一端固定连接吊板,所述吊板的两侧底部均固定安装安装板,所述安装板间设有放置框,所述放置框的两侧外壁均固定安装转轴,所述转轴转动卡接安装板,所述吊轴远离滚动齿轮的一端转动贯穿吊板且与转轴间安装相配合的的锥齿轮组。
优选的一种实施案例,所述吊板为“十”字型结构,两个所述吊杆分别固定连接吊板的两个对边顶部,两个所述安装板分别固定连接吊板的另外两个对边底部,所述放置框的一侧铰接开合门,所述开合门的外壁与放置框的外壁均固定安装有连接耳,所述连接耳间通过螺栓栓接,所述开合门与放置框均为网状结构。
优选的一种实施案例,所述罐体连接有抽真空系统,所述海绵投料口包括通口,所述罐体的外壁开有通口,所述通口的外壁固定安装导向筒,所述导向筒远离罐体的一侧安装有密封门,所述密封门上套接有真空管,所述通口顶部的罐体上开有收纳槽,所述收纳槽内滑动卡接密封板,所述罐体内固定安装气缸,所述气缸的推杆贯穿收纳槽并固定连接密封板的顶端。
本发明的有益效果在于:
1、将硅烷偶联剂通过海绵吸附,使其均匀分布在海绵上,增加分布面积,使得偶联剂加热后的蒸汽均匀分布到反应罐腔室内,使得偶联剂均匀蒸涂在工件表面,然后再气相沉积涂覆派瑞林,从而提高派瑞林镀膜层的附着力,相比于现有工艺,能够更好地在硅橡胶制品生成涂层,使得产品具有干式润滑、抗过敏的效果,针对O型密封圈效果更佳,针对背胶产品镀膜后无需涂处理剂即可直接背胶;
2、电机带动中心齿轮连续转动,中心齿轮带动滚动齿轮转动,滚动齿轮通过吊轴悬吊在转动架上,从而通过带动吊轴转动,且滚动齿轮沿齿圈滚动,从而带动转动架转动,吊板通过吊杆跟随转动架沿罐体内腔圆周方向移动,同时,吊轴跟随滚动齿轮转动,从而通过锥齿轮组带动转轴转动,实现放置框的竖向翻转,则蒸汽透过放置框和开合门的网孔能够均匀接触工件的各个表面,实现均匀镀膜,提高镀膜层的均匀性和附着力;
3、投料时,气缸先带动密封板将通口密封,此时打开密封门,将吸附偶联剂的海绵加入导向筒内,然后闭合密封门,通过真空管将导向筒内腔进行抽真空,然后通过气缸打开密封板,使得吸附偶联剂的海绵沿导向筒内腔底部的倾斜面滑入罐体内,保证罐体内真空度稳定,提高镀膜稳定性。
附图说明
图1为本发明实施例提供的一种提高镀膜层附着力的工艺示意图。
图2为本发明反应罐结构示意图。
图3为本发明罐体处剖面结构示意图。
图4为本发明旋转机构处结构爆炸图。
图5为本发明图3中A处放大结构示意图。
图6为本发明图3中B处放大结构示意图。
图7为本发明图4中C处放大结构示意图。
图8为本发明翻转架处结构示意图。
图9为本发明气相沉积镀膜整机设备的示意图。
图中:1、罐体;101、派瑞林输入口;102、罐体抽真空接口;2、罐盖; 3、启闭机构;31、底座;32、液压推杆;33、导向板;34、顶板;4、旋转机构;41、电机;42、转动架;43、中心齿轮;44、滚动齿轮;45、齿圈;46、吊轴;5、翻转架;51、吊杆;52、吊板;53、安装板;54、放置框;55、转轴;56、锥齿轮组;57、开合门;58、连接耳;6、海绵投料口;61、通口;62、导向筒;63、密封门;64、收纳槽;65、密封板;66、气缸;7、承接板;8、加热板;9、清理门;10、安装槽;11、拖环;12、加强板;13、抽真空系统;14、操控系统;15、高温加热系统。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例:如图1至图9所示,本发明提供了一种提高镀膜层附着力的工艺,包括如下步骤:
S1、清洗:将工件通过清洗刷在异丙醇或无水乙醇与汽油按质量比1:1混合的清洗液中进行清洗,清洗后表面清洁度为35-30μg/in2;
S2、烘干驱潮:将工件放入烘箱中,在55-65℃下,烘烤2-3h,完全清理工件表面的吸附的水汽;
