CN114141840B - 柔性基板及其制备方法以及柔性显示器 - Google Patents

Abstract

本申请实施例提供一种柔性基板及其制备方法以及柔性显示器中，柔性基板包括：至少两个聚酰亚胺层，至少两个聚酰亚胺层层叠设置；以及至少一个弹性层，相邻两个聚酰亚胺层之间设置至少一个弹性层，每一弹性层的材料为柔性或者弹性材料，且一个弹性层至少与一个聚酰亚胺层接触，当柔性基板弯曲时，弹性层能够吸收与弹性层接触的聚酰亚胺层的至少部分膜层应力。通过在两个聚酰亚胺层之间设置弹性层，且弹性层能够吸收柔性基板在弯曲时聚酰亚胺层的至少部分膜层应力，从而减小聚酰亚胺层在弯曲时断裂的风险，进而提高柔性基板的弯曲性能，以延长柔性基板的使用寿命。

Description

柔性基板及其制备方法以及柔性显示器

技术领域

本申请属于显示器技术领域，尤其涉及一种柔性基板及其制备方法以及柔性显示器。

背景技术

柔性显示是近些年的研究热点。柔性显示器通常是由柔软材料或者是弹性材料制成、可变形可弯曲的显示装置。由于柔性显示器的可视化柔性性能，且不影响显示装置的显示质量，同时又能实现炫酷的变形或弯曲效果，因此，柔性显示器越来越受欢迎。

柔性显示器通常包括柔性衬底、柔性基板和薄膜晶体管，薄膜晶体管设置于柔性基板的一侧，柔性基板可作为薄膜晶体管和柔性衬底之间的连接层。然而，柔性基板在弯曲时，因膜层应力，膜层外张力较大而内部受到收缩力，容易造成膜层外部发生断裂而影响柔性基板使用寿命的问题。

发明内容

本申请实施例提供一种柔性基板及其制备方法以及柔性显示器，以解决现有的柔性基板在弯曲时，因膜层应力，膜层外张力较大而内部受到收缩力，容易造成膜层外部发生断裂而影响柔性基板使用寿命的问题。

第一方面，本申请实施例提供一种柔性基板，应用于柔性显示器，所述柔性基板包括：

至少两个聚酰亚胺层，所述至少两个聚酰亚胺层层叠设置；以及

至少一个弹性层，相邻两个所述聚酰亚胺层之间设置至少一个所述弹性层，每一所述弹性层的材料为柔性或者弹性材料，且一个所述弹性层至少与一个所述聚酰亚胺层接触，当所述柔性基板弯曲时，所述弹性层能够吸收与所述弹性层接触的所述聚酰亚胺层的至少部分膜层应力。

可选的，每一所述弹性层包括多个弹性块，所述多个弹性块间隔设置。

可选的，所述柔性基板还包括分隔层，所述分隔层设置于所述多个弹性块和一个所述聚酰亚胺层之间，并覆盖住所述多个弹性块以及与所述聚酰亚胺层相邻的另一聚酰亚胺层。

可选的，每一所述弹性层在一个所述聚酰亚胺层上的投影与所述聚酰亚胺层重合。

可选的，所述柔性基板还包括分隔层，所述分隔层设置于两个所述弹性层之间，或者所述分隔层设置于一个所述弹性层和一个所述聚酰亚胺层之间。

可选的，所述柔性基板包括：

第一聚酰亚胺层；

第二聚酰亚胺层，与所述第一聚酰亚胺层层叠设置；

第一弹性层，设置于所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层之间，且分别与所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层接触；当所述柔性基板自所述第一聚酰亚胺层朝向所述第二聚酰亚胺层的方向弯曲时，所述第一弹性层能够吸收所述第二聚酰亚胺层的至少部分压应力。

第二方面，本申请实施例还提供一种柔性显示器，包括：

柔性衬底；

柔性基板，设置于所述柔性衬底的一侧，所述柔性基板如上任一项所述的柔性基板；以及

薄膜晶体管，设置于所述柔性基板背离所述柔性衬底的一侧。

第三方面，本申请实施例还提供一种柔性基板的制备方法，所述制备方法包括：

提供一玻璃衬底；

在所述玻璃衬底上设置一层牺牲层；

在所述牺牲层上设置一层聚酰亚胺层；

在所述聚酰亚胺层上涂布一层弹性层；

在所述弹性层上设置另一层聚酰亚胺层。

可选的，所述在所述聚酰亚胺层上涂布一层弹性层之后，包括：

图形化所述弹性层，以形成多个间隔的弹性块。

可选的，所述图形化所述弹性层，以形成多个间隔的弹性块之后，所述在所述弹性层上设置一层聚酰亚胺层之前，还包括：

在所述多个间隔的弹性块上沉积一层分隔层，并覆盖住所述多个间隔的弹性块和所述弹性块之间的所述聚酰亚胺层。

本申请实施例的柔性基板及其制备方法以及柔性显示器中，通过在两个聚酰亚胺层之间设置弹性层，且弹性层能够吸收柔性基板在弯曲时聚酰亚胺层的至少部分膜层应力，从而减小聚酰亚胺层在弯曲时断裂的风险，进而提高柔性基板的弯曲性能，以延长柔性基板的使用寿命。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。

