CN114184308A - 基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及其制备方法，包括基底材料预处理；离电传感电极制备，制备化学导电材料，化学导电悬浮液喷涂于基材表面，通过纳秒激光雕刻图案化制备，得到图案化的离电传感电极；将弹性体粉末加入到溶剂中，在预设温度下搅拌，加入离子液体，升温度搅拌混合均匀，得到混合溶液；将混合溶液以固定的转速旋涂于离电传感电极表面，加热固化成膜，得到离电膜；将图案化的离电传感电极封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直。本发明解决了目前电容式传感器灵敏度低、响应时间长等问题，该传感器响应时间快、线性度好，可广泛使用在柔性可穿戴电子设备。

Description

基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及制备方法

技术领域

本发明属于柔性压力传感器领域，特别涉及一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及制备方法。

背景技术

柔性传感器具有良好的柔韧性、延展性，可以自由弯曲甚至折叠，而且结构形式灵活多样，可根据测量条件的要求任意放置，能够非常方便地对复杂外形的物体进行检测。随着技术的发展和应用场景的日益复杂性，柔性压力传感更是得到广泛研究，并已经在工业、医疗和消费电子领域中得到了应用。传统的柔性传感器主要基于光学和电学两种机理，后者由于其更高的器件柔韧性、易集成和结构简单等优势，获得更广泛的应用。

可穿戴式柔性传感器在机器人电子皮肤(E-skin)和医疗监控系统等方面有着广泛的应用。开发具有良好灵敏度和机械灵活性的大面积、高性能压力传感器是科研工作者亟需解决的关键性科学问题。传统电容式压力传感器存在灵敏度低、滞后大、非线性和重复性差等缺点，导致信号后续电路处理困难。相比之下，离电式传感器具有灵敏度高、响应范围宽等优点。

传统的电容式传感器具有阵列化制备困难，响应时间慢等缺点，离电传感是近年来发展的一种全新传感机理，它通过测定在压力下发生变化的离子-电子双电层的电容值大小，从而记录压力数值。相比于电阻式、电压式和电容式等其他传感机理，离电传感具有极高的压力响应灵敏度、信噪比、抗干扰性、压力分辨率等，此外还具有独特的高透明性、动静态力响应宽等特性。这种传感机制可以很好地抵抗环境噪声和人体电容性噪声，对于柔性压力传感器和可穿戴应用方面有极大的提升帮助，并且在环境交互、健康监测、动作识别等应用领域引领了产品创新。

发明内容

为克服上述现有技术的缺陷与不足，本发明的目的在于，提供一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器及其制作方法，解决了目前电容式传感器灵敏度低、响应时间长等问题，实现了一种响应时间快、线性度好的全柔性一体化的离电式传感器，可广泛使用在柔性可穿戴电子设备，满足个性化医疗的需求。

本发明的目的是通过下述技术方案来实现的：

本发明给出了一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，包括以下步骤：

S1，基底材料预处理：

将基底材料超声处理，恒温烘干，再经等离子体预处理得到亲水性支撑柔性基底材料，将基底材料裁剪成相同面积的基材；

S2，离电传感电极制备：

通过侵蚀MAX相制备化学导电材料，将制备好的化学导电悬浮液喷涂于裁剪好的基材表面，通过纳秒激光雕刻图案化制备，得到图案化的离电传感电极；

S3,离电膜制备：

按照质量比(5-10)：(16-22)将弹性体粉末加入到溶剂中，在预设温度下搅拌，得到弹性体混合液，按照质量比为(3-8)：(15-23)在弹性体混合液中加入离子液体，升温度搅拌混合均匀，得到混合溶液；

将混合溶液以固定的转速旋涂于离电传感电极表面，加热固化成膜，得到离电膜；

S4，组装柔性离电式传感器

采用热压的方法将图案化的离电传感电极封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，自此完成柔性离电式传感器的制备。

作为优选，所述基底材料为PET或PI柔性支撑材料,厚度为10～50μm。

作为优选，将PET或PI基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理5-10mim，70-80℃恒温烘干；等离子体预处理1～5min，基材厚度为10～50μm。

作为优选，所述化学导电材料采用以下方法制备：

1)按照质量比(1-3)：(20-50)将Ti₃AlC₂浸入混合酸溶液中恒温下放置24-36h；

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3000-4000rpm下离心5-10min得沉淀物，去离子水冲洗沉淀物至溶液pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理1-3h；将悬浮液以3000-4000转/分的转速持续40-60min离心至纳米-微米级，得深色胶体Ti₃C₂Tx纳米片溶液。

