CN114033943B - 一种单晶炉ccd相机支架机构 - Google Patents

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Abstract

本发明属于一种安装支架领域，具体的说是一种单晶炉CCD相机支架机构，包括底板、径向滑轨、横向滑轨和相机；所述底板的顶面固连有纵支柱；所述纵支柱的表面设有抱箍；所述抱箍的表面固连有径向滑轨；所述径向滑轨的表面滑动连接有径向滑块；所述径向滑块的表面设有横向滑轨；所述横向滑轨的表面滑动连接有横向滑块；所述横向滑块的表面设有相机；通过该单晶炉CCD相机支架机构的设计，当需要调节镜头时要先行区分所需要的调节方向，之后进行微调即可，在该方案中增加了调节范围，弥补各处加工及安装误差，同时该设计中避免了锁紧导致零件变形，进而导致相机偏移的问题，定位精度高，可以根据相机的视野范围迅速确定所需的调节方向。

Description

一种单晶炉CCD相机支架机构
技术领域
本发明属于一种安装支架领域，具体的说是一种单晶炉CCD相机支架机构。
背景技术
CCD相机通过支架机构简单的安装于单晶炉炉盖处，通过调节支架机构，可以对CCD相机方位进行调节，便于观测并实时反馈晶棒直径及液口距，为生产硅棒提供自动化及安全性保证，因此在目前的硅棒生产中显得尤为重要。
公开号为CN214458439U一种单晶炉CCD相机的校准安装支架及单晶炉，安装支架可以通过Y轴标尺、X轴标尺、环向标尺实现各调节方向上CCD相机位置的定量标定，提高CCD相机校准的统一性及一致性，从而可以确保CCD相机液面测温、液面到导流筒距离测量、单晶硅棒直径测量保持长期相对一致性和准确性，以提高单晶生长的稳定性、提升单晶品质。
现有技术中，采用单杆式固定，高度调节不便，且调节完毕进行固定位置时会发生回弹形变，造成位置偏移，不准确，因此定位精度低，无法根据相机的视野范围迅速确定所需的调节方向。
为此，本发明提供一种单晶炉CCD相机支架机构。
发明内容
为了弥补现有技术的不足，解决背景技术中所提出的至少一个技术问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：本发明所述的一种单晶炉CCD相机支架机构，包括底板、径向滑轨、横向滑轨和相机；所述底板固定于单晶炉炉盖的顶部，且靠近单晶炉炉盖的观察窗位置；所述底板的顶面固连有纵支柱；所述纵支柱的表面设有抱箍；所述抱箍的表面固连有径向滑轨；所述径向滑轨的表面滑动连接有径向滑块；所述径向滑块的表面固连有横向安装板；所述横向安装板的表面固连有横向滑轨；所述横向滑轨的表面滑动连接有横向滑块；所述横向滑块的表面设有相机；工作时，通过在单晶炉炉盖顶部设计相机支架对相机进行调节，采用纵支柱作为支撑，作为Z方向调节，纵支柱上侧采用抱箍锁紧，同时采用径向滑轨作为Y方向的调节，同时Y方向的径向滑轨上连接横向滑轨作为X方向的调节，通过对抱箍进行位置调节、控制径向滑块在进行径向滑轨的表面滑动，以及控制横向滑块在横向滑轨的表面滑动，实现对相机的位置进行快速调节，通过该单晶炉CCD相机支架机构的设计，当需要调节镜头时要先行区分所需要的调节方向，之后进行微调即可，在该方案中增加了调节范围，弥补各处加工及安装误差，同时该设计中避免了锁紧导致零件变形，进而导致相机偏移的问题，定位精度高，可以根据相机的视野范围迅速确定所需的调节方向。
优选的，所述纵支柱的数量为二；所述纵支柱的表面均设置抱箍；两个所述抱箍的表面均固连径向滑轨；两个所述径向滑轨的表面均滑动连接径向滑块；两个所述径向滑块之间共同固连同一个横向安装板；工作时，通过采用两根纵支柱作为支撑，作为Z方向调节，两根纵支柱上侧采用抱箍锁紧，同时采用两根径向滑轨作为Y方向的调节，同时两根Y方向的径向滑轨上固定横向滑轨作为X方向的调节，稳定性高，调节方便，可实现多轴调节，准确度高，且不会发生回弹形变。
