CN114061467A - 一种透镜厚度测量装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提出了一种透镜厚度测量装置及方法，装置包括设置在待测透镜一侧的相机组、紫外光液晶显示器以及设置在待测透镜另一侧的可见光液晶显示器；所述紫外光液晶显示器上显示的紫外光条纹信息经过待测透镜一侧表面反射后进入相机组，所述可见光液晶显示器上显示的可见光条纹信息经过待测透镜两个表面折射后同时进入相机组。利用相机成像模型、系统几何关系与反射定律，求解透镜一侧表面面形，通过相机采集到的经透镜折射的可见光液晶显示器显示的条纹信息，根据被测透镜折射率与折射定律求解透镜另一侧表面面形，由于透镜上下表面测量结果位于同一坐标系，二者作差获得透镜厚度。
Description
技术领域
本发明涉及光学领域，尤其涉及一种透镜测量装置及方法。
背景技术
相位测量偏折术是一种基于结构光编码、相移技术和波前重建算法的非接触式面形检测技术。然而对于透明元件，当内反射存在时，前后表面同时存在光的反射，影响了条纹相位的准确提取。常规相位测量偏折术测量透镜面形常采用粗糙化或黑化元件下表面的方法对待测透明元件进行预处理，然而该方法仅能测量透明元件上下两个表面的其中一个。即使将该透明元件上下表面反转进行测量，则两次测量得到的透明元件上下表面坐标系不统一，因而无法获得透镜元件厚度信息。
针对大部分有机树脂与玻璃材料，其对于紫外光线有很好的吸收作用。针对该问题，Sprenger D等(Faber C,Seraphim M,G.
UV-Deflectometry:No parasiticreflections[C]//Proc.DGaO.2010,111:A19.)首先提出了一种紫外光偏折术，其使用紫外光源，可移动狭缝与相机组成了该系统。然而，该方法需要将狭缝沿水平与竖直方向移动若干位置，以实现紫外光源透过狭缝形成的光条在透镜表面的扫掠，测量耗时长且结构复杂。同时，能否准确提取光条中心位置也是影响测量结果是否准确的决定性因素。
Wang,R等(Li,D.,Li,L.,Xu,K.,Tang,L.,Chen,P.,&Wang,Q.(2018).Surfaceshape measurement of transparent planar elements with phase measuringdeflectometry.Optical Engineering,57(10),104104.)提出了一种使用傅里叶变换的方法，来消除透镜上下表面同时反射条纹信息的混叠，然而该方法仅适合较厚的平板透明元件。
Lampalzer R等(Method and apparatus for the three-dimensionalmeasurement of the shape and the local surface normal of preferably specularobjects:U.S.Patent 8,284,392[P].2012-10-9.)公开了一种涵盖可见光、红外与紫外波段的相移偏折术，其被用来测量镜面表面或透件的其中一个表面。并且而其认为结构光显示设备为平面，然而液晶显示器等显示设备往往不是理想平面，其存在一定的平面度偏差。
发明内容
发明目的：提供一种透镜厚度测量装置及方法，测量结果准确。
技术方案：一种透镜厚度测量装置，包括设置在待测透镜一侧的相机组、紫外光液晶显示器以及设置在待测透镜另一侧的可见光液晶显示器；所述紫外光液晶显示器上显示的紫外光条纹信息经过待测透镜一侧表面反射后进入相机组，所述可见光液晶显示器上显示的可见光条纹信息经过待测透镜两个表面折射后同时进入相机组。
在测量装置中，待测透镜不仅可以被认为是一个绝对平面结构，而且可以被考虑为一个具有面形的立体结构。
进一步，所述紫外光液晶显示器上显示的紫外光波长范围为10～400nm，属OKP-1、PMMA、钠钙玻璃等透镜常用制成材料能将此波段的紫外光几乎完全吸收。
进一步，所述紫外光液晶显示器包括采用紫外灯管作为背光的液晶显示器、采用紫外发光二极管(LED)作为背光的液晶显示器、采用作为紫外发光灯珠(LED)作为背光的液晶显示器、采用紫外投影仪(DLP)作为背光的液晶显示器或采用紫外有机发光二极管(OLED)自发光的液晶显示器。
进一步，所述紫外光液晶显示器和可见光液晶显示器上设置匀光膜、匀光透镜或导光板，用于使屏幕亮度更加均匀。
进一步，所述紫外光液晶显示器及可见光液晶显示器均至少设置一台。
一种透镜厚度测量方法，包括以下步骤：
