CN113970249A - 一种加热炉及其工作方法 - Google Patents

一种加热炉及其工作方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113970249A
CN113970249A CN202111441623.9A CN202111441623A CN113970249A CN 113970249 A CN113970249 A CN 113970249A CN 202111441623 A CN202111441623 A CN 202111441623A CN 113970249 A CN113970249 A CN 113970249A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gap
interface
furnace
port
jacket
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202111441623.9A
Other languages
English (en)
Inventor
黄占超
郑清忠
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anbo Zhihui Semiconductor Equipment Shanghai Co ltd
Original Assignee
National Center for Advanced Packaging Co Ltd
Shanghai Xianfang Semiconductor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by National Center for Advanced Packaging Co Ltd, Shanghai Xianfang Semiconductor Co Ltd filed Critical National Center for Advanced Packaging Co Ltd
Priority to CN202111441623.9A priority Critical patent/CN113970249A/zh
Publication of CN113970249A publication Critical patent/CN113970249A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27BFURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS IN GENERAL; OPEN SINTERING OR LIKE APPARATUS
    • F27B17/00Furnaces of a kind not covered by any preceding group
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D17/00Arrangements for using waste heat; Arrangements for using, or disposing of, waste gases
    • F27D17/004Systems for reclaiming waste heat
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D19/00Arrangements of controlling devices
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D7/00Forming, maintaining, or circulating atmospheres in heating chambers
    • F27D7/06Forming or maintaining special atmospheres or vacuum within heating chambers
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D9/00Cooling of furnaces or of charges therein
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F27FURNACES; KILNS; OVENS; RETORTS
    • F27DDETAILS OR ACCESSORIES OF FURNACES, KILNS, OVENS, OR RETORTS, IN SO FAR AS THEY ARE OF KINDS OCCURRING IN MORE THAN ONE KIND OF FURNACE
    • F27D9/00Cooling of furnaces or of charges therein
    • F27D2009/0002Cooling of furnaces
    • F27D2009/001Cooling of furnaces the cooling medium being a fluid other than a gas
    • F27D2009/0013Cooling of furnaces the cooling medium being a fluid other than a gas the fluid being water

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Furnace Details (AREA)
  • Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)

Abstract

本发明提供一种加热炉及其工作方法,加热炉包括:炉腔;设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。炉套层和腔壁之间的间隙为介质提供了流通空间,通过设置与间隙连通的多通切换装置,使加热炉在升温过程、保温过程和降温过程中,可以通过多通切换装置向间隙通入一种介质或者多种介质,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。