优选的，所述横向滑块的表面固连有转轴安装座；所述转轴安装座的表面转动连接有相机转轴；所述相机转轴连有角度固定板；所述角度固定板的表面固连有相机固定板；所述相机固定板的侧面固连相机；工作时，在X方向的横向滑轨上设计相机转轴用于旋转方向的调节，相机通过相机固定板和角度固定板固定于该相机转轴上，生产过程中，进一步扩大相机的视野范围。
优选的，所述横向滑块的顶面固连有顶部固定块；所述顶部固定块的表面螺纹连有横向锁紧螺钉；所述横向安装板的表面螺纹连有径向锁紧螺钉；所述角度固定板的表面螺纹连有角度锁紧螺钉；工作时，通过设置横向锁紧螺钉、径向锁紧螺钉和角度锁紧螺钉，分别对横向滑块、径向滑块和相机转轴进行限位锁紧，保证相机在自动位置方向稳定拍摄，不会出现移位和角度变化问题。
优选的，所述单晶炉炉盖的表面于观察窗位置固连有固定座；所述固定座的表面开设有通孔；所述通孔的内部滑动连接有第一调节块；所述第一调节块的表面开设有第一导孔；所述第一导孔的侧面开设有环形槽；所述环形槽的内部设有第二调节块；所述第二调节块与环形槽的槽底之间固连有弹性片；所述第二调节块的表面开设有第二导孔；所述第二导孔的内部固连有连接环；所述连接环的表面固连有透镜，且相机的底面位于靠近透镜位置；所述转轴安装座与第二调节块之间连有连杆；工作时，通过连杆将转轴安装座与第二调节块连接，当通过径向滑块和横向滑块调节转轴安装座位置时，转轴安装座一方面会带动相机运动，另一方面会带动连杆运动，连杆会带动第二调节块在环形槽的内壁运动，同时第二调节块会带动第一调节块在通孔的内部运动，使得第二调节块始终与相机同步进行位置调节，然后调节相机转轴，相机转轴会使得相机在第二导孔的内部运动，由于第二导孔内部的透镜为球面设计，保证了相机始终与透镜的表面处于垂直状态，保证成像效果，同时通过透镜和单晶炉炉盖表面的透明玻璃的双重保护，减少了炉内高温对相机的影响。
优选的，所述第一调节块的一侧侧面于第二调节块的底部位置固连有进气管，且进气管外接冷气源；所述第一调节块的另一侧侧面于第二调节块的底部位置固连有出气管；工作时，通过进气管和出气管，通过控制冷气源向着进气管的内部导入冷气体，通过冷气管将冷气体导入第一调节块的第一导孔内部，然后冷气体在通过出气管导出，实现了将透镜与透明玻璃之间的热量快速导出，减少了炉内高温进一步向上传导至相机位置。
优选的，所述相机的表面固连有套管；所述套管与连接环之间固连有弹性膜；工作时，通过设置套管，通过弹性膜将套管与连接环之间相互密封连接，使得相机的摄像头完全位于密闭的环境中，避免了外部环境灰尘、水等落入到透镜或相机的摄像头表面，进而影响到相机的拍摄成像质量问题。
优选的，所述进气管的表面连有进气支管，且进气支管穿过连接环并与套管的内部之间相互连通；所述弹性膜的表面固连有排气管；所述第二调节块的内表面固连有第一温度感应器；工作时，通过设置进气支管，当冷气体不断导入第一导孔的内部时，冷气体不足以有效的降低第一导孔内部的温度时，第一温度感应器会感应到温度过高的信号，进而传递给控制系统，使得进气支管打开，通过进气支管使得部分冷气体直接导入套管的内部靠近相机的摄像头位置，快速降低相机和第二导孔内部的温度，实现对相机的保护。
优选的，所述连接环的顶面固连有第二温度感应器；所述套管的表面固连有控制阀；所述控制阀的进气口与进气支管之间相互连通；所述控制阀的一个出气口与套管的内部相互连通；所述控制阀的另一个出气口连有气囊；工作时，通过设置第二温度感应器，当位于连接环顶面位置的第二温度感应器感应到第二导孔内部的温度过高时，此时相机会直接面对较热的工作环境，此时控制阀会控制两个出气口全部打开， 部分冷气体会直接导入气囊，使得位于套管底部开口位置的气囊膨胀，实现对套管底部开口的自动封闭，实现将相机与第二导孔内部的热气体之间直接隔离，虽然此时相机无法继续进行拍摄工作，但是保证了相机的使用安全，提高相机的使用寿命。