(1)搭建测量装置，对测量装置进行标定和位置调试；
(2)在紫外光液晶显示器上显示紫外光条纹信息，对相机组采集的经透镜一侧表面反射调制后的紫外光条纹信息进行绝对相位展开，求解相机组每个像素接收到的紫外光线是由紫外光液晶显示器的某个位置显示发射出的；
(3)利用相机成像模型、系统几何关系与反射定律，求解透镜一侧表面面形；
(4)通过相机采集到的经透镜折射的可见光液晶显示器显示的条纹信息，根据被测透镜折射率与折射定律求解透镜另一侧表面面形；
(5)由于透镜上下表面测量结果位于同一坐标系，二者作差获得透镜厚度。
进一步，步骤(2)采用时间相位解包裹算法获得相机每个像素对应拍摄到的显示器像元的位置。
进一步，
步骤(3)通过相机内参标定，可获得参照相机某一像素对应的射线，在射线上搜索高度，使此高度下其他相机对应接收到的入射光线与出射光线满足反射定律，并满足相机组内所有相机在该点的法矢一致，获得该像素对应的透镜高度，找到参照相机所有像素对应的透镜高度，最终得到透镜对应侧表面面形。
进一步，步骤(4)通过相机内参标定、已得到的透镜一侧表面面形以及折射率，可获得参照相机某一像素对应的射线，在射线上搜索高度，使此高度下其他相机对应接收到的入射光线与出射光线满足折射定律，并满足所有相机在该点的法矢一致，获得该像素对应的透镜高度，找到参照相机所有像素对应的透镜高度，最终得到透镜另一侧表面面形。
由以上本发明的方案可见，本发明的显著优点在于：
1、引入紫外光对透镜进行测量。充分利用透镜材料对波长紫外光几乎完全吸收的特性，利用紫外光照排除了透镜底面反射光对上表面的影响，实现透镜上表面的准确测量。在透镜底部放置可见光液晶显示器，则相机可通过透镜上下表面两次折射观测到可见光液晶显示器的条纹信息。由于透镜上表面已经被测量出来，在透镜折射率已知的条件下，根据折射定律与几何约束即可通过求解透镜下表面信息。有了在同一坐标系下透镜上下表面的三维形貌，则透镜厚度信息显然也可以做差求得。
2、利用液晶显示器像元等间距整行整列排布的特性，能够更加方便、准确的利用液晶显示器投影出准确的条纹图像信息，进一步地保证了后续测量结果地准确性。
3、本发明首先利用相机采集经透镜上表面反射调制后的紫外光液晶显示器显示的紫外结构光，通过条纹相位解算得到的绝对相位，获得相机每个像素拍摄到的光线对应于紫外光液晶显示器的像元位置。由于液晶显示器像元等间距整行整列排布的特性，在已知像元间距的前提下，根据像元位置即可获得紫外光液晶屏幕上光线出射点的二维尺寸物理坐标。进一步利用紫外光液晶屏幕相对于相机位置的标定结果以及紫外光液晶屏幕的面形标定结果，可以获得紫外光液晶屏幕上光线出射点的三维尺寸物理坐标。借助相机成像参数标定结果、以及光线反射定律，通过计算机计算最终恢复透镜上表面三维形貌。同理，利用相机采集经透镜折射调制后的可见光液晶显示器显示的可见光信息，通过条纹相位解算得到的绝对相位，获得相机每个像素拍摄到的光线对应于可见光液晶显示器的像元位置。由于液晶显示器像元等间距整行整列排布的特性，在已知像元间距的前提下，根据像元位置即可获得可见光液晶屏幕上光线出射点的二维尺寸物理坐标。进一步利用可见光液晶屏幕相对于相机位置以及液晶屏幕面形的标定结果，可以获得可见光液晶屏幕上光线出射点的三维尺寸物理坐标。借助相机成像参数标定结果、透镜材料的折射率以及光线折射定律，通过计算机计算最终恢复透镜下表面三维形貌。透镜上下表面位于同一坐标系，做差可获得透镜厚度信息。
附图说明
图1为本发明测量装置的结构示意图；
图2为透镜上表面测量原理示意图；
图3为透镜下表面测量原理示意图；
图4为测量装置两台相机、紫外光液晶显示器及可见光液晶显示器相对位置关系标定结果示意图；
图5为紫外光液晶显示器面形的标定结果示意图；
图6为可见光液晶显示器面形的标定结果示意图；
图7为透镜上表面面形测量结果示意图；
图8为透镜下表面面形测量结果示意图；
图9为透镜厚度测量结果示意图。
具体实施方式
一种透镜厚度测量装置，如图1所示，包含一台连接所有相机1、2、紫外光液晶显示器3和可见光液晶显示器4的计算机7、一台采用波长为365nm的紫外LED作为背光的分辨率为1920×1080的紫外光液晶显示器3、一台可见光作为背光的分辨率为1920×1080的可见光液晶显示器4、两台波段覆盖365nm且同时感应可见光与紫外光的相机1、2以及材质为聚碳酸酯厚度约为10mm的待测透镜5。其中，计算机7用于控制紫外光液晶显示器3、可见光液晶显示器4条纹信息的显示与两个相机1、2的图像采集，并进行计算以获得测量结果。
