CN114061824A - Mems硅压阻式气体压力传感器 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种MEMS硅压阻式气体压力传感器，其包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，第一腔室具有第一气嘴，第二腔室具有第二气嘴，壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，校准流道连通第一腔室和第三腔室，一第一气流流道连通第一腔室和第三腔室，另一第一气流流道连通第二腔室和第三腔室；敏感元件，收容于第一腔室，硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封校准流道；密封塞，收容于第三腔室，密封塞包括两个密封凸柱，一密封凸柱对应可活动设于一第一气流流道，密封凸柱的外周面用以与第一气流流道的内周面密封配合；以及驱动件，用以驱动密封凸柱。本发明的技术方案旨在提高MEMS硅压阻式气体压力传感器的气密性。

Description

MEMS硅压阻式气体压力传感器

技术领域

本发明涉及传感器技术领域，特别涉及一种MEMS硅压阻式气体压力传感器。

背景技术

MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统，可以理解，MEMS硅压阻式气体压力传感器是检测气压变化的传感器，市面上MEMS硅压阻式气体压力传感器的气密性不好，其检测出的数据与真实数据相比有较大的差距。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种MEMS硅压阻式气体压力传感器，提高MEMS硅压阻式气体压力传感器的气密性。

为实现上述目的，本发明提出的MEMS硅压阻式气体压力传感器包括：壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室具有第一气嘴，所述第二腔室具有第二气嘴，所述壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，所述校准流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，一所述第一气流流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，另一所述第一气流流道连通所述第二腔室和所述第三腔室；

硅压阻式气体压力敏感元件，收容于所述第一腔室，所述硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封所述校准流道；

密封塞，收容于所述第三腔室，所述密封塞包括两个密封凸柱，一所述密封凸柱对应可活动设于一所述第一气流流道，所述密封凸柱的外周面用以与所述第一气流流道的内周面密封配合；以及

驱动件，用以驱动所述密封凸柱打开和关闭所述第一气流流道。

可选地，所述密封凸柱设有连通所述第一气流流道的第二气流流道，所述第二气流流道的一开口位于所述密封凸柱的端面，所述第二气流流道的另一开口位于所述密封凸柱的外周面。

可选地，所述第二气流流道的半径的数值范围为3mm-4mm。

可选地，所述密封凸柱具有靠近所述第一气流流道的第一端，所述第一端的周缘处设有倒角。

可选地，所述倒角的角度数值范围为30度至60度。

可选地，所述密封塞包括呈长条状的塞本体，两所述密封凸柱分设于所述塞本体的相对两端，所述驱动件配置为电磁线圈，所述塞本体穿设于所述电磁线圈，所述密封塞位于两所述第一气流流道之间。

可选地，所述壳体的底部朝外延伸出两个安装凸耳。

可选地，所述安装凸耳设有螺纹孔。

可选地，所述MEMS硅压阻式气体压力传感器还包括两根气管，两所述气管位于所述壳体外，所述第一气嘴连通一所述气管，所述第二气嘴连通另一所述气管。

可选地，所述MEMS硅压阻式气体压力传感器还包括收容于所述第一腔室的无线通信模块。

目前，市面上的MEMS硅压阻式气体压力传感器的第一气流流道具有连通第三腔室的第二气流口，第二气流口所在面用以与密封塞的端面进行面面配合，然而一旦第二气流口所在面存在颗粒物，则第二气流口所在面和密封塞的端面在配合的过程中会形成间隙，如此，密封塞并不能较好地密封第一气流流道，而本方案是通过密封凸柱的外周面与第一气流流道的内周面密封配合，可以完美解决这个问题，假设密封凸柱的外周面粘有颗粒物，则在朝第二气流口移动的过程中颗粒物会被第二气流口所在面阻挡，颗粒物不会跟随密封凸柱进入第一气流流道，密封凸柱的外周面可以与第一气流流道的内周面较好地密封配合；假设第一气流流道的内周面粘有颗粒物，密封凸柱进入第一气流流道的过程中，密封凸柱会推动颗粒物移动，以使颗粒物远离第一气流流道与密封凸柱配合的位置，如此，密封凸柱的外周面可以与第一气流流道的内周面较好地密封配合。如此，MEMS硅压阻式气体压力传感器测出的数据与真实数据相比较为贴近。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本发明MEMS硅压阻式气体压力传感器一实施例的剖视图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为图1MEMS硅压阻式气体压力传感器的一视角的结构示意图；

