CN114217493A - 一种光学成像系统 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种光学成像系统，包括光学主平板、光学模块、相机模块、侧边同轴光源模块和多角度光源模块；其中，光学模块和相机模块均设于光学主平板的表面上，且相机模块朝向光学模块的折射光方向设置；侧边同轴光源模块设于光学模块的侧面，且侧边同轴光源模块的出光方向朝向光学模块；多角度光源模块设于光学主平板背离的光学模块的表面上，多角度光源模块与光学模块相连通；其中，多角度光源模块的出光方向背离光学模块。通过光学模块将侧边同轴光源模块射出光线的光路调整为从被测对象的侧方射向被测对象，且多角度光源模块环绕于被测对象四周，避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现了将被测对象全方位打亮，提升成像质量。
Description
技术领域
本发明涉及光学成像技术领域，特别涉及一种光学成像系统。
背景技术
半导体芯片指的是在常温下，其导电性能介于导体与绝缘体之间的电子元器件。随着电子元件封装往小型化、高集成化的方向发展，相应地，半导体芯片也逐渐趋向小型化生产。
在半导体芯片的制造过程中，需要检测成品是否有晶体缺陷。传统的方式是靠人工目测观察芯片的表面。由于市场需求巨大，生产量也成倍增加。一般一张料片上有数百个芯片，体积小排布密。人工用眼检测芯片需要耗费大量时间，且容易遗漏看错，已不能满足生产半导体芯片的技术要求。
目前的方式是采用拍摄设备给半导体芯片进行拍摄，然后提取图像中的半导体芯片特征进行观察检测。因为被测对象的半导体芯片的外表面不是水平状态，现有设置的光源无法将半导体芯片的外表面全部打亮，所以拍摄出的图像会存在阴影。带阴影的成像会影响检测结果，造成错判。
因而现有技术还有待改进和提高。
发明内容
鉴于上述现有技术的不足之处，本发明的目的在于提供一种光学成像系统，旨在解决通过拍摄设备给半导体芯片进行拍摄时，现有设置的光源无法将半导体芯片的外表面全部打亮，导致拍摄出的图像存在阴影的问题。
为了达到上述目的，本发明采取了以下技术方案：
第一方面，本发明实施例提供了一种光学成像系统，包括光学主平板其中，所述光学成像系统包括：
光学模块和相机模块，所述光学模块和相机模块均设于所述光学主平板的表面上，且所述相机模块朝向所述光学模块的折射光方向设置；
侧边同轴光源模块，所述侧边同轴光源模块设于所述光学模块的侧面，且所述侧边同轴光源模块的出光方向朝向所述光学模块；
多角度光源模块，所述多角度光源模块设于所述光学主平板背离所述的光学模块的表面上，所述多角度光源模块与所述光学模块相连通；其中，所述多角度光源模块的出光方向背离所述光学模块。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述侧边同轴光源模块包括：
同轴灯板底座，所述同轴灯板底座设于所述光学模块的侧面；
同轴灯板，所述同轴灯板设于所述同轴灯板底座的内部，且所述同轴灯板的出光方向朝向所述光学模块；
扩散片，所述扩散片设于所述同轴灯板底座上、并位于所述同轴灯板和所述光学模块之间。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述光学主平板上设有贯穿所述光学主平板厚度方向的连接口，所述多角度光源模块包括：
圆顶外罩，所述圆顶外罩的一端和所述圆顶外罩的另一端均呈开口状，所述圆顶外罩的一端通过所述连接口与所述光学主平板可拆卸连接，所述圆顶外罩的一端的内径至所述圆顶外罩另一端的内径逐渐增大；
圆顶光源、环形光源和高角度光源，所述圆顶光源、环形光源和高角度光源沿所述圆顶外罩另一端至所述圆顶外罩一端的方向依次设于所述圆顶外罩的内壁上。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述光学模块包括：