两个相机1、2与紫外光液晶显示器3、可见光液晶显示器4通过机械装置固定，以保持相对位置关系不变。其中，两台相机1、2以及紫外光液晶显示器3设置在待测透镜5上方，紫外光液晶显示器3显示的紫外光条纹信息经过待测透镜5上表面反射后进入两台相机1、2。在待测透镜5的下方，对应紫外光液晶显示器3下设置了可见光液晶显示器4，可见光液晶显示器4上显示的可见光条纹信息经过待测透镜5上下表面折射后进入相机1、2。
采用上述测量装置的测量方法，具体步骤如下：
(1)搭建测量装置：
将紫外光液晶显示器3与两台相机1、2摆放至面向待测透镜5上表面的方向，使两台相机1、2都能够观测到紫外光液晶显示器3上显示的条纹信息经过透镜5上表面反射调制后进入相机1、2的条纹信息。将可见光液晶显示器4摆放至面向透镜5下表面的方向，使相机1、2能够观测到可见光液晶显示器4显示的条纹信息经过透镜5上下表面折射调制后进入相机1、2的条纹信息。
(2)对搭建的测量装置进行标定：
为了实现透镜5面形测量，需要对相机1、2、紫外光液晶显示器3与可见光液晶显示器4进行标定。首先通过张正友标定，完成相机1、2小孔成像模型的内参标定，相机1、2的成像参数标定结果如表1：
表1相机成像参数
表中，(u0,v0)为小孔模型主点坐标，fx、fy为水平竖直两个方向焦距，k1、k2、k3为径向畸变系数，p1、p2为切向畸变系数。
通过三坐标测量机中的点光源显微镜测头，完成相机1、2紫外光液晶显示器3与可见光液晶显示器4相对位置关系的测量，以及液晶显示器3、4面形的标定。相机1、2与紫外光液晶显示器3及可见光液晶显示器4之间相对位置关系的标定结果如图4，紫外光液晶显示器3面形的标定结果如图5，可见光液晶显示器4面形的标定结果如图6。
(3)完成测量装置的调试：
将标定好的相机1、2、紫外光液晶显示器3与可见光液晶显示器4固定并封装，形成测量装置。
(4)将测量装置放置于可对透镜5进行测量的位置：
调整测量装置各组件位置，使两台相机1、2能够同时通过透镜5上表面反射观测到紫外光液晶显示器3上显示的条纹信息以及通过透镜5上下表面折射观测到可见光液晶显示器4上显示的条纹信息。
(5)利用相机1、2采集经透镜5上表面反射调制后的紫外光液晶显示器3显示的条纹信息，使用《Huntley J M,Saldner H.Temporal phase-unwrapping algorithm forautomated interferogram analysis[J].Applied Optics,1993,32(17):3047-3052.》中的时间相位解包裹算法，获得相机1、2每个像素x对应拍摄到的紫外光液晶显示器像元X的位置：
本实施例根据时间相位解包裹算法，在紫外光液晶显示器3上投影1至10共10组单频率条纹I1(x)，其中每组条纹通过如公式(1)中的四步相移法求解包裹在[-π,+π)之间的包裹相位φ(x)：
式中，n为相移步数；
相机每个像素x对应拍摄到的紫外光液晶显示器3像元X的位置关系可在对包裹相位φ(x)进行解包裹后的绝对相位
中获得，绝对相位
与包裹相位φ(x)的关系如下：
为了获得公式(2)中的系数k(x)，利用不同组频率条纹之间的相位关系，定义频率t下绝对相位
与包裹相位φ(x,t)的关系如下：
则第10组频率下屏幕像元X的位置与其对应的相机每个像素x的关系f(x)可由公式(4)计算得到：
其中，系数ν(x,10)可由公式(5)计算，其中round(·)表示对小数进行四舍五入取整：
(6)求解透镜5上表面三维形貌信息：
以获取图2中相机1中像素x1对应的透镜5高度为例。
通过相机1内参标定，可获得像素x1对应的射线l1，通过绝对相位获得相机1像素x1对应紫外光液晶显示器3的屏幕点P1。在射线l1某一高度Z上，根据反射定律，由相机1像素x1、高度Z、对应屏幕点P1可以计算出曲面法矢1。此外，在该高度下，根据相机2的内参标定结果，可以获得其对应的像素x2，通过绝对相位获得相机2像素x2对应屏幕点P2。进而根据反射定律，由相机2像素x2、高度Z、对应屏幕点P2可以计算出曲面法矢2。判断曲面法矢1和曲面法矢2是否重合，若重合即该点即为像素x1对应的透镜5高度，属于透镜5上表面面形S1(x)；若不重合，继续在射线l1其他高度上进行计算，直到找到两法矢的重合点。遍历所有相机1中的所有像素点，即可最终获取透镜5上表面面形S1(x)。