图4为图3的抓手的剖视图；

图5为图3气管和吸附纸的剖视图；

图6为本发明MEMS硅压阻式气体压力传感器又一实施例的剖视图；

图7为图6中安装凸耳的结构视图。

附图标号说明：

本发明目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

另外，若本发明实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。

本发明提出一种MEMS硅压阻式气体压力传感器，在此为了方便撰写，将MEMS硅压阻式气体压力传感器命名为硅压阻式气体压力传感器。

参照图1至5，在本发明一实施例中，该硅压阻式气体压力传感器包括：

壳体100，设有相分隔的第一腔室111、第二腔室112和第三腔室131，所述第一腔室111具有第一气嘴，所述第二腔室112具有第二气嘴113，所述壳体100还设有校准流道140和两条第一气流流道150，所述校准流道140连通所述第一腔室111和所述第三腔室131，一所述第一气流流道150连通所述第一腔室111和所述第三腔室131，另一所述第一气流流道150连通所述第二腔室112和所述第三腔室131；

硅压阻式气体压力敏感元件121，收容于所述第一腔室111，所述硅压阻式气体压力敏感元件121的背侧密封所述校准流道140；

密封塞300，收容于第三腔室131内；以及

驱动件400，驱动密封塞300打开和关闭第一气流流道150。

下面对硅压阻式气体压力传感器的运行过程进行阐述：

S1：使硅压阻式气体压力传感器处于非工作状态；

S2：驱动密封塞300关闭连通第二腔室112的第一气流流道150，并打开连第一腔室111的第一气流流道150，此时硅压阻式气体压力敏感元件121的正面压力和背面压力相同；

S4：进行零点校正，硅压阻式气体压力传感器记忆此时温度时刻的零点参数；

S5：驱动密封塞300关闭连通第一腔室111的第一气流流道150，并打开连第二腔室112的第一气流流道150，此时硅压阻式气体压力敏感元件121的正面压力和背面压力不同；

S6：使硅压阻式气体压力传感器处于工作状态，压力传感器基于前面的校准零点工作所记忆的温度时刻的传感零点参数，开始测试此温度时刻的压力作用下硅压阻式气体压力传感器的输出信号。因为校准时的温度与压力测试时的温度变化较小，可以忽略不计。

具体地，在一实施例中，壳体100包括自上朝下依次装配的上壳体110、电路板120和下壳体130，其中，上壳体110具有第一腔室111和第二腔室112，第一腔室111和第二腔室112朝下开口，下壳体130具有朝上开口的第三腔室131，电路板120的上侧密封的密封第一腔室111和第二腔室112的开口，下册密封第三腔室131的开口，电路板120上开设有三个孔，其中一个孔直接连通第三腔室131，该孔形成的通道为校准流道140，下壳体130形成有位于第三腔室131两侧的两个气腔，气腔连通第三腔室131，电路板120三个孔中的两个孔的一个连通第一腔室111和一气腔以形成一第一气流流道150，另一个连通第二腔室112和另一气腔以形成另一第一气流流道150。然本设计不限于此，于其他实施例中，硅压阻式气体压力传感器还可以是其他结构。

可选地，在一实施例中，密封塞300包括两个密封凸柱310，一所述密封凸柱310对应可活动设于一所述第一气流流道150，所述密封凸柱310的外周面用以与所述第一气流流道150的内周面密封配合。

可以理解，若其中一气流流道与第三腔室131气密性较差，则容易影响校准零点工作以及压力测试工作。

目前，市面上的硅压阻式气体压力传感器的第一气流流道150具有连通第三腔室131的第二气流口152，第二气流口152所在面用以与密封塞300的端面进行面面配合，然而一旦第二气流口152所在面存在颗粒物，则第二气流口152所在面和密封塞300的端面在配合的过程中会形成间隙，如此，密封塞300并不能较好地密封第一气流流道150，而本方案是通过密封凸柱310的外周面与第一气流流道150的内周面密封配合，可以完美解决这个问题，假设密封凸柱310的外周面粘有颗粒物，则在朝第二气流口152移动的过程中颗粒物会被第二气流口152所在面阻挡，颗粒物不会跟随密封凸柱310进入第一气流流道150，密封凸柱310的外周面可以与第一气流流道150的内周面较好地密封配合；假设第一气流流道150的内周面粘有颗粒物，密封凸柱310进入第一气流流道150的过程中，密封凸柱310会推动颗粒物移动，以使颗粒物远离第一气流流道150与密封凸柱310配合的位置，如此，密封凸柱310的外周面可以与第一气流流道150的内周面较好地密封配合。如此，硅压阻式气体压力传感器测出的数据与真实数据相比较为贴近。

