CN114171360B - 上电极装置及工艺腔室 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种上电极装置及工艺腔室，其中，上电极装置包括顶部盖板、电极组件和驱动组件，顶部盖板用于设置于工艺腔室的腔体顶部；电极组件包括匹配器、线圈和连接结构，匹配器通过连接结构与线圈连接，匹配器用于和电源连接，以通过线圈在腔体内产生电场；顶部盖板上开设有供连接结构穿过及移动的开口，匹配器位于顶部盖板背离腔体一侧，线圈位于顶部盖板朝向腔体一侧；驱动组件设置在顶部盖板上，用于驱动线圈在开口范围内移动，以改变线圈相对于腔体的位置。本发明提供的上电极装置及工艺腔室，能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。

Description

上电极装置及工艺腔室

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种上电极装置及工艺腔室。

背景技术

对于能够对承载于同一托盘上的多个晶圆同时进行刻蚀工艺的多片刻蚀机来说，同一托盘上的多个晶圆之间的均匀性是衡量其工艺结果的一个重要指标，而由于工艺腔室内的电场以及工艺气体流场不均匀等因素，会导致工艺结果经常发生偏心的情况，即，承载于同一托盘上的多个晶圆在同时进行刻蚀工艺后，托盘上不同区域的晶圆的刻蚀状态不同。

现有技术中，当工艺结果偏心时，需要将工艺腔室顶部的上电极装置进行拆分，并更换其中的部分零部件，以借助其它结构的零部件改变上电极装置在工艺腔室内产生的电场的分布状态，从而对工艺结果的偏心进行补偿。但是，当例如工艺气体流量等工艺参数改变时，工艺结果的偏心情况也会随之改变，而现有技术中的调节电场的方式，只能停止工艺，并人工拆装上电极装置，导致耗时较长，并耗费人力，且由于人工拆装的误差，使得需要重复调试，对产能具有较大影响，并且，拆装上电极装置，还会影响工艺腔室内例如温度等物理参数，使工艺腔室内更容易因受到副产物的附着而污染，影响工艺稳定性及刻蚀机的稳定性，并且，拆装上电极装置后还需要暖机，使得耗时较长，影响产能。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种上电极装置及工艺腔室，其能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。

为实现本发明的目的而提供一种上电极装置，包括顶部盖板、电极组件和驱动组件，其中，所述顶部盖板用于设置于工艺腔室的腔体顶部；所述电极组件包括匹配器、线圈和连接结构，所述匹配器通过所述连接结构与所述线圈连接，所述匹配器用于和电源连接，以通过所述线圈在所述腔体内产生电场；

所述顶部盖板上开设有供所述连接结构穿过及移动的开口，所述匹配器位于所述顶部盖板背离所述腔体一侧，所述线圈位于所述顶部盖板朝向所述腔体一侧；

所述驱动组件设置在所述顶部盖板上，用于驱动所述线圈在所述开口范围内移动，以改变所述线圈相对于所述腔体的位置。

可选的，所述驱动组件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件与所述匹配器连接，用于驱动所述线圈沿第一方向移动，所述第二驱动部件设置在所述顶部盖板上，用于驱动所述第一驱动部件沿第二方向移动，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

可选的，所述第一驱动部件包括第一电机、第一传动件、第一滑块和第一导轨，其中，所述第一导轨沿所述第一方向延伸设置，并与所述第二驱动部件连接；所述第一电机与所述第一导轨固定连接；

所述第一滑块与所述匹配器连接，并与所述第一导轨滑动配合，所述第一传动件与所述第一滑块连接，所述第一电机与所述第一传动件连接，用于通过所述第一传动件带动所述第一滑块在所述第一导轨上移动。

可选的，所述第一传动件包括：第一主动轮、第一从动轮和第一传动带，所述第一主动轮和所述第一从动轮设置在所述第一导轨的两端，所述第一传动带套设在所述第一主动轮和所述第一从动轮上；

所述第一电机的驱动端与所述第一主动轮连接；

所述第一滑块分别与所述第一传动带和所述匹配器固定连接，且与所述第一导轨滑动连接。

可选的，所述第一驱动部件还包括第一副导轨和连接板，所述第一副导轨与所述第一导轨平行且间隔设置，所述匹配器位于所述第一副导轨与所述第一导轨之间；所述连接板的两端分别与所述第一副导轨和所述第一导轨固定连接，且位于所述第一副导轨与所述第一导轨的上方，所述第一电机固定于所述连接板上。