在图2的示例中，已知像素x1、射线l1和像素x1对应屏幕点P1，在射线l1上搜索不同高度ZA，ZB，ZC……，根据相机2的内参标定结果，获得不同高度ZA，ZB，ZC下相机2对应的不同像素x2A，x2B，x2C，像素x2A对应屏幕点P2A，像素x2B对应屏幕点P2B，像素x2C对应屏幕点P2C……。可以看到，高度ZA和高度ZC处实线箭头表示的曲面法矢1与虚线箭头表示的曲面法矢2不一致，故这两点不是像素x1对应的透镜5高度，在高度ZB处曲面法矢1和曲面法矢2一致，即该点即为像素x1对应的透镜5高度。
按照上述过程找到相机1中所有像素对应的透镜高度，最终获取透镜5上表面面形S1(x)，其结果如图7所示。
(7)利用相机1采集经透镜5上下表面折射调制后的可见光液晶显示器4显示的条纹信息：
同样按照步骤(5)中的方法，可见光液晶显示器4上投影1至10共10组单频率的可见光条纹，可见光液晶显示器4像元X的位置与其对应的相机1、2每个像素x的关系可由公式(4)中的时间相位解包裹算法获得。
(8)求解透镜5下表面三维形貌信息：
以获取图3中相机1中像素x1对应的透镜5高度z为例。
通过相机1内参标定、透镜上表面面形S1(x)的获取以及聚碳酸酯经测定得到的折射率为1.632，根据折射定律可获得像素x1对应的射线l，通过绝对相位获得相机1像素x1对应可见光液晶显示器4的屏幕点p1。在射线l某一高度z上，根据折射定律，由相机1像素x1、高度z、对应屏幕点p1可以计算出曲面法矢1。此外，在该高度下，根据相机2的内参标定结果、透镜上表面面形S1(x)的获取以及聚碳酸酯经测定得到的折射率，可以获得其对应的像素x2，通过绝对相位获得相机2像素x2对应屏幕点p2。进而根据折射定律，由相机2像素x2、高度z、对应屏幕点p2可以计算出曲面法矢2。判断曲面法矢1和曲面法矢2是否重合，若重合即该点即为像素x1对应的透镜5高度，属于透镜5下表面面形S2(x)；若不重合，继续在射线l其他高度上进行计算，直到找到两法矢的重合点。遍历所有相机1中的所有像素点，即可最终获取透镜5下表面面形S2(x)。
在图3的示例中，已知像素x1、射线l和像素x1对应屏幕点p1，在射线l上搜索不同高度zA，zB……，获得不同高度zA、zB下相机2对应的不同像素x2A，x2B，像素x2A对应屏幕点p2A，像素x2B对应屏幕点p2B……。可以看到，高度zA处实线箭头表示的曲面法矢1与虚线箭头表示的曲面法矢2不一致，故这两点不是像素x1对应的透镜5高度，在高度zB处曲面法矢1和曲面法矢2一致，即该点即为像素x1对应的透镜5高度。
按照上述过程找到相机1中所有像素对应的透镜高度，最终获取透镜5下表面面形S2(x)，其结果如图8所示。
(9)求解透镜5厚度；
透镜5厚度信息d(x)，可由透镜5上下表面三维形貌按照公式(6)作差获取，其结果如图9所示：
d(x)＝S1(x)-S2(x) (6)。
Claims (9)
1.一种透镜厚度测量装置，其特征在于，包括设置在待测透镜一侧的相机组、紫外光液晶显示器以及设置在待测透镜另一侧的可见光液晶显示器；所述紫外光液晶显示器上显示的紫外光条纹信息经过待测透镜一侧表面反射后进入相机组，所述可见光液晶显示器上显示的可见光条纹信息经过待测透镜两个表面折射后同时进入相机组。
2.根据权利要求1所述的透镜厚度测量装置，其特征在于，所述紫外光液晶显示器上显示的紫外光波长范围为10～400nm。
3.根据权利要求1所述的透镜厚度测量装置，其特征在于，所述紫外光液晶显示器包括采用紫外灯管作为背光的液晶显示器、采用紫外发光二极管作为背光的液晶显示器、采用作为紫外发光灯珠作为背光的液晶显示器、采用紫外投影仪作为背光的液晶显示器或采用紫外有机发光二极管自发光的液晶显示器。
4.根据权利要求1所述的透镜厚度测量装置，其特征在于，所述紫外光液晶显示器及可见光液晶显示器上设置匀光膜、匀光透镜或导光板。
5.根据权利要求1所述的透镜厚度测量装置，其特征在于，所述紫外光液晶显示器及可见光液晶显示器均至少设置一台。
6.一种透镜厚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)搭建测量装置，对测量装置进行标定和位置调试；
(2)在紫外光液晶显示器上显示紫外光条纹信息，对相机组采集的经透镜一侧表面反射调制后的紫外光条纹信息进行绝对相位展开，求解相机组每个像素接收到的紫外光线是由紫外光液晶显示器的某个位置显示发射出的；
(3)利用相机成像模型、系统几何关系与反射定律，求解透镜一侧表面面形；
(4)通过相机采集到的经透镜折射的可见光液晶显示器显示的条纹信息，根据被测透镜折射率与折射定律求解透镜另一侧表面面形；
(5)由于透镜上下表面测量结果位于同一坐标系，二者作差获得透镜厚度。