棱镜箱体座，所述棱镜箱体座的下表面呈开口状，所述棱镜箱体座的下表面可拆卸连接于所述光学主平板的表面上，所述棱镜箱体座的下表面与所述连接口相对应，且所述棱镜箱体座与所述同轴灯板底座相连接；
侧镜筒，所述侧镜筒连接于所述光学主平板的表面上，并与所述相机模块相连接；
连体棱镜，所述连体棱镜设于所述棱镜箱体座内，且所述连体棱镜的部分相对于所述连接口设置；
分光棱镜，所述分光棱镜设于所述光学主平板的表面上、与所述相机模块相连接，所述分光棱镜位于所述侧镜筒的侧面，并与所述连体棱镜位于同一直线上；
直角反射镜，所述分光棱镜设于所述侧镜筒内，并与所述相机模块相对设置。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述连体棱镜朝向所述分光棱镜的一端内设有第一半透半反镀膜层，所述连体棱镜背离所述分光棱镜的一端内设有第二半透半反镀膜层；所述分光棱镜内设有第三半透半反镀膜层。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述相机模块包括：
分光固定座，所述分光固定座可拆卸连接于所述光学主平板的表面上、设于所述分光棱镜的外部，与所述侧镜筒相连接，且与所述棱镜箱体座相对设置；
双光路前镜筒，所述双光路前镜筒的一端连接于所述棱镜箱体座内部，与所述分光棱镜相对设置，所述双光路前镜筒的另一端连接于所述分光固定座内部；
双光路后镜筒，所述双光路后镜筒的一端连接于所述分光固定座内部，并与所述双光路前镜筒的另一端相对设置；
主光路工业相机，所述主光路工业相机连接于所述双光路后镜筒的另一端上；
侧路工业相机，所述侧路工业相机连接于侧镜筒上。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，还包括：
激光主座，所述激光主座连接于所述棱镜箱体座上，且所述激光主座靠近所述棱镜箱体座的一端上设有向所述棱镜箱体座倾斜的安装面，所述安装面上设有贯通的透光槽；
激光反光镜保持架，所述激光反光镜保持架可拆卸连接于所述安装面上；
聚光镜，所述聚光镜贴合设于所述激光反光镜保持架的内侧，并位于所述透光槽的上方；
激光安装座，所述激光安装座连接于所述分光固定座的顶部；
激光指示器，所述激光指示器的一端穿过所述激光安装座和所述棱镜箱体座的顶部深入所述激光主座内，所述激光指示器的中部与所述激光安装座相连接。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述圆顶光源的内部设有圆环扩散片。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述棱镜箱体座背离所述相机模块的端面上设有镜头端盖，所述棱镜箱体座背离所述光学主平板的端面上设有棱镜盖板。
作为进一步的改进技术方案，所述光学成像系统中，所述棱镜箱体座的内侧和所述镜头端盖朝向所述棱镜箱体座的侧面上均设有黑绒布。
本发明所采用的技术方案具有以下有益效果：
本发明提供了一种光学成像系统，包括光学主平板、光学模块、相机模块、侧边同轴光源模块和多角度光源模块；其中，所述光学模块和相机模块均设于所述光学主平板的表面上，且所述相机模块朝向所述光学模块的折射光方向设置；所述侧边同轴光源模块设于所述光学模块的侧面，且所述侧边同轴光源模块的出光方向朝向所述光学模块；所述多角度光源模块设于所述光学主平板背离所述的光学模块的表面上，所述多角度光源模块与所述光学模块相连通；其中，所述多角度光源模块的出光方向背离所述光学模块。本发明通过光学模块将侧边同轴光源模块射出光线的光路调整为从被测对象的侧方射向被测对象，且多角度光源模块环绕于被测对象四周，避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现了将被测对象全方位打亮，提升成像质量。