优选的，所述出气管的侧面固连有出气支管，且出气支管与套管的内部之间相互连通；工作时，通过设置出气支管，当套管的底部开口被气囊封堵后，冷气体无法直接加速套管内部空气的流通，虽然气囊避免了热气体直接接触相机，但是长时间的热传导同样会使得相机温度升高，因此通过出气支管直接将套管的内部与外部连通，冷却体会直接通过进气支管导入套管，并通过出气支管直接导出，减少冷气体的降温环境容积，提高了对相机使用环境温度的有效降温。
本发明的有益效果如下：
1.本发明所述的一种单晶炉CCD相机支架机构，通过设置底板、径向滑轨、横向滑轨和相机；通过该单晶炉CCD相机支架机构的设计，当需要调节镜头时要先行区分所需要的调节方向，之后进行微调即可，在该方案中增加了调节范围，弥补各处加工及安装误差，同时该设计中避免了锁紧导致零件变形，进而导致相机偏移的问题，定位精度高，可以根据相机的视野范围迅速确定所需的调节方向。
2.本发明所述的一种单晶炉CCD相机支架机构，通过设置进气管和出气管，，通过控制冷气源向着进气管的内部导入冷气体，通过冷气管将冷气体导入第一调节块的第一导孔内部，然后冷气体在通过出气管导出，实现了将透镜与透明玻璃之间的热量快速导出，减少了炉内高温进一步向上传导至相机位置。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的立体图；
图2是本发明的主视图；
图3是本发明的左视图；
图4是本发明的俯视图；
图5是本发明的第一调节块和第二调节块的第一结构示意图；
图6是本发明的第一调节块和第二调节块的第二结构示意图；
图7是图6中A处局部放大图；
图中：底板1、径向滑轨2、横向滑轨3、相机4、单晶炉炉盖5、观察窗6、纵支柱7、抱箍8、径向滑块9、横向安装板10、横向滑块11、通孔12、转轴安装座13、相机转轴14、角度固定板15、相机固定板16、顶部固定块17、横向锁紧螺钉18、径向锁紧螺钉19、角度锁紧螺钉20、固定座21、第一调节块22、第二调节块23、弹性片24、连接环25、透镜26、连杆27、进气管28、出气管29、套管30、弹性膜31、进气支管32、排气管33、第一温度感应器34、第二温度感应器35、控制阀36、气囊37、出气支管38。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本发明。
实施例一
如图1-图4所示，本发明实施例所述的一种单晶炉CCD相机支架机构，包括底板1、径向滑轨2、横向滑轨3和相机4；所述底板1固定于单晶炉炉盖5的顶部，且靠近单晶炉炉盖5的观察窗6位置；所述底板1的顶面固连有纵支柱7；所述纵支柱7的表面设有抱箍8；所述抱箍8的表面固连有径向滑轨2；所述径向滑轨2的表面滑动连接有径向滑块9；所述径向滑块9的表面固连有横向安装板10；所述横向安装板10的表面固连有横向滑轨3；所述横向滑轨3的表面滑动连接有横向滑块11；所述横向滑块11的表面设有相机4；工作时，通过在单晶炉炉盖5顶部设计相机支架对相机4进行调节，采用纵支柱7作为支撑，作为Z方向调节，纵支柱7上侧采用抱箍8锁紧，同时采用径向滑轨2作为Y方向的调节，同时Y方向的径向滑轨2上连接横向滑轨3作为X方向的调节，通过对抱箍8进行位置调节、控制径向滑块9在进行径向滑轨2的表面滑动，以及控制横向滑块11在横向滑轨3的表面滑动，实现对相机4的位置进行快速调节，通过该单晶炉CCD相机支架机构的设计，当需要调节镜头时要先行区分所需要的调节方向，之后进行微调即可，在该方案中增加了调节范围，弥补各处加工及安装误差，同时该设计中避免了锁紧导致零件变形，进而导致相机4偏移的问题，定位精度高，可以根据相机4的视野范围迅速确定所需的调节方向。