可选的，所述第二驱动部件包括第二电机、第二传动件、第二滑块、第二导轨和第二副导轨，所述第二导轨和所述第二副导轨均沿所述第二方向延伸设置，并设置于所述顶部盖板上；所述第二导轨和所述第二副导轨间隔设置，所述匹配器位于所述第二导轨和所述第二副导轨之间；

所述第二导轨和所述第二副导轨上均滑动设有所述第二滑块，所述第一导轨的两端通过所述第二滑块分别与所述第二导轨和所述第二副导轨滑动配合；

所述第二电机与所述顶部盖板固定连接；所述第二电机与所述第二传动件连接，用于通过所述第二传动件带动所述第二滑块在所述第二导轨上移动。

可选的，所述第二传动件包括：第二主动轮、第二从动轮和第二传动带，所述第二主动轮和所述第二从动轮设置在所述第二导轨的两端，所述第二传动带套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上；

所述第二电机的驱动端与所述第二主动轮连接；

所述第二滑块分别与所述第二传动带和所述匹配器固定连接，且与所述第二导轨滑动连接。

可选的，所述连接结构包括转接板、转接架和连接件，所述转接板位于所述第一导轨和所顶部盖板之间，且覆盖所述开口，所述匹配器和所述第一滑块均固定设置于所述转接板上；

所述转接架与所述线圈连接，并与所述线圈位于所述顶部盖板的同侧，所述连接件穿过所述开口，分别与所述转接板和所述转接架固定连接。

可选的，所述连接结构还包括输入电连接件和输出电连接件，其中，所述输入电连接件的一端与所述匹配器的输入端电连接，另一端与所述线圈电连接，所述输出电连接件的一端与所述匹配器的输出端电连接，另一端与所述线圈电连接。

可选的，所述转接板与所述顶部盖板之间设置有滚动结构，所述滚动结构分别与所述转接板和所述顶部盖板滚动接触。

可选的，所述滚动结构包括凹槽和多个滚珠，其中，所述凹槽呈环状，设置在所述顶部盖板朝向所述转接板的一侧面上，多个所述滚珠沿所述凹槽的周向设置在所述凹槽中。

本发明还提供一种工艺腔室，包括腔体和本发明提供的所述上电极装置，其中，所述腔体用于提高半导体工艺所需的环境，所述上电极装置设置在所述腔体的顶部，用于在所述腔体内产生电场。

本发明具有以下有益效果：

本发明提供的上电极装置，通过在顶部盖板上设置驱动组件，并借助驱动组件驱动线圈在顶部盖板上开设的供连接结构穿过及移动的开口范围内移动，以改变线圈相对于腔体的位置，从而改变线圈产生的电场在腔体内的分布，避免由于人工拆装上电极装置调节电场而导致的耗时长，继而能够提高电场调节的效率，提高产能，并且由于本发明提供的上电极装置在调节电场时耗时短，腔体内的工艺参数不会发生较大变化，因此，能够维持设备及工艺的稳定性。

本发明提供的工艺腔室，通过将本发明提供的上电极装置设置在腔体的顶部，以借助本发明提供的上电极装置在腔体内产生电场，从而能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。

附图说明

图1为现有的一种上电极装置及工艺腔室的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的上电极装置的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的上电极装置的顶部连接件和驱动组件的结构示意图；

图4为本发明实施例提供的上电极装置的电极组件的结构示意图；

图5为本发明实施例提供的上电极装置的电极组件与顶部连接件和驱动组件连接的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的上电极装置的顶部连接件的结构示意图；

图7为图6中滚动结构的放大结构示意图；

附图标记说明：

1-工艺腔室；11-腔体；12-上电极装置；121-顶盖；122-线圈；

123-电连接件；124-匹配器；2-上电极装置；21-顶部盖板；211-开口；

22-匹配器；221-输入端；222-输出端；23-线圈；2411-转接板；2412-转接架；2413-连接件；2421-输入电连接件；2422-输出电连接件；251-第一电机；252-第一主动轮；253-第一从动轮；254-第一传动带；255-第一滑块；256-第一导轨；257-第一减速件；258-第一副导轨；261-第二电机；262-第二主动轮；263-第二从动轮；264-第二传动带；265-第二滑块；266-第二导轨；267-第二减速件；268-第二副导轨；27-滚动结构；271-滚珠；28-连接板。