附图说明
图1为本发明提供的一种光学成像系统的第一种结构示意图；
图2为本发明提供的一种光学成像系统中侧边同轴光源模块的结构示意图；
图3为本发明提供的一种光学成像系统中多角度光源模块的结构示意图；
图4为本发明提供的一种光学成像系统中光学模块的外部结构示意图；
图5为本发明提供的一种光学成像系统中光学模块的内部结构示意图；
图6为本发明提供的一种光学成像系统的第二种结构示意图；
图7为本发明提供的一种光学成像系统的第二种结构中激光主座的结构示意图。
附图标记：1、光学主平板；2、光学模块；3、相机模块；4、侧边同轴光源模块；5、多角度光源模块；6、同轴灯板；7、同轴灯板底座；8、扩散片；9、圆顶外罩；10、圆顶光源；11、环形光源；12、高角度光源；13、圆环扩散片；14、棱镜箱体座；15、侧镜筒；16、连体棱镜；17、分光棱镜；18、直角反射镜；19、第一半透半反镀膜层；20、第二半透半反镀膜层；21、第三半透半反镀膜层；22、分光固定座；23、双光路前镜筒；24、双光路后镜筒；25、主光路工业相机；26、侧路工业相机；27、激光主座；28、激光反光镜保持架；29、聚光镜；30、激光指示器；31、激光安装座；32、镜头端盖；33、棱镜盖板。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下参照附图并举实施例对本发明进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
需说明的是，当部件被称为“固定于”或“设置于”另一个部件，它可以直接在另一个部件上或者间接在该另一个部件上。当一个部件被称为是“连接于”另一个部件，它可以是直接连接到另一个部件或者间接连接至该另一个部件上。
还需说明的是，本发明实施例的附图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件；在本发明的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此，附图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本专利的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语的具体含义。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
实施例：
本发明公开了一种光学成像系统，请参阅图1，图1为本发明提供的一种光学成像系统的第一种结构示意图。本发明实施例中包括光学主平板1、光学模块2、相机模块3、侧边同轴光源模块4和多角度光源模块5；其中，所述光学主平板1为常见的板状结构，其上设有若干个连接孔，用于与各个模块相连接，起到支撑各个模块的作用，所述光学模块2和相机模块3均设于所述光学主平板1的表面上，且所述相机模块3朝向所述光学模块2的折射光方向设置，所述光学模块2用于传递被测对象的反射光至相机模块3，所述相机模块3设置在被测对象的特征成像光的光路上，采集被测对象反射的图像；所述侧边同轴光源模块4设于所述光学模块2的侧面，且所述侧边同轴光源模块4的出光方向朝向所述光学模块2，当所述侧边同轴光源模块4射出光线时，通过光学模块2可将光线的路径调整为从被测对象的测方向射向被测对象；所述多角度光源模块5设于所述光学主平板1背离所述的光学模块2的表面上，所述多角度光源模块5与所述光学模块2相连通；其中，所述多角度光源模块5的出光方向背离所述光学模块2，朝向被测对象，多角度光源模块5内设有多个不同角度的光源，射出的光线可将测对象全方位打亮。
