CN114102403A - 一种单硅晶片表面抛光装置及使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种单硅晶片表面抛光装置及使用方法，涉及单硅晶片技术领域。本发明包括机身主体，还包括有：抛光机构、横向移动机构、垂直移动机构、硅片固定机构、角度调节机构和硅片传动机构。本发明通过各个配件的配合，能够有效的对单硅晶片的各个角度进行抛光打磨，且通过启动硅片传动机构带动单硅晶片进行往复移动，能够使抛光机构较为均匀的对单硅晶片进行打磨，从而大大的提升单硅晶片的表面光滑度，且通过设置可调节传动板能够较为简单的调节角度调节机构的移动行程，适用于不同尺寸的单硅晶片，简化了操作的工序。

Description

一种单硅晶片表面抛光装置及使用方法

技术领域

本发明属于单硅晶片技术领域，特别是涉及一种单硅晶片表面抛光装置及使用方法。

背景技术

单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体，是用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成，不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料，常用于制造半导体器件、太阳能电池等，在单晶硅片的生产过程中需要使用抛光打磨装置对单硅晶片的表面进行处理，提升单硅晶片表面的光滑度，但现有装置不能够有效的对单硅晶片的各个角度进行抛光打磨，不能够均匀的对单硅晶片进行打磨，导致单硅晶片的表面光滑度较差，且对不同尺寸的单硅晶片进行加工时，需要对装置进行调节，调节时操作的工序较多。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单硅晶片表面抛光装置及使用方法，以解决了现有的问题：现有装置不能够有效的对单硅晶片的各个角度进行抛光打磨，不能够均匀的对单硅晶片进行打磨，导致单硅晶片的表面光滑度较差。

为解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：

本发明为一种单硅晶片表面抛光装置，包括机身主体，还包括有：

抛光机构，用以对单硅晶片表面进行打磨；

横向移动机构，用以带动抛光机构进行横向水平移动；

垂直移动机构，用以带动抛光机构进行垂直移动；

硅片固定机构，用以对单硅晶片进行固定；

角度调节机构，用以调节单硅晶片的角度；

所述角度调节机构包括有U形固定架，所述U形固定架内部的上端转动连接有转动安装板，所述硅片固定机构固定在转动安装板的内部，所述转动安装板下端的中间位置固定连接有从动涡轮，所述U形固定架的一端设置有第二电机固定板，所述第二电机固定板的一端螺钉连接有第五传动电机，所述第五传动电机的输出端贯穿第二电机固定板固定连接有传动蜗杆，所述传动蜗杆和从动涡轮啮合连接；

硅片传动机构，用以带动单硅晶片进行往复水平移动；

所述硅片传动机构包括有电机支架和滑动支架，所述电机支架固定连接在机身主体的下端，所述电机支架的下端螺钉连接有第三传动电机，所述第三传动电机的输出端贯穿电机支架固定连接有可调节传动板，所述可调节传动板上端远离第三传动电机的一端固定连接有导向圆杆；

所述滑动支架滑动连接在机身主体的上端，所述滑动支架的下端固定连接有贯穿机身主体的移动立板，所述机身主体的内部开设有适应槽，所述移动立板滑动连接在适应槽的内部，所述移动立板的下端固定连接有传动导向轨，所述导向圆杆滑动连接在传动导向轨的内部。

进一步地，所述抛光机构包括有第二传动电机，所述第二传动电机的输出端固定连接有抛光器具。

进一步地，所述横向移动机构包括有固定框架，所述固定框架的上端开设有滑动工作腔，所述滑动工作腔的内部滑动连接有移动固定板，所述固定框架的一侧设置有第一传动电机，所述第一传动电机的输出端固定连接有传动锥齿轮，所述滑动工作腔的内部还转动连接有传动螺纹轴杆，所述传动螺纹轴杆和移动固定板螺纹连接，所述传动螺纹轴杆的一端贯穿固定框架固定连接有从动锥齿轮，所述传动锥齿轮和从动锥齿轮啮合连接；