作为优选，所述混合酸溶液为氟化锂和盐酸按照质量比为1：1混合而成。

作为优选，纳秒激光功率为1～5w，脉冲宽度为1000，速度为200～400mm·s^-1；

所述预设温度为90～120℃，加入离子液体后所述温度为140～150℃。

作为优选，所述弹性体粉末为TPU粉末或聚酯弹性体TPEE粉末,粒径为100～200目；

所述溶剂为DMF、四氢呋喃或DMSO；

所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐或1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐。

作为优选，化学导电悬浮液喷涂距离为30～40cm；

混合溶液在旋涂速度为600-800rmp，旋涂厚度为5～50μm；在60～100℃下加热1～3h进行固化。

作为优选，所述热压温度为100～125℃，热压时间为10～20min。

另一方面，利用本发明方法制备的基于激光雕刻的一体化全柔性的离电式传感器。

本发明充分考虑阵列化电极制备的复杂性，充分利用纳秒激光这种很有前途的制造技术雕刻工艺，可以在不同环境中快速雕刻图案，减少人员培训和流程优化。采用激光加工的技术工艺图案化传感电极大大简化了制备工艺，使得传感电极可以实现高精度，大面积，批量化制备。另外，一体化热压加工有效解决电极在弯曲环境下的滑移，因此使用了离子液体嵌入弹性体基质，利用弹性体粉末的热塑性和重结晶的性质实现了柔性压力传感器的一体化制备，大大简化制备工艺，能够为解决当前日益困难的封装问题提供理论参考。

相对于现有技术，本发明具有以下优点：

1)本发明引入了离子液体(1～乙基～3～甲基咪唑)(三氟甲基磺酰)酰亚胺([EMIM][TFSI]-阳离子-阴离子对)限制在热塑性聚氨酯(TPU)弹性体基质(连续相)中。其中，[TFSI]^-阴离子固定在TPU表面,[EMIM]⁺阳离子受与阴离子的库仑耦合力以及咪唑环的π-π堆积相互作用驱动形成离电膜，改善了传感器的电特性。

2)本发明一体化装配了柔性离电式传感器，通过弹性体粉末的热塑性，在机械力和温度的协同作用下驱使TPU重结晶，实现柔性离电式传感器的一体化装配，简化了工艺流程。通过热压方式，将基底-电极-离电膜一体化制备工艺封装技术大大简化了装配步骤，在保持高灵敏度的前提下保证了电极结构的完整性。

本发明所提供的工艺方法简单操作，成本较低，适合大规模生产化的需要。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本发明的不当限定，在附图中：

图1是本发明传化学导电材料透射电子显微镜的示意图；

图2(a)、图2(b)是本发明传感器的工作原理示意图；

图3是本发明传感器图案化传感电极的示意图；

图4是本发明传感器装配的示意图；

图5是本发明传感器柔韧性的示意图；

图6是本发明响应时间的曲线图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本发明，在此本发明的示意性实施例以及说明用来解释本发明，但并不作为对本发明的限定。

参考图1，本发明实施例提供的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，步骤如下：

步骤1，基底材料预处理

将PET或PI柔性支撑基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理5-10mim，70-80℃恒温烘干；将烘干的基底材料在plasma中进行等离子体预处理1～5min，得到亲水性支撑柔性基底材料；将厚度为10～50μm的亲水性支撑柔性基底材料裁剪成5*5cm相同面积的大小基材，备用；

步骤2，制备化学导电材料：

通过侵蚀MAX相制备化学导电材料:

1)按照质量比将1-3g Ti₃AlC₂浸入20-50ml混合酸溶液中恒温下放置24-36h。混合酸溶液为按照化学计量数比为1:1氟化锂和盐酸混合而成。在此过程中，HF选择性地蚀刻Ti₃AlC₂中的铝。

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3000-4000rpm下离心5-10min以获得沉淀物，用去离子水冲洗沉淀物，直到溶液的pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理1-3h；最后将悬浮液以3000-4000转/分的转速持续40-60min离心至纳米-微米级，以获得深色胶体Ti₃C₂Tx纳米片溶液。