S3、工件装机:将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内;
S4、抽真空:将反应罐密闭,并抽真空至10-1-10-3Pa;
S5、蒸涂偶联剂:将硅烷偶联剂通过海绵吸附,将海绵投入反应罐内,按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂;
S5、气相沉积涂覆派瑞林:将派瑞林加入反应罐内,按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林;
S6、系统放气、取出工件。
进一步的,步骤S5中,所述硅烷偶联剂的添加量与反应罐体积相关,所述反应罐腔室高1m、直径90cm时,偶联剂添加量为6-10ml,优选8ml;所述反应罐腔室高75cm、直径50cm时,偶联剂添加量为2-6ml,优选4ml。
将硅烷偶联剂通过海绵吸附,使其均匀分布在海绵上,增加分布面积,使得偶联剂更好地挥发、均匀分布到反应罐腔室内,从而使得偶联剂均匀沾附在工件表面,实现气相沉积涂覆派瑞林时,可以提高派瑞林镀膜层的附着力。
进一步的,反应罐包括罐体1,罐体1的一侧设有派瑞林输入口101,派瑞林输入口101与前端的高温加热系统15连接,而高温加热系统15与操控系统14连接,通过操控系统14调节镀膜设备整机的工作过程,包括调节高温加热系统15的加热温度,对高温加热系统15内的派瑞林粉料进行反应;罐体1的另一侧设有罐体抽真空接口102,与后端的抽真空系统13连接,实现在气相沉积镀膜过程中,罐体1内部的真空环境;罐体1的顶部卡接罐盖2,罐盖2与罐体1的外壁间安装启闭机构3,罐盖2上安装旋转机构4,旋转机构4的底部安装翻转架5,罐体1的侧壁中部安装海绵投料口6,罐体1的内腔底部固定安装承接板7,承接板7的底部与罐体1的底板间安装加热板8,罐体1的侧壁底部安装清理门9。
将工件放在翻转架5内,通过海绵投料口6投放吸附偶联剂的海绵,偶联剂在罐体1内挥发,可以通过设置加热板,提升挥发效率;通过旋转机构4带动工件沿罐体1圆周方向匀速移动,同时联动带动翻转架5进行竖向翻转,从而使得工件表面与蒸汽均匀接触,提高镀膜层均匀性,提高附着力。
进一步的,启闭机构3包括底座31,罐体1的外壁底部固定安装多个底座31,底座31正上方的罐体1外壁顶部固定安装导向板33,罐盖2的外壁固定安装多个顶板34,底座31上固定安装液压推杆32,液压推杆32的推杆滑动贯穿导向板33并固定连接顶板34,液压推杆32伸缩,从而推拉顶板34,实现罐盖2的升降,便于取放工件。
进一步的,旋转机构4包括电机41,罐盖2的顶部固定安装电机41 的输出轴贯穿罐盖2并固定连接中心齿轮43,罐盖2的底部边缘固定安装齿圈45,中心齿轮43顶部的电机41输出轴上转动套接转动架42的中部,转动架42的边缘均转动卡接吊轴46,吊轴46上固定套接滚动齿轮44,滚动齿轮44的两侧分别啮合中心齿轮43和齿圈45,吊轴46与转动架42间安装翻转架5,罐盖2的底部开有安装槽10,齿圈45固定安装在安装槽10的内壁上,安装槽10的底部卡接拖环11,拖环11为台阶状结构,且拖环11的大径端通过螺栓连接罐盖2的底部,拖环11的小径端端面滑动贴合齿圈45和滚动齿轮44的底面边缘,吊轴46的顶部贯穿转动架42并固定安装加强板12,加强板12贴合转动架42的顶部,滚动齿轮44沿中心齿轮43和齿圈45的圆周方向均匀设有三个,转动架42为Y型结构,且转动架42的边缘宽度大于滚动齿轮44的直径,转动架42的边缘两侧底部连接翻转架5,则电机41带动中心齿轮43连续转动,中心齿轮43带动滚动齿轮44转动,滚动齿轮44通过吊轴46悬吊在转动架42上,从而通过带动吊轴46转动,且滚动齿轮44沿齿圈45滚动,从而带动转动架42转动,实现翻转架5沿罐体1圆周方向移动,便于均匀接触蒸汽。