所述固定框架的一侧设置有第一电机固定板，所述第一传动电机螺钉连接在第一电机固定板的一侧。

进一步地，所述垂直移动机构包括有第一液压缸，所述第一液压缸固定连接在移动固定板的下端，所述第一液压缸的输出端固定连接有电机固定架，所述抛光机构装配在电机固定架的内部；

所述电机固定架的上端还固定连接有多个定位杆，所述定位杆和移动固定板滑动连接。

进一步地，所述硅片固定机构包括有储气筒，所述储气筒的下端固定连接有第二液压缸，所述第二液压缸的输出端贯穿储气筒固定连接有推气板，所述推气板的外侧套接有密封圈，所述密封圈和储气筒过渡配合，所述储气筒的上端设置有柔性垫片，所述储气筒的下端且位于第二液压缸的周侧开设有多个排气孔。

进一步地，所述角度调节机构还包括有两个轴杆限位支架，两个所述轴杆限位支架固定连接在U形固定架的内部，所述轴杆限位支架和传动蜗杆转动连接。

进一步地，所述滑动支架的下端设置有限位滑条，所述机身主体的上端开设有限位滑槽，所述限位滑条的下端滑动连接在限位滑槽的内部。

进一步地，所述可调节传动板包括有导向外壳，所述导向外壳的内部滑动连接有伸缩传动板，所述导向外壳的一端螺钉连接有第四传动电机，所述第四传动电机的输出端贯穿导向外壳固定连接有限位螺纹杆，且所述限位螺纹杆和伸缩传动板螺纹连接。

进一步地，所述机身主体下端的四个端角处均固定连接有承重支腿。

一种单硅晶片表面抛光装置的使用方法，步骤如下：

S1：将单硅晶片放置在硅片固定机构的上端；

S2：启动第二液压缸,带动推气板在储气筒的内部进行移动，将储气筒内部的空气通过排气孔排出，使推气板和单硅晶片之间产生较大的负压，对单硅晶片进行固定；

S3：启动第五传动电机，第五传动电机启动后会带动转动安装板进行转动，调节单硅晶片的角度；

S4：启动第四传动电机,第四传动电机启动后会带动伸缩传动板在导向外壳的内部进行移动，伸缩传动板移动时会带动导向圆杆一起进行移动，调整导向圆杆的位置；

S5：启动第三传动电机,第三传动电机启动后会带动滑动支架沿纵向进行往复移动，滑动支架移动时会带动单硅晶片一起进行移动；

S6：启动第一传动电机,第一传动电机启动后会带动移动固定板在滑动工作腔的内部进行移动，调整抛光机构的水平位置；

S7：启动第一液压缸,第一液压缸启动后会带动电机固定架进行垂直移动，调整抛光机构的垂直位置，直至抛光器具和单硅晶片接触；

S8：启动第二传动电机,第二传动电机启动后会带动抛光器具进行转动，抛光器具转动时会对单硅晶片进行打磨。

本发明具有以下有益效果：

1、本发明通过各个配件的配合，能够有效的对单硅晶片的各个角度进行抛光打磨。

2、本发明通过启动硅片传动机构带动单硅晶片进行往复移动，能够使抛光机构较为均匀的对单硅晶片进行打磨，从而大大的提升单硅晶片的表面光滑度。

3、本发明通过设置可调节传动板能够较为简单的调节角度调节机构的移动行程，适用于不同尺寸的单硅晶片，简化了操作的工序。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明一种单硅晶片表面抛光装置的结构示意图；