Description

一种加热炉及其工作方法
技术领域
本发明涉及炉体领域,具体涉及一种加热炉及其工作方法。
背景技术
加热炉被广泛应用在有机液体溶剂、薄膜等脱泡或者固化的邻域中。加热炉在使用过程中需要进行升温和降温步骤。
现有技术提供的加热炉通过在炉壁的外侧通冷却气体以此来提高加热炉在降温时的降温效率,或者,在炉壁的外侧设置管道,通过往管道通冷却液体以此来提高加热炉在降温时的降温效率,然而,此类降温方式存在降温方式单一、降温效率不高的缺点,同时加热炉在升温和保温时也存在热量散失的问题,加热炉的升降温效率较低,降低了加热炉的产能。
发明内容
因此,本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中加热炉升降温的效率有待提高的问题,从而提供一种加热炉及其工作方法。
本发明提供一种加热炉,包括:炉腔;设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。
可选的,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路。
可选的,所述多通切换装置还包括:设置在所述第一接口上的第一阀门;设置在所述第二接口上的第二阀门;设置在所述第三接口上的第三阀门。
可选的,所述第一阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀。
可选的,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通。
可选的,所述间隙为一体式间隙。
可选的,所述腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。
可选的,所述炉套层与所述腔壁之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜。
可选的,所述炉腔还包括与所述腔壁连接的炉门;所述炉套层覆盖全部所述腔壁,或者,所述炉套层覆盖部分所述腔壁。
可选的,还包括:与所述间隙连通的套层出口管;设置在所述套层出口管上的出口阀门。
可选的,还包括:设置在所述炉套层外表面的保温层。
可选的,还包括:设置在所述炉腔内部的加热器。
本发明还提供一种加热炉的工作方法,采用本发明提供的加热炉,包括:在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。
可选的,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路;所述加热炉还包括:与所述间隙连通的套层出口管;当所述第一接口打开时,所述套层出口管关闭;当所述第二接口打开时,所述套层出口管打开;当所述第三接口打开时,所述套层出口管打开。
可选的,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第二接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管关闭,通过所述第一接口对所述间隙抽真空;或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述间隙通入热气体;或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口对所述间隙通入热液体。
可选的,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体;或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体;或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体之后,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体;或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体之后,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体。
可选的,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通;通过所述第二接口对所述第一间隙通入气体的同时通过所述第三接口对所述第二间隙通入液体。
可选的,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述第一间隙通入热气体,同时,通过所述第三接口对所述第二间隙通入热液体。
可选的,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述第一间隙通入冷却气体,同时,通过所述第三接口对所述第二间隙通入冷却液体。
可选的,所述第二接口中的热气体的温度为100℃~450℃;所述第三接口中的热液体的温度为100℃~450℃。
本发明的技术方案具有以下有益效果:
1.本发明技术方案提供的加热炉,包括:炉腔;设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。炉套层和腔壁之间的间隙为介质提供了流通空间,通过设置与间隙连通的多通切换装置,使加热炉在升温过程、保温过程和降温过程中,可以通过多通切换装置向间隙通入一种介质或者多种介质,例如:真空、气体和液体,炉套层设置在炉腔的外侧,使介质与腔壁有充分的接触面积,在介质的作用下,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。