进一步的,翻转架5包括吊杆51,转动架42的边缘两侧底部均固定连接吊杆51的一端,吊杆51的另一端固定连接吊板52,吊板52的两侧底部均固定安装安装板53,安装板53间设有放置框54,放置框54的两侧外壁均固定安装转轴55,转轴55转动卡接安装板53,吊轴46远离滚动齿轮44的一端转动贯穿吊板52且与转轴55间安装相配合的的锥齿轮组56,吊板52为“十”字型结构,两个吊杆51分别固定连接吊板52的两个对边顶部,两个安装板53分别固定连接吊板52的另外两个对边底部,放置框54的一侧铰接开合门57,开合门57的外壁与放置框54的外壁均固定安装有连接耳58,连接耳58间通过螺栓栓接,开合门57与放置框54均为网状结构,则工件放在放置框54内,将开合门57闭合,通过连接耳58栓接固定,吊板52通过吊杆51跟随转动架42沿罐体1内腔圆周方向移动,同时,吊轴46跟随滚动齿轮44转动,从而通过锥齿轮组56带动转轴55转动,实现放置框54的竖向翻转,则蒸汽透过放置框54和开合门57的网孔能够均匀接触工件的各个表面,实现均匀镀膜。
罐体1连接有抽真空系统,海绵投料口6包括通口61,罐体1的外壁开有通口61,通口61的外壁固定安装导向筒62,导向筒62远离罐体1的一侧安装有密封门63,密封门63上套接有真空管,通口61顶部的罐体1上开有收纳槽64,收纳槽64内滑动卡接密封板65,罐体1内固定安装气缸66,气缸66的推杆贯穿收纳槽64并固定连接密封板65的顶端,则投料时,气缸66先带动密封板65将通口61密封,此时打开密封门63,将吸附偶联剂的海绵加入导向筒62内,然后闭合密封门63,通过真空管将导向筒62内腔进行抽真空,然后通过气缸66打开密封板65,使得吸附偶联剂的海绵沿导向筒62内腔底部的倾斜面滑入罐体1内,保证罐体1内真空度稳定。
使用时,将工件通过清洗刷在异丙醇或无水乙醇与汽油按质量比1:1混合的清洗液中进行清洗,清洗后表面清洁度为35-30μg/in2,,将工件放入烘箱中,在55-65℃下,烘烤2-3h,完全清理工件表面的吸附的水汽,然后将工件放入放置框54内,将开合门57闭合,通过连接耳58栓接固定,然后罐盖2闭合,将反应罐密闭,并抽真空至10-1-10-3Pa,将硅烷偶联剂通过海绵吸附,将海绵投入反应罐内,按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂,将派瑞林加入反应罐内,具体地,粉末状的派瑞林在高温加热系统内反应,使其先熔化成液体,再气化,裂解成细小的分子,从罐体的派瑞林输入口进入罐体内,按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林,蒸涂和气相沉积投料时,气缸66先带动密封板65将通口61密封,此时打开密封门63,将吸附偶联剂的海绵加入导向筒62内,然后闭合密封门63,通过真空管将导向筒62内腔进行抽真空,然后通过气缸66打开密封板65,使得吸附偶联剂的海绵或者派瑞林沿导向筒62内腔底部的倾斜面滑入罐体1内,保证罐体1内真空度稳定,偶联剂在罐体内挥发,可以增设加热板8提高挥发速度或者派瑞林,电机41带动中心齿轮43连续转动,中心齿轮43带动滚动齿轮44转动,滚动齿轮44通过吊轴46悬吊在转动架42上,从而通过带动吊轴46转动,且滚动齿轮44沿齿圈45滚动,从而带动转动架42转动,吊板52通过吊杆51跟随转动架42沿罐体1内腔圆周方向移动,同时,吊轴46跟随滚动齿轮44转动,从而通过锥齿轮组56带动转轴55转动,实现放置框54的竖向翻转,则蒸汽透过放置框54和开合门57的网孔能够均匀接触工件的各个表面,实现均匀镀膜,通过将硅烷偶联剂通过海绵吸附,使其均匀分布在海绵上,增加分布面积,使得偶联剂均匀发挥散发到反应罐腔室内,使得偶联剂均匀沾附于工件表面,然后再气相沉积涂覆派瑞林,从而提高派瑞林镀膜层的附着力。