值得一提的是，在一实施例中，第一气流流道150具有沿水平方向延伸的连通段153，该连通段153用以连通第三腔室131，其中密封凸柱310用以与连通段153密封配合。

可选地，在一实施例中，所述密封凸柱310设有连通所述第一气流流道150的第二气流流道311，所述第二气流流道311的一开口位于所述密封凸柱310的端面，所述第二气流流道311的另一开口位于所述密封凸柱310的外周面，如此，无论是在打开第一气流流道150的状态下还是在关闭第一气流流道150的状态下，密封凸柱310始终有伸入第一气流流道150的部分，避免密封凸柱310脱离第一气流流道150后密封凸柱310由于外因发生偏移而不能再次伸入第一气流流道150的情况发生，在打开第一气流流道150的状态下，只需将位于密封凸柱310外周面的开口连通第三腔室131即可，无需将第一端脱离第一气流流道150。然本设计不限于此，于其他实施例中，密封凸柱310也可以不设置第二气流流道311，只要能保证密封凸柱310始终能伸入第一气流流道150即可。

可选地，在一实施例中，所述第二气流流道311的半径的数值范围为3mm-4mm，当第二气流流道311的半径较小时，第二气流流道311容易被颗粒物堵塞，影响第三腔室131与第一气流流道150之间的气体流动，当第二气流流道311的半径较大时，容易使得密封凸柱310变大，密封凸柱310变大则密封凸柱310的外周面的区域变大，也就意味着需要密封配合的区域变大，提高了密封难度。因此，所述第二气流流道311的半径的数值范围为3mm-4mm时，第二气流流道311既不容易受颗粒物堵塞，也降低了密封凸柱310对第一气流流道150的密封难度。

可选地，在一实施例中，所述密封凸柱310具有靠近所述第一气流流道150的第一端，所述第一端的周缘处设有倒角，当密封凸柱310发生偏移时，密封凸柱310可以在倒角的导向作用下滑入第一气流流道150。然本设计不限于此，于其他实施例中，密封凸柱310也可以不设置倒角，只要能保证密封凸柱310始终能伸入第一气流流道150即可。

可选地，在一实施例中，所述倒角的角度数值范围为30度至60度，倒角偏小或偏大都不容易滑入第一气流流道150，当倒角的角度数值范围为30度至60度时，密封凸柱310能较为顺利地滑入第一气流流道150。

可选地，在一实施例中，所述密封塞300包括呈长条状的塞本体320，两所述密封凸柱310分设于所述塞本体320的相对两端，所述驱动件400配置为电磁线圈410，所述塞本体320穿设于所述电磁线圈410，所述密封塞300位于两所述第一气流流道150之间，可以理解，电磁线圈410驱动密封塞300于两个第一气流流道150之间往复运动。然本设计不限于此，与其他实施例中，密封塞300和驱动件400还有其他形式，只要能驱动密封柱能打开和关闭第一气流流道150即可。

可选地，在一实施例中，所述壳体100的底部朝外延伸出安装凸耳500，伸出的安装凸耳500的周围环境相对空旷，方便人手或工具将安装凸耳500连接至其他结构，方便硅压阻式气体压力传感器安装。

可选地，在一实施例中，所述安装凸耳500设有两个，安装凸耳500越多则硅压阻式气体压力传感器安装得越稳固。

可选地，在一实施例中，两所述安装凸耳500分设于所述壳体100的两侧，如此硅压阻式气体压力传感器于其他结构的连接更稳固。

可选地，一并参照图6和图7，在一实施例中，硅压阻式气体压力传感器还包括安装于安装凸耳500的磁铁600，硅压阻式气体压力传感器通过磁吸的方式于与其他结构连接，非常方便快捷，做到免工具安装，只要将硅压阻式气体压力传感器接近能用磁铁600吸附的结构即可相互连接。