所述纵支柱7的数量为二；所述纵支柱7的表面均设置抱箍8；两个所述抱箍8的表面均固连径向滑轨2；两个所述径向滑轨2的表面均滑动连接径向滑块9；两个所述径向滑块9之间共同固连同一个横向安装板10；工作时，通过采用两根纵支柱7作为支撑，作为Z方向调节，两根纵支柱7上侧采用抱箍8锁紧，同时采用两根径向滑轨2作为Y方向的调节，同时两根Y方向的径向滑轨2上固定横向滑轨3作为X方向的调节，稳定性高，调节方便，可实现多轴调节，准确度高，且不会发生回弹形变。
所述横向滑块11的表面固连有转轴安装座13；所述转轴安装座13的表面转动连接有相机转轴14；所述相机转轴14连有角度固定板15；所述角度固定板15的表面固连有相机固定板16；所述相机固定板16的侧面固连相机4；工作时，在X方向的横向滑轨3上设计相机转轴14用于旋转方向的调节，相机4通过相机固定板16和角度固定板15固定于该相机转轴14上，生产过程中，进一步扩大相机4的视野范围。
所述横向滑块11的顶面固连有顶部固定块17；所述顶部固定块17的表面螺纹连有横向锁紧螺钉18；所述横向安装板10的表面螺纹连有径向锁紧螺钉19；所述角度固定板15的表面螺纹连有角度锁紧螺钉20；工作时，通过设置横向锁紧螺钉18、径向锁紧螺钉19和角度锁紧螺钉20，分别对横向滑块11、径向滑块9和相机转轴14进行限位锁紧，保证相机4在自动位置方向稳定拍摄，不会出现移位和角度变化问题。
实施例二
如图5-图7所示，对比实施例一，其中本发明的另一种实施方式为：所述单晶炉炉盖5的表面于观察窗6位置固连有固定座21；所述固定座21的表面开设有通孔12；所述通孔12的内部滑动连接有第一调节块22；所述第一调节块22的表面开设有第一导孔；所述第一导孔的侧面开设有环形槽；所述环形槽的内部设有第二调节块23；所述第二调节块23与环形槽的槽底之间固连有弹性片24；所述第二调节块23的表面开设有第二导孔；所述第二导孔的内部固连有连接环25；所述连接环25的表面固连有透镜26，且相机4的底面位于靠近透镜26位置；所述转轴安装座13与第二调节块23之间连有连杆27；工作时，通过连杆27将转轴安装座13与第二调节块23连接，当通过径向滑块9和横向滑块11调节转轴安装座13位置时，转轴安装座13一方面会带动相机4运动，另一方面会带动连杆27运动，连杆27会带动第二调节块23在环形槽的内壁运动，同时第二调节块23会带动第一调节块22在通孔12的内部运动，使得第二调节块23始终与相机4同步进行位置调节，然后调节相机转轴14，相机转轴14会使得相机4在第二导孔的内部运动，由于第二导孔内部的透镜26为球面设计，保证了相机4始终与透镜26的表面处于垂直状态，保证成像效果，同时通过透镜26和单晶炉炉盖5表面的透明玻璃的双重保护，减少了炉内高温对相机4的影响。
所述第一调节块22的一侧侧面于第二调节块23的底部位置固连有进气管28，且进气管28外接冷气源；所述第一调节块22的另一侧侧面于第二调节块23的底部位置固连有出气管29；工作时，通过进气管28和出气管29，通过控制冷气源向着进气管28的内部导入冷气体，通过冷气管将冷气体导入第一调节块22的第一导孔内部，然后冷气体在通过出气管29导出，实现了将透镜26与透明玻璃之间的热量快速导出，减少了炉内高温进一步向上传导至相机4位置。
所述相机4的表面固连有套管30；所述套管30与连接环25之间固连有弹性膜31；工作时，通过设置套管30，通过弹性膜31将套管30与连接环25之间相互密封连接，使得相机4的摄像头完全位于密闭的环境中，避免了外部环境灰尘、水等落入到透镜26或相机4的摄像头表面，进而影响到相机4的拍摄成像质量问题。
所述进气管28的表面连有进气支管32，且进气支管32穿过连接环25并与套管30的内部之间相互连通；所述弹性膜31的表面固连有排气管33；所述第二调节块23的内表面固连有第一温度感应器34；工作时，通过设置进气支管32，当冷气体不断导入第一导孔的内部时，冷气体不足以有效的降低第一导孔内部的温度时，第一温度感应器34会感应到温度过高的信号，进而传递给控制系统，使得进气支管32打开，通过进气支管32使得部分冷气体直接导入套管30的内部靠近相机4的摄像头位置，快速降低相机4和第二导孔内部的温度，实现对相机4的保护。
