CN109881178A - 一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域，派瑞林彩色镀膜工艺的蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，派瑞林彩色镀膜工艺解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，同时成膜特点显现，彩色品种多样化，将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上，可以清楚而直观的进行检测，该工艺简单、实用、成本低，实用性强，本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果，同时具备派瑞林自身的保护效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种镀膜工艺及镀膜装置，特别是涉及一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置，属于化学气相沉积技术领域。
背景技术
化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术，广泛应用于半导体工业中多种材料的沉积，包括大范围的绝缘材料、大多数金属材料和金属合金材料，其原理是利用气态的先驱反应物，通过原子、分子间化学反应，使得气态前驱体中的某些成分分解或者相互之间反应，而在基体上沉积形成薄膜。
现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但现有技术加工的镀膜材料无法用肉眼确认镀膜的包盖类型，为了保证客户在第一时间内对镀膜加工后的产品可靠性、直观的检测加工后的效果，而发明此项工艺技术及装置。
发明内容
本发明的主要目的是为了解决派瑞林镀膜后无法用肉眼直接观察加工后的产品、镀膜材料不易检测的问题，而提供一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置。
本发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：
一种派瑞林彩色镀膜工艺，包括如下步骤：
步骤1：将彩色染料粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到加热控制器上；
步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；
步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；
步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；
步骤5：镀膜进行到一定时间后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在160-440℃之间；
步骤6：到达设定温度后保持恒温10-60min，使彩色染料粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的升华染料被吸入真空沉积室；
步骤7：升华染料加热到设定时间后，关闭升华染料加热系统，继续镀膜到正常结束；
步骤8：完成后，依次关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；
步骤9：将加工件放置在检测台上，进行人工检测。
优选的，蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，仓外染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤11：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时开启升华杯的前加热环，并设定160℃防止派瑞林膜进入升华杯内，造成升华染料升华失败；
步骤12：在步骤11进行一定时间后，开启升华杯的中加热环、加热环、加热片，并分别设定加热温度160℃、260℃、200℃，使其升华杯内染料逐步升华；
步骤13：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定升华杯蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤14：在达到一定的镀染效果后，停止升华杯蒸发，关闭中加热环、加热环、加热片，同时保持前加热环的加热温度为120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤15：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
优选的，仓内染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤21：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时，开启染料仓室的阻隔加热器，并设定160℃防止派瑞林膜进入染料仓内，造成升华染料升华失败；
步骤22：在步骤进行一定时间后，开启染料仓的染料仓加热器和染料仓口加热器，并分别设定加热温度260℃和200℃，使其染料仓内染料逐步升华；
步骤23：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定染料仓蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤24：在达到一定的镀染效果后，停止染料仓蒸发，关闭染料仓加热器和染料仓口加热器，同时保持阻隔加热器的加热温度在120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤25：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
