CN114193928A - 液体喷射头、液体喷射单元及喷射液体的装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够降低使用了SOI基板的喷嘴板中的翘曲的液体喷射头、液体喷射单元及喷射液体的装置。包括了具有喷嘴(4)的喷嘴板(110)、与喷嘴连通的单独液体腔，以及对单独液体腔内的液体加压的致动器，喷嘴板由包括第一Si层(101)、第二Si层(103)以及被第一Si层和第二Si层夹着的第一Si氧化膜层(102)的基板构成，在基板中，第一Si层被配置在液体喷射面一侧，第一Si层的厚度比第二Si层的厚度小，基板具有与喷嘴连通的贯通孔(80)，贯通第一Si层的贯通孔的直径比贯通第二Si层的贯通孔的直径小，第二Si层在不同于与第一Si氧化膜层相接的面的面里具有第二Si氧化膜层(104)。

Description

液体喷射头、液体喷射单元及喷射液体的装置

技术领域

本发明涉及液体喷射头、液体喷射单元以及喷射液体的装置。

背景技术

由于喷墨记录装置具有噪声极小且能够进行高速打印、还具有油墨的自由度且能够使用廉价的普通纸等多种优点，因此作为打印机、传真机、复印装置等图像记录装置或图像形成装置而被广泛地展开。

作为在喷墨记录装置中使用的喷墨头的性能，最重要的项目是使墨滴向纸面垂直地飞行，如果发生墨滴的喷射的倾斜，就会在图像中产生条纹，从而损害图像的品质。为了解决该问题，作为墨液的喷射口的喷嘴的形状是非常重要的。

在形成有喷嘴的喷嘴板中，已知的是利用对SOI(SilicononInsulator)基板的Si蚀刻及SiO2蚀刻技术的两段喷嘴板的制造技术。SOI具有通过一侧的Si层和另一侧的Si层来夹着Si氧化膜层的结构，一般用于LSI的制造。作为这样的两级喷嘴板的制作，例如进行的工序是利用对硅的蚀刻选择比高的Si氧化膜层的性质，通过磨削使SOI晶片薄膜化，并在其表面和背面进行图样印刷，通过蚀刻来进行加工。

但是，在使用SOI形成的现有的两级喷嘴板中，由于Si氧化膜层的残留应力，会在一侧的Si层的方向上产生翘曲。在上述制造工序中进行薄膜化时，由于Si氧化膜层的残留应力，晶片的翘曲变得显著，由于晶片的翘曲量在面内不均，就会增加外观检查时的聚焦点数，从而增加检查时间。

在现有技术中，专利文献1公开了在两级喷嘴的表面进行液滴保护膜(Si氧化膜)的成膜的方法。专利文献1的目的是对在喷嘴基板的液滴喷射面上形成的液滴保护膜的剥离或破损的发生进行抑制。

在专利文献1中记载了使用单晶硅基板或多晶硅基板作为喷嘴基板的情况，专利文献1不属于使用SOI基板的两级喷嘴板，所以不会发生使用SOI基板时的翘曲这样的问题。因此，在现有技术中，在使用SOI基板的喷嘴板中的翘曲的降低还没有得到解决。

因此，本发明的目的在于提供一种能够降低喷嘴板中的翘曲、特别是使用SOI基板的喷嘴板中的翘曲的液体喷射头。

【专利文献1】(日本)特开2010-142991号公报

发明内容

为了解决上述课题，本发明涉及的液体喷射头的特征在于包括：具有喷嘴的喷嘴板；与所述喷嘴连通的单独液体腔，以及对所述单独液体腔内的液体加压的致动器，所述喷嘴板由包括第一Si层、第二Si层以及被所述第一Si层和所述第二Si层夹着的第一Si氧化膜层的基板构成，在所述基板中，所述第一Si层被配置在液体喷射面一侧，所述第一Si层的厚度比所述第二Si层的厚度小，所述基板具有与所述喷嘴连通的贯通孔，贯通所述第一Si层的所述贯通孔的直径比贯通所述第二Si层的所述贯通孔的直径小，所述第二Si层在不同于与所述第一Si氧化膜层相接的面的面里具有第二Si氧化膜层。