所述连接环25的顶面固连有第二温度感应器35；所述套管30的表面固连有控制阀36；所述控制阀36的进气口与进气支管32之间相互连通；所述控制阀36的一个出气口与套管30的内部相互连通；所述控制阀36的另一个出气口与气囊37之间相互连通；工作时，通过设置第二温度感应器35，当位于连接环25顶面位置的第二温度感应器35感应到第二导孔内部的温度过高时，此时相机4会直接面对较热的工作环境，此时控制阀36会控制两个出气口全部打开， 部分冷气体会直接导入气囊37，使得位于套管30底部开口位置的气囊37膨胀，实现对套管30底部开口的自动封闭，实现将相机4与第二导孔内部的热气体之间直接隔离，虽然此时相机4无法继续进行拍摄工作，但是保证了相机4的使用安全，提高相机4的使用寿命。
所述出气管29的侧面固连有出气支管38，且出气支管38与套管30的内部之间相互连通；工作时，通过设置出气支管38，当套管30的底部开口被气囊37封堵后，冷气体无法直接加速套管30内部空气的流通，虽然气囊37避免了热气体直接接触相机4，但是长时间的热传导同样会使得相机4温度升高，因此通过出气支管38直接将套管30的内部与外部连通，冷却体会直接通过进气支管32导入套管30，并通过出气支管38直接导出，减少冷气体的降温环境容积，提高了对相机4使用环境温度的有效降温。
工作时，通过在单晶炉炉盖5顶部设计相机支架对相机4进行调节，采用纵支柱7作为支撑，作为Z方向调节，纵支柱7上侧采用抱箍8锁紧，同时采用径向滑轨2作为Y方向的调节，同时Y方向的径向滑轨2上连接横向滑轨3作为X方向的调节，通过对抱箍8进行位置调节、控制径向滑块9在进行径向滑轨2的表面滑动，以及控制横向滑块11在横向滑轨3的表面滑动，实现对相机4的位置进行快速调节；通过采用两根纵支柱7作为支撑，作为Z方向调节，两根纵支柱7上侧采用抱箍8锁紧，同时采用两根径向滑轨2作为Y方向的调节，同时两根Y方向的径向滑轨2上固定横向滑轨3作为X方向的调节，稳定性高，调节方便，可实现多轴调节，准确度高，且不会发生回弹形变；在X方向的横向滑轨3上设计相机转轴14用于旋转方向的调节，相机4通过相机固定板16和角度固定板15固定于该相机转轴14上，生产过程中，进一步扩大相机4的视野范围；通过设置横向锁紧螺钉18、径向锁紧螺钉19和角度锁紧螺钉20，分别对横向滑块11、径向滑块9和相机转轴14进行限位锁紧，保证相机4在自动位置方向稳定拍摄，不会出现移位和角度变化问题；通过连杆27将转轴安装座13与第二调节块23连接，当通过径向滑块9和横向滑块11调节转轴安装座13位置时，转轴安装座13一方面会带动相机4运动，另一方面会带动连杆27运动，连杆27会带动第二调节块23在环形槽的内壁运动，同时第二调节块23会带动第一调节块22在通孔12的内部运动，使得第二调节块23始终与相机4同步进行位置调节，然后调节相机转轴14，相机转轴14会使得相机4在第二导孔的内部运动，由于第二导孔内部的透镜26为球面设计，保证了相机4始终与透镜26的表面处于垂直状态，保证成像效果，同时通过透镜26和单晶炉炉盖5表面的透明玻璃的双重保护，减少了炉内高温对相机4的影响；通过进气管28和出气管29，通过控制冷气源向着进气管28的内部导入冷气体，通过冷气管将冷气体导入第一调节块22的第一导孔内部，然后冷气体在通过出气管29导出，实现了将透镜26与透明玻璃之间的热量快速导出，减少了炉内高温进一步向上传导至相机4位置；通过设置套管30，通过弹性膜31将套管30与连接环25之间相互密封连接，使得相机4的摄像头完全位于密闭的环境中，避免了外部环境灰尘、水等落入到透镜26或相机4的摄像头表面，进而影响到