图1为本申请实施例提供的柔性显示器的结构示意图。

图2为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第一种结构示意图。

图3为图2所示的柔性基板处于弯曲状态的结构示意图。

图4为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第二种结构示意图。

图5为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第三种结构示意图。

图6为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第四种结构示意图。

图7为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第五种结构示意图。

图8为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第六种结构示意图。

图9为本申请实施例提供的柔性基板的制备方法流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

为解决现有的柔性基板在弯曲时，因膜层应力，膜层外张力较大而内部受到收缩力，容易造成膜层外部发生断裂而影响柔性基板使用寿命的问题，本申请实施例提供一种柔性基板及其制备方法以及柔性显示器，以下将结合附图进行说明。

示例性的，请参阅图1，图1为本申请实施例提供的柔性显示器的结构示意图。本申请实施例提供一种柔性显示器1，柔性显示器1可以进行弯曲、折叠或者其他变形，以展示不同的显示效果，进而满足不同用户对于显示器的观看习惯。柔性显示器1可以包括OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光半导体)，OLED属于一种电流型的有机发光器件，是通过载流子的注入和复合而致发光的现象，发光强度与注入的电流成正比。OLED在电场的作用下，阳极产生的空穴和阴极产生的电子就会发生移动，分别向空穴传输层和电子传输层注入，迁移到发光层。当二者在发光层相遇时，产生能量激子，从而激发发光分子最终产生可见光。相较于LED(Light-Emitting Diode，发光二极管)或LCD(Liquid CrystalDisplay，液晶显示器)的晶体层，OLED的有机塑料层更薄、更轻而且更富于柔韧性。此外，OLED可以在塑料、树脂等不同的柔性衬底材料上进行生产，将有机层蒸镀或涂布在塑料基衬上，就可以实现软屏或者柔性屏。因此，现有的柔性显示器1通常采用OLED形式的显示屏。

其中，柔性显示器1可以包括柔性基板10、薄膜晶体管20以及柔性衬底30。柔性衬底30可以作为柔性显示器1的基底层，以用于支撑柔性显示器1的有机层或者说薄膜晶体管20。柔性基板10设置于柔性衬底30的一侧。薄膜晶体管20可以设置于柔性基板10背离柔性衬底30的一侧。可以理解的是，柔性基板10可以作为连接柔性衬底30和薄膜晶体管20的连接层。柔性显示器1在弯曲时，也即是柔性基板10、薄膜晶体管20以及柔性衬底30作为整体进行弯曲，柔性基板10内因膜层应力，膜层外侧张力较大而膜层内侧受到压应力，容易造成膜层外侧发生断裂现象，影响柔性基板10的使用寿命。其中，膜层外侧和内侧是相对于弯曲方向来说的，当弯曲方向确定时，也可以理解为柔性基板10的凸出方向，凸出方向的外侧面即为膜层的外侧面，凸出方向的内侧面即为膜层的内侧面。

为了解决柔性基板10的膜层由于弯曲带来的应力，本申请实施例的柔性基板10进行了应力吸收的设计。以下将结合附图分别从柔性基板10的结构组成以及柔性基板10的制备方法两个方面进行说明。

示例性的，请结合图1并参阅图2和图3，图2为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第一种结构示意图，图3为图2所示的柔性基板处于弯曲状态的结构示意图。本申请实施例提供一种柔性基板10，柔性基板10可以应用于上述柔性显示器1。柔性基板10可以包括至少两个聚酰亚胺层11和至少一个弹性层14。至少两个聚酰亚胺层11层叠设置，也可以理解为一个聚酰亚胺层11在另一聚酰亚胺层11上的投影与另一聚酰亚胺层11重合，或者理解为两个聚酰亚胺层11的面积相等，且重叠设置。相邻两个聚酰亚胺层11之间设置至少一个弹性层14。每一弹性层14的材料为柔性或者弹性材料，且一个弹性层14至少与一个聚酰亚胺层11接触。当柔性基板10弯曲时，弹性层14能够吸收与弹性层14接触的聚酰亚胺层11的至少部分膜层应力。通过在两个聚酰亚胺层11之间设置弹性层14，且弹性层14能够吸收柔性基板10在弯曲时聚酰亚胺层11的至少部分膜层应力，从而减小聚酰亚胺层11在弯曲时断裂的风险，进而提高柔性基板10的弯曲性能，以延长柔性基板10的使用寿命。