一种派瑞林彩色镀膜装置，包括：蒸发室、裂解室、真空沉积室、真空系统、冷却控制器以及管道，所述蒸发室、所述裂解室、所述真空沉积室及真空系统依次通过管道连通，所述冷却控制器与所述真空沉积室连接，所述真空沉积室上设有升华杯，所述升华杯上连接有仓外染料蒸发系统，或者，所述真空沉积室上安装有仓内染料蒸发系统。
优选的，所述仓外染料蒸发系统包括：密封环、料仓杯、加热环、温度传感器、连接环、加热传感器和加热片，所述料仓杯中可加入彩色染料粉料，通过染料升华均匀沉积在加工件上，便于检测，所述加热片设置在所述密封环下方，所述料仓杯设置在所述密封环上，所述加热环罩在所述料仓杯上，所述加热环上设有加热器，其两端分别设有连接环和上连接环，所述加热环通过所述连接环与所述加热环连接，所述温度传感器设置在所述加热环上。
优选的，所述加热环包括前加热环和中加热环，所述加热传感器包括上加热传感器、中加热传感器和下加热传感器。
优选的，所述下加热传感器设置在所述加热片的下方，所述中加热传感器设置在所述中加热环上，所述上加热传感器设置在所述前加热环上。
优选的，所述仓内染料蒸发系统包括：接口、染料仓口和染料仓室，所述接口安装在所述真空沉积室的真空沉积室侧孔上，所述接口和所述染料仓口分别设置在所述染料仓室的两端。
优选的，所述染料仓室上安装有阻隔加热器和染料仓加热器，所述染料仓口的一侧安装有染料仓口加热器。
本发明的有益技术效果：本发明提供的一种派瑞林彩色镀膜工艺及镀膜装置，解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，同时成膜特点显现，彩色品种多样化，将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上，可以清楚而直观的进行检测，该工艺简单、实用、成本底，实用性强，本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果，同时具备派瑞林自身的保护效果。
附图说明
图1为本发明的一种派瑞林彩色镀膜装置的整体结构示意图。
图2为本发明的一种派瑞林彩色镀膜装置仓外染料蒸发系统的结构示意图。
图3为本发明的一种派瑞林彩色镀膜装置内外染料蒸发系统的结构示意图。
图中：1-蒸发室、2-裂解室、3-真空沉积室、31-真空沉积室侧孔、32-接口、33-阻隔加热器、34-染料仓加热器、35-染料仓口、36-染料仓口加热器、37-染料仓室、4-升华杯、5-真空系统、6-冷却控制器、7-管道、41-密封环、42-料仓杯、43-加热环、43-1-前加热环、43-2-中加热环、44-温度传感器、45-连接环、45-1-上连接环、46-1-上加热传感器、46-2-中加热传感器、46-3-下加热传感器、47-加热片。
具体实施方式
为使本领域技术人员更加清楚和明确本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明作进一步详细的描述，但本发明的实施方式不限于此。
本实施例提供的派瑞林彩色镀膜工艺，包括如下步骤：
步骤1：将彩色染料粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到加热控制器上；
步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；
步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；
步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；
步骤5：镀膜到规定时间后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在160-440℃之间；
步骤6：到达设定温度后保持恒温10-60min，使彩色染料粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的升华染料被吸入真空沉积室；
步骤7：升华染料加热到设定时间后，关闭升华染料加热系统，继续镀膜到正常结束；
步骤8：完成后，依次关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；
步骤9：将加工件放置在检测台上，进行人工检测。
进一步的，蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，仓外染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤11：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时开启升华杯的前加热环43-1，并设定160℃防止派瑞林膜进入升华杯内，造成升华染料升华失败；
步骤12：在步骤11进行一定时间后，开启升华杯的中加热环43-2、加热环43、加热片47，并分别设定加热温度160℃、260℃、200℃，使其升华杯内染料逐步升华；
步骤13：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定升华杯蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤14：在达到一定的镀染效果后，停止升华杯蒸发，关闭中加热环43-2、加热环43、加热片47，同时保持前加热环43-1的加热温度为120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤15：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
进一步的，仓内染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤21：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时，开启染料仓室的阻隔加热器33，并设定160℃防止派瑞林膜进入染料仓内，造成升华染料升华失败；