具体实施方式

为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，首先结合附图来对现有的一种上电极装置及工艺腔室进行描述。如图1所示，现有的一种工艺腔室1包括腔体11和设置在腔体11顶部的上电极装置12，腔体11用于提供刻蚀工艺所需的工艺环境，上电极装置12用于产生电场以激发腔体11内的工艺气体产生等离子体，上电极装置12可以包括顶盖121、线圈122、匹配器124和电连接件123，顶盖121盖设在腔体11的顶部，线圈122和匹配器124分别位于腔体11内外，电连接件123贯穿顶盖121，并分别与线圈122和匹配器124电连接，用于将电源(图中未示出)提供至匹配器124的电导入至线圈122，以通过线圈122在腔体11内产生电场。现有技术中，当工艺结果偏心时，需要将线圈122、匹配器124和电连接件123拆分，并更换其它结构的电连接件123，以借助其它结构的电连接件123连接线圈122与匹配器124，来改变线圈122在腔体11内的位置，从而调节腔体11内电场的分布，进而对工艺结果的偏心进行补偿。

但是，当例如工艺气体流量等工艺参数改变时，工艺结果的偏心情况也会随之改变，而现有技术中的调节电场的方式，只能停止工艺，并人工拆装上电极装置12，导致耗时较长，并耗费人力，且由于人工拆装的误差，使得需要重复调试，对产能具有较大影响，并且，当拆装上电极装置12的时间较长时，会影响腔体11内例如温度等物理参数，使腔体11内更容易因受到副产物的附着而污染，影响工艺稳定性及刻蚀机的稳定性，并且，拆装上电极装置12后还需要暖机，使得耗时较长，影响产能。

下面结合附图来对本发明提供的上电极装置及工艺腔室进行详细描述。

如图2-图5所示，本发明实施例提供一种上电极装置2，包括顶部盖板21、电极组件和驱动组件，其中，顶部盖板21用于设置于工艺腔室的腔体顶部；电极组件包括匹配器22、线圈23和连接结构，匹配器22通过连接结构与线圈23连接，匹配器22用于和电源(图中为示出)连接，以通过线圈23在腔体内产生电场；顶部盖板21上开设有供连接结构穿过及移动的开口211，匹配器22位于顶部盖板21背离腔体的一侧，线圈23位于顶部盖板21朝向腔体的一侧；驱动组件设置在顶部盖板21上，用于驱动线圈23在开口211范围内移动，以改变线圈23相对于腔体的位置。

本发明实施例提供的上电极装置2，通过在顶部盖板21上设置驱动组件，并借助驱动组件驱动线圈23在顶部盖板21上开设的供连接结构穿过及移动的开口211范围内移动，以改变线圈23相对于腔体的位置，从而改变线圈23产生的电场在腔体内的分布，避免由于人工拆装上电极装置2调节电场而导致的耗时长，继而能够提高电场调节的效率，提高产能，并且由于本发明实施例提供的上电极装置2在调节电场时耗时短，腔体内的工艺参数不会发生较大变化，因此，能够维持设备及工艺的稳定性。

通过将匹配器22置于顶部盖板21背离腔体的一侧，将线圈23置于顶部盖板21朝向腔体的一侧，并将连接结构穿过开设在顶部盖板21上的开口211，分别与匹配器22和线圈23连接，实现匹配器22和线圈23连接，并使匹配器22通过连接结构与线圈23电连接，实现匹配器22和线圈23电导通，使电源输出至匹配器22的电能够通过连接结构导通至线圈23，以使线圈23能够在腔体内产生电场。通过将驱动组件设置在顶部盖板21上，并可选的，将驱动组件与匹配器22连接，可以将匹配器22和线圈23连接于顶部盖板21上，并可以借助驱动组件通过驱动匹配器22移动，来带动连接结构和线圈23在开口211范围内移动，以改变线圈23在腔体内的位置，从而改变线圈23在腔体内产生的电场在腔体内的分布。

这样的设计使得匹配器22、连接结构和线圈23可以作为整体被一起带动，从而对于线圈23的结构不会产生限制，能够适用于例如平面线圈、立体线圈、单层线圈、多层线圈等各种结构的线圈，使同一接口不同结构的线圈23均可以使用本发明实施例提供的上电极装置2，继而避免现有技术中由于不同结构的线圈23需要使用不同结构的电连接件123，而使用不同结构的电连接件123，就可能会受制于零件加工周期的限制，进而提高本发明实施例提供的上电极装置2的适用范围。