2.进一步,第一接口连通真空管路,在加热炉升温过程或者保温过程中,通过第一接口向间隙抽真空,使间隙处于真空状态,减弱了炉腔和外界的热交换作用,从而减少了炉腔的热量损失,提高了加热炉的升温效率和保温效果;第二接口连通气体管路,在加热炉升温过程和保温过程中,通过第二接口向间隙通热气体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第二接口向间隙通冷却气体,提高了加热炉的降温效率;第三接口连通液体管路,在加热炉升温或者保温过程中,通过第三接口向间隙通热液体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第三接口向间隙通冷却液体,提高了加热炉的降温效率;多通切换装置的设置,可以根据实际工作条件,选择不同的介质,提高了加热炉的便捷性和工艺窗口。
3.进一步,间隙包括第一间隙和第二间隙,第一间隙和第二间隙之间隔开。在加热炉升温过程、保温过程和降温过程中,可以同时向间隙通入不同的介质,多种介质同时作用于腔壁,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率。
4.进一步,间隙为一体式间隙。当向间隙通液体时,液体与腔壁有充分的接触面积,提高了炉腔和液体的热交换作用,因此,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率。
5.进一步,腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。不锈钢或者碳钢具有良好的耐压能力,使间隙处于真空状态时具有良好的耐压能力。
6.进一步,加热炉还包括:与间隙连通的套层出口管。当介质为气体或者液体时,介质从套层进口进入间隙,流经间隙后,从套层出口管流出间隙,介质在间隙中处于流通状态,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率。
7.本发明技术方案提供的加热炉的工作方法,采用本发明提供的加热炉,包括:在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。例如:真空、气体和液体,炉套层设置在炉腔的外侧,使介质与腔壁有充分的接触面积,在介质的作用下,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。
8.进一步,第一接口连通真空管路,在加热炉升温过程或者保温过程中,通过第一接口向间隙抽真空,使间隙处于真空状态,减弱了炉腔和外界的热交换作用,从而减少了炉腔的热量损失,提高了加热炉的升温效率和保温效果;第二接口连通气体管路,在加热炉升温过程和保温过程中,通过第二接口向间隙通热气体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第二接口向间隙通冷却气体,提高了加热炉的降温效率;第三接口连通液体管路,在加热炉升温或者保温过程中,通过第三接口向间隙通热液体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第三接口向间隙通冷却液体,提高了加热炉的降温效率;多通切换装置的设置,可以根据实际工作条件,选择不同的介质,提高了加热炉的便捷性和工艺窗口。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一实施例提供的加热炉的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,还可以是两个元件内部的连通,可以是无线连接,也可以是有线连接。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
本发明一实施例提供一种加热炉,请参考图1,包括:炉腔1;设置在所述炉腔1外侧的炉套层2,所述炉套层2和所述炉腔1的腔壁101之间具有间隙8;与所述炉套层2的外壁固定连接且与所述间隙8连通的多通切换装置3,所述多通切换装置3适于给所述间隙8提供不同介质。
在本实施例中,加热炉适用于脱泡机或者高压釜装置,炉腔1内适于放置芯片封装结构、显示面板、激光器、绝缘栅双极型晶体管(IGBT)或者印制电路板(PCB),用于对其中的OCA光学胶、贴合胶或者环氧树脂胶进行脱泡和固化。在其他实施例中,加热炉还适用于除水、除雾或者烧结邻域,本实施例对此不作限定。
在本实施例中,炉腔1的工作条件为高温高压条件。工作温度为180℃~300℃,例如,180℃、200℃、230℃、250℃、280℃或者300℃;工作压力为0.4MPa~1.5MPa,例如,0.4MPa、0.8MPa、1.0MPa、1.3MPa或者1.5MPa。
在其他实施例中,炉腔1还可以在真空条件下工作。
炉套层2的边缘密封固定在炉腔1的外表面,在一个实施例中,炉套层2的边缘通过焊接的方式固定在炉腔1的外表面。
介质包括真空、气体或者液体。
在本实施例中,气体包括压缩空气(CDA)、氮气(N2)或者氦气(He);液体包括工艺冷却水(PCW)、纯水(DIW)或者超纯水(UPW)。
所述炉套层2的部分区域设置有套层进口4;优选地,套层进口4设置在炉套层2的顶部,当介质为液体时,液体可以从炉套层2的顶部进入间隙8中,并在间隙8中充分流动。
所述多通切换装置3包括第一接口301、第二接口302、第三接口303和第四接口304,所述第四接口304与所述套层进口4连通;所述第一接口301连通真空管路,所述第二接口302连通气体管路,所述第三接口303连通液体管路。