根据本发明，能够降低喷嘴板中的翘曲、特别是使用SOI基板的喷嘴板中的翘曲。

附图说明

图1所示是用于说明SOI的剖面概要图。

图2所示是现有例所涉及的液体喷射头的喷嘴板的剖面概要图。

图3所示是本发明所涉及的液体喷射头的喷嘴板的一例中的剖面概要图。

图4所示是本发明所涉及的液体喷射头的喷嘴板的其他例中的剖面概要图。

图5所示是本发明所涉及的液体喷射头的其他例中的剖面概要图。

图6所示是本发明所涉及的液体喷射头的其他例中的其他的剖面概要图。

图7所示是本发明所涉及的液体喷射头的其他例中的立体概要图。

图8所示是本发明所涉及的液体喷射头的其他例中的剖面概要图。

图9所示是本发明所涉及的喷射液体的装置的一例中的概要图。

图10所示是喷头单元的一例中的概要图。

图11所示是液体循环装置的一例中的框图说明图。

图12所示是本发明所涉及的喷射液体的装置的其他例中的概要图。

图13所示是本发明所涉及的喷射液体的装置的其他例中的概要图。

图14所示是本发明所涉及的液体喷射单元的一例中的概要图。

图15所示是本发明所涉及的液体喷射单元的其他例中的概要图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的液体喷射头、液体喷射单元以及喷射液体的装置进行说明。还有，本发明不局限于以下所示的实施方式，对于其他的实施方式、追加、修正、删除等，在本领域技术人员所能想到的范围内可以进行变更，无论是怎样的方式，只要起到本发明的作用和效果，都在本发明的范围内。

本发明的液体喷射头的特征在于包括：具有喷嘴的喷嘴板；与所述喷嘴连通的单独液体腔，以及对所述单独液体腔内的液体加压的致动器，所述喷嘴板由包括第一Si层、第二Si层以及被所述第一Si层和所述第二Si层夹着的第一Si氧化膜层的基板构成，在所述基板中，所述第一Si层被配置在液体喷射面一侧，所述第一Si层的厚度比所述第二Si层的厚度小，所述基板具有与所述喷嘴连通的贯通孔，贯通所述第一Si层的所述贯通孔的直径比贯通所述第二Si层的所述贯通孔的直径小，所述第二Si层在不同于与所述第一Si氧化膜层相接的面的面里具有第二Si氧化膜层。

本实施方式中的喷嘴板由SOI(SilicononInsulator)基板构成。图1所示是SOI(SilicononInsulator)基板的剖面概要图。

SOI基板具有第一Si层101、第二Si层103、被夹在第一Si层101和第二Si层103之间的第一Si氧化膜层102。SOI基板具有通过一侧的Si层和另一侧的Si层来夹着对Si的选择比高的Si氧化膜层的结构。

由于SOI晶片是使Si基板的表面氧化，并在其单面粘贴Si基板来制造的，因此其板厚的不均被抑制在数百nm里。根据这一点，作为在两级喷嘴板中使用SOI基板的理由，可以列举有能够高精度地对成为喷墨的喷嘴孔的小径圆筒部的高度进行控制。

作为使用SOI基板的两级喷嘴板的制作，例如进行的工序是利用对硅的蚀刻选择比高的Si氧化膜层的性质，通过磨削使SOI晶片薄膜化，并在其表面和背面进行图样印刷，通过蚀刻来进行加工。

图2所示是使用SOI基板的现有的两级喷嘴板的剖面概要图。

在现有技术中，在上述制造工序中进行薄膜化时，由于Si氧化膜层的残留应力会在第一Si层101的方向上显著产生晶片的翘曲。发生晶片的翘曲，晶片的翘曲量在面内不均匀，就会增加外观检查时的聚焦点数，从而增加检查时间。

图3所示是使用本实施方式中的SOI基板的两级喷嘴板的剖面概要图。

作为与图2不同的地方，可以例举的是形成有第二Si氧化膜层104。在本实施方式中，第二Si层103在不同于与第一Si层102相接的面的面上具有第二Si氧化膜层104。作为不同于与第一Si氧化膜层102接触的面的面，这里是与第一Si氧化膜层102接触的面相向而对的面，第二Si层103在与第一Si层102相接的面相向而对的面上具有第二Si氧化膜层104。