在将上电极装置2安装至腔体上时，可以将顶部盖板21盖设在腔体的顶部，并使匹配器22位于顶部盖板21背离腔体的一侧，即，匹配器22位于腔体外，使线圈23位于顶部盖板21朝向腔体的一侧，即，线圈23位于腔体内，通过使线圈23位于腔体内，可以借助线圈23在腔体内产生电场，使匹配器22位于腔体外，可以避免匹配器22对腔体内的流场及电场产生影响，从而能够维持设备及工艺的稳定性。可选的，通过将驱动组件设置在顶部盖板21背离腔体的一侧，即，驱动组件与匹配器22位于顶部盖板21的同侧，均位于腔体外，可以在将上电极装置2安装至腔体上时，使驱动组件位于腔体外，避免驱动组件对腔体内的流场及电场产生影响，从而能够维持设备及工艺的稳定性。通过使开设在顶部盖板21上的开口211能够供连接结构移动，可以避免匹配器22、连接结构和线圈23作为整体被驱动组件驱动移动时，开口211对穿过其中的连接结构造成干涉，从而提高本发明实施例提供的上电极装置2的稳定性。

在本发明一优选实施例中，驱动组件可以包括第一驱动部件和第二驱动部件，第一驱动部件与匹配器22连接，用于驱动线圈23沿第一方向移动(如图2和图3中方向X所示)，第二驱动部件设置在顶部盖板21上，用于驱动第一驱动部件沿第二方向移动，且第一方向与第二方向(如图2和图3中方向Y所示)相互垂直。

第一驱动部件与匹配器22连接，通过驱动匹配器22沿第一方向移动，可以带动连接结构和线圈23沿第一方向移动，从而改变线圈23在腔体内在第一方向上的位置，第二驱动部件通过驱动第一驱动部件沿第二方向移动，可以带动匹配器22沿第二方向移动，从而带动连接结构和线圈23沿第二方向移动，继而改变线圈23在腔体内在第二方向上的位置，通过将第一方向与第二方向设计为相互垂直，可以借助第一驱动部件和第二驱动部件在相互垂直的两个方向上改变线圈23在腔体内的位置，从而可以在第一方向和第二方向所在的平面上改变线圈23相对于腔体的位置。

可选的，第二驱动部件可以与第一驱动部件连接，来驱动第一驱动部件沿第二方向移动，此时，第一驱动部件可以随匹配器22的移动而移动，这样当第二驱动部件驱动第一驱动部件沿第二方向移动，来带动匹配器22沿第二方向移动时，第一驱动部件与匹配器22之间的相对位置不会发生改变，从而在第二驱动部件驱动第一驱动部件沿第二方向移动时，使第一驱动部件能够驱动匹配器22沿第一方向移动。

在实际应用中，可以通过软件编程计算控制第一驱动部件和第二驱动部件分别驱动线圈23移动的行程，使线圈23能够高效准确的移动至目标位置，例如，例如可以通过软件编程建立直角坐标系，以直角坐标系的X轴和Y轴分别对应第一方向和第二方向，来计算控制第一驱动部件和第二驱动部件分别驱动线圈23移动的行程，但是，控制第一驱动部件和第二驱动部件分别驱动线圈23移动的行程的方式并不以此为限，例如，还可以通过软件编程建立极坐标系的方式，来计算控制第一驱动部件和第二驱动部件分别驱动线圈23移动的行程。

可选的，在以直角坐标系的X轴和Y轴分别对应第一方向和第二方向时，第一方向和第二方向均可以进行零位调校，即，使线圈23的轴线穿过腔体的中心，线圈23与腔体同心设置，此时，第一方向的位置和第二方向的位置均为零位，通过将零位调校准确，可以提高第一驱动部件驱动匹配器22沿第一方向移动的准确性，以及第二驱动部件驱动第一驱动部件沿第二方向移动的准确性，从而提高改变线圈23相对于腔体的位置的准确性，进而提高电场调节的准确性及效率，提高产能。