第一接口301连通真空管路,在加热炉升温过程或者保温过程中,通过第一接口301向间隙8抽真空,使间隙8处于真空状态,减弱了炉腔1和外界的热交换作用,从而减少了炉腔1的热量损失,提高了加热炉的升温效率和保温效果;第二接口302连通气体管路,在加热炉升温过程和保温过程中,通过第二接口302向间隙8通热气体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第二接口302向间隙8通冷却气体,提高了加热炉的降温效率;第三接口303连通液体管路,在加热炉升温或者保温过程中,通过第三接口303向间隙8通热液体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第三接口303向间隙8通冷却液体,提高了加热炉的降温效率;多通切换装置3的设置,可以根据实际工作条件,选择不同的介质,提高了加热炉的便捷性和工艺窗口。
所述多通切换装置3还包括:设置在第一接口301上的第一阀门301a;设置在第二接口302上的第二阀门302a;设置在第三接口303上的第三阀门303a。
所述第一阀门301a为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门302a为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门303a为手动阀、电磁阀或者气动阀。
在本实施例中,所述间隙8为一体式间隙。当向间隙8通液体时,液体与腔壁101有充分的接触面积,提高了炉腔1和液体的热交换作用,因此,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
在其他实施例中,所述间隙8包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口301和所述第二接口302连通,所述第二间隙与所述第三接口303连通。具体地,第二间隙为设置在第一间隙中具有多个弯折部的管道。在加热炉升温、保温和降温过程中,可以同时向间隙8通入不同的介质,多种介质同时作用于炉腔1的外侧,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
所述腔壁101的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层2的材料包括不锈钢或者碳钢。
不锈钢或者碳钢具有良好的耐压能力,使间隙8处于真空状态时具有良好的耐压能力。
所述炉套层2与所述腔壁101之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜,例如,1㎜、5㎜、50㎜、80㎜、100㎜、120㎜、150㎜、180㎜、200㎜、300㎜、350㎜或者400㎜。本实施例中,间隙的尺寸指的是在炉腔的腔壁的厚度方向上的尺寸。
所述炉腔1还包括与所述腔壁101连接的炉门102。
在本实施例中,所述炉套层2覆盖部分所述腔壁101,在其他实施例中,所述炉套层2覆盖全部所述腔壁101,本实施例对此不做限定。
加热炉还包括:与所述间隙8连通的套层出口管5;优选地,套层出口管5设置在炉套层2的底部,当介质为液体时,液体可以从炉套层2的顶部进入间隙8中,从炉套层2的底部流出间隙8,使液体可以在间隙8中充分流动后。
当介质为气体或者液体时,介质从套层进口4进入间隙8,流经间隙8后,从套层出口管5流出间隙8,介质在间隙8中处于流通状态,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
加热炉还包括:设置在所述套层出口管5上的出口阀门6。
出口阀门6为手动阀、电磁阀或者气动阀。
当介质为气体或者液体时,介质从套层进口4进入间隙8,流经间隙8后,从套层出口管5流出间隙8,介质处于流通状态,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
加热炉还包括:设置在所述炉套层2的外表面的保温层9。
在本实施例中,保温层9包括保温棉。
加热炉还包括:设置在所述炉腔1内部的加热器7。
本实施例提供的加热炉,炉套层2和腔壁101之间的间隙8为介质提供了流通空间,通过设置与间隙8连通的多通切换装置3,使加热炉在升温过程、保温过程和降温过程中,可以通过多通切换装置3向间隙8通入一种介质或者多种介质,例如:真空、气体和液体,炉套层2设置在炉腔1的外侧,使介质与腔壁101有充分的接触面积,在介质的作用下,提高了加热炉在升温过程中的升温效率,减少了加热炉在保温过程中的热量损失,提高了加热炉在降温过程中的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。
本发明另一实施例还提供一种加热炉的工作方法,采用本实施例提供的加热炉,包括:在所述炉腔1的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置3给所述间隙8提供不同介质。
所述炉套层2的部分区域设置有套层进口4;所述多通切换装置3包括第一接口301、第二接口302、第三接口303和第四接口304,所述第四接口304与所述套层进口4连通;所述第一接口301连通真空管路,所述第二接口302连通气体管路,所述第三接口303连通液体管路;加热炉还包括:与所述间隙连通的套层出口管5。
当所述第一接口301打开时,所述套层出口管5关闭。
当所述第二接口302打开时,所述套层出口管5打开。
当所述第三接口303打开时,所述套层出口管5打开。
第一接口301连通真空管路,在加热炉升温过程或者保温过程中,通过第一接口301向间隙8抽真空,使间隙8处于真空状态,减弱了炉腔1和外界的热交换作用,从而减少了炉腔1的热量损失,提高了加热炉的升温效率和保温效果;第二接口302连通气体管路,在加热炉升温过程和保温过程中,通过第二接口302向间隙8通热气体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第二接口302向间隙8通冷却气体,提高了加热炉的降温效率;第三接口303连通液体管路,在加热炉升温或者保温过程中,通过第三接口303向间隙8通热液体,提高了加热炉的升温效率和保温效果,或者,在加热炉降温过程中,通过第三接口303向间隙8通冷却液体,提高了加热炉的降温效率;多通切换装置3的设置,可以根据实际工作条件,选择不同的介质,提高了加热炉的便捷性和工艺窗口。
