CN113913877B - 大尺寸薄壁x射线聚焦镜复制方法 - Google Patents

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Abstract

大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，属于X射线聚焦镜加工技术领域。该复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。包括以下步骤：S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具上脱离下来；S6.吊取镜片；通过升调装置吊取镜片；S7.卸芯轴。本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，可实现自动化控制，节省人力，提高整体复制效率，实现批量复制。

Description

大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法
技术领域
本发明属于X射线聚焦镜加工技术领域，具体涉及一种大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法。
背景技术
为研究观测黑洞、中子星等天体的高能辐射新现象，以美国为首的多个国家和地区的天文台和空间中心已向太空发射十余颗X射线天文卫星。1952年德国物理学家HansWolter设计满足阿贝正弦条件的掠入射的三种Wolter型X射线聚焦望远镜，称为Wolter III III型聚焦望远镜。Wolter-Ⅰ型X射线望远镜由抛物面内反射镜和双曲面内反射镜构成，其优点是可多层嵌套，有利于弱源观测，也是目前X射线望远镜最常见的一种类型。中国预计2026年发射的下一代旗舰级X射线天文卫星—增强型X射线时变与偏振探测(eXTP)空间天文台。eXTP计划配置4种有效载荷，其中能谱测量X射线聚焦望远镜阵列(SpectroscopicFocusing Array,SFA)和偏振测量X射线聚焦望远镜阵列(Polarimetry Focusing Array,PFA)分别由配置不同焦平面探测器的9组和4组焦距5.25m、口径500mm的聚焦望远镜阵列构成。为了增大望远镜有效测量面积，X射线聚焦望远镜均采用多层薄壁结构嵌套式设计，同时由于eXTP的主要载荷为13组，共计645片镜片，那么批量生产出超薄大尺寸高精度的镜片就成为了关键的过程。因此，聚焦镜片的制造效率是需要重点考虑的因素。
X射线聚焦镜片通过复制加工的方法制作而成，其复制加工主要的加工工艺流程包括模具化学镀镍磷合金、模具超精密加工、模具镀膜、电铸镍基体以及复制。复制是聚焦镜制造的关键环节之一，是保证聚焦镜片复制精度的关键过程。在电铸镍基体之后，电铸镍镜壳需要通过复制的方式与模具分离，金膜内表面为X射线聚焦镜反射面，从而实现复制制造。聚焦望远镜阵列制造是卫星项目的极为关键的一个环节，为达到聚焦望远镜阵列指标要求的工作能区、收集面积以及角分辨率等要求，需要生产出长度600mm，最大直径500mm的聚焦镜镜片，而其中表面粗糙度要求为0.5nm，面形精度要求为0.2μm，最薄的镜片厚度仅为0.2mm，极易发生变形，这种技术指标是极难实现和完成的，因此对于复制工艺一致性及力控制都提出较高要求。复制后，高精度的聚焦镜模具可以循环复用，提高了制造效率，降低了生产成本。传统的手动复制方法无法保证大批量复制工艺的一致性，效率低，无法满足大批量生产的需求。
发明内容
本发明为了解决上述现有技术的不足，进而提供一种大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法；用于保证大批量复制工艺的一致性，提高生产效率。
本发明所采取的技术方案是：一种大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，包括以下步骤：
S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具，并调试脱模装置；
S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩内注入氮气；
S3.注入液氮；向芯轴模具内部注入液氮；
S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；
S5.开始脱模；通过脱模装置将镜壳从芯轴模具上脱离下来；