在本发明实施例中，当需要进行检测时，侧边同轴光源模块4射出光线，通过光学模块2将侧边同轴光源模块4射出光线的光路调整为从被测对象的侧方射向被测对象，且多角度光源模块5环绕于被测对象四周，射出的光线具有多种角度，避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现了将被测对象全方位打亮，再通过相机模块3与光学模块2配合，将被测对象反射的特征成像光转为图像电信号，从而能在图像处理计算机看到被测对象清晰的成像，大大提升了成像质量。
具体的，请参阅图2，图2为本发明提供的一种光学成像系统中侧边同轴光源模块的结构示意图。所述侧边同轴光源模块4包括：同轴灯板底座7、同轴灯板6和扩散片8，所述同轴灯板底座7设于所述光学模块2的侧面，与所述光学模块2可拆卸连接；所述同轴灯板6设于所述同轴灯板底座7的内部，与所述同轴灯板底座7的内部的尺寸相适配，且所述同轴灯板6的出光方向朝向所述光学模块2，可选的，所述同轴灯板6上设有若干个灯珠；所述扩散片8设于所述同轴灯板底座7上、并位于所述同轴灯板6和所述光学模块2之间，所述扩散片8的形状与所述同轴灯板底座7朝向所述光学模块2的端面相适配，用于将所述同轴灯板6发出的光线扩散至光学模块2。
更具体的，请参阅图3，图3为本发明提供的一种光学成像系统中多角度光源模块的结构示意图。所述光学主平板1上设有贯穿所述光学主平板1厚度方向的连接口，所属连接口呈矩形，所述多角度光源模块5包括：圆顶外罩9、圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12；其中，所述圆顶外罩9的一端和所述圆顶外罩9的另一端均呈开口状，所述圆顶外罩9的一端通过所述连接口与所述光学主平板1可拆卸连接，所述圆顶外罩9的一端的内径至所述圆顶外罩9另一端的内径逐渐增大，整个圆顶外罩9呈漏斗状或喇叭状；所述圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12沿所述圆顶外罩9另一端至所述圆顶外罩9一端的方向依次设于所述圆顶外罩9的内壁上；因为所述圆顶外罩9的形状特性，因此圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12设置的角度各不相同，相对于被测对象呈自下向上的方向设置，而多角度光源的好处在于可避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现全方位打亮，避免出现阴影，提升后续检测的成像质量。
其中，所述圆顶光源10的内部设有圆环扩散片13，所述圆顶光源10的内圈为圆形，圆环扩散片13内设有扩散物质，借有扩散物质的折射和反射将圆顶光源10射出的光线雾化，并将光均匀透出，提供均匀的出光。应理解的是，本发明对于圆环扩散片13内的扩散物质不做具体限定。
作为进一步地方案，请一并参阅图1、图4和图5，图4为本发明提供的一种光学成像系统中光学模块的外部结构示意图；图5为本发明提供的一种光学成像系统中光学模块的内部结构示意图。所述光学模块2包括：棱镜箱体座14、侧镜筒15、连体棱镜16、分光棱镜17和直角反射镜18；其中，所述棱镜箱体座14将连体棱镜16包裹住，起到保护作用，所述棱镜箱体座14的下表面呈开口状，所述棱镜箱体座14的下表面可拆卸连接于所述光学主平板1的表面上，所述棱镜箱体座14的下表面与所述连接口相对应，以便于透光，且所述棱镜箱体座14与所述同轴灯板底座7相连接；所述侧镜筒15连接于所述光学主平板1的表面上，并与所述相机模块3相连接；所述连体棱镜16设于所述棱镜箱体座14内，且所述连体棱镜16的部分相对于所述连接口设置，以便于通过连接口进行光线的折射，连体棱镜16四周均有工件覆盖，只与光学主平板1上的连接口配合，使光路理想化；所述分光棱镜17设于所述光学主平板1的表面上、与所述相机模块3相连接，所述分光棱镜17位于所述侧镜筒15的侧面，并与所述连体棱镜16位于同一直线上，与所述连体棱镜16传递光线；所述分光棱镜17设于所述侧镜筒15内，并与所述相机模块3相对设置，用于将被测对象反射的部分光线转折90°传输至相机模块3。