制备图案化的离电传感电极：

将加热台预加热至70-80℃，上述基底材料放置于加热台，取5-10ml上述制备好的悬浮液滴加至喷枪中，在30-40cm喷涂距离上控制喷涂速率喷涂于亲水性基底材料表面，最后置于纳秒激光操作台进行激光雕刻制备，纳秒激光功率为1～5w，脉冲宽度为1000，速度为200～400mm·s^-1；得到图案化的离电传感电极。

步骤3，离电膜制备：

按照质量比(5-10)：(16-22)将弹性体粉末加入到溶剂中，预设温度90～120℃下恒温磁力搅拌，按照质量比为(3-8)：(15-23)在弹性体混合液中加入离子液体，边加热边加入DMF溶剂中，升温至140～150℃，搅拌混合均匀，形成均一稳定的弹性体混合液；

然后取3-5ml透明混合物溶液以600-800rmp旋转速率旋涂于其中一个离电传感电极表面，旋涂距离为30～40cm，旋涂厚度为5～50μm；放入恒温干燥箱中在60～100℃下加热1～3h进行加热，固化成膜。

S4，封装离电式柔性传感器：

采用热压的方法将上述激光雕刻得到的具有两个蛇形阵列的图案化的离电电极层在100-125℃下热压10-20min，封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，完成基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备和组装。

下面通过具体实施例来进一步说明本发明制备方法和效果。

实施例1

步骤1，将PET基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理6mim，75℃恒温烘干；在plasma中进行等离子体预处理3min，得到厚度为20μm的亲水性支撑柔性基底材料，裁剪成5*5cm相同面积基材；

步骤2，通过侵蚀MAX相制备化学导电材料:

1)按照质量比将2g Ti₃AlC₂浸入30ml混合酸溶液中恒温下放置30h。

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3500rpm下离心8min，用去离子水冲洗沉淀物，直到溶液的pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理2h；将悬浮液以3500转/分的转速持续离心50min；

将加热台预热至73℃，基底材料放置于加热台，取8ml上述制备好的悬浮液滴加至喷枪中，在35cm喷涂距离上控制喷涂速率喷涂于亲水性基底材料表面，置于纳秒激光操作台纳秒激光功率为2w，脉冲宽度为1000，速度为300mm·s^-1进行激光雕刻制备，得到图案化的离电传感电极。

步骤3，离电膜制备：

按照质量比9：19将粒径为200目TPU粉末加入到DMF中，预设温度100℃下恒温磁力搅拌，按照质量比为8：23在弹性体混合液中加入离子液体1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐，边加热边加入DMF溶剂中，升温至150℃，搅拌混合均匀，形成均一稳定的弹性体混合液；

然后取4ml透明混合物溶液以700rmp旋转速率、旋涂距离为40cm，旋涂于其中一个离电传感电极表面，放入恒温干燥箱中在60℃下加热3h进行加热，固化成膜。

S4，封装离电式柔性传感器：

采用热压的方法将具有两个蛇形阵列的图案化的离电电极层在120℃下热压15min，封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，完成基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备和组装。

实施例2

步骤1，将PI柔性支撑基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理5mim，70℃恒温烘干；在plasma中进行等离子体预处理5min，得到厚度为40μm的亲水性支撑柔性基底材料，裁剪成5*5cm相同面积基材；

步骤2，通过侵蚀MAX相制备化学导电材料:

1)按照质量比将1g Ti₃AlC₂浸入50ml混合酸溶液中恒温下放置36h。

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3000rpm下离心10min，用去离子水冲洗沉淀物，直到溶液的pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理1h；将悬浮液以3000转/分的转速持续离心60min；

将加热台预热至75℃，基底材料放置于加热台，取9ml上述制备好的悬浮液滴加至喷枪中，在30cm喷涂距离上控制喷涂速率喷涂于亲水性基底材料表面，置于纳秒激光操作台纳秒激光功率为3w，脉冲宽度为1000，速度为400mm·s^-1进行激光雕刻制备，得到图案化的离电传感电极。

步骤3，离电膜制备：

按照质量比5：20将粒径为200目聚酯弹性体TPEE粉末加入到四氢呋喃中，预设温度90℃下恒温磁力搅拌，按照质量比为3：20在弹性体混合液中加入离子液体1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐，边加热边加入DMF溶剂中，升温至145℃，搅拌混合均匀，形成均一稳定的弹性体混合液；