如图2、图3和图5所示，在本发明一优选实施例中，第一驱动部件可以包括第一电机251、第一传动件、第一滑块255和第一导轨256，其中，第一导轨256沿第一方向延伸设置，并与第二驱动部件连接；第一电机251与第一导轨256固定连接，第一滑块255与匹配器22连接，并与第一导轨256滑动配合，第一传动件与第一滑块255连接，第一电机251与第一传动件连接，用于通过第一传动件旋转带动第一滑块255在第一导轨256上移动。

第一电机251驱动第一传动件旋转，第一传动件旋转可以带动第一滑块255在第一导轨256上移动，即，沿第一方向移动，第一滑块255沿第一方向移动可以带动匹配器22沿第一方向移动，以带动连接结构和线圈23沿第一方向移动。

如图2、图3和图5所示，在本发明一优选实施例中，第一传动件可以包括：第一主动轮252、第一从动轮253和第一传动带254，第一主动轮252和第一从动轮253设置在第一导轨256的两端，第一传动带254套设在第一主动轮252和第一从动轮253上；第一电机251的驱动端与第一主动轮252连接；第一滑块255分别与第一传动带254和匹配器22固定连接，且与第一导轨256滑动连接。

第一电机251驱动第一主动轮252旋转，第一主动轮252旋转可以带动第一从动轮253和第一传动带254旋转，第一传动带254旋转可以带动与其连接的第一滑块255在第一导轨256上沿第一导轨256的延长方向滑动，即，沿第一方向滑动，从而实现第一传动件带动第一滑块255在第一导轨256上移动，第一滑块255沿第一方向滑动可以带动匹配器22沿第一方向移动，以带动连接结构和线圈23沿第一方向移动。

如图2、图3和图5所示，在本发明一优选实施例中，第一驱动部件可以还包括第一副导轨258和连接板28，第一副导轨258与第一导轨256平行且间隔设置，匹配器22位于第一副导轨258与第一导轨256之间；连接板28的两端分别与第一副导轨258和第一导轨256固定连接，且位于第一副导轨258与第一导轨256的上方，第一电机251固定于连接板28上。

可选的，第一副导轨258上也可以设置第一滑块255，且第一副导轨258上的第一滑块255也与匹配器22固定连接，并与第一副导轨258滑动连接。

这样在第一导轨256上的第一滑块255带动匹配器22沿第一方向移动时，匹配器22会带动第一副导轨258上的第一滑块255沿第一副导轨258的延长方向滑动，由于第一副导轨258与第一导轨256平行且间隔设置，因此，也就是说，匹配器22会带动第一副导轨258上的第一滑块255沿第一方向滑动，通过将匹配器22置于第一副导轨258与第一导轨256之间，并在第一导轨256和第一副导轨258上均设置第一滑块255与匹配器22连接，可以使匹配器22能够稳定的沿第一方向移动。

如图2所示，可选的，第一导轨256上可以设置多个第一滑块255，第一导轨256上的多个第一滑块255沿第一导轨256的延长方向间隔设置。这样可以提高第一传动带254带动第一滑块255在第一导轨256上滑动的稳定性，从而可以提高第一滑块255带动匹配器22沿第一方向移动的稳定性。

可选的，第一副导轨258上可以设置多个第一滑块255，第一副导轨258上的多个第一滑块255沿第一副导轨258的延长方向间隔设置。这样可以使匹配器22能够进一步稳定的沿第一方向移动。

如图2所示，可选的，第一驱动部件可以还包括第一联轴件和第一减速件257，第一电机251的驱动端与第一联轴件的一端连接，第一联轴件的另一端与第一减速件257连接，第一减速件257与第一主动轮252连接。

如图2、图3和图5所示，在本发明一优选实施例中，第二驱动部件可以包括第二电机261、第二传动件、第二滑块265、第二导轨266和第二副导轨268，第二导轨266和第二副导轨268均沿第二方向延伸设置，并设置于顶部盖板21上；第二导轨266和第二副导轨268间隔设置，匹配器22位于第二导轨266和第二副导轨268之间；第二导轨266和第二副导轨268上均滑动设有第二滑块265，第一导轨256的两端通过第二滑块265分别与第二导轨266和第二副导轨268滑动配合；第二电机261与顶部盖板21固定连接；第二电机261与第二传动件连接，用于通过第二传动件带动第二滑块265在第二导轨266上移动。