图2为本发明一种单硅晶片表面抛光装置的局部剖切结构示意图；

图3为本发明一种单硅晶片表面抛光装置横向移动机构的结构示意图；

图4为本发明一种单硅晶片表面抛光装置垂直移动机构的结构示意图；

图5为本发明一种单硅晶片表面抛光装置抛光机构的结构示意图；

图6为本发明一种单硅晶片表面抛光装置硅片传动机构的结构示意图；

图7为本发明一种单硅晶片表面抛光装置可调节传动板和传动导向轨的传动图；

图8为本发明一种单硅晶片表面抛光装置可调节传动板的局部剖切结构示意图；

图9为本发明一种单硅晶片表面抛光装置角度调节机构的结构示意图；

图10为本发明一种单硅晶片表面抛光装置角度调节机构的局部剖切结构示意图；

图11为本发明一种单硅晶片表面抛光装置硅片固定机构的局部剖切结构示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、机身主体；2、横向移动机构；3、垂直移动机构；4、抛光机构；5、角度调节机构；6、硅片固定机构；7、硅片传动机构；8、限位滑槽；9、限位滑条；10、固定框架；11、滑动工作腔；12、移动固定板；13、第一传动电机；14、传动锥齿轮；15、从动锥齿轮；16、传动螺纹轴杆；17、第一电机固定板；18、第一液压缸；19、电机固定架；20、定位杆；21、第二传动电机；22、抛光器具；23、移动立板；24、电机支架；25、第三传动电机；26、可调节传动板；27、传动导向轨；28、滑动支架；29、导向圆杆；30、导向外壳；31、伸缩传动板；32、第四传动电机；33、限位螺纹杆；34、U形固定架；35、转动安装板；36、第五传动电机；37、第二电机固定板；38、传动蜗杆；39、轴杆限位支架；40、从动涡轮；41、储气筒；42、第二液压缸；43、推气板；44、密封圈；45、柔性垫片；46、排气孔；47、承重支腿。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例一：

请参阅图1-2所示，本发明为一种单硅晶片表面抛光装置，包括机身主体1，还包括有：

抛光机构4，用以对单硅晶片表面进行打磨；

在此，请参阅图5所示，抛光机构4包括有第二传动电机21，第二传动电机21的输出端固定连接有抛光器具22；

横向移动机构2，用以带动抛光机构4进行横向水平移动；

请参阅图3所示，横向移动机构2包括有固定框架10，固定框架10的上端开设有滑动工作腔11，滑动工作腔11的内部滑动连接有移动固定板12，固定框架10的一侧设置有第一传动电机13，第一传动电机13的输出端固定连接有传动锥齿轮14，滑动工作腔11的内部还转动连接有传动螺纹轴杆16，传动螺纹轴杆16和移动固定板12螺纹连接，传动螺纹轴杆16的一端贯穿固定框架10固定连接有从动锥齿轮15，传动锥齿轮14和从动锥齿轮15啮合连接；

具体的，固定框架10的一侧设置有第一电机固定板17，第一传动电机13螺钉连接在第一电机固定板17的一侧；

垂直移动机构3，用以带动抛光机构4进行垂直移动；

请参阅图4所示，垂直移动机构3包括有第一液压缸18，第一液压缸18固定连接在移动固定板12的下端，第一液压缸18的输出端固定连接有电机固定架19，抛光机构4装配在电机固定架19的内部；

且，为了提升电机固定架19的稳定性，电机固定架19的上端还固定连接有多个定位杆20，定位杆20和移动固定板12滑动连接；

硅片固定机构6，用以对单硅晶片进行固定；

请参阅图11所示，硅片固定机构6包括有储气筒41，储气筒41的下端固定连接有第二液压缸42，第二液压缸42的输出端贯穿储气筒41固定连接有推气板43，推气板43的外侧套接有密封圈44，密封圈44和储气筒41过渡配合，储气筒41的上端设置有柔性垫片45，储气筒41的下端且位于第二液压缸42的周侧开设有多个排气孔46；