通过形成第二Si氧化膜层104，能够抵消因第二Si氧化膜层104的残留应力而从第一Si氧化膜层102产生的残留应力，从而能够降低晶片的翘曲。通过降低晶片的翘曲，能够抑制晶片的翘曲量在面内的不均，防止外观检查时的聚焦点数的增加，并抑制检查时间的增大。

接着，基于图3对本实施方式进行详细说明。

本实施方式中的喷嘴板110具有喷嘴4，并由具有第一Si层101、第二Si层103、夹在第一Si层101和第二Si层103之间的第一Si氧化膜层102的SOI基板来构成。

在喷嘴板110中，第一Si层101配置在液体喷射面一侧，在图3中是将纸面的上侧作为液体喷射面一侧的。

为了防止液体的斜向喷射，需要将第一Si层101的厚度抑制在15μm左右以下。另外，为了确保晶片状态下的刚性，第一Si层101和第二Si层103的厚度的总计优选为50μm以上。其结果，第一Si层101的厚度比第二Si层103的厚度小。

喷嘴板110中的SOI基板具有与喷嘴4连通的贯通孔80。在本实施方式中，贯通第一Si层101的贯通孔80的直径尺寸(图中a)比贯通第二Si层103的贯通孔80的直径尺寸(图中b)小。通过满足该关系，能够在使用SOI基板的喷嘴板中形成两级喷嘴板。

在喷嘴板中，喷嘴的出口的直径越小，越能够喷射微小的墨滴，从而能够提高图像的分辨率，形成高品质的图像。另一方面，若喷嘴或与喷嘴连通的贯通孔的容积小，则流体阻力就会增大，从而损害喷射控制的自由度。因此，从减小喷嘴出口的直径并降低流体阻力的目的出发，可以说优选两级的形状。另外，如本实施方式那样，贯通孔80优选为与基板垂直的方向。这时，能够更高精度地从喷嘴喷射液滴。

在两级喷嘴板中，优选考虑贯通孔80的小口径部的深度，换句话说就是，考虑第一Si层101和第一Si氧化膜层102的总计的厚度。第一Si层101和第一Si氧化膜层102的总计的厚度优选比第二Si层103的厚度小。贯通孔80的小口径部的深度过大时，有时流体阻力增加而损害喷射特性，因此通过满足上述关系，能够防止流体阻力的增加，使得喷射特性提高。

另外，在喷射墨水时，需要使墨水的液面停留在喷嘴出口圆筒(贯通孔80的小口径部)内，若该液面到达贯通孔80的大口径部一侧，有时就会较大地损害喷射特性。因此，第一Si层101和第一Si氧化膜层102的总计厚度优选为50μm以上。在这种情况下，容易将墨水的的液面停留在第一Si层101或第一Si氧化膜层102的位置里，并能够抑制喷射特性的受损。

在本实施方式中，与基板垂直的方向的刚性中心存在于第二Si层103内。由于第二Si氧化膜层104比第一Si氧化膜层102更接近刚性中心，因此为了平衡第一Si氧化膜层102和第二Si氧化膜层104的应力，优选第一Si氧化膜层102的厚度比第二Si氧化膜层104的膜厚大。

作为本实施方式中的喷嘴板的制作方法，可以适当选择、变更。在喷嘴板的制作中，例如可以例举有在金属板上用压力机开孔的压力加工法、对Si基板进行蚀刻来开孔的干式蚀刻法。从形状的控制性高的角度考虑，优选使用干式蚀刻法。

例如，对图1所示的SOI基板进行Si的干蚀刻。当Si蚀刻到达Si氧化膜层时，深度方向的蚀刻在此停止。由于SOI基板的厚度能够以数百nm为单位来控制，因此容易控制出口小口径部分的长度。

在现有的两级喷嘴板中，众所周知的的例子是对在出口小口径部分加工后，进行相反面的磨削来薄膜化，并从磨削面来加工大口径部分，最后除去Si氧化膜层来进行制作。

相对于此，在本实施方式中，例如通过对SOI基板实施热氧化处理，在第二Si氧化膜层104和喷嘴出口一侧进行氧化膜层(未图示)的成膜。然后，通过蚀刻来除去喷嘴出口一侧的氧化膜层。接着，通过干蚀刻在液体喷射面里形成喷嘴4。然后，进行研磨处理使晶片的厚度例如成为50μm，最后通过干蚀刻来形成贯通孔80。如此来制作本实施方式中的使用SOI基板的两级喷嘴板。由此，能够抵消因第二Si氧化膜层104的残留应力而从第一Si氧化膜层102产生的残留应力，从而能够降低晶片的翘曲。