本发明提高了派瑞林镀膜层的附着力,使得该工艺能应用于多种领域,例如在硅橡胶制品生成涂层,使得产品具有干式润滑、抗过敏的效果,针对O型密封圈效果更佳,针对背胶产品镀膜后无需涂处理剂即可直接背胶;
再如LED灯板表面的镀膜保护,从而免受冷凝与腐蚀作用的破坏,更适于沿海地区的使用环境;
再如航空军事领域的电子器材涂层,航空通讯和航海设备的电路板上应用高附着力的派瑞林涂层,实现镀层的強化,防止由于极端温度变化所导致的镀层浓缩并限制气体的排出等缺陷;
再如古文物的防潮、防锈处理,抑制霉菌等;
再如在金属制品的涂层,具有防锈、防氧化及耐酸碱性效果,达到客户盐雾测试的要求时效等;
再如在医疗器械或装置,使其具有耐溶性,耐药性及抑菌,抗氧化与防潮性,使产品能达到良好的保存与医疗成效;使其具惰性于生物兼容等特性,可安全植入人体;可以提高设备的光滑度及可选择的电绝缘性;涂层还能起到保护和润滑皮下注射用针头的作用。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (10)
1.一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于,包括如下步骤:
S1、清洗:将工件通过清洗刷在异丙醇或无水乙醇与汽油按质量比1:1混合的清洗液中进行清洗,清洗后表面清洁度为35-30μg/in2;
S2、烘干驱潮:将工件放入烘箱中,在55-65℃下,烘烤2-3h,完全清理工件表面的吸附的水汽;
S3、工件装机:将工件放入涂覆机的蒸镀反应罐内;
S4、抽真空:将反应罐密闭,并抽真空至10-1-10-3Pa;
S5、蒸涂偶联剂:将硅烷偶联剂通过海绵吸附,将海绵投入反应罐内,按涂覆机要求进行偶联剂蒸涂;
S5、气相沉积涂覆派瑞林:将派瑞林加入反应罐内,按涂覆机要求进行气相沉积涂覆派瑞林;
S6、系统放气、取出工件。
2.如权利要求1所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:步骤S5中,所述硅烷偶联剂的添加量与反应罐体积相关,所述反应罐腔室高1m、直径90cm时,偶联剂添加量为6-10ml;所述反应罐腔室高75cm、直径50cm时,偶联剂添加量为2-6ml。
3.如权利要求1所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述反应罐包括罐体(1),所述罐体(1)的顶部卡接罐盖(2),所述罐盖(2)与罐体(1)的外壁间安装启闭机构(3),所述罐盖(2)上安装旋转机构(4),所述旋转机构(4)的底部安装翻转架(5),所述罐体(1)的侧壁中部安装海绵投料口(6),所述罐体(1)的内腔底部固定安装承接板(7),所述承接板(7)的底部与罐体(1)的底板间安装加热板(8),所述罐体(1)的侧壁底部安装清理门(9)。
4.如权利要求3所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述启闭机构(3)包括底座(31),所述罐体(1)的外壁底部固定安装多个底座(31),所述底座(31)正上方的罐体(1)外壁顶部固定安装导向板(33),所述罐盖(2)的外壁固定安装多个顶板(34),所述底座(31)上固定安装液压推杆(32),所述液压推杆(32)的推杆滑动贯穿导向板(33)并固定连接顶板(34)。
5.如权利要求3所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述旋转机构(4)包括电机(41),所述罐盖(2)的顶部固定安装电机(41)所述电机(41)的输出轴贯穿罐盖(2)并固定连接中心齿轮(43),所述罐盖(2)的底部边缘固定安装齿圈(45),所述中心齿轮(43)顶部的电机(41)输出轴上转动套接转动架(42)的中部,所述转动架(42)的边缘均转动卡接吊轴(46),所述吊轴(46)上固定套接滚动齿轮(44),所述滚动齿轮(44)的两侧分别啮合中心齿轮(43)和齿圈(45),所述吊轴(46)与转动架(42)间安装翻转架(5)。