步骤22：在步骤21进行一定时间后，开启染料仓的染料仓加热器34和染料仓口加热器36，并分别设定加热温度260℃和200℃，使其染料仓内染料逐步升华；
步骤23：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定染料仓蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤24：在达到一定的镀染效果后，停止染料仓蒸发，关闭染料仓加热器34和染料仓口加热器36，同时保持阻隔加热器33的加热温度在120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤25：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
如图1所示，本实施例提供的派瑞林彩色镀膜装置，包括：蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3、真空系统5、冷却控制器6以及管道7，蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3及真空系统5依次通过管道7连通，冷却控制器6与真空沉积室3连接，真空沉积室3上设有升华杯4，升华杯4上连接有仓外染料蒸发系统，或者，真空沉积室3上安装有仓内染料蒸发系统。
在本实施例中，如图2所示，仓外染料蒸发系统包括：密封环41、料仓杯42、加热环43、温度传感器44、连接环45、加热传感器和加热片47，料仓杯42中可加入彩色染料粉料，通过染料升华均匀沉积在加工件上，便于检测，加热片47设置在密封环41下方，料仓杯42设置在密封环41上，加热环43罩在料仓杯42上，加热环43上设有加热器，其两端分别设有连接环45和上连接环45-1，加热环43通过连接环45与加热环43连接，温度传感器44设置在加热环43上，加热环43包括前加热环43-1和中加热环43-2，加热传感器包括上加热传感器46-1、中加热传感器46-2和下加热传感器46-3，下加热传感器46-3设置在加热片47的下方，中加热传感器46-2设置在中加热环43-2上，上加热传感器46-1设置在前加热环43-1上。
在本实施例中，如图3所示，仓内染料蒸发系统包括：接口32、染料仓口35和染料仓室37，接口32安装在真空沉积室3的真空沉积室侧孔31上，接口32和染料仓口35分别设置在染料仓室37的两端，染料仓室37上安装有阻隔加热器33和染料仓加热器34，染料仓口35的一侧安装有染料仓口加热器36。
如图1和图2所示，在本实施例中，派瑞林彩色镀膜工艺的检测装置包括：蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3、真空系统5、冷却控制器6以及管道7，蒸发室1、裂解室2、真空沉积室3及真空系统5依次通过管道7连通，其特征在于，真空沉积室3上部设置有升华杯4，升华杯4设置有密封环41、料仓杯42、加热环43、温度传感器44、连接环45，料仓杯42中可加入彩色染料粉料，通过将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上，便于观察。
在本实施例中，派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT至少其中任意一种。
综上，在本实施例中，按照实施例提供的派瑞林彩色镀膜工艺，可分仓内蒸发装置和仓外蒸发装置，解决了现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，同时成膜特点显现，彩色品种多样化，将彩色染料粉料升华均匀沉积在加工件上，可以清楚而直观的进行检测，该工艺简单、实用、成本底，实用性强，本工艺对各种加工产品均有明显彩色效果，同时具备派瑞林自身的保护效果。
以上所述，仅为本发明进一步的实施例，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明所公开的范围内，根据本发明的技术方案及其构思加以等同替换或改变，都属于本发明的保护范围。
Claims (9)
1.一种派瑞林彩色镀膜工艺，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：将彩色染料粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定，将真空沉积室和加热环连接到加热控制器上；
步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；
步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；
步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；
步骤5：镀膜进行到一定时间后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在160-440℃之间；
步骤6：到达设定温度后保持恒温10-60min，使彩色染料粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的升华染料被吸入真空沉积室；
步骤7：升华染料加热到设定时间后，关闭升华染料加热系统，继续镀膜到正常结束；
步骤8：完成后，依次关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；
步骤9：将加工件放置在检测台上，进行人工检测。
2.如权利要求1所述的一种派瑞林彩色镀膜工艺，其特征在于，蒸发采用仓外染料蒸发系统和仓内染料蒸发系统，仓外染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤11：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时开启升华杯的前加热环(43-1)，并设定160℃防止派瑞林膜进入升华杯内，造成升华染料升华失败；