接着，说明本实施方式中的其他例子。图4所示是用于说明本例的剖面概要图。图4是与图3相同的剖视图。

在本发明中，第二Si层103在不同于与第一Si层102相接的面的面上具有第二Si氧化膜层104。因此，设置第二Si氧化膜层104的部位不限于图3所示的部位，只要能够消除从第一Si氧化膜层102产生的残留应力，就能够适当变更。如本例那样，也可以在第二Si层103的贯通孔80一侧的面里形成第二Si氧化膜层104。

如上所述，形成第二Si氧化膜层104的部位可以适当变更。如图4所示，即使是仅在第二Si层103中的贯通孔80一侧的面里形成第二Si氧化膜层104的情况，也能够消除从第一Si氧化膜层102产生的残留应力，并获得本发明的效果。另一方面，从消除由第一Si氧化膜层102产生的残留应力的观点出发，更优选的是在与第一Si氧化膜层102接触的面的相向而对的面、以及第二Si层103中的贯通孔80一侧的面里形成第二Si氧化膜层104。在这种情况下，能够进一步消除从第一Si氧化膜层102产生的残留应力。另外，还考虑制造工序的观点时，就如图3所示，更优选的是仅在与第一Si氧化膜层102接触的面的相向而对的面里形成第二Si氧化膜层104。

以下，参照附图来说明本发明的实施方式的基本构成。图5所示是沿着与该实施方式所涉及的液体喷射头的喷嘴排列方向为正交的方向(压力室长度方向)的截面说明图，图6所示是沿着该喷嘴排列方向的截面说明图。

本实施方式的液体喷射头100将喷嘴板1、作为单独流路部件的流路板2、作为壁面部件的振动板部件3层叠接合。然后，具备使振动板部件3的振动区域(振动板)30变位位移的压电致动器11(致动器)、和兼作喷头的框架部件的共用流路部件20。另外，以下也将单独液体腔称为压力室。

喷嘴板1具有喷射液体的多个喷嘴4。

流路板2形成与多个喷嘴4连通的多个压力室6、分别与各压力室6连通的单独流路即单独供给流路7、以及与1个或多个(本实施方式中为1个)单独供给流路7连通成为液体导入部的中间供给流路8。

振动板部件3具有形成流路板2的压力室6的壁面的可变位位移的多个振动板(振动区域)30。在此，振动板部件3为双层结构(没有限定)，包括从流路板2一侧来形成薄壁部的第一层3A和形成厚壁部的第二层3B。

然后，在作为薄壁部的第一层3A与压力室6对应的部分里形成可以变形的振动区域30。在振动区域30内形成有以第二层3B与压电致动器11接合的厚壁部即凸部30a。

然后，在振动板部件3的与压力室6相反的一侧配置有包括电机转换元件的压电致动器11，来作为使振动板部件3的振动区域30变形的驱动机构(致动器机构、压力发生机构)。

该压电致动器11通过半切割法对接合在基底部件13上的压电部件进行槽的切割加工，在喷嘴排列方向上以规定的间隔将所需数量的柱状的压电元件12形成为梳齿状。而且，压电元件12与形成在振动板部件3的振动区域30里的厚壁部即凸部30a接合。

该压电元件12是将压电层和内部电极交替层叠而成的，内部电极分别被引出到端面与外部电极(端面电极)连接，外部电极与挠性配线部件15连接。

共用流路部件20形成与多个压力室6连通的共用供给流路10。共用供给流路10经由设置在振动板部件3里的开口部9与成为液体导入部的中间供给流路8连通，并经由中间供给流路8与单独供给流路7连通。

在该液体喷射头100中，例如通过将施加到压电元件12里的电压从基准电位(中间电位)开始下降来使得压电元件12收缩，并通过振动板部件3的振动区域30被牵拉后使得压力室6的容积膨胀，从而使得液体流入压力室6内。

之后，提高施加在压电元件12里的电压以使得压电元件12在层叠方向上伸长，通过使振动板部件3的振动区域30沿朝向喷嘴4的方向变形来收缩压力室6的容积，压力室6内的液体被加压后从喷嘴4喷射液体。