可选地，在一实施例中，所述安装凸耳500包括自所述壳体100的底部伸出的凸耳本体520，所述凸耳本体520设有容纳腔521，所述磁铁600设于所述容纳腔521内，以使磁铁600避免与外部物体碰撞，使磁铁600的结构完整，从而保证磁铁600正常使用。然本设计不限于此，于其他实施例中，磁铁600可直接设于安装凸耳500的下表面以显露于外。

可选地，在一实施例中，所述容纳腔521开口位于所述凸耳本体520的底部，所述凸耳本体520的底部设有连通所述容纳腔521的滑槽530，所述安装凸耳500还包括滑动于所述滑槽530的滑板530，所述滑板530可密封所述容纳腔521的开口，如此，磁铁600避免与外部物体碰撞，使磁铁600的结构完整，从而保证磁铁600正常使用。然本设计不限于此，于其他实施例中，凸耳本体520的底部设有环绕收容腔开口的安装环槽，安装环槽与容纳腔521连通，安装凸耳500还包括盖合安装环槽的盖板，盖板可密封收容腔的开口。

可选地，在一实施例中，所述滑板530的厚度范围为2mm-3mm，当滑板530的厚度过小时，滑板530强度较低容易遭受外力而破坏，当滑板530的厚度过大时，会削弱磁铁600与其他结构之间的磁力，使得硅压阻式气体压力传感器与其他结构连接不牢固，如此，当滑板530的厚度范围为2mm-3mm时，滑板530既具有较高的结构强度，又保证硅压阻式气体压力传感器与其他结构连接牢固。

可选地，在一实施例中，所述安装凸耳500设有螺纹孔510，螺钉穿设于螺纹孔510以将硅压阻式气体压力传感器与其他结构连接。然本设计不限于此，于其他实施例中，安装凸耳500内设有磁铁600，硅压阻式气体压力传感器通过磁吸的方式于其他结构连接。

可选地，在一实施例中，所述硅压阻式气体压力传感器还包括收容于所述第一腔室111的无线通信模块122，如此，用户可以通过电子设备接收硅压阻式气体压力传感器检测出的信息。然本设计不限于此，于其他实施例中，无线通信模块122还可收容于第二腔室112。需要说明的是，无线通信模块122的具体结构参见现有技术。

可选地，在一实施例中，硅压阻式气体压力传感器导气管700还包括导气管700，所述导气管700设于所述第一腔室111，所述导气管700的一端管口连接至所述第一气嘴，所述导气管700的另一端管口朝向远离所述硅压阻式气体压力敏感元件121的方向延伸。自第一气嘴进入的气体可能会带有灰尘或油污，第一气嘴进入的气体通过导气管700的导向作用下朝远离硅压阻式气体压力敏感元件121的方向流动，该气体中的大部分灰尘或油污会先附着于第一腔室111内的其他地方，如此到达硅压阻式气体压力敏感元件121的灰尘或油污就会极大减少，保证硅压阻式气体压力敏感元件121具有较高的性能，以及硅压阻式气体压力传感器有较长的使用寿命。

可选地，在一实施例中，所述第一气流流道150具有连通所述第一腔室111的第一气流口151，所述导气管700的另一端管口朝向所述第一气流口151，如此，带有灰尘或油污的大部分气体可以自第一气流口151流进第一气流流道150，减少气体于第一腔室111内循环，进一步减少硅压阻式气体压力敏感元件121附着的灰尘或油污，可以理解，灰尘或油污可附着于第一气流流道150的壁面，当第一气流流道150的壁面附着有较多灰尘或油污时可拆卸硅压阻式气体压力传感器进行清理，清理第一气流流道150的难度远小于清理硅压阻式气体压力敏感元件121的难度。

可选地，在一实施例中，所述导气管700的另一端管口伸入所述第一气流流道150，且所述导气管700的半径小于所述第一气流流道150的半径，如此，技能将更多的带有灰尘或油污的气体送入第一气流流道150，又能保证第一腔室111始终于第一气流流道150处于连通的状态，保证硅压阻式气体压力传感器的正常运行，并且灰尘和油污在重力作用下会沿第一气流流道150下落，几乎不会返回到第一腔室111内，进一步减少硅压阻式气体压力敏感元件121附着的灰尘或油污。

可选地，在一实施例中，所述硅压阻式气体压力传感器还包括两根气管810，两所述气管810位于所述壳体100外，所述第一气嘴连通一所述气管810，所述第二气嘴113连通另一所述气管810，气管810有利于延长硅压阻式气体压力传感器测量气体的范围，在硅压阻式气体压力传感器安装固定后，可以通过移动气管810的方式检测多个点位的气压，非常方便，可以理解气管810配置为软管。