S6.吊取镜壳；通过升调装置吊取镜壳；
S7.卸芯轴模具。
本发明与现有技术相比具有以下有益效果：
本发明只需要垂直轴的运动即可满足复制过程的需求，避免了复杂的运动控制，可实现自动化控制，同时避免了人为操作引入的不规范性，实现了复制工艺的一致性和可靠性，保证了复制工艺的稳定性，节省人力，提高整体复制效率，实现批量复制，达到了降本增效的效果。
附图说明
图1是本发明流程图；
图2是本发明脱模装置结构示意图；
图3是本发明脱模装置的分离机构示意图；
图4是本发明脱模装置的分离机构主视图；
图5是本发明脱模装置的夹持机构示意图；
图6是本发明脱模装置的垂直导向机构示意图；
图7是本发明脱模装置的复制爪示意图；
图8是本发明脱模装置的复制工作原理示意图；
图9是本发明钢爪提升块和钢爪调节块之间的微调原理图；
其中：其中：1、密封罩；2、芯轴模具；3、分离机构；4、夹持机构；5、基座；6、液氮循环装置；7、力学传感器；8、热电偶仪表；31、垂直导向机构；32、复制爪；33、复制圆盘；311、直线导轨机构；312、支撑筋；313、导向杆；314、碟形弹簧；315、支撑杆座；321、气缸；322、转接板；323、支撑臂；324、长滑轨副；325、螺杆；326、短滑轨副；327、钢爪提升块；328、钢爪调节块；41、气动卡盘；42、法兰盘；43、液氮入口转接；44、导管口；51、滑块导轨机构；61、液氮罐；62、液氮管；63、阀门。
具体实施方式
镜片和镜壳为同一个零件
具体实施方式一：参照图1说明本实施方式，本实施方式提供了S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具2，并调试脱模装置；
S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩1内注入氮气；
S3.注入液氮；向芯轴模具2内部注入液氮；
S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；
S5.开始脱模；通过脱模装置将镜壳从芯轴模具2上脱离下来；
S6.吊取镜壳；通过升调装置吊取镜壳；
S7.卸芯轴模具2。
升调装置为现有技术，采用能够将镜壳吊起的装置即可。
具体实施方式二：参照图2至图8说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式一作进一步限定，本实施方式中，脱模装置包括密封罩1、分离机构3、夹持机构4、基座5及液氮循环装置6；所述分离机构3、夹持机构4和密封罩1均安装在基座5上，芯轴模具2安装在夹持机构4上，所述分离机构3用于分离芯轴模具2上的镜壳，所述密封罩1罩设在芯轴模具2、分离机构3、夹持机构4上使三者处于密封环境，并由液氮循环装置6向芯轴模具2注入液氮以及向密封罩1内注入氮气，用于芯轴模具2的冷缩，方便镜壳的脱离。
本实施方式中，夹持机构4与分离机构3通过螺栓连接固定在基座5上，芯轴模具2通过法兰盘42被固定在夹持机构4上。
本实施方式中，密封罩1通过基座5上表面上安装的滑块导轨机构51与基座5滑动连接。
本实施方式中，参照图4夹持机构4包括气动卡盘41、法兰盘42及液氮入口转接43；所述气动卡盘41通过螺栓连接固定在基座5上，所述液氮入口转接43一端由气动卡盘41夹持，另一端连接法兰盘42，所述接法兰盘42用于安装芯轴模具2，使芯轴模具2通过法兰盘42连接固定在夹持机构4上，并通过气动卡盘41夹紧。
本实施方式中，参照图2、图3、图5、图6，分离机构3包括复制圆盘33、多个垂直导向机构31及多个复制爪32；所述复制圆盘33同轴套装在芯轴模具2外侧，复制圆盘33由安装在基座5上的多个垂直导向机构31带动其上下移动，所述多个复制爪32均安装在复制圆盘33上，多个复制爪32用于抬起芯轴模具2上的镜壳，每个复制爪32上均安装一个力学传感器7，用来控制复制力的大小。其它组成及连接方式与具体实施方式一相同。
本实施方式中，多个垂直导向机构31均布环绕复制圆盘33设置，且每一个垂直导向机构31两侧各设置一个复制爪32。
本实施方式中，多个垂直导向机构31均布环绕复制圆盘33设置，且每一个垂直导向机构31两侧各设置一个复制爪32。
本实施方式中，垂直导向机构31的数量优选为三个，复制爪32的数量优选为六个。
本实施方式中，多个垂直导向机构31通过螺栓安装在基座5上。