在本发明实施例中，所述连体棱镜16朝向所述分光棱镜17的一端内设有第一半透半反镀膜层19，所述连体棱镜16背离所述分光棱镜17的一端内设有第二半透半反镀膜层20；所述分光棱镜17内设有所述第三半透半反镀膜层21；具体的，所述连体棱镜16为45*90*45mm的长方体，其内部设有两斜面，第一半透半反镀膜层19和第一半透半反镀膜层19设置在连体棱镜16的内部相对立的斜面上，便于转换光线的角度，所述分光棱镜17为25*25mm的正方体，其内部的斜面上设有第三半透半反镀膜层21。更具体的，所述同轴灯板6的轴线、第一半透半反镀膜层19、第二半透半反镀膜层20、第三半透半反镀膜层21的轴线和被测对象的轴线均呈共线设置，所述同轴灯板6的出射光路透过第一半透半反镀膜层19反射至第二半透半反镀膜层20从被测对象的正上方转换角度后和圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12的出射光一起射向被测对象。
作为更进一步地方案，请继续参阅图1，所述相机模块3包括：分光固定座22、双光路前镜筒23、双光路后镜筒24、主光路工业相机25和侧路工业相机26；所述分光固定座22可拆卸连接于所述光学主平板1的表面上、设于所述分光棱镜17的外部，用于保护分光棱镜17，与所述侧镜筒15相连接，且与所述棱镜箱体座14相对设置，位于同一直线上；所述双光路前镜筒23的一端连接于所述棱镜箱体座14内部，与所述分光棱镜17相对设置，所述双光路前镜筒23的另一端连接于所述分光固定座22内部；所述双光路后镜筒24的一端连接于所述分光固定座22内部，并与所述双光路前镜筒23的另一端相对设置；所述主光路工业相机25连接于所述双光路后镜筒24的另一端上；所述侧路工业相机26连接于侧镜筒15上。
在本发明实施例中，请继续参阅图5，当同轴灯板6的出射光路(图5中虚线所示)透过第一半透半反镀膜层19反射至第二半透半反镀膜层20从被测对象的正上方转换角度后和圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12的出射光一起射向被测对象时，有50％的反射光往回路反射穿过第二半透半反镀膜层20和第一半透半反镀膜层19。在通过分光棱镜17的第三半透半反镀膜层21时，反射光分为两路，50％的反射光直射通过到主光路工业相机25，使能在图像处理计算机中看到主路被测对象成像；有50％的反射光反射到直角反射镜18将光路转折90°，因此可通过侧路工业相机26在图像处理计算机看到侧路被测对象成像。因此，通过主光路工业相机25和侧路工业相机26侧边与同轴光源模块和多角度光源模块5相配合，将特征成像光转为图像电信号，可在图像处理计算机中看到两路成像，进行两个视角的拍摄成像，获取被测对象的更多细节，提高了检测精度和生产效率。
作为更进一步地方案，请一并参阅图6、图7，图6为本发明提供的一种光学成像系统的第二种结构示意图；图7为本发明提供的一种光学成像系统的第二种结构中激光主座的结构示意图。所述光学成像系统还包括：激光主座27、激光反光镜保持架28、聚光镜29、激光安装座31和激光指示器30；其中，所述激光主座27连接于所述棱镜箱体座14上，即连体棱镜16上方，且所述激光主座27靠近所述棱镜箱体座14的一端上设有向所述棱镜箱体座14倾斜的安装面，所述安装面上设有贯通的透光槽，用于透射激光；所述激光反光镜保持架28可拆卸连接于所述安装面上；所述聚光镜29贴合设于所述激光反光镜保持架28的内侧，并位于所述透光槽的上方；所述激光安装座31连接于所述分光固定座22的顶部；所述激光指示器30的一端穿过所述激光安装座31和所述棱镜箱体座14的顶部深入所述激光主座27内，所述激光指示器30的中部与所述激光安装座31相连接。