在所述炉腔1的升温过程和保温过程中,所述第二接口302和所述第三接口303关闭,所述套层出口管5关闭,通过所述第一接口301对所述间隙8抽真空。
或者,在所述炉腔1的升温过程和保温过程中,所述第一接口301和所述第三接口303关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302对所述间隙8通入热气体。
或者,在所述炉腔1的升温过程和保温过程中,所述第一接口301和所述第二接口302关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第三接口303对所述间隙8通入热液体。
所述第二接口302中的热气体的温度为100℃~450℃,例如,100℃、200℃、250℃、300℃、400℃或者450℃;所述第三接口303中的热液体的温度为100℃~450℃,例如,100℃、200℃、250℃、300℃、400℃或者450℃。
在所述炉腔1的降温过程中,所述第一接口301和所述第二接口302关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第三接口303给所述间隙8通入冷却液体。
或者,在所述炉腔1的降温过程中,所述第一接口301和所述第三接口303关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302给所述间隙8通入冷却气体。
或者,在所述炉腔1的降温过程中,所述第一接口301关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302给所述间隙8通入冷却气体之后,通过所述第三接口303给所述间隙8通入冷却液体。
或者,在所述炉腔1的降温过程中,所述第一接口301关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第三接口303给所述间隙8通入冷却液体之后,通过所述第二接口302给所述间隙8通入冷却气体。
所述第二接口302中的冷却气体的温度为20℃~30℃,例如,20℃、22℃、25℃、28℃或者30℃;所述第三接口303中的冷却液体的温度为20℃~30℃,例如,20℃、22℃、25℃、28℃或者30℃。
在本实施例中,所述间隙8为一体式间隙。当向间隙8通液体时,液体与腔壁101有充分的接触面积,提高了炉腔1和液体的热交换作用,因此,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
在其他实施例中,所述间隙8包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口301和所述第二接口302连通,所述第二间隙与所述第三接口303连通;通过所述第二接口302对所述第一间隙通入气体的同时通过所述第三接口303对所述第二间隙通入液体。在所述炉腔1的升温过程中,所述第一接口301关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302对所述第一间隙通入热气体,同时,通过所述第三接口303对所述第二间隙通入热液体。在所述炉腔1的保温过程中,所述第一接口301关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302对所述第一间隙通入热气体,同时,通过所述第三接口303对所述第二间隙通入热液体。在所述炉腔1的降温过程中,所述第一接口301关闭,所述套层出口管5打开,通过所述第二接口302对所述第一间隙通入冷却气体,同时,通过所述第三接口303对所述第二间隙通入冷却液体。在加热炉升温、保温和降温过程中,可以同时向间隙8通入不同的介质,多种介质同时作用于炉腔1的外侧,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率。
在加热炉使用过程中,打开炉门102,把需要脱泡或者固化的芯片封装结构、显示面板、激光器、绝缘栅双极型晶体管(IGBT)或者印制电路板(PCB)等器件放入炉腔1内,关闭炉门102,对炉腔1进行升温和加压,同时,根据实际工作条件,通过多通切换装置3向间隙8通入一种或者多种介质,以提高加热炉的升温效率;在加热炉的温度达到工艺温度时,需维持一定的时间,即保温过程,根据实际工作条件,通过多通切换装置3向间隙8通入一种或者多种介质,减少炉腔1的热量损失,以提高加热炉的保温效果;当工艺完成后,根据实际工作条件,通过多通切换装置3向间隙8通入一种或者多种介质,以提高加热炉的降温效率,当加热炉的温度低于60℃时,打开炉门102,取出器件。
本实施例与前述实施例相同的部分适用于前述实施例的描述,此处不再一一赘述。
本实施例提供的加热炉的工作方法,在所述炉腔1的升温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置3给所述间隙8提供不同介质。例如:真空、气体和液体,炉套层2设置在炉腔1的外侧,使介质与腔壁101有充分的接触面积,在介质的作用下,提高了加热炉在升温时的升温效率,减少了加热炉在保温时的热量损失,提高了加热炉在降温时的降温效率,因此,节省了加热炉的能量,提高了加热炉的产能。
显然,上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例,而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明的保护范围之中。