角度调节机构5，用以调节单硅晶片的角度；

请参阅图9-10所示，角度调节机构5包括有U形固定架34，U形固定架34内部的上端转动连接有转动安装板35，硅片固定机构6固定在转动安装板35的内部，转动安装板35下端的中间位置固定连接有从动涡轮40，U形固定架34的一端设置有第二电机固定板37，第二电机固定板37的一端螺钉连接有第五传动电机36，第五传动电机36的输出端贯穿第二电机固定板37固定连接有传动蜗杆38，传动蜗杆38和从动涡轮40啮合连接；

详细的，角度调节机构5还包括有两个轴杆限位支架39，两个轴杆限位支架39固定连接在U形固定架34的内部，轴杆限位支架39和传动蜗杆38转动连接；

硅片传动机构7，用以带动单硅晶片进行往复水平移动；

请参阅图6-8所示，硅片传动机构7包括有电机支架24和滑动支架28，电机支架24固定连接在机身主体1的下端，电机支架24的下端螺钉连接有第三传动电机25，第三传动电机25的输出端贯穿电机支架24固定连接有可调节传动板26，可调节传动板26上端远离第三传动电机25的一端固定连接有导向圆杆29；

滑动支架28滑动连接在机身主体1的上端，滑动支架28的下端固定连接有贯穿机身主体1的移动立板23，机身主体1的内部开设有适应槽，移动立板23滑动连接在适应槽的内部，移动立板23的下端固定连接有传动导向轨27，导向圆杆29滑动连接在传动导向轨27的内部；

在此，滑动支架28的下端设置有限位滑条9，机身主体1的上端开设有限位滑槽8，限位滑条9的下端滑动连接在限位滑槽8的内部；

进一步的，可调节传动板26包括有导向外壳30，导向外壳30的内部滑动连接有伸缩传动板31，导向外壳30的一端螺钉连接有第四传动电机32，第四传动电机32的输出端贯穿导向外壳30固定连接有限位螺纹杆33，且限位螺纹杆33和伸缩传动板31螺纹连接；

详细的，机身主体1下端的四个端角处均固定连接有承重支腿47，通过设置承重支腿47能够使机身主体1固定的更加平稳。

实施例二:

在实施例一的基础上公开了一种单硅晶片表面抛光装置的使用方法，其步骤如下：

第一步：将单硅晶片放置在硅片固定机构6的上端；

第二步：启动第二液压缸42,第二液压缸42启动后会带动推气板43在储气筒41的内部进行移动，推气板43移动时会将储气筒41内部的空气通过排气孔46排出，并使推气板43和单硅晶片之间产生较大的负压，对单硅晶片进行吸附，从而对单硅晶片进行固定；

第三步：启动第五传动电机36，第五传动电机36启动后会带动传动蜗杆38进行转动，因为传动蜗杆38和从动涡轮40啮合连接，传动蜗杆38转动时会通过从动涡轮40带动转动安装板35进行转动，转动安装板35转动时会通过硅片固定机构6调节单硅晶片的角度；

第四步：启动第四传动电机32,第四传动电机32启动后会带动限位螺纹杆33一起进行移动，因为限位螺纹杆33和伸缩传动板31螺纹连接，且伸缩传动板31受到导向外壳30的限制只能够在导向外壳30的内部进行滑动，限位螺纹杆33转动时会带动伸缩传动板31在导向外壳30的内部进行移动，伸缩传动板31移动时会带动导向圆杆29一起进行移动，调整导向圆杆29的位置；

第五步：启动第三传动电机25,第三传动电机25启动后会带动可调节传动板26进行转动，可调节传动板26转动时会带动导向圆杆29在传动导向轨27的内部进行滑动，因为传动导向轨27只能够进行纵向滑动，导向圆杆29在传动导向轨27的内部进行移动时会带动传动导向轨27沿纵向进行往复移动，传动导向轨27移动时会通过移动立板23带动滑动支架28一起进行移动，滑动支架28移动时会带动单硅晶片一起进行移动；