在本发明实施例中，当被测对象被检测出为不良品需要标记时，通过激光指示器30产生激光，经过所述聚光镜29汇聚，再从连体棱镜16透射到被测对象上进行切割加工，通过主光路工业相机25和侧路工业相机26连接到图像处理计算机收集成像图片，再进行分析处理，从而实现同步检测被测对象内部的激光加工状态。因此，本发明可免去光学成像系统在检测到不良品的反应时间，对被测对象进行切割加工提升检测速度。
其中，请继续参阅图4，所述棱镜箱体座14背离所述相机模块3的端面上设有镜头端盖32，所述棱镜箱体座14背离所述光学主平板1的端面上设有棱镜盖板33，在不需要激光切割加工时，所述移除棱镜盖板33呈关闭状态，以避免误加工。
所述棱镜箱体座14的内侧和所述镜头端盖32朝向所述棱镜箱体座14的侧面上均设有黑绒布(图中未示出)，连体棱镜16位于棱镜箱体座14内，黑绒布吸收了第一半透半反镀膜层19和第二半透半反镀膜层20反射的光，避免光线散射。
下面结合具体的使用场景，对本发明实施例中的光学成像系统的工作过程做详细描述：
当需要进行检测时，侧边同轴光源模块4射出光线，通过连体棱镜16将同轴灯板6射出光线的光路调整为从被测对象的侧方射向被测对象，且圆顶光源10、环形光源11和高角度光源12环绕设置在被测对象四周，射出的光线具有多种角度，避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现了将被测对象全方位打亮，再通过主光路工业相机25和侧路工业相机26与三个棱镜的配合，将被测对象反射的特征成像光转为图像电信号，从而能在图像处理计算机看到被测对象清晰的成像，大大提升了成像质量。
综上所述，本发明提供了一种光学成像系统，其中，包括光学主平板、光学模块、相机模块、侧边同轴光源模块和多角度光源模块；其中，所述光学模块和相机模块均设于所述光学主平板的表面上，且所述相机模块朝向所述光学模块的折射光方向设置；所述侧边同轴光源模块设于所述光学模块的侧面，且所述侧边同轴光源模块的出光方向朝向所述光学模块；所述多角度光源模块设于所述光学主平板背离所述的光学模块的表面上，所述多角度光源模块与所述光学模块相连通；其中，所述多角度光源模块的出光方向背离所述光学模块。本发明通过光学模块将侧边同轴光源模块射出光线的光路调整为从被测对象的侧方射向被测对象，且多角度光源模块环绕于被测对象四周，避免打光时出现灯光盲区或亮度不均匀的情况，实现了将被测对象全方位打亮，提升成像质量。
本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的方案后，将容易想到本发明的其它实施方案。本发明旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求所指出。
Claims (10)
1.一种光学成像系统，包括光学主平板，其特征在于，所述光学成像系统还包括：
光学模块和相机模块，所述光学模块和相机模块均设于所述光学主平板的表面上，且所述相机模块朝向所述光学模块的折射光方向设置；
侧边同轴光源模块，所述侧边同轴光源模块设于所述光学模块的侧面，且所述侧边同轴光源模块的出光方向朝向所述光学模块；
多角度光源模块，所述多角度光源模块设于所述光学主平板背离所述的光学模块的表面上，所述多角度光源模块与所述光学模块相连通；其中，所述多角度光源模块的出光方向背离所述光学模块。
2.根据权利要求1所述的光学成像系统，其特征在于，所述侧边同轴光源模块包括：
同轴灯板底座，所述同轴灯板底座设于所述光学模块的侧面；
同轴灯板，所述同轴灯板设于所述同轴灯板底座的内部，且所述同轴灯板的出光方向朝向所述光学模块；
扩散片，所述扩散片设于所述同轴灯板底座上、并位于所述同轴灯板和所述光学模块之间。
3.根据权利要求1所述的光学成像系统，其特征在于，所述光学主平板上设有贯穿所述光学主平板厚度方向的连接口，所述多角度光源模块包括：