Claims (20)

1.一种加热炉,其特征在于,包括:
炉腔;
设置在所述炉腔外侧的炉套层,所述炉套层和所述炉腔的腔壁之间具有间隙;
与所述炉套层的外壁固定连接且与所述间隙连通的多通切换装置,所述多通切换装置适于给所述间隙提供不同介质。
2.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;
所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路。
3.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述多通切换装置还包括:设置在所述第一接口上的第一阀门;设置在所述第二接口上的第二阀门;设置在所述第三接口上的第三阀门。
4.根据权利要求3所述的加热炉,其特征在于,所述第一阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第二阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀;所述第三阀门为手动阀、电磁阀或者气动阀。
5.根据权利要求2所述的加热炉,其特征在于,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通。
6.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述间隙为一体式间隙。
7.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述腔壁的材料包括不锈钢或者碳钢,所述炉套层的材料包括不锈钢或者碳钢。
8.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉套层与所述腔壁之间的间隙的尺寸为1㎜~400㎜。
9.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,所述炉腔还包括与所述腔壁连接的炉门;
所述炉套层覆盖全部所述腔壁,或者,所述炉套层覆盖部分所述腔壁。
10.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:与所述间隙连通的套层出口管;设置在所述套层出口管上的出口阀门。
11.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉套层外表面的保温层。
12.根据权利要求1所述的加热炉,其特征在于,还包括:设置在所述炉腔内部的加热器。
13.一种加热炉的工作方法,采用如权利要求1至12任意一项所述的加热炉,其特征在于,包括:
在所述炉腔的升温过程、保温过程和降温过程中,采用所述多通切换装置给所述间隙提供不同介质。
14.根据权利要求13所述的加热炉的工作方法,其特征在于,所述炉套层的部分区域设置有套层进口;所述多通切换装置包括第一接口、第二接口、第三接口和第四接口,所述第四接口与所述套层进口连通;所述第一接口连通真空管路,所述第二接口连通气体管路,所述第三接口连通液体管路;所述加热炉还包括:与所述间隙连通的套层出口管;
当所述第一接口打开时,所述套层出口管关闭;
当所述第二接口打开时,所述套层出口管打开;
当所述第三接口打开时,所述套层出口管打开。
15.根据权利要求14所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第二接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管关闭,通过所述第一接口对所述间隙抽真空;
或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述间隙通入热气体;
或者,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口对所述间隙通入热液体。
16.根据权利要求14所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口和所述第二接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体;
或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口和所述第三接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体;
或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体之后,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体;
或者,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第三接口给所述间隙通入冷却液体之后,通过所述第二接口给所述间隙通入冷却气体。
17.根据权利要求14所述的加热炉的工作方法,其特征在于,所述间隙包括第一间隙和第二间隙,所述第一间隙和所述第二间隙之间隔开;所述第一间隙与所述第一接口和所述第二接口连通,所述第二间隙与所述第三接口连通;通过所述第二接口对所述第一间隙通入气体的同时通过所述第三接口对所述第二间隙通入液体。
18.根据权利要求17所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的升温过程和保温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述第一间隙通入热气体,同时,通过所述第三接口对所述第二间隙通入热液体。
19.根据权利要求17所述的加热炉的工作方法,其特征在于,在所述炉腔的降温过程中,所述第一接口关闭,所述套层出口管打开,通过所述第二接口对所述第一间隙通入冷却气体,同时,通过所述第三接口对所述第二间隙通入冷却液体。
20.根据权利要求15或18所述的加热炉的工作方法,其特征在于,所述第二接口中的热气体的温度为100℃~450℃;所述第三接口中的热液体的温度为100℃~450℃。
CN202111441623.9A 2021-11-30 2021-11-30 一种加热炉及其工作方法 Pending CN113970249A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111441623.9A CN113970249A (zh) 2021-11-30 2021-11-30 一种加热炉及其工作方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111441623.9A CN113970249A (zh) 2021-11-30 2021-11-30 一种加热炉及其工作方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113970249A true CN113970249A (zh) 2022-01-25