可选地，在一实施例中，硅压阻式气体压力传感器还包括抓手900，抓手900设有两个，一所述抓手900对应一所述气管810装设，所述抓手900用以连接滤网，气管810通过抓手900稳定地与滤网连接，极大提高气管810与滤网的连接稳定性。

可选地，在一实施例中，所述抓手900包括安装环壁910和环绕所述安装环壁910的导向环壁920，所述导向环壁920的一端为卡接环口921，相对的另一端为连接环口922，所述卡接环口921和所述连接环口922同轴设置，所述卡接环口921的半径大于所述连接环口922的半径，所述安装环壁910自所述连接环口922朝所述卡接环口921延伸，所述安装环壁910具有第一轴线，所述安装环壁910用以供所述气管810自所述卡接环口921朝所述连接环口922穿设。抓手900使用时，将连接环口922伸入滤网的网孔，网孔挤压导向环壁920，以使导向环壁920收缩，当卡接环口921通过网孔后，导向环壁920复原，可以理解，卡接环口921的内径大于网孔的内径，气管810的一端连接壳体100，相对的另一端连接抓手900，而壳体100和抓手900分别位于滤网的两侧，且在不挤压导向环壁920情况下，气管810连接有抓手900的一端是无法到达滤网的另一侧，如此提高了气管810与滤网的连接稳定性。然本设计不限于此，于其他实施例中，抓手900可以配置为挂钩的形式，挂钩的一端连接气管810，另一端挂扣于滤网的网孔。

可选地，在一实施例中，所述安装环壁910的内周面设有凸刺911，所述凸刺911自所述卡接环口921朝所述连接环口922的方向延伸，所述凸刺911抵接所述气管810，如此，凸刺911可以避免气管810退出安装环壁910，当气管810要退出安装环壁910时，凸刺911可以刺入气管810以阻止气管810滑出安装环壁910。然本设计不限于此，于其他实施例中，安装环壁910可以有其他形式，只要能避免气管810轻易脱离安装环壁910即可。

可选地，在一实施例中，所述凸刺911设有多个，多个所述凸刺911绕所述第一轴线间隔布设，进一步增大气管810退出安装环壁910的难度。

可选地，在一实施例中，所述气管810的内壁铺设有吸附纸820，所述吸附纸820用以吸附灰尘或油烟，如此，带有灰尘或油污的气体在导管流动时灰尘或油污会被吸附于吸附纸820，极大减少灰尘和油污进入壳体100内。

可选地，在一实施例中，所述吸附纸820与所述气管810可拆卸连接，如此，当吸附纸820吸附有大量灰尘或油污后，用户可以仅更换吸附纸820而不用更换气管810，节省成本。当然，在其他实施例中吸附纸820与气管810粘附在一起。

可选地，在一实施例中，所述吸附纸820具有突出于所述气管810远离所述壳体100的管口的突出部821，如此，用户可以轻易夹取突出部821以将整个吸附纸820取出于气管810，非常方便。

可选地，在一实施例中，所述突出部821包覆于所述气管810远离所述壳体100的管口周缘，避免突出部821在一些情况下呈收缩状，从而避免影响气管810的气体流动。

可选地，在一实施例中，所述吸附纸820可拆卸地包覆所述气管810远离所述壳体100的管口周缘，用户很容易将吸附纸820从气管810内取出，再将新的吸附纸820安装于气管810。

可选地，所述上壳体110具有第一安装面，所述下壳体130具有与所述第一安装面相装配的第二安装面，所述第一安装面与所述第二安装面之间形成有安装间隙160，所述安装间隙160至少连通所述第一腔室111、所述第二腔室112或所述第三腔室131；硅压阻式气体压力传感器还包括密封垫片210，所述密封垫片210设于所述安装间隙160。通过第一安装面与第二安装面挤压密封垫片210，以使密封垫片210发生弹性形变从而填补安装间隙160，进而避壳体100外与第一腔室111、第二腔室112或第三腔室131发生气体交换，进而提高硅压阻式气体压力传感器的气密性。