其中，聚酰亚胺(Polyimide，简写为PI)指主链上含有酰亚胺环(-CO-N-CO-)的一类聚合物，是综合性能最佳的有机高分子材料之一。其耐高温达400℃以上，长期使用温度范围-200～300℃，部分无明显熔点，高绝缘性能，103赫兹下介电常数4.0，介电损耗仅0.004～0.007，属F至H级绝缘。需要说明的是，对于柔性基板10中聚酰亚胺层11的数量可以根据设计者的需要进行选择。比如，柔性基板10可以包括两个聚酰亚胺层11、三个聚酰亚胺层11、四个聚酰亚胺层11以及更多数量的聚酰亚胺层11，以满足不同设计者对柔性基板10及其应用的柔性显示器1的需求。

弹性层14的数量可以根据聚酰亚胺层11的数量以及需要进行应力减小或者消除的聚酰亚胺层11进行选配。示例性的，相邻两个聚酰亚胺层11之间可以设置至少一个弹性层14。一个弹性层14至少与一个聚酰亚胺层11接触，以吸收在弯曲时此聚酰亚胺层11的至少部分膜层应力。

为了清楚的说明弹性层14吸收应力的设置方案，本申请实施例以柔性基板10具有两个聚酰亚胺层11为例进行说明。

示例性的，柔性基板10包括第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13，第二聚酰亚胺层13与第一聚酰亚胺层12层叠设置。柔性基板10还可以包括第一弹性层15，第一弹性层15设置于第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13之间，且分别与第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13接触。当柔性基板10自第一聚酰亚胺层12朝向第二聚酰亚胺层13的方向弯曲时，第一弹性层15能够吸收第二聚酰亚胺层13的至少部分压应力。

其中，需要说明的是，柔性衬底30可以设置于柔性基板10朝向第一聚酰亚胺层12的一侧，柔性衬底30也可以设置于柔性基板10朝向第二聚酰亚胺层13的一侧，这里不作限制。同样的，柔性基板10在弯曲时，可以在自第一聚酰亚胺层12朝向第二聚酰亚胺层13的方向弯曲，也可以自第二聚酰亚胺层13朝向第一聚酰亚胺层12的方向弯曲，因此第一弹性层15可以在不同弯曲情况下吸收第一聚酰亚胺层12或者第二聚酰亚胺层13的至少部分应力。

需要说明的是，在第一种情况下，当柔性基板10自第一聚酰亚胺层12朝向第二聚酰亚胺层13的方向弯曲时，第二聚酰亚胺层13朝向第一弹性层15的一侧受压应力，第二聚酰亚胺层13背向第一弹性层15的一侧受张力或者拉应力，且压应力与张力或者拉应力在第二聚酰亚胺层13上平衡。当第一弹性层15吸收第二聚酰亚胺层13朝向第一弹性层15的一侧的至少部分压应力时，第二聚酰亚胺层13背向第一弹性层15的一侧的与上述至少部分压应力平衡的至少部分张力或者拉应力也同样的被吸收，因此，会将第二聚酰亚胺层13的至少部分膜层应力吸收，以减小第二聚酰亚胺层13由于弯曲而断裂的风险。同样的，对于第二种情况下，柔性基板10自第二聚酰亚胺层13朝向第一聚酰亚胺层12的方向弯曲时的情况可以参照上述说明，这里不再赘述。

其中，需要说明的是，在第一种情况下，由于第二聚酰亚胺层13背向第一弹性层15的一侧受张力或者拉应力，当张力或者拉应力大于一定阈值时，若不采取措施，将会使第二聚酰亚胺层13背向第一弹性层15的一侧有撕裂或者断裂的风险。本申请实施例的第一弹性层15的设置可以减小上述风险。

在上述两种情况中，第一弹性层15可以为一个整体，也即第一弹性层15在第一聚酰亚胺层12上的投影与第一聚酰亚胺层12重合。当然，第一弹性层15还可以为多个间隔设置的弹性块组成，多个弹性块可以与第一聚酰亚胺层12接触，然后在设置一层分隔层覆盖住多个弹性块与第一聚酰亚胺层12。最后再将第二聚酰亚胺层13设置在分隔层背离第一聚酰亚胺层12的一侧。