图7所示是另一实施方式中的液体喷射头的立体图，图8所示是沿着与本实施方式中的液体喷射头的喷嘴排列方向为正交的方向(压力室长度方向)的剖面说明图。本实施方式的液体喷射头100是循环型液体喷射头，将喷嘴板1、流路板2、作为壁面部件的振动板部件3层叠接合。然后，具备使振动板部件3的振动区域(振动板)30变位位移的压电致动器11、和兼作喷头的框架部件的共用流路部件20。

然后，流路板2形成有分别经由喷嘴连通路5与多个喷嘴4连通的多个压力室6、分别与多个压力室6连通的兼作多个流体阻力部的单独供给流路7、与两个以上的单独供给流路7连通的成为一个或多个液体导入部的中间供给流路8等。

单独供给流路7与上述实施方式同样地，包括有流体阻力比压力室6高的两个第一流路部7A及第二流路部7B、和配置在第一流路部7A与第二流路部7B之间且流体阻力比第一流路部7A及第二流路部7B低的第三流路部7C。

另外，流路板2虽然是对多片的板状部件2A～2E进行层叠来构成的，但不限于此。

另外，流路板2还形成有经由喷嘴连通路5来沿着分别与多个压力室6连通的流路板2的面方向的多个的单独回收流路57、和与两个以上的单独回收流路57连通的成为一个或多个液体导出部的中间回收流路58。

单独供给流路57包括有流体阻力比压力室6高的两个第一流路部57A及第二流路部57B、和配置在第一流路部57A与第二流路部57B之间且流体阻力比第一流路部57A及第二流路部57B低的第三流路部57C。单独回收流路57的在循环方向上比第二流路部57B更靠下游侧的流路部57D与第三流路部57C为相同的流路宽度。

共用流路部件20形成共用供给流路10和共用回收流路50。另外，在本实施方式中，共用供给流路10由在喷嘴排列方向上与共用回收流路50并列的流路部分10A和不与共用回收流路50并列的流路部分10B构成。

共用供给流路10经由设置在振动板部件3里的开口部9与成为液体导入部的中间供给流路8连通，并经由中间供给流路8与单独供给流路7连通。共用回收流路50经由设置在振动板部件3里的开口部59与成为液体导出部的中间回收流路58连通，并经由中间回收流路58与单独回收流路57连通。

另外，共用供给流路10与供给端口71连通，共用回收流路50与回收端口72连通。

还有，其他的振动板部件3的层结构、压电致动器11的构成等都与上述第一实施方式相同。

在该液体喷射头100中，也与所述第一实施方式同样地，使得压电元件12在层叠方向上伸长，通过使振动板部件3的振动区域30沿朝向喷嘴4的方向变形来收缩压力室6的容积，压力室6内的液体被加压后从喷嘴4喷射液体。

另外，没有从喷嘴4喷射的液体通过喷嘴4从单独回收流路57被回收到共用回收流路50，并从共用回收流路50通过外部的循环路径再次被供给到共用供给流路10。另外，在不从喷嘴4进行液体喷射时，液体也从共用供给流路10经由压力室6循环到共用回收流路50，并通过外部的循环路径再次被供给到共用供给流路10。

在本实施方式中，也能够以简单的构成来减弱伴随液体喷射的压力变动，并抑制对共用供给流路10、共用回收流路50的传播。

接着，参照图9和图10来对本发明所涉及的喷液装置的一例进行说明。图9所示是该装置的概要说明图，图10所示是该装置的喷头单元的一例的俯视说明图。

作为该喷射液体的装置的打印装置500具备有搬入连续体510的搬入机构501、将从搬入机构501搬入的连续纸、片材等的连续体510引导输送到打印机构505的引导输送机构503、对连续体510喷射液体来进行形成图像的打印的打印机构505、干燥连续体510的干燥机构507、搬出连续体510的搬出机构509等。

连续体510从搬入机构501的始卷辊511送出，通过搬入机构501、引导输送机构503、干燥机构507、搬出机构509的各辊被引导、输送后，在搬出机构509的卷绕辊591被卷绕。