相机4的拍摄成像质量问题；通过设置进气支管32，当冷气体不断导入第一导孔的内部时，冷气体不足以有效的降低第一导孔内部的温度时，第一温度感应器34会感应到温度过高的信号，进而传递给控制系统，使得进气支管32打开，通过进气支管32使得部分冷气体直接导入套管30的内部靠近相机4的摄像头位置，快速降低相机4和第二导孔内部的温度，实现对相机4的保护；通过设置第二温度感应器35，当位于连接环25顶面位置的第二温度感应器35感应到第二导孔内部的温度过高时，此时相机4会直接面对较热的工作环境，此时控制阀36会控制两个出气口全部打开， 部分冷气体会直接导入气囊37，使得位于套管30底部开口位置的气囊37膨胀，实现对套管30底部开口的自动封闭，实现将相机4与第二导孔内部的热气体之间直接隔离，虽然此时相机4无法继续进行拍摄工作，但是保证了相机4的使用安全，提高相机4的使用寿命；通过设置出气支管38，当套管30的底部开口被气囊37封堵后，冷气体无法直接加速套管30内部空气的流通，虽然气囊37避免了热气体直接接触相机4，但是长时间的热传导同样会使得相机4温度升高，因此通过出气支管38直接将套管30的内部与外部连通，冷却体会直接通过进气支管32导入套管30，并通过出气支管38直接导出，减少冷气体的降温环境容积，提高了对相机4使用环境温度的有效降温。
上述前、后、左、右、上、下均以说明书附图中的图1为基准，按照人物观察视角为标准，装置面对观察者的一面定义为前，观察者左侧定义为左，依次类推。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明保护范围的限制。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (6)

1.一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：包括底板(1)、径向滑轨(2)、横向滑轨(3)和相机(4)；所述底板(1)固定于单晶炉炉盖(5)的顶部，且靠近单晶炉炉盖(5)的观察窗(6)位置；所述底板(1)的顶面固连有纵支柱(7)；所述纵支柱(7)的表面设有抱箍(8)；所述抱箍(8)的表面固连有径向滑轨(2)；所述径向滑轨(2)的表面滑动连接有径向滑块(9)；所述径向滑块(9)的表面固连有横向安装板(10)；所述横向安装板(10)的表面固连有横向滑轨(3)；所述横向滑轨(3)的表面滑动连接有横向滑块(11)；所述横向滑块(11)的表面设有相机(4)；
所述纵支柱(7)的数量为二；所述纵支柱(7)的表面均设置抱箍(8)；两个所述抱箍(8)的表面均固连径向滑轨(2)；两个所述径向滑轨(2)的表面均滑动连接径向滑块(9)；两个所述径向滑块(9)之间共同固连同一个横向安装板(10)；
所述横向滑块(11)的表面固连有转轴安装座(13)；所述转轴安装座(13)的表面转动连接有相机转轴(14)；所述相机转轴(14)连有角度固定板(15)；所述角度固定板(15)的表面固连有相机固定板(16)；所述相机固定板(16)的侧面固连相机(4)；
所述横向滑块(11)的顶面固连有顶部固定块(17)；所述顶部固定块(17)的表面螺纹连有横向锁紧螺钉(18)；所述横向安装板(10)的表面螺纹连有径向锁紧螺钉(19)；所述角度固定板(15)的表面螺纹连有角度锁紧螺钉(20)；
所述单晶炉炉盖(5)的表面于观察窗(6)位置固连有固定座(21)；所述固定座(21)的表面开设有通孔(12)；所述通孔(12)的内部滑动连接有第一调节块(22)；所述第一调节块(22)的表面开设有第一导孔；所述第一导孔的侧面开设有环形槽；所述环形槽的内部设有第二调节块(23)；所述第二调节块(23)与环形槽的槽底之间固连有弹性片(24)；所述第二调节块(23)的表面开设有第二导孔；所述第二导孔的内部固连有连接环(25)；所述连接环(25)的表面固连有透镜(26)，且相机(4)的底面位于靠近透镜(26)位置；所述转轴安装座(13)与第二调节块(23)之间连有连杆(27)。