步骤12：在步骤11进行一定时间后，开启升华杯的中加热环(43-2)、加热环(43)、加热片(47)，并分别设定加热温度160℃、260℃、200℃，使其升华杯内染料逐步升华；
步骤13：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定升华杯蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤14：在达到一定的镀染效果后，停止升华杯蒸发，关闭中加热环(43-2)、加热环(43)、加热片(47)，同时保持前加热环(43-1)的加热温度为120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤15：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
3.如权利要求2所述的一种派瑞林彩色镀膜工艺，其特征在于，仓内染料蒸发系统的操作工艺，包括如下步骤：
步骤21：在蒸发初期，先按派瑞林镀膜工艺要求进行升华、裂解、沉积，同时，开启染料仓室的阻隔加热器(33)，并设定160℃防止派瑞林膜进入染料仓内，造成升华染料升华失败；
步骤22：在步骤21进行一定时间后，开启染料仓的染料仓加热器(34)和染料仓口加热器(36)，并分别设定加热温度260℃和200℃，使其染料仓内染料逐步升华；
步骤23：在派瑞林裂解成单分子与升华染料混合后沉积在加工件上成膜，实现加工件上的彩色效果，并在此设定染料仓蒸发时间，达到控制镀染的效果；
步骤24：在达到一定的镀染效果后，停止染料仓蒸发，关闭染料仓加热器(34)和染料仓口加热器(36)，同时保持阻隔加热器(33)的加热温度在120℃，防止镀膜进入升华杯内；
步骤25：继续派瑞林正常镀膜工艺，并保持工艺计算要求，在达到计算要求后逐步关闭派瑞林蒸发系统。
4.一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，包括：蒸发室(1)、裂解室(2)、真空沉积室(3)、真空系统(5)、冷却控制器(6)以及管道(7)，所述蒸发室(1)、所述裂解室(2)、所述真空沉积室(3)及真空系统(5)依次通过管道(7)连通，所述冷却控制器(6)与所述真空沉积室(3)连接，所述真空沉积室(3)上设有升华杯(4)，所述升华杯(4)上连接有仓外染料蒸发系统，或者，所述真空沉积室(3)上安装有仓内染料蒸发系统。
5.如权利要求4所述的一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，所述仓外染料蒸发系统包括：密封环(41)、料仓杯(42)、加热环(43)、温度传感器(44)、连接环(45)、加热传感器和加热片(47)，所述料仓杯(42)中可加入彩色染料粉料，通过染料升华均匀沉积在加工件上，便于检测，所述加热片(47)设置在所述密封环(41)下方，所述料仓杯(42)设置在所述密封环(41)上，所述加热环(43)罩在所述料仓杯(42)上，所述加热环(43)上设有加热器，其两端分别设有连接环(45)和上连接环(45-1)，所述加热环(43)通过所述连接环(45)与所述加热环(43)连接，所述温度传感器(44)设置在所述加热环(43)上。
6.如权利要求5所述的一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，所述加热环(43)包括前加热环(43-1)和中加热环(43-2)，所述加热传感器包括上加热传感器(46-1)、中加热传感器(46-2)和下加热传感器(46-3)。
7.如权利要求6所述的一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，所述下加热传感器(46-3)设置在所述加热片(47)的下方，所述中加热传感器(46-2)设置在所述中加热环(43-2)上，所述上加热传感器(46-1)设置在所述前加热环(43-1)上。
8.如权利要求4所述的一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，所述仓内染料蒸发系统包括：接口(32)、染料仓口(35)和染料仓室(37)，所述接口(32)安装在所述真空沉积室(3)的真空沉积室侧孔(31)上，所述接口(32)和所述染料仓口(35)分别设置在所述染料仓室(37)的两端。
9.如权利要求8所述的一种派瑞林彩色镀膜装置，其特征在于，所述染料仓室(37)上安装有阻隔加热器(33)和染料仓加热器(34)，所述染料仓口(35)的一侧安装有染料仓口加热器(36)。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114260155A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-04-01 | 深圳市山禾乐科技开发有限公司 | 一种提高镀膜层附着力的工艺 |
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| US5536317A (en) * | 1995-10-27 | 1996-07-16 | Specialty Coating Systems, Inc. | Parylene deposition apparatus including a quartz crystal thickness/rate controller |
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-
2019
- 2019-04-19 CN CN201910317449.3A patent/CN109881178A/zh active Pending
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