该连续体510在打印机构505中，在输送导向部件559上与喷头单元550及喷头单元555相向而对地输送，并通过喷头单元550喷射的液体来形成图像，通过喷头单元555喷射的处理液来进行后处理。

这里，在喷头单元550中，例如从输送方向上游侧开始配置有四种颜色的全线型喷头阵列551A、551B、551C、551D(以下，在不区分颜色时称为"喷头阵列551")。

各喷头阵列551是液体喷射机构，分别对着输送来的连续体510喷射黑色K、青色C、品红色M、黄色Y的液体。另外，颜色的种类及数量并不限于此。

喷头阵列551例如是将本发明所涉及的液体喷射头(也将其简称为"喷头")100在基座部件552上排列成锯齿状来配置，但不限于此。

接着，参照图11对液体循环装置的一个例子进行说明。图11所示是该循环装置的框图说明图。另外，在此虽然仅图示了一个喷头，但在排列多个喷头的情况下，是经由歧管等在多个喷头的供给侧、回收侧分别连接供给侧液体路径、回收侧液体路径的。

液体循环装置600的构成包括供给罐601、回收罐602、主罐603、第一液体给送泵604、第二液体给送泵605、压缩机611、调节器612、真空泵621、调节器622、供给侧压力传感器631、回收侧压力传感器632等。

这里，压缩机611及真空泵621构成了使供给罐601内的压力和回收罐602内的压力产生差压的机构。

供给侧压力传感器631在供给罐601与喷头100之间，被连接到与喷头100的供给端口71相连的供给侧液体路径。回收侧压力传感器632在喷头100与回收罐602之间，被连接到与喷头100的回收端口72相连的回收侧液体路径。

回收罐602的一侧经由第一液体给送泵604与供给罐601连接，回收罐602的另一侧经由第二液体给送泵605与主罐603连接。

由此，液体从供给罐601通过供给端口71流入到喷头100内，并从回收端口72朝着回收罐602被回收，液体通过第一液体给送泵604从回收罐602向供给罐601输送，由此构成了液体循环的循环路径。

在此，在供给罐601里连接有压缩机611，以通过供给侧压力传感器631检测规定的正压的方式来进行控制。另一方面，在回收罐602上里连接有真空泵621，以通过回收侧压力传感器632检测规定的负压的方式来进行控制。

由此，在使得液体通过喷头100内进行循环的同时，能够将弯液面的负压保持为一定。

另外，从喷头100的喷嘴4喷射液体时，供给罐601及回收罐602内的液体量会减少。因此，适当地使用第二液体给送泵605来从主罐603向回收罐602补充液体。

还有，从主罐603向回收罐602补充液体的时机，可以是在回收罐602内的液体的液面高度低于规定高度时来进行液体补充等的，通过设置在回收罐602内的液面传感器等的检测结果来进行控制。

接着，参照图12及图13来对作为本发明所涉及的喷射液体的装置的打印装置的其他例进行说明。图12所示是该装置的主要部分平面说明图，图13所示是该装置的主要部分侧面说明图。

该打印装置500是串列型装置，通过主扫描移动机构493，滑架403在主扫描方向上往返移动。主扫描移动机构493包括导向部件401、主扫描电动机405、时机带408等。导向部件401被架设在左右的侧板491A、491B上，并将滑架403保持为可以移动。然后，通过主扫描电动机405，经由架设在驱动带轮406和从动带轮407之间的时机带408，滑架403就在主扫描方向上往返移动了。

在该滑架403上，搭载了将本发明所涉及的液体喷出头100以及存储有供给给液体喷射头的液体的喷头罐441一体化了的液体喷出单元440。液体喷射单元440的液体喷射头100，例如，喷射黄色(Y)、青色(C)、品红色(M)、黑色(K)等各色的液体。另外，液体喷射头100还将由多个的喷嘴构成的喷嘴列配置在与主扫描方向正交的副扫描方向上，并将喷射方向朝下方地来安装。

液体喷射头100与前述的液体循环装置600连接，并且循环供给有所需颜色的液体。

该打印装置500具有用于输送纸张410的输送机构495。输送机构495包括作为输送手段的输送带412、用于驱动输送带412的副扫描电动机416。

输送带412将纸张410吸附并输送到与液体喷出头100相向而对的位置。该输送带412是环状带，被架设在输送辊413和张紧辊414之间。吸附可以通过静电吸附或空气吸引等进行。