本实施方式中，参照图5，每个所述垂直导向机构31均包括直线导轨机构311、支撑筋312、导向杆313及支撑杆座315；所述直线导轨机构311通过其背面设置的支撑筋312竖直安装在基座5上，所述支撑杆座315通过螺栓安装在直线导轨机构311的滑块上，所述导向杆313竖直安装在支撑杆座315的上表面上，所述导向杆313穿过复制圆盘33上设置的通孔，使复制圆盘33搭在支撑杆座315上，由直线导轨机构311带动实现上下垂直运动。
本实施方式中，支撑筋312通过螺栓固定在基座5上。
本实施方式中，参照图3、图5，每个所述支撑杆座315与复制圆盘33之间均设置有碟形弹簧314，起均衡负载力矩的作用，每个所述碟形弹簧314均套装在对应的导向杆313上。
本实施方式中，参照图6，每个所述复制爪32均包括气缸321、支撑臂323、钢爪提升块327、钢爪调节块328、长滑轨副324及短滑轨副326；所述气缸321安装在支撑臂323前端上，所述钢爪调节块328通过螺杆325安装在气缸321的伸缩端上，通过气缸321实现其上下移动，钢爪调节块328下端通过螺纹连接与钢爪提升块327相连，根据镜壳的不同厚度调节钢爪提升块327和钢爪调节块328前后方向上的距离，使钢爪提升块327和钢爪调节块328之间呈台阶状，所述支撑臂323底面沿其长度方向安装有长滑轨副324，所述长滑轨副324沿复制圆盘33径向安装在复制圆盘33上，使复制爪32能够沿复制圆盘33径向移动。
钢爪提升块327和钢爪调节块328之间呈台阶状，参照图9所示，
为方便钢爪调节块328的前后调节，钢爪调节块328上沿前后方向开设有长圆孔，螺栓穿过此长圆孔与钢爪提升块327连接。
本实施方式中，长滑轨副324的导轨与支撑臂323固定连接，长滑轨副324的滑块与复制圆盘33固定连接。
本实施方式中，参照图6，每个所述钢爪调节块328与支撑臂323前端面之间连接有短滑轨副326。
本实施方式中，参照图6，所述气缸321通过转接板322安装在支撑臂323前端上。
本实施方式中，支撑臂323上表面前端开设安装槽，所述转接板322后端安装在安装槽内，转接板322前端用于安装气缸321。
本实施方式中，参照图7，所述液氮循环装置包括液氮罐61、液氮管62及阀门63；所述液氮罐61通过液氮管62通过导管口44与液氮入口转接43连通，向芯轴模具2内持续注入液氮，所述液氮罐61打开阀门63放出的氮气经由管道送入密封罩1内。其它组成及连接方式与具体实施方式二相同。
液氮通过液氮入口转接43的导管口44注入芯轴模具2内孔，镍镜壳与芯轴模具2之间由于热膨胀系数的不同，芯轴模具2的收缩程度比镍镜壳的大，使镜壳从芯轴模具2上分离。
本实施方式中，参照图7，X射线聚焦镜自动化复制装置还包括热电偶仪表8，所述热电偶仪表8的测温探头分别安装在镜壳上下两端以及芯轴模具2上下两端，用于监测镜壳和芯轴模具2的温度。
具体实施方式三：参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式二作进一步限定，本实施方式中，实现所述S1调试脱模装置，包括以下步骤：
S11.超声清洗吊装片、装吊片工装、液氮入口转接43、密封盖帽、不锈钢镊子；
S12.检查脱模装置的零部件是否安装合格：
具体为：主要包括夹持机构4的气动卡盘41，分离机构3的垂直导向机构31，长滑轨副324，导向杆313，复制爪32等安装到复制圆盘33相应位置；根据不同号镜壳的厚度不同对应调整复制爪32前“台阶”大小；
S13.将清洗完毕带有镜壳的芯轴模具2放置在防静电工作台上，安装上液氮入口转接43，将芯轴模具2以大端向下，小端向上的姿势缓慢垂直地放入夹持机构4上；
具体为：芯轴模具2垂直地放入夹持机构4的气动卡盘41内孔的中心位置。
S14.夹持机构4夹紧芯轴模具2；
具体为：开启压缩空气阀门，调节气压，将气动卡盘41夹紧液氮入口转接43；
S15.调节分离机构3的复制圆盘33的位姿，保证芯轴模具2和夹持机构4的气动卡盘41同心；
S16.用水平仪和高度尺将脱模装置底部支架调校水平，保证分离机构3的垂直导向机构31在一个水平面上；(可以使三个垂直导向机构31的滑块都降低到最低点)，使垂直导向机构31在上升过程中具有较高的垂直导向精度；
S17.分离机构3的复制爪32移动至低端初步判断进给位置，保证复制爪32的左右关于芯轴模具2母线的中心对称；
S18.在镜壳上端外边缘粘接吊装片，首先在吊装片上粘贴黄金胶带，其次安装吊片工装，最好沿脱模装置的导向杆313粘贴吊片；
S19.卸掉吊片工装，安装芯轴模具2上端密封盖帽安装；
S110.将密封罩1密封覆盖在分离机构3、夹持机构4上；