Family

ID=79590463

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111441623.9A Pending CN113970249A (zh) 2021-11-30 2021-11-30 一种加热炉及其工作方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113970249A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2621369A (en) * 2022-08-10 2024-02-14 Vacuum Furnace Eng Ltd A vacuum furnace device

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104479755A (zh) * 2014-11-26 2015-04-01 新奥科技发展有限公司 流化床气化炉、煤催化气化系统及气化工艺
CN108115239A (zh) * 2016-11-29 2018-06-05 张跃 以气体为介质进行加热/冷却的钎焊炉及其工作方法
CN211199312U (zh) * 2019-08-16 2020-08-07 贵州华森特机械配件有限公司 一种热处理炉
CN111780559A (zh) * 2020-07-29 2020-10-16 中国科学院过程工程研究所 一种加热炉
CN211926536U (zh) * 2020-04-22 2020-11-13 安徽佳宏新材料有限公司 锂离子电池生产用推板炉保温散热装置
CN112050637A (zh) * 2020-07-29 2020-12-08 株洲红亚电热设备有限公司 一种节能感应加热炉

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104479755A (zh) * 2014-11-26 2015-04-01 新奥科技发展有限公司 流化床气化炉、煤催化气化系统及气化工艺
CN108115239A (zh) * 2016-11-29 2018-06-05 张跃 以气体为介质进行加热/冷却的钎焊炉及其工作方法
CN211199312U (zh) * 2019-08-16 2020-08-07 贵州华森特机械配件有限公司 一种热处理炉
CN211926536U (zh) * 2020-04-22 2020-11-13 安徽佳宏新材料有限公司 锂离子电池生产用推板炉保温散热装置
CN111780559A (zh) * 2020-07-29 2020-10-16 中国科学院过程工程研究所 一种加热炉
CN112050637A (zh) * 2020-07-29 2020-12-08 株洲红亚电热设备有限公司 一种节能感应加热炉

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2621369A (en) * 2022-08-10 2024-02-14 Vacuum Furnace Eng Ltd A vacuum furnace device

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101650816B1 (ko) 진공 펌핑 장치, 진공유리 제작 시스템, 및 관련 방법
KR101299779B1 (ko) 접합 장치 및 접합 방법
CN113970249A (zh) 一种加热炉及其工作方法
US5123832A (en) Hot isostatic press
CN105280527A (zh) 粘接头和具有该粘结头的裸片粘接设备
CN104279860B (zh) 微波真空气压烧结炉
CN112935507B (zh) 一种印刷电路板式换热器芯体的扩散焊接工艺
CN112201633A (zh) 一种液冷一体化的吹胀型均热板及制造方法
CN108793777A (zh) 无抽气口真空玻璃的封接设备及封接方法
CN208816674U (zh) 一种适用于真空炉反应管的密封装置
CN108417501A (zh) 功率模块及其制备方法
CN111761158A (zh) 用于真空保温杯连续抽真空的真空室及连续抽真空工艺
CN212223063U (zh) 一种键合线加热退火装置
CN213042910U (zh) 一种具有一体化设计的液冷系统
CN109661129A (zh) 5g高频高速热压机
KR101363273B1 (ko) 접합장치 및 접합방법
CN115213578A (zh) 一种真空焊接设备及其控制方法
CN114951879A (zh) 一种真空保温杯低温高效抽真空密封设备及密封工艺
JP2024504180A (ja) 加圧液循環ファンによって迅速な加熱及び冷却が可能な等方圧プレス装置
CN214781517U (zh) 一种一体化真空玻璃排气封口装置
CN206747738U (zh) 载台可移动的负压焊接设备
CN220172072U (zh) 一种用于半导体的热处理装置
CN105021033A (zh) 烧结炉
CN215162949U (zh) 一种高温、高压、高承重及快速冷却热处理炉
CN205152071U (zh) 生产真空玻璃用抽真空装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
TA01 Transfer of patent application right
TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20220301

Address after: 201114 room c402, 4th floor, building 1, No. 189, Xinjun Ring Road, Minhang District, Shanghai

Applicant after: Anbo Zhihui semiconductor equipment (Shanghai) Co.,Ltd.

Address before: 214135 building D1, Sensor Network International Innovation Park, 200 Linghu Avenue, Xinwu District, Wuxi City, Jiangsu Province

Applicant before: National Center for Advanced Packaging Co.,Ltd.

Applicant before: SHANGHAI XIANFANG SEMICONDUCTOR Co.,Ltd.

CB02 Change of applicant information
CB02 Change of applicant information

Address after: Room C402, 4th Floor, Building 1, No. 189, Xinjun Ring Road, Minhang District, Shanghai, 201112

Applicant after: Anpo Zhihui Semiconductor Equipment (Shanghai) Co.,Ltd.

Address before: 201114 room c402, 4th floor, building 1, No. 189, Xinjun Ring Road, Minhang District, Shanghai

Applicant before: Anbo Zhihui semiconductor equipment (Shanghai) Co.,Ltd.