圆顶外罩，所述圆顶外罩的一端和所述圆顶外罩的另一端均呈开口状，所述圆顶外罩的一端通过所述连接口与所述光学主平板可拆卸连接，所述圆顶外罩的一端的内径至所述圆顶外罩另一端的内径逐渐增大；
圆顶光源、环形光源和高角度光源，所述圆顶光源、环形光源和高角度光源沿所述圆顶外罩另一端至所述圆顶外罩一端的方向依次设于所述圆顶外罩的内壁上。
4.根据权利要求3所述的光学成像系统，其特征在于，所述光学模块包括：
棱镜箱体座，所述棱镜箱体座的下表面呈开口状，所述棱镜箱体座的下表面可拆卸连接于所述光学主平板的表面上，所述棱镜箱体座的下表面与所述连接口相对应，且所述棱镜箱体座与所述同轴灯板底座相连接；
侧镜筒，所述侧镜筒连接于所述光学主平板的表面上，并与所述相机模块相连接；
连体棱镜，所述连体棱镜设于所述棱镜箱体座内，且所述连体棱镜的部分相对于所述连接口设置；
分光棱镜，所述分光棱镜设于所述光学主平板的表面上、与所述相机模块相连接，所述分光棱镜位于所述侧镜筒的侧面，并与所述连体棱镜位于同一直线上；
直角反射镜，所述分光棱镜设于所述侧镜筒内，并与所述相机模块相对设置。
5.根据权利要求4所述的光学成像系统，其特征在于，所述连体棱镜朝向所述分光棱镜的一端内设有第一半透半反镀膜层，所述连体棱镜背离所述分光棱镜的一端内设有第二半透半反镀膜层；所述分光棱镜内设有第三半透半反镀膜层。
6.根据权利要求4所述的光学成像系统，其特征在于，所述相机模块包括：
分光固定座，所述分光固定座可拆卸连接于所述光学主平板的表面上、设于所述分光棱镜的外部，与所述侧镜筒相连接，且与所述棱镜箱体座相对设置；
双光路前镜筒，所述双光路前镜筒的一端连接于所述棱镜箱体座内部，与所述分光棱镜相对设置，所述双光路前镜筒的另一端连接于所述分光固定座内部；
双光路后镜筒，所述双光路后镜筒的一端连接于所述分光固定座内部，并与所述双光路前镜筒的另一端相对设置；
主光路工业相机，所述主光路工业相机连接于所述双光路后镜筒的另一端上；
侧路工业相机，所述侧路工业相机连接于侧镜筒上。
7.根据权利要求6所述的光学成像系统，其特征在于，所述光学成像系统还包括：
激光主座，所述激光主座连接于所述棱镜箱体座上，且所述激光主座靠近所述棱镜箱体座的一端上设有向所述棱镜箱体座倾斜的安装面，所述安装面上设有贯通的透光槽；
激光反光镜保持架，所述激光反光镜保持架可拆卸连接于所述安装面上；
聚光镜，所述聚光镜贴合设于所述激光反光镜保持架的内侧，并位于所述透光槽的上方；
激光安装座，所述激光安装座连接于所述分光固定座的顶部；
激光指示器，所述激光指示器的一端穿过所述激光安装座和所述棱镜箱体座的顶部深入所述激光主座内，所述激光指示器的中部与所述激光安装座相连接。
8.根据权利要求3所述的光学成像系统，其特征在于，所述圆顶光源的内部设有圆环扩散片。
9.根据权利要求4所述的光学成像系统，其特征在于，所述棱镜箱体座背离所述相机模块的端面上设有镜头端盖，所述棱镜箱体座背离所述光学主平板的端面上设有棱镜盖板。
10.根据权利要求9所述的光学成像系统，其特征在于，所述棱镜箱体座的内侧和所述镜头端盖朝向所述棱镜箱体座的侧面上均设有黑绒布。
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116380911A (zh) * | 2023-03-27 | 2023-07-04 | 深圳市华拓半导体技术有限公司 | 一种基于3d机器视觉的光学成像系统及方法 |
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2021
- 2021-12-23 CN CN202111591945.1A patent/CN114217493A/zh active Pending
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