第六步：启动第一传动电机13,第一传动电机13启动后会带动传动锥齿轮14进行转动，因为传动锥齿轮14和从动锥齿轮15啮合连接，传动锥齿轮14转动时会带动从动锥齿轮15一起进行转动，从动锥齿轮15转动时会带动传动螺纹轴杆16一起进行转动，因为移动固定板12只能够在滑动工作腔11的内部进行滑动，传动螺纹轴杆16转动时会带动移动固定板12在滑动工作腔11的内部进行移动，调整抛光机构4的水平位置；

第七步：启动第一液压缸18,第一液压缸18启动后会带动电机固定架19进行垂直移动，调整抛光机构4的垂直位置，直至抛光器具22和单硅晶片接触；

第八步：启动第二传动电机21,第二传动电机21启动后会带动抛光器具22进行转动，抛光器具22转动时会对单硅晶片进行打磨；

综上，本发明通过各个配件的配合，能够有效的对单硅晶片的各个角度进行抛光打磨，且通过启动硅片传动机构7带动单硅晶片进行往复移动，能够使抛光机构4较为均匀的对单硅晶片进行打磨，从而大大的提升单硅晶片的表面光滑度，且通过设置可调节传动板26能够较为简单的调节角度调节机构5的移动行程，适用于不同尺寸的单硅晶片，简化了操作的工序。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上公开的本发明优选实施例只是用于帮助阐述本发明。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该发明仅为所述的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本发明的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本发明。本发明仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。

Claims (10)

1.一种单硅晶片表面抛光装置，包括机身主体(1)，其特征在于，还包括有：

抛光机构(4)，用以对单硅晶片表面进行打磨；

横向移动机构(2)，用以带动抛光机构(4)进行横向水平移动；

垂直移动机构(3)，用以带动抛光机构(4)进行垂直移动；

硅片固定机构(6)，用以对单硅晶片进行固定；

角度调节机构(5)，用以调节单硅晶片的角度；

所述角度调节机构(5)包括有U形固定架(34)，所述U形固定架(34)内部的上端转动连接有转动安装板(35)，所述硅片固定机构(6)固定在转动安装板(35)的内部，所述转动安装板(35)下端的中间位置固定连接有从动涡轮(40)，所述U形固定架(34)的一端设置有第二电机固定板(37)，所述第二电机固定板(37)的一端螺钉连接有第五传动电机(36)，所述第五传动电机(36)的输出端贯穿第二电机固定板(37)固定连接有传动蜗杆(38)，所述传动蜗杆(38)和从动涡轮(40)啮合连接；

硅片传动机构(7)，用以带动单硅晶片进行往复水平移动；

所述硅片传动机构(7)包括有电机支架(24)和滑动支架(28)，所述电机支架(24)固定连接在机身主体(1)的下端，所述电机支架(24)的下端螺钉连接有第三传动电机(25)，所述第三传动电机(25)的输出端贯穿电机支架(24)固定连接有可调节传动板(26)，所述可调节传动板(26)上端远离第三传动电机(25)的一端固定连接有导向圆杆(29)；

所述滑动支架(28)滑动连接在机身主体(1)的上端，所述滑动支架(28)的下端固定连接有贯穿机身主体(1)的移动立板(23)，所述机身主体(1)的内部开设有适应槽，所述移动立板(23)滑动连接在适应槽的内部，所述移动立板(23)的下端固定连接有传动导向轨(27)，所述导向圆杆(29)滑动连接在传动导向轨(27)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述抛光机构(4)包括有第二传动电机(21)，所述第二传动电机(21)的输出端固定连接有抛光器具(22)。

3.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述横向移动机构(2)包括有固定框架(10)，所述固定框架(10)的上端开设有滑动工作腔(11)，所述滑动工作腔(11)的内部滑动连接有移动固定板(12)，所述固定框架(10)的一侧设置有第一传动电机(13)，所述第一传动电机(13)的输出端固定连接有传动锥齿轮(14)，所述滑动工作腔(11)的内部还转动连接有传动螺纹轴杆(16)，所述传动螺纹轴杆(16)和移动固定板(12)螺纹连接，所述传动螺纹轴杆(16)的一端贯穿固定框架(10)固定连接有从动锥齿轮(15)，所述传动锥齿轮(14)和从动锥齿轮(15)啮合连接；