S111.调整复制爪32的上下高度调节机构，保证复制爪32在一个水平面上，并将其移动至镜壳下端，调正复制爪32高度贴近镜壳下端，用放大镜观察，锁紧复制爪32，具体为：锁紧复制爪32的长滑轨副324的导轨制动钳，安装好长滑轨副324的卡紧弹簧，同时施加预紧力；将力学传感器7清零，每个复制爪32微调至上端接触到镜壳下沿，记录预紧力大小；
S112.用专用黄金胶带将高精度热电偶探头粘贴至镜壳的上端及下端相应位置，同时粘贴在芯轴模具2的上下端；
S113.将热电偶、力学传感器7、温湿度探头、氧气含量监测仪安装到相应的位置，调试好相应的数据采集软件；温湿度探头安装在密封罩1上，氧气含量监测仪安装到密封罩1的外面，挂在外侧壁上，主要监测洁净间内的氧气，防止氮气泄露到房间内造成室内氧气不足，如氧气监测仪报警需要人员及时撤离。
S114.关闭密封罩1的门。
具体实施方式四，参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式三作进一步限定，本实施方式中，实现所述S2.注入高纯氮气，包括以下步骤：
S21.打开密封罩1的排气孔，打开液氮循环装置6的液氮罐61，向密封罩1内充入氮气，循环几次，注意湿度仪表的显示达到相应数值时停止；
S22.关闭液氮罐61的氮气罐阀，注入液氮。
具体实施方式五：参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式二作进一步限定，本实施方式中，实现所述S3.注入液氮，包括以下步骤：
S31.打开自增压的液氮罐61，开始向芯轴模具2内部持续注入液氮；
S32.观察热电偶仪表8示数，保持一段时间，根据1#-45#芯轴模具2大小不同，此过程中时而会听见“噼、啪”的声音，这是液氮注入后，芯轴模具2急速冷却，镜壳和芯轴分离发出的声音，是脱模顺利的现象，继续观察热电偶仪表8表示数，当达到计算值后，停止注入液氮，此时热电偶仪表8的目标示数根据1#-45#镜子的大小不同，差异较大。
1#-45#芯轴模具2：每套镜组有45片镜子，大小不同，同时对应45个大小不同的模具。
具体实施方式六：参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式二作进一步限定，本实施方式中，实现所述S5.开始脱模，具体为：当热电偶传感器显示值达到相应计算数值，并在液氮注入过程中听到一定的声音后，并看见镜壳上端明显高出芯轴一段后开始脱模，此时用PLC控制分离机构3的电机驱动垂直导向机构31上升抬起镜壳，保证垂直精度，将镜壳抬升到相应高度后停止运动。
具体实施方式七：参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式二作进一步限定，本实施方式中，实现所述S6.吊取镜壳，包括以下步骤：
S61.穿洁净服，带紧手套；
S62.用镊子卸掉热电偶胶带；
S63.观察密封罩1内温度，此时充入加热后的氮气，使其腔内温度迅速恢复至室温后，打开密封腔门；
S64.用镊子取下热电偶胶带；
S65.松开复制爪32，上吊装盘，打开制动钳；
具体为：松开长滑轨副324的卡紧弹簧，上吊装盘，打开长滑轨副324的导轨制动钳；
S66.移开复制爪32，将镜壳吊起，观察复制爪32的爪部位是否有印记，快速转运至千级洁净室内。
具体实施方式八：参照图1说明本实施方式，本实施方式是对具体实施方式二作进一步限定，本实施方式中，实现所述S7.卸芯轴，包括以下步骤：
S71.打开密封罩1的抱闸，拉出设备；
密封罩1采用电磁铁吸合开闭，即打开密封罩。
S72.卸掉芯轴模具2的上端密封帽，开启夹持机构4的气动卡盘41，取出芯轴模具2，翻转，卸掉下部转接，转移至模具储藏间。
可以理解，本发明是通过一些实施例进行描述的，本领域技术人员知悉的，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，可以对这些特征和实施例进行各种改变或等效替换。另外，在本发明的教导下，可以对这些特征和实施例进行修改以适应具体的情况及材料而不会脱离本发明的精神和范围。因此，本发明不受此处所公开的具体实施例的限制，所有落入本申请的权利要求范围内的实施例都属于本发明所保护的范围内。

Claims (7)

1.一种大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：包括以下步骤：