第二电机261驱动第二传动件旋转，第二传动件旋转可以带动第二滑块265在第二导轨266上移动，即，沿第二方向移动，第二滑块265沿第二方向移动可以带动第一导轨256沿第二方向移动，第一导轨256沿第二方向移动可以带动第一滑块255沿第二方向移动，第一滑块255沿第二方向移动可以带动匹配器22沿第二方向移动，以带动连接结构和线圈23沿第二方向移动。并且，第二导轨266上的第二滑块265带动第一导轨256沿第二方向移动时，第一导轨256会带动第二副导轨268上的第二滑块265沿第二副导轨268的延长方向滑动，由于第二副导轨268与第二导轨266均沿第二方向延伸设置且间隔设置，即，第二副导轨268与第二导轨266平行且间隔设置，因此，也就是说，第一导轨256会带动第二副导轨268上的第二滑块265沿第二方向滑动，通过将匹配器22置于第二副导轨268与第二导轨266之间，并在第二导轨266和第二副导轨268上均设置第二滑块265与第一导轨256连接，可以使第一导轨256能够稳定的沿第二方向移动，从而可以使匹配器22能够稳定的沿第二方向移动。

如图2、图3和图5所示，在本发明一优选实施例中，第二传动件可以包括：第二主动轮262、第二从动轮263和第二传动带264，第二主动轮262和第二从动轮263设置在第二导轨266的两端，第二传动带264套设在第二主动轮262和第二从动轮263上；第二电机261的驱动端与第二主动轮262连接；第二滑块265分别与第二传动带264和匹配器22固定连接，且与第二导轨266滑动连接。

第二电机261驱动第二主动轮262旋转，第二主动轮262旋转可以带动第二从动轮263和第二传动带264旋转，第二传动带264旋转可以带动与其连接的第二滑块265在第二导轨266上沿第二导轨266的延长方向滑动，即，沿第二方向滑动，第二滑块265沿第二方向滑动可以带动第一导轨256沿第二方向移动，以带动匹配器22沿第二方向移动，从而带动连接结构和线圈23沿第二方向移动，并且，在第一导轨256带动匹配器22沿第二方向移动时，第一导轨256带动设置在第二副导轨268上的第二滑块265沿第二副导轨268的延长方向滑动。

如图2所示，可选的，第二导轨266上可以设置多个第二滑块265，第二导轨266上的多个第二滑块265沿第二导轨266的延长方向间隔设置。这样可以提高第二传动带264带动第二滑块265在第二导轨266上滑动的稳定性，并可以提高第二滑块265带动第一导轨256沿第二方向移动的稳定性，从而提高匹配器22沿第二方向移动的稳定性。

可选的，第二副导轨268上可以设置多个第二滑块265，第二副导轨268上的多个第二滑块265沿第二副导轨268的延长方向间隔设置。这样可以使匹配器22能够进一步稳定的沿第二方向移动。

如图2所示，可选的，第二驱动部件可以还包括第二联轴件和第二减速件267，第二电机261的驱动端与第二联轴件的一端连接，第二联轴件的另一端与第二减速件267连接，第二减速件267与第二主动轮262连接。

如图4和图5所示，在本发明一优选实施例中，连接结构可以包括转接板2411、转接架2412和连接件2413，转接板2411位于第一导轨256和顶部盖板21之间，且覆盖开口211，匹配器22和第一滑块255均固定设置于转接板2411上；转接架2412与线圈23连接，并与线圈23位于顶部盖板21的同侧，连接件2413穿过开口211，分别与转接板2411和转接架2412固定连接。

通过将匹配器22和第一滑块255均固定设置于转接板2411上，以通过转接板2411实现驱动组件与匹配器22的连接，也就是说，驱动组件可以通过驱动转接板2411移动，来带动匹配器22移动，通过使转接板2411位于第一导轨256和顶部盖板21之间，可以使转接板2411位于腔体外，避免转接板2411对腔体内的流场及电场产生影响，通过将转接板2411设在顶部盖板21上，并覆盖开口211上，可以借助顶部盖板21对转接板2411和匹配器22进行支撑，通过使转接架2412与线圈23连接，并与线圈23位于顶部盖板21的同侧，以及使连接件2413穿过开口211，分别与转接板2411和转接架2412固定连接，以借助连接件2413将转接板2411和转接架2412连接，从而将匹配器22和线圈23连接。