所述固定框架(10)的一侧设置有第一电机固定板(17)，所述第一传动电机(13)螺钉连接在第一电机固定板(17)的一侧。

4.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述垂直移动机构(3)包括有第一液压缸(18)，所述第一液压缸(18)固定连接在移动固定板(12)的下端，所述第一液压缸(18)的输出端固定连接有电机固定架(19)，所述抛光机构(4)装配在电机固定架(19)的内部；

所述电机固定架(19)的上端还固定连接有多个定位杆(20)，所述定位杆(20)和移动固定板(12)滑动连接。

5.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述硅片固定机构(6)包括有储气筒(41)，所述储气筒(41)的下端固定连接有第二液压缸(42)，所述第二液压缸(42)的输出端贯穿储气筒(41)固定连接有推气板(43)，所述推气板(43)的外侧套接有密封圈(44)，所述密封圈(44)和储气筒(41)过渡配合，所述储气筒(41)的上端设置有柔性垫片(45)，所述储气筒(41)的下端且位于第二液压缸(42)的周侧开设有多个排气孔(46)。

6.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述角度调节机构(5)还包括有两个轴杆限位支架(39)，两个所述轴杆限位支架(39)固定连接在U形固定架(34)的内部，所述轴杆限位支架(39)和传动蜗杆(38)转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述滑动支架(28)的下端设置有限位滑条(9)，所述机身主体(1)的上端开设有限位滑槽(8)，所述限位滑条(9)的下端滑动连接在限位滑槽(8)的内部。

8.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述可调节传动板(26)包括有导向外壳(30)，所述导向外壳(30)的内部滑动连接有伸缩传动板(31)，所述导向外壳(30)的一端螺钉连接有第四传动电机(32)，所述第四传动电机(32)的输出端贯穿导向外壳(30)固定连接有限位螺纹杆(33)，且所述限位螺纹杆(33)和伸缩传动板(31)螺纹连接。

9.根据权利要求1所述的一种单硅晶片表面抛光装置，其特征在于，所述机身主体(1)下端的四个端角处均固定连接有承重支腿(47)。

10.一种单硅晶片表面抛光装置的使用方法，其特征在于，步骤如下：

S1：将单硅晶片放置在硅片固定机构(6)的上端；

S2：启动第二液压缸(42),带动推气板(43)在储气筒(41)的内部进行移动，将储气筒(41)内部的空气通过排气孔(46)排出，使推气板(43)和单硅晶片之间产生较大的负压，对单硅晶片进行固定；

S3：启动第五传动电机(36)，第五传动电机(36)启动后会带动转动安装板(35)进行转动，调节单硅晶片的角度；

S4：启动第四传动电机(32),第四传动电机(32)启动后会带动伸缩传动板(31)在导向外壳(30)的内部进行移动，伸缩传动板(31)移动时会带动导向圆杆(29)一起进行移动，调整导向圆杆(29)的位置；

S5：启动第三传动电机(25),第三传动电机(25)启动后会带动滑动支架(28)沿纵向进行往复移动，滑动支架(28)移动时会带动单硅晶片一起进行移动；

S6：启动第一传动电机(13),第一传动电机(13)启动后会带动移动固定板(12)在滑动工作腔(11)的内部进行移动，调整抛光机构(4)的水平位置；

S7：启动第一液压缸(18),第一液压缸(18)启动后会带动电机固定架(19)进行垂直移动，调整抛光机构(4)的垂直位置，直至抛光器具(22)和单硅晶片接触；

S8：启动第二传动电机(21),第二传动电机(21)启动后会带动抛光器具(22)进行转动，抛光器具(22)转动时会对单硅晶片进行打磨。

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