然后，输送带412通过输送辊413由副扫描马达416借助时机带轮417和时机带轮418的旋转驱动，在副扫描方向上进行环绕移动。

更进一步地，在滑架403的主扫描方向的一端里，在输送带412的一侧配置有进行液体喷出头100的维持恢复的维持恢复机构420。

维持恢复机构420例如是由覆盖作为喷液头100的液体喷射面的喷嘴面(形成喷嘴的面)的盖部件421、擦拭喷嘴面的刮擦构件422等构成的。

主扫描移动机构493、维持恢复机构420、输送机构495等被安装在包括侧板491A、491B、背板491C的框体里。

在这样构成的该打印装置500中，纸张410在输送带412上被供纸并吸附，通过输送带412的环绕移动，纸张410就在副扫描方向上得到输送了。

因此，通过使得滑架403在主扫描方向上移动的同时根据图像信号来驱动液体喷出头100，就在停止的纸张410上喷出液体来形成图像了。

接着，参照图14来说明本发明所涉及的液体喷出单元的其他例子。图14所示是该单元的主要部分的平面说明图。

该液体喷射单元440在构成上述喷出液体装置的部件之中，是由侧板491A、491B及背板491C构成的框体部分、主扫描移动机构493、滑架403及液体喷射头100来构成的。

另外，在该液体喷射单元440的例如侧板491B中，也可以构成为进一步安装上述维持恢复机构420的液体喷射单元。

接着，参照图15来说明本发明所涉及的喷液单元的又一个例子。图15所示是该单元的正面说明图。

该液体喷射单元440由安装了流路零件444的液体喷射头100、和与流路零件444连接的管456构成。

另外，流路零件444被配置在罩盖442的内部。也可以包括喷头罐441来代替流路零件444。另外，在流路零件444的上部设有与液体喷射头100进行电连接的连接器443。

在本申请中，排出的液体只要是具有能够从喷头排出的粘度和表面张力的即可，没有特别的限定，优选的是在常温、常压下或加热、冷却时粘度在30MPa·s以下的液体。更具体而言是包括水或有机溶剂等的溶剂、染料和颜料等的着色剂，和聚合性化合物、树脂、界面活化剂等功能性赋予材料，和DNA、氨基酸和蛋白质、钙等的生物适应性材料，和天然色素等的可食用材料等的溶液、悬浮液、乳胶等，可以将它们用于例如喷墨用墨液、表面处理液、电子元件和发光元件的构成要素和电子电路抗蚀剂图案的形成用液、三维造型用材料液等的用途。

作为排出液体的能量发生源，包括使用压电致动器(积层型压电元件及薄膜型压电元件)、发热电阻体等的电热转换元件的热致动器，和由振动板及对向电极组成的静电致动器等。

"液体喷射单元"是在喷液头上功能部件和机构一体化后形成的，包括与液体排出有关的部件的集合体。例如，"液体喷射单元"包括将喷头罐、滑架、供给机构、维持恢复机构、主扫描移动机构、液体循环装置的构成中的至少一个与液体喷射头组合而成。

这里，一体化是指例如液体喷射头和功能零件、机构通过紧固、粘接、卡合等相互固定而成，一方相对于另一方被保持为能够移动。另外，液体喷射头和功能零件、机构也可以构成相互可以装卸的。

例如，作为喷液单元，有喷液头和喷头罐一体化而成的。另外，有通过软管等相互连接，来使得喷液头和喷头罐一体化的。在此，也可以在这些液体喷射单元的喷头罐和液体喷射头之间追加含有过滤器的单元。

另外，作为液体喷射单元，有液体喷射头和滑架一体化而成的装置。

另外，作为液体喷射单元，也有将液体喷射头可以移动地保持到构成扫描移动机构的一部分的导向部件上，来使得液体喷射头和扫描移动机构一体化。另外，有喷液头和滑架及主扫描移动机构一体化构成的。