示例性的，请结合图1至图3并参阅图4和图5，图4为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第二种结构示意图，图5为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第三种结构示意图。第一弹性层15作为一个整体，第一弹性层15在第一聚酰亚胺层12上的投影与第一聚酰亚胺层12重合。也可以理解为第一弹性层15的面积与第一聚酰亚胺层12相等。在这种情况下，可以仅在第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13之间设置一个第一弹性层15，且第一弹性层15分别与第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13接触，以使得柔性基板10向不同方向弯曲时，可以对第一聚酰亚胺层12或第二聚酰亚胺层13进行应力消减。并且，柔性基板10可以包括分隔层16，分隔层16可以设置于第一弹性层15与第一聚酰亚胺层12或第二聚酰亚胺层13之间。此时，对于柔性基板10的弯曲方向有特定需求，只能对第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13中的一个进行应力消减。分隔层16也可以称为barrier层，用于将两个聚酰亚胺层分隔开来。当然，在这种情况下，也可以设置两个第一弹性层15。比如，在第一聚酰亚胺层12和第二聚酰亚胺层13之间设置分隔层16，在分隔层16与第一聚酰亚胺层12之间设置一个第一弹性层15，在分隔层16与第二聚酰亚胺层13之间设置一个第一弹性层15。这样组成的层叠结构在弯曲时，可以对第一聚酰亚胺层12或第二聚酰亚胺层13进行应力消减。

示例性的，请结合图1并参阅图6至图8，图6为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第四种结构示意图，图7为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第五种结构示意图，图8为图1所示的柔性显示器中柔性基板的第六种结构示意图。第一弹性件15可以包括多个弹性块142，多个弹性块142间隔设置。比如，多个弹性块142可以与第一聚酰亚胺层12接触。柔性基板10设置有分隔层16，分隔层16设置于多个弹性块142和第二聚酰亚胺层13之间，分隔层16覆盖多个弹性块142和第一聚酰亚胺层12。此时，当柔性基板10自第二聚酰亚胺层13朝向第一聚酰亚胺层12弯曲时，多个弹性块142能够吸收第一聚酰亚胺层12的至少部分膜层应力。当然，此时也可以同时在分隔层16和第二聚酰亚胺层13之间设置多个弹性块142，或者在分隔层16和第二聚酰亚胺层13之间设置一体形式的第一弹性件15。这样设置时，无论柔性基板10朝向哪个方向弯曲，弹性块142均能对第一聚酰亚胺层12或者第二聚酰亚胺层13吸收至少部分膜层应力。

需要说明的是，对于两层聚酰亚胺层11之间的弹性层14的设置方式还可以有其他情况。比如，在第一聚酰亚胺层12背离第二聚酰亚胺层13的一侧也设置弹性层14，和/或在第二聚酰亚胺层13背离第一聚酰亚胺层12的一侧设置弹性层14。其余设置方式可以参照上述说明，这里不再赘述。

示例性的，弹性层14的材料可以为柔性材料或者弹性材料。比如，对弹性层14可以采用高温硅胶材料，如硅基亚芳基-硅氧烷共聚物或硅基亚芳基-硅氧烷主链引入全氟环丁烷。上述材料具有疏水性，可知一定程度上增加聚酰亚胺层11的水氧隔绝能力。当然，弹性层14的材料还可以有其他种类的柔性材料或者弹性材料，这里不再举例。

在实际制作时，对加入了弹性层14的柔性基板10和未设置弹性层的柔性基板在同样的实验环境下进行了实验，测试了两个柔性基板对于不同弯曲次数情况下，聚酰亚胺层的受应力的情况以及断裂发生的时机。经过对比可以发现，本申请实施例的柔性基板10对于聚酰亚胺层11的断裂发生时机晚于未设置弹性层的柔性基板的聚酰亚胺层的断裂发生时机。因此，本申请实施例的柔性基板10中的聚酰亚胺层11的耐应力的能力更高，发生断裂的机率更小。

示例性的，请参阅图9，图9为本申请实施例提供的柔性基板的制备方法流程示意图。本申请实施例还提供一种柔性基板的制备方法，柔性基板的结构可以参照图1至图8以及上述说明。柔性基板的制备方法包括：

101、提供一玻璃衬底。

102、在玻璃衬底上设置一层牺牲层。

103、在牺牲层上设置一层聚酰亚胺层。

关于步骤101-103：

需要说明的是，柔性基板10在制作时，可以在玻璃衬底上进行制作，以提供给柔性基板10的支撑。同时，在聚酰亚胺层11与玻璃衬底之间设置牺牲层可以便于后续在将柔性基板10剥离时不损害柔性基板10。牺牲层的材料可以采用A-Si。当然，牺牲层的材料还可以为其他材料。