然后取5ml透明混合物溶液以600rmp旋转速率、旋涂距离为35cm，旋涂于其中一个离电传感电极表面，放入恒温干燥箱中在100℃下加热1h进行加热，固化成膜。

S4，封装离电式柔性传感器：

采用热压的方法将具有两个蛇形阵列的图案化的离电电极层在125℃下热压10min，封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，完成基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备和组装。

实施例3

步骤1，将PI柔性支撑基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理10mim，75℃恒温烘干；在plasma中进行等离子体预处理1min，得到厚度为50μm的亲水性支撑柔性基底材料，裁剪成5*5cm相同面积基材；

步骤2，通过侵蚀MAX相制备化学导电材料:

1)按照质量比将2g Ti₃AlC₂浸入20ml混合酸溶液中恒温下放置48h。

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在4000rpm下离心5min，用去离子水冲洗沉淀物，直到溶液的pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理2h；将悬浮液以3800转/分的转速持续离心40min；

将加热台预热至80℃，基底材料放置于加热台，取10ml上述制备好的悬浮液滴加至喷枪中，在40cm喷涂距离上控制喷涂速率喷涂于亲水性基底材料表面，置于纳秒激光操作台纳秒激光功率为5w，脉冲宽度为1000，速度为350mm·s^-1进行激光雕刻制备，得到图案化的离电传感电极。

步骤3，离电膜制备：

按照质量比10：16将粒径为100目聚酯弹性体TPEE粉末加入到DMF中，预设温度110℃下恒温磁力搅拌，按照质量比为8：15在弹性体混合液中加入离子液体1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐，边加热边加入DMF溶剂中，升温至140℃，搅拌混合均匀，形成均一稳定的弹性体混合液；

然后取3ml透明混合物溶液以800rmp旋转速率、旋涂距离为30cm，旋涂于其中一个离电传感电极表面，放入恒温干燥箱中在90℃下加热3h进行加热，固化成膜。

S4，封装离电式柔性传感器：

采用热压的方法将具有两个蛇形阵列的图案化的离电电极层在100℃下热压20min，封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，完成基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备和组装。

实施例4

步骤1，将PET基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理8mim，80℃恒温烘干；在plasma中进行等离子体预处理4min，得到厚度为10μm的亲水性支撑柔性基底材料裁剪成5*5cm相同面积基材；

步骤2，通过侵蚀MAX相制备化学导电材料:

1)按照质量比将3g Ti₃AlC₂浸入40ml混合酸溶液中恒温下放置24h。

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3600rpm下离心8min，用去离子水冲洗沉淀物，直到溶液的pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理3h；将悬浮液以4000转/分的转速持续离心50min；

将加热台预热至70℃，基底材料放置于加热台，取5ml上述制备好的悬浮液滴加至喷枪中，在32cm喷涂距离上控制喷涂速率喷涂于亲水性基底材料表面，置于纳秒激光操作台纳秒激光功率为4w，脉冲宽度为1000，速度为200mm·s^-1进行激光雕刻制备，得到图案化的离电传感电极。

步骤3，离电膜制备：

按照质量比6：22将粒径为200目TPU粉末加入到DMSO中，预设温度120℃下恒温磁力搅拌，按照质量比为6：19在弹性体混合液中加入离子液体1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐，边加热边加入DMF溶剂中，升温至150℃，搅拌混合均匀，形成均一稳定的弹性体混合液；

然后取5ml透明混合物溶液以750rmp旋转速率、旋涂距离为40cm，旋涂于其中一个离电传感电极表面，放入恒温干燥箱中在60℃下加热2h进行加热，固化成膜。

S4，封装离电式柔性传感器：

采用热压的方法将具有两个蛇形阵列的图案化的离电电极层在110℃下热压15min，封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，完成基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备和组装。

本发明提供了一种基于二维材料Mxene的柔性离电式传感器图案化结构电极及制备方法，制备出了一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器。基于二维材料Mxene的柔性离电式传感器图案化结构电极，包括柔性基底支撑材料1、电极化学导电材料2和离电膜3。电极化学导电材料2喷涂在柔性基底支撑材料1上表面，离电膜3介于上下两个电极表面。利用透射电子显微镜对Mxene进行了形貌表征，观察制备的Mxene呈现出大尺寸的片层结构如图1所示。