7.根据权利要求6所述的透镜厚度测量方法，其特征在于，步骤(2)采用时间相位解包裹算法获得相机每个像素对应拍摄到的显示器像元的位置。
8.根据权利要求6所述的透镜厚度测量方法，其特征在于，步骤(3)通过相机内参标定，可获得参照相机某一像素对应的射线，在射线上搜索高度，使此高度下其他相机对应接收到的入射光线与出射光线满足反射定律，并满足相机组内所有相机在该点的法矢一致，获得该像素对应的透镜高度，找到参照相机所有像素对应的透镜高度，最终得到透镜对应侧表面面形。
9.根据权利要求6所述的透镜厚度测量方法，其特征在于，步骤(4)通过相机内参标定、已得到的透镜一侧表面面形以及折射率，可获得参照相机某一像素对应的射线，在射线上搜索高度，使此高度下其他相机对应接收到的入射光线与出射光线满足折射定律，并满足所有相机在该点的法矢一致，获得该像素对应的透镜高度，找到参照相机所有像素对应的透镜高度，最终得到透镜另一侧表面面形。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986001591A1 (en) * | 1984-08-21 | 1986-03-13 | American Telephone & Telegraph Company | Interferometric methods for device fabrication |
| KR101254297B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-04-12 | 주식회사 나노시스템 | 형상 및 두께 측정시스템과 형상 및 두께 측정방법 |
| CN110567685A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-13 | 宁波法里奥光学科技发展有限公司 | 一种镜片折射率检测装置及方法 |
| EP3771885A1 (en) * | 2019-07-30 | 2021-02-03 | Universite Libre De Bruxelles | Refractive profilometry |
| CN112638233A (zh) * | 2018-06-20 | 2021-04-09 | 奥克塞拉有限公司 | 基于家庭的眼科应用的微型移动低成本光学相干断层扫描系统 |
| CN113679337A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-23 | 天津大学 | 一种基于红外显示设备的角膜面形测量装置及方法 |
-
2021
- 2021-12-10 CN CN202111507033.1A patent/CN114061467A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1986001591A1 (en) * | 1984-08-21 | 1986-03-13 | American Telephone & Telegraph Company | Interferometric methods for device fabrication |
| KR101254297B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-04-12 | 주식회사 나노시스템 | 형상 및 두께 측정시스템과 형상 및 두께 측정방법 |
| CN112638233A (zh) * | 2018-06-20 | 2021-04-09 | 奥克塞拉有限公司 | 基于家庭的眼科应用的微型移动低成本光学相干断层扫描系统 |
| EP3771885A1 (en) * | 2019-07-30 | 2021-02-03 | Universite Libre De Bruxelles | Refractive profilometry |
| CN110567685A (zh) * | 2019-09-10 | 2019-12-13 | 宁波法里奥光学科技发展有限公司 | 一种镜片折射率检测装置及方法 |
| CN113679337A (zh) * | 2021-07-29 | 2021-11-23 | 天津大学 | 一种基于红外显示设备的角膜面形测量装置及方法 |
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