2.根据权利要求1所述一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：所述第一调节块(22)的一侧侧面于第二调节块(23)的底部位置固连有进气管(28)，且进气管(28)外接冷气源；所述第一调节块(22)的另一侧侧面于第二调节块(23)的底部位置固连有出气管(29)。
3.根据权利要求2所述一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：所述相机(4)的表面固连有套管(30)；所述套管(30)与连接环(25)之间固连有弹性膜(31)。
4.根据权利要求3所述一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：所述进气管(28)的表面连有进气支管(32)，且进气支管(32)穿过连接环(25)并与套管(30)的内部之间相互连通；所述弹性膜(31)的表面固连有排气管(33)；所述第二调节块(23)的内表面固连有第一温度感应器(34)。
5.根据权利要求4所述一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：所述连接环(25)的顶面固连有第二温度感应器(35)；所述套管(30)的表面固连有控制阀(36)；所述控制阀(36)的进气口与进气支管(32)之间相互连通；所述控制阀(36)的一个出气口与套管(30)的内部相互连通；所述控制阀(36)的另一个出气口连有气囊(37)。
6.根据权利要求5所述一种单晶炉CCD相机支架机构，其特征在于：所述出气管(29)的侧面固连有出气支管(38)，且出气支管(38)与套管(30)的内部之间相互连通。
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CN115077403B (zh) * 2022-06-06 2023-08-08 连城凯克斯科技有限公司 一种基于图像处理的液口距测量装置

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5933191A (en) * 1995-06-14 1999-08-03 Canon Kabushiki Kaisha Image input apparatus having an adjustable support mechanism
CN206898678U (zh) * 2017-06-27 2018-01-19 昆山盟特展精密机电有限公司 一种三轴定位装置
CN209401049U (zh) * 2019-03-04 2019-09-17 苏州远景达自动识别技术有限公司 一种板材生产用多功能扫码机
CN212745588U (zh) * 2020-04-30 2021-03-19 苏州纳思奇自动化科技有限公司 一种相机微调平台机构
CN212378694U (zh) * 2020-06-01 2021-01-19 苏州富视智能工业设备有限公司 一种3d光学量测仪支架
CN212527746U (zh) * 2020-08-19 2021-02-12 连城凯克斯科技有限公司 双z轴机构及具有该结构的工艺炉桁架机械手
CN213023834U (zh) * 2020-11-02 2021-04-20 深圳市森榄技术有限公司 一种贴合设备的视觉对位机构
CN113531349A (zh) * 2021-07-16 2021-10-22 赖灵灵 一种便于调节的视觉检测机构

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