104、在聚酰亚胺层上涂布一层弹性层。

在第一层聚酰亚胺层11制作完成后，可以在第一层聚酰亚胺层11上涂布一层弹性层14，以对聚酰亚胺层11进行应力消除。在将弹性层14涂布完成后，可以选择将弹性层14图形化，以形成多个间隔的弹性块142。当然，也可以选择不对弹性层14图形化，而将弹性层14作为一体形缓冲层进行使用。

105、在弹性层上设置另一层聚酰亚胺层。

另一层聚酰亚胺层11在设置之前，可以选择在多个间隔的弹性块142上沉积一层分隔层16，并覆盖住多个间隔的弹性块142和弹性块142之间的聚酰亚胺层11。

在设置完成另一层聚酰亚胺层11之后，还可以继续沉积一层分隔层，以便于后续的制成，或者使另一层聚酰亚胺层11与水氧隔绝。

当然，上述在制作弹性层14时，还可以有其他设置形式，对于弹性层14的数量以及设置方式可以根据需要选择，可以参照对弹性层14的结构说明，这里不再对每种情况下的弹性层14进行说明。

本申请实施例的柔性基板10及其制备方法以及柔性显示器1中，通过在两个聚酰亚胺层11之间设置弹性层14，且弹性层14能够吸收柔性基板10在弯曲时聚酰亚胺层11的至少部分膜层应力，从而减小聚酰亚胺层11在弯曲时断裂的风险，进而提高柔性基板10的弯曲性能，以延长柔性基板10的使用寿命。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个特征。

以上对本申请实施例所提供的柔性基板及其制备方法以及柔性显示器进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想；同时，对于本领域的技术人员，依据本申请的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上，本说明书内容不应理解为对本申请的限制。

Claims (10)

1.一种柔性基板，应用于柔性显示器，其特征在于，所述柔性基板包括：

至少两个聚酰亚胺层，所述至少两个聚酰亚胺层层叠设置；以及

至少一个弹性层，相邻两个所述聚酰亚胺层之间设置至少一个所述弹性层，每一所述弹性层的材料为柔性或者弹性材料，且一个所述弹性层至少与一个所述聚酰亚胺层接触，所述柔性基板能够双向弯曲，当所述柔性基板朝每个方向弯曲时，所述弹性层能够吸收与所述弹性层接触的所述聚酰亚胺层的至少部分膜层应力。

2.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，每一所述弹性层包括多个弹性块，所述多个弹性块间隔设置。

3.根据权利要求2所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括分隔层，所述分隔层设置于所述多个弹性块和一个所述聚酰亚胺层之间，并覆盖住所述多个弹性块以及与所述聚酰亚胺层相邻的另一聚酰亚胺层。

4.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，每一所述弹性层在一个所述聚酰亚胺层上的投影与所述聚酰亚胺层重合。

5.根据权利要求4所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板还包括分隔层，所述分隔层设置于两个所述弹性层之间，或者所述分隔层设置于一个所述弹性层和一个所述聚酰亚胺层之间。

6.根据权利要求1所述的柔性基板，其特征在于，所述柔性基板包括：

第一聚酰亚胺层；

第二聚酰亚胺层，与所述第一聚酰亚胺层层叠设置；

第一弹性层，设置于所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层之间，且分别与所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层接触；当所述柔性基板自所述第一聚酰亚胺层朝向所述第二聚酰亚胺层的方向弯曲时，所述第一弹性层能够吸收所述第二聚酰亚胺层的至少部分压应力。

7.一种柔性显示器，其特征在于，包括：

柔性衬底；

柔性基板，设置于所述柔性衬底的一侧，所述柔性基板如权利要求1-6任一项所述的柔性基板；以及

薄膜晶体管，设置于所述柔性基板背离所述柔性衬底的一侧。

8.一种柔性基板的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：

提供一玻璃衬底；

在所述玻璃衬底上设置一层牺牲层；

在所述牺牲层上设置一层聚酰亚胺层；

在所述聚酰亚胺层上涂布一层弹性层；

在所述弹性层上设置另一层聚酰亚胺层。

9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述在所述聚酰亚胺层上涂布一层弹性层之后，包括：

图形化所述弹性层，以形成多个间隔的弹性块。

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，所述图形化所述弹性层，以形成多个间隔的弹性块之后，所述在所述弹性层上设置一层聚酰亚胺层之前，还包括：

在所述多个间隔的弹性块上沉积一层分隔层，并覆盖住所述多个间隔的弹性块和所述弹性块之间的所述聚酰亚胺层。

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