可选地，在一实施例中，所述密封垫片210配置为橡胶垫片，橡胶垫片具有良好地形变能力，有利于进一步提高硅压阻式气体压力传感器的气密性。然本设计不限于此，于其他实施例中，密封垫片210还可以配置为其他垫片，只要其能具有良好第形变能力即可。

可选地，在一实施例中，气密性好的硅压阻式气体压力传感器还包括紧固螺栓220，所述紧固螺栓220穿设于所述第一安装面和所述第二安装面，通过紧固螺栓220来调节第一安装面和第二安装面之间的间距以使密封垫片210能较好地填充安装间隙160，进一步提高硅压阻式气体压力传感器的气密性。

可选地，在一实施例中，所述壳体100还设有检修口171，所述检修口171连通所述第一腔室111；所述硅压阻式气体压力敏感元件121的正面与所述检修口171相对设置；硅压阻式气体压力传感器还包括检修门172，所述检修门172安装于所述检修口171。维修人员可以打开检修门172，由于检修口171与硅压阻式气体压力敏感元件121相对，维修人员可以直接看到硅压阻式气体压力敏感元件121的状况，维修人员根据硅压阻式气体压力敏感元件121的状况可选用对应的工具以伸入检修口171对硅压阻式气体压力敏感元件121进行检修，非常方便。

可选地，在一实施例中，所述检修门172配置为柱塞，所述柱塞的周缘与所述检修口171的内壁面密封配合，避免外界气体与第一腔室111内的气体发生交换影响壳体100的气密性。

可选地，在一实施例中，所述检修口171的半径的数值范围为4mm-6mm，当检修口171的半径的数值过小时，不便于维修人员观测硅压阻式气体压力敏感元件121，也不便于维修人员的工具伸入检修口171对硅压阻式气体压力敏感元件121进行维修，当检修口171的半径的数值过大时，打开检修门172后大量灰尘容易自检修口171进入第一腔室111。如此，当所述检修口171的半径的数值范围为4mm-6mm时，既方便对硅压阻式气体压力敏感元件121进行检修，又可以避免大量灰尘进入第一腔室111。

可选地，在一实施例中，所述检修口171设有两个，所述检修门172设有两个，一所述检修门172对应一所述检修口171设置，两个检修口171可便于对硅压阻式气体压力敏感元件121从不同角度观测和维修。

以上所述仅为本发明的可选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，包括：

壳体，设有相分隔的第一腔室、第二腔室和第三腔室，所述第一腔室具有第一气嘴，所述第二腔室具有第二气嘴，所述壳体还设有校准流道和两条第一气流流道，所述校准流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，一所述第一气流流道连通所述第一腔室和所述第三腔室，另一所述第一气流流道连通所述第二腔室和所述第三腔室；

硅压阻式气体压力敏感元件，收容于所述第一腔室，所述硅压阻式气体压力敏感元件的背侧密封所述校准流道；

密封塞，收容于所述第三腔室，所述密封塞包括两个密封凸柱，一所述密封凸柱对应可活动设于一所述第一气流流道，所述密封凸柱的外周面用以与所述第一气流流道的内周面密封配合；以及

驱动件，用以驱动所述密封凸柱打开和关闭所述第一气流流道。

2.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述密封凸柱设有连通所述第一气流流道的第二气流流道，所述第二气流流道的一开口位于所述密封凸柱的端面，所述第二气流流道的另一开口位于所述密封凸柱的外周面。

3.如权利要求2所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述第二气流流道的半径的数值范围为3mm-4mm。

4.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述密封凸柱具有靠近所述第一气流流道的第一端，所述第一端的周缘处设有倒角。

5.如权利要求4所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述倒角的角度数值范围为30度至60度。

6.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述密封塞包括呈长条状的塞本体，两所述密封凸柱分设于所述塞本体的相对两端，所述驱动件配置为电磁线圈，所述塞本体穿设于所述电磁线圈，所述密封塞位于两所述第一气流流道之间。

7.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述壳体的底部朝外延伸出两个安装凸耳。

8.如权利要求7所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述安装凸耳设有螺纹孔。

9.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述MEMS硅压阻式气体压力传感器还包括两根气管，两所述气管位于所述壳体外，所述第一气嘴连通一所述气管，所述第二气嘴连通另一所述气管。

10.如权利要求1所述的MEMS硅压阻式气体压力传感器，其特征在于，所述MEMS硅压阻式气体压力传感器还包括收容于所述第一腔室的无线通信模块。

Images