另外，作为液体喷射单元，还有在安装了液体喷射头的滑架上对作为维持恢复机构的一部分的罩盖部件进行固定，来使得液体喷射头和滑架及维持恢复机构一体化的结构。

另外，作为喷液单元，有在安装了喷头罐或流路部件的喷液头里连接软管，来使得喷液头和供给机构一体化。通过该软管，液体储存源的液体就被供给到喷液头了。

主扫描移动机构也包括导向部件单体。另外，供给机构还包括软管单体、装填部单体。

在"喷液装置"中设有喷液头和喷液单元，并包括驱动喷液头来喷液的装置。在喷射液体的装置中，不仅是对于可以附着液体的物体而能够喷射液体的装置，还包括向空中或液体中喷射液体的装置。

该"喷射液体的装置"还可以包括涉及对能够附着液体的物体进行供给、输送、排纸的机构，以及前处理装置、后处理装置等。

例如，作为"喷射液体的装置"，有喷射墨水在纸张上形成图像的装置的图像形成装置，和为了对立体造型物(三维造型物)进行造型而在将粉体形成为层状的粉体层上喷射造形液的立体造型装置(三维造型装置)。

另外，"喷射液体的装置"不局限于通过喷出的液体来使得文字、图形等有意思的图像被可视化。例如，也包括形成本身没有意思的图形，以及对三维图像进行造型的东西。

上述"可附着液体的物质"是指液体至少能够暂时附着的物质，指的是附着后粘着、附着后渗透之物。作为具体例子，可以是纸张、记录纸、记录纸张、薄膜、布等的被记录介质，和电子基板、压电元件等的电子零件，以及粉体层(粉末层)、脏器模型、检查用单元等的介质，只要没有特别限制，就包括所有的液体可以附着的物质。

上述"可附着液体的物质"的材质，只要是纸、丝、纤维、布帛、皮革、金属、塑料、玻璃、木材、陶瓷等的液体即使暂时也能够附着的即可。

另外，"喷射液体的装置"有液体喷射头和可附着液体的物质相对移动的装置，但并不局限于此。作为具体例子，包括有使得液体喷射头移动的串行装置、不使液体喷射头移动的线型装置等。

另外，作为"喷液装置"，还有以用纸的表面改性等目的为了在用纸的表面涂布处理液而将处理液排出到用纸上的处理液涂覆装置，以及将原料分散到溶液中的组成液通过喷嘴喷射后来对原材料的微小粒子进行造粒的喷射造粒装置等。

另外，在本申请的用语中，图像形成、记录、印字、印写、印刷、造型等均为同义词。

Claims (7)

1.一种液体喷射头，其特征在于包括：

具有喷嘴的喷嘴板；

与所述喷嘴连通的单独液体腔，以及

对所述单独液体腔内的液体加压的致动器，

所述喷嘴板由包括第一Si层、第二Si层以及被所述第一Si层和所述第二Si层夹着的第一Si氧化膜层的基板构成，

在所述基板中，所述第一Si层被配置在液体喷射面一侧，

所述第一Si层的厚度比所述第二Si层的厚度小，

所述基板具有与所述喷嘴连通的贯通孔，

贯通所述第一Si层的所述贯通孔的直径比贯通所述第二Si层的所述贯通孔的直径小，

所述第二Si层在不同于与所述第一Si氧化膜层相接的面的面里具有第二Si氧化膜层。

2.根据权利要求1所述的液体喷射头，其特征在于：

所述第二Si层在与所述第一Si氧化膜层相接的面为相向而对的面里具有所述第二Si氧化膜层。

3.根据权利要求1或2所述的液体喷射头，其特征在于：

所述第一Si层和所述第一Si氧化膜层的总计厚度比所述第二Si层的厚度小。

4.如权利要求1至3中任一项所述的液体喷射头，其特征在于：

所述第一Si氧化膜层的厚度比所述第二Si氧化膜层的厚度大。

5.一种液体喷射单元，其特征在于：

具备权利要求1至4中任一项所述的液体喷射头。

6.根据权利要求5所述的液体喷射单元，其特征在于：

将存储有供给到所述液体喷射头里的液体的喷头罐、搭载所述液体喷射头的滑架、对所述液体喷射头供给液体的供给机构、进行所述液体喷射头的维护恢复的维护恢复机构、使得所述液体喷射头在主扫描方向上移动的主扫描移动机构中的至少某一个与所述液体喷射头一体化。

7.一种喷射液体的装置，其特征在于：

具备权利要求1至4中任一项所述的液体喷射头或者权利要求5或6所述的液体喷射单元。

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