离电式传感器的工作原理是，利用材料的双电层电容效应将压力转换为电容的变化量，而其灵敏度与初始电容、一定压力下的电容值变化有关。我们通过[TFSI]-阴离子固定在TPU表面,[EMIM]⁺阳离子受与阴离子的库仑耦合力以及咪唑环的π-π堆积相互作用驱动形成离电膜。TPU弹性体是由硬段和软段组成。热塑性聚氨酯靠分子间氢键交联或大分子链间轻度交联，随着温度的升高或降低，这两种交联结构具有可逆性。部分阳离子-阴离子对限制在TPU硬段之间的插层。如图2(a)、图2(b)所示,在给予传感器压力之前，大多数[TFSI]^-[EMIM]⁺离子对被限制在TPU微结构表面，这是由于氢键-共库仑相互作用和[EMIM]阳离子咪唑环之间的π-π堆积相互作用。在外部压力下，在离子液体–TPU/Mxene电极界面建立双电层(EDL)从而形成离电效应，产生电容变化。

如图3-5所示，在一个实施例中制备的传感器具有完整的结构且导电性良好，柔韧性好，同时柔性传感器具有极快的响应时间，其响应时间是8ms，恢复时间是73ms，如图6所示。传感器采用纳秒激光制备，可以实现了高精度，大面积，结构复杂的传感器制备。

以上所述，仅为本发明专利较佳的具体实施方式，但本发明专利的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明专利揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明专利的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1，基底材料预处理：

将基底材料超声处理，恒温烘干，再经等离子体预处理得到亲水性支撑柔性基底材料，将基底材料裁剪成相同面积的基材；

S2，离电传感电极制备：

通过侵蚀MAX相制备化学导电材料，将制备好的化学导电悬浮液喷涂于裁剪好的基材表面，通过纳秒激光雕刻图案化制备，得到图案化的离电传感电极；

S3,离电膜制备：

按照质量比(5-10)：(16-22)将弹性体粉末加入到溶剂中，在预设温度下搅拌，得到弹性体混合液，按照质量比为(3-8)：(15-23)在弹性体混合液中加入离子液体，升温度搅拌混合均匀，得到混合溶液；

将混合溶液以固定的转速旋涂于离电传感电极表面，加热固化成膜，得到离电膜；

S4，组装柔性离电式传感器

采用热压的方法将图案化的离电传感电极封装于离电膜上下表面，上电极层与下电极层的多条蛇形阵列电极相互垂直，自此完成柔性离电式传感器的制备。

2.根据权利要求1所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，所述基底材料为PET或PI柔性支撑材料,厚度为10～50μm。

3.根据权利要求1所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，将PET或PI基底材料依次放入丙酮、乙醇和去离子水中进行超声处理5-10mim，70-80℃恒温烘干；等离子体预处理1～5min，基材厚度为10～50μm。

4.根据权利要求1所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，所述化学导电材料采用以下方法制备：

1)按照质量比(1-3)：(20-50)将Ti₃AlC₂浸入混合酸溶液中恒温下放置24-36h；

2)将获得的多层Ti₃C₂T_x悬浮液在3000-4000rpm下离心5-10min得沉淀物，去离子水冲洗沉淀物至溶液pH值大于6；

3)将沉淀分散在去离子水中，并在氩气保护气氛下连续超声处理1-3h；将悬浮液以3000-4000转/分的转速持续40-60min离心至纳米-微米级，得深色胶体Ti₃C₂Tx纳米片溶液。

5.根据权利要求4所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，所述混合酸溶液为氟化锂和盐酸按照质量比为1：1混合而成。

6.根据权利要求1所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，纳秒激光功率为1～5w，脉冲宽度为1000，速度为200～400mm·s^-1；

所述预设温度为90～120℃，加入离子液体后所述温度为140～150℃。

7.根据权利要求1所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，所述弹性体粉末为TPU粉末或聚酯弹性体TPEE粉末,粒径为100～200目；

所述溶剂为DMF、四氢呋喃或DMSO；

所述离子液体为1-乙基-3-甲基咪唑双三氟甲磺酰亚胺盐或1-乙基-3-甲基咪唑三氟甲磺酸盐。

8.根据权利要求3所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，化学导电悬浮液旋涂距离为30～40cm；

混合溶液在旋涂速度为600-800rmp，旋涂厚度为5～50μm；在60～100℃下加热1～3h进行固化。

9.根据权利要求4所述的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器的制备方法，其特征在于，所述热压温度为100～125℃，热压时间为10～20min。

10.一种基于权利要求1-9任一项所述方法制备的基于激光雕刻的一体化全柔性离电式传感器。

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