6.如权利要求5所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述罐盖(2)的底部开有安装槽(10),所述齿圈(45)固定安装在安装槽(10)的内壁上,所述安装槽(10)的底部卡接拖环(11),所述拖环(11)为台阶状结构,且拖环(11)的大径端通过螺栓连接罐盖(2)的底部,所述拖环(11)的小径端端面滑动贴合齿圈(45)和滚动齿轮(44)的底面边缘。
7.如权利要求5所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述吊轴(46)的顶部贯穿转动架(42)并固定安装加强板(12),所述加强板(12)贴合转动架(42)的顶部,所述滚动齿轮(44)沿中心齿轮(43)和齿圈(45)的圆周方向均匀设有三个,所述转动架(42)为Y型结构,且转动架(42)的边缘宽度大于滚动齿轮(44)的直径,所述转动架(42)的边缘两侧底部连接翻转架(5)。
8.如权利要求7所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述翻转架(5)包括吊杆(51),所述转动架(42)的边缘两侧底部均固定连接吊杆(51)的一端,所述吊杆(51)的另一端固定连接吊板(52),所述吊板(52)的两侧底部均固定安装安装板(53),所述安装板(53)间设有放置框(54),所述放置框(54)的两侧外壁均固定安装转轴(55),所述转轴(55)转动卡接安装板(53),所述吊轴(46)远离滚动齿轮(44)的一端转动贯穿吊板(52)且与转轴(55)间安装相配合的的锥齿轮组(56)。
9.如权利要求8所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述吊板(52)为“十”字型结构,两个所述吊杆(51)分别固定连接吊板(52)的两个对边顶部,两个所述安装板(53)分别固定连接吊板(52)的另外两个对边底部,所述放置框(54)的一侧铰接开合门(57),所述开合门(57)的外壁与放置框(54)的外壁均固定安装有连接耳(58),所述连接耳(58)间通过螺栓栓接,所述开合门(57)与放置框(54)均为网状结构。
10.如权利要求3所述的一种提高镀膜层附着力的工艺,其特征在于:所述罐体(1)连接有抽真空系统,所述海绵投料口(6)包括通口(61),所述罐体(1)的外壁开有通口(61),所述通口(61)的外壁固定安装导向筒(62),所述导向筒(62)远离罐体(1)的一侧安装有密封门(63),所述密封门(63)上套接有真空管,所述通口(61)顶部的罐体(1)上开有收纳槽(64),所述收纳槽(64)内滑动卡接密封板(65),所述罐体(1)内固定安装气缸(66),所述气缸(66)的推杆贯穿收纳槽(64)并固定连接密封板(65)的顶端。
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CN203513786U (zh) * | 2013-09-22 | 2014-04-02 | 和宏华进纳米科技(上海)有限公司 | 一种蒸镀炉 |
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- 2021-12-24 CN CN202111597745.7A patent/CN114260155B/zh active Active
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