可选的，匹配器22和转接板2411可以是可拆卸的连接，从而提高使用灵活性。例如，可选的，匹配器22和转接板2411之间可以通过螺钉连接。

可选的，线圈23和转接架2412可以是可拆卸的连接，从而提高使用灵活性。例如，可选的，线圈23和转接架2412之间可以通过螺钉连接。

可选的，连接件2413和转接板2411可以是可拆卸的连接，从而提高使用灵活性。例如，可选的，连接件2413和转接板2411之间可以通过螺钉连接。

可选的，连接件2413和转接架2412可以是可拆卸的连接，从而提高使用灵活性。例如，可选的，连接件2413和转接架2412之间可以通过螺钉连接。

可选的，第一滑块255和转接板2411可以是可拆卸的连接，从而提高使用灵活性。例如，如图5所示，可选的，第一滑块255和转接板2411之间可以通过螺钉连接。

如图4和图5所示，在本发明一优选实施例中，连接结构可以包括输入电连接件2421和输出电连接件2422，其中，输入电连接件2421的一端与匹配器22的输入端221电连接，另一端与线圈23电连接，输出电连接件2422的一端与匹配器22的输出端222电连接，另一端与线圈23电连接。

电源输出至匹配器22的电通过匹配器22的输入端221导入至输入电连接件2421，再通过输入电连接件2421导入至线圈23，导入至线圈23的电在流经线圈23后，通过输出电连接件2422导入至匹配器22的输出端222，以使电在线圈23中能够形成回路，从而使线圈23能够形成电场。

如图6所示，在本发明一优选实施例中，转接板2411与顶部盖板21之间设置有滚动结构27，滚动结构27分别与转接板2411和顶部盖板21滚动接触。

通过在转接板2411与顶部盖板21之间设置有滚动结构27，并使滚动结构27分别与转接板2411和顶部盖板21滚动接触，可以借助滚动结构27将转接板2411相对于顶部盖板21移动时，转接板2411与顶部盖板21之间的滑动摩擦力转变为滚动摩擦力，以减小转接板2411相对于顶部盖板21移动时，与顶部盖板21之间的摩擦力，减少转接板2411与顶部盖板21之间的磨损，提高使用寿命，并可以减少由于转接板2411与顶部盖板21摩擦产生的颗粒物，而对腔体内造成的污染，以能够维持设备及工艺的稳定性。

如图7所示，在本发明一优选实施例中，滚动结构27可以包括凹槽和多个滚珠271，其中，凹槽呈环状，设置在顶部盖板21朝向转接板2411的一侧面上，多个滚珠271沿凹槽的周向设置在凹槽中。

转接板2411在相对于顶部盖板21移动时，转接板2411与多个滚珠271滚动接触，带动多个滚珠271在凹槽中滚动，从而借助滚动结构27将转接板2411相对于顶部盖板21移动时，转接板2411与顶部盖板21之间的滑动摩擦力转变为滚动摩擦力，并且，通过在转接板2411与顶部盖板21之间设置多个滚珠271还可以借助多个滚珠271对腔体内的电磁场进行屏蔽。

本发明实施例还提供一种工艺腔室，包括腔体和如本发明实施例提供的上电极装置2，其中，腔体用于提高半导体工艺所需的环境，上电极装置2设置在腔体的顶部，用于在腔体内产生电场。

本发明实施例提供的工艺腔室，通过将本发明提供的上电极装置2设置在腔体的顶部，以借助本发明实施例提供的上电极装置2在腔体内产生电场，从而能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。

综上所述，本发明实施例提供的上电极装置2及工艺腔室，能够提高电场调节的效率，提高产能，并能够维持设备及工艺的稳定性。

可以解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种上电极装置，其特征在于，包括顶部盖板、电极组件和驱动组件，其中，所述顶部盖板用于设置于工艺腔室的腔体顶部；所述电极组件包括匹配器、线圈和连接结构，所述匹配器通过所述连接结构与所述线圈连接，所述匹配器用于和电源连接，以通过所述线圈在所述腔体内产生电场；

所述顶部盖板上开设有供所述连接结构穿过及移动的开口，所述匹配器位于所述顶部盖板背离所述腔体一侧，所述线圈位于所述顶部盖板朝向所述腔体一侧；

所述驱动组件设置在所述顶部盖板上，用于驱动所述线圈在所述开口范围内移动，以改变所述线圈相对于所述腔体的位置。

2.根据权利要求1所述的上电极装置，其特征在于，所述驱动组件包括第一驱动部件和第二驱动部件，所述第一驱动部件与所述匹配器连接，用于驱动所述线圈沿第一方向移动，所述第二驱动部件设置在所述顶部盖板上，用于驱动所述第一驱动部件沿第二方向移动，且所述第一方向与所述第二方向相互垂直。

3.根据权利要求2所述的上电极装置，其特征在于，所述第一驱动部件包括第一电机、第一传动件、第一滑块和第一导轨，其中，所述第一导轨沿所述第一方向延伸设置，并与所述第二驱动部件连接；所述第一电机与所述第一导轨固定连接；

所述第一滑块与所述匹配器连接，并与所述第一导轨滑动配合，所述第一传动件与所述第一滑块连接，所述第一电机与所述第一传动件连接，用于通过所述第一传动件带动所述第一滑块在所述第一导轨上移动。

4.根据权利要求3所述的上电极装置，其特征在于，所述第一传动件包括：第一主动轮、第一从动轮和第一传动带，所述第一主动轮和所述第一从动轮设置在所述第一导轨的两端，所述第一传动带套设在所述第一主动轮和所述第一从动轮上；

所述第一电机的驱动端与所述第一主动轮连接；

所述第一滑块分别与所述第一传动带和所述匹配器固定连接，且与所述第一导轨滑动连接。

5.根据权利要求3所述的上电极装置，其特征在于，所述第一驱动部件还包括第一副导轨和连接板，所述第一副导轨与所述第一导轨平行且间隔设置，所述匹配器位于所述第一副导轨与所述第一导轨之间；所述连接板的两端分别与所述第一副导轨和所述第一导轨固定连接，且位于所述第一副导轨与所述第一导轨的上方，所述第一电机固定于所述连接板上。

6.根据权利要求5所述的上电极装置，其特征在于，所述第二驱动部件包括第二电机、第二传动件、第二滑块、第二导轨和第二副导轨，所述第二导轨和所述第二副导轨均沿所述第二方向延伸设置，并设置于所述顶部盖板上；所述第二导轨和所述第二副导轨间隔设置，所述匹配器位于所述第二导轨和所述第二副导轨之间；

所述第二导轨和所述第二副导轨上均滑动设有所述第二滑块，所述第一导轨的两端通过所述第二滑块分别与所述第二导轨和所述第二副导轨滑动配合；

所述第二电机与所述顶部盖板固定连接；所述第二电机与所述第二传动件连接，用于通过所述第二传动件带动所述第二滑块在所述第二导轨上移动。

7.根据权利要求6所述的上电极装置，其特征在于，所述第二传动件包括：第二主动轮、第二从动轮和第二传动带，所述第二主动轮和所述第二从动轮设置在所述第二导轨的两端，所述第二传动带套设在所述第二主动轮和所述第二从动轮上；

所述第二电机的驱动端与所述第二主动轮连接；

所述第二滑块分别与所述第二传动带和所述匹配器固定连接，且与所述第二导轨滑动连接。

8.根据权利要求3所述的上电极装置，其特征在于，所述连接结构包括转接板、转接架和连接件，所述转接板位于所述第一导轨和所顶部盖板之间，且覆盖所述开口，所述匹配器和所述第一滑块均固定设置于所述转接板上；

所述转接架与所述线圈连接，并与所述线圈位于所述顶部盖板的同侧，所述连接件穿过所述开口，分别与所述转接板和所述转接架固定连接。

9.根据权利要求8所述的上电极装置，其特征在于，所述连接结构还包括输入电连接件和输出电连接件，其中，所述输入电连接件的一端与所述匹配器的输入端电连接，另一端与所述线圈电连接，所述输出电连接件的一端与所述匹配器的输出端电连接，另一端与所述线圈电连接。

10.根据权利要求8所述的上电极装置，其特征在于，所述转接板与所述顶部盖板之间设置有滚动结构，所述滚动结构分别与所述转接板和所述顶部盖板滚动接触。

11.根据权利要求10所述的上电极装置，其特征在于，所述滚动结构包括凹槽和多个滚珠，其中，所述凹槽呈环状，设置在所述顶部盖板朝向所述转接板的一侧面上，多个所述滚珠沿所述凹槽的周向设置在所述凹槽中。

12.一种工艺腔室，其特征在于，包括腔体和如权利要求1-11任意一项所述的上电极装置，其中，所述腔体用于提高半导体工艺所需的环境，所述上电极装置设置在所述腔体的顶部，用于在所述腔体内产生电场。