S1.调试脱模装置；安装带有镜壳的芯轴模具(2)，并调试脱模装置；所述脱模装置包括密封罩(1)、分离机构(3)、夹持机构(4)、基座(5)及液氮循环装置(6)；所述分离机构(3)、夹持机构(4)和密封罩(1)均安装在基座(5)上，芯轴模具(2)安装在夹持机构(4)上，所述分离机构(3)用于分离芯轴模具(2)上的镜壳，所述密封罩(1)罩设在芯轴模具(2)、分离机构(3)、夹持机构(4)上使三者处于密封环境，并由液氮循环装置(6)向芯轴模具(2)注入液氮以及向密封罩(1)内注入氮气，用于芯轴模具(2)的冷缩，方便镜壳的脱离，
所述分离机构(3)包括复制圆盘(33)、多个垂直导向机构(31)及多个复制爪(32)；所述复制圆盘(33)同轴套装在芯轴模具(2)外侧，复制圆盘(33)由安装在基座(5)上的多个垂直导向机构(31)带动其上下移动，所述多个复制爪(32)均安装在复制圆盘(33)上，多个复制爪(32)用于抬起芯轴模具(2)上的镜壳，每个复制爪(32)上均安装一个力学传感器(7)，用来控制复制力的大小，每个所述复制爪(32)均包括气缸(321)、支撑臂(323)、钢爪提升块(327)、钢爪调节块(328)、长滑轨副(324)及短滑轨副(326)；所述气缸(321)安装在支撑臂(323)前端上，所述钢爪调节块(328)安装在气缸(321)的伸缩端上，通过气缸(321)实现其上下移动，钢爪调节块(328)下端通过螺纹连接与钢爪提升块(327)相连，根据镜壳的不同厚度调节钢爪提升块(327)和钢爪调节块(328)前后方向上的距离，使钢爪提升块(327)和钢爪调节块(328)之间呈台阶状，所述支撑臂(323)底面沿其长度方向安装有长滑轨副(324)，所述长滑轨副(324)沿复制圆盘(33)径向安装在复制圆盘(33)上，使复制爪(32)能够沿复制圆盘(33)径向移动；
S2.注入高纯氮气；向脱模装置的密封罩(1)内注入氮气；
S3.注入液氮；向芯轴模具(2)内部注入液氮；
S4.监测传感器示数；此过程中注意监测力传感器、热电偶仪表、环境温度、湿度的显示值，并做好记录；
S5.开始脱模；通过脱模装置将镜片从芯轴模具(2)上脱离下来；
S6.吊取镜壳；通过升调装置吊取镜壳；
S7.卸芯轴模具(2)。
2.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S1调试脱模装置，包括以下步骤：
S11.超声清洗吊装片、装吊片工装、液氮入口转接(43)、密封盖帽、不锈钢镊子；
S12.检查脱模装置的零部件是否安装合格：
S13.将清洗完毕带有镜壳的芯轴模具(2)放置在防静电工作台上，安装上液氮入口转接(43)，将芯轴模具(2)以大端向下，小端向上的姿势缓慢垂直地放入夹持机构(4)上；
S14.夹持机构(4)夹紧芯轴模具(2)；
S15.调节分离机构(3)的复制圆盘(33)的位姿，保证芯轴模具(2)和夹持机构(4)同心；
S16.用水平仪和高度尺将脱模装置底部支架调校水平，保证分离机构(3)在一个水平面上；
S17.分离机构(3)的复制爪(32)移动至低端初步判断进给位置，保证复制爪(32)的左右关于芯轴模具(2)母线的中心对称；
S18.在镜壳上端外边缘粘接吊装片，首先在吊装片上粘贴黄金胶带，其次安装吊片工装；
S19.卸掉吊片工装，安装芯轴模具(2)上端密封盖帽安装；
S110.将密封罩(1)密封覆盖在分离机构(3)、夹持机构(4)上；
S111.调整复制爪(32)的上下高度调节机构，保证复制爪(32)在一个水平面上，并将其移动至镜壳下端，调正复制爪(32)高度贴近镜壳下端，用放大镜观察，锁紧复制爪(32)，同时施加预紧力；将力学传感器(7)清零，每个复制爪(32)微调至上端接触到镜壳下沿，记录预紧力大小；
S112.用专用黄金胶带将高精度热电偶探头粘贴至镜壳的上端及下端相应位置，同时粘贴在芯轴模具(2)的上下端；
S113.将热电偶、力学传感器7、温湿度探头、氧气含量监测仪安装到相应的位置，调试好相应的数据采集软件；
S114.关闭密封罩(1)的门。
3.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S2.注入高纯氮气，包括以下步骤：
S21.打开密封罩(1)的排气孔，打开液氮循环装置(6)的液氮罐(61)，向密封罩(1)内充入氮气，循环几次，注意湿度仪表的显示达到相应数值时停止；
S22.关闭液氮罐(61)的氮气罐阀，注入液氮。
4.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S3.注入液氮，包括以下步骤：
S31.打开自增压的液氮罐(61)，开始向芯轴模具(2)内部持续注入液氮；
S32.观察热电偶仪表(8)示数，保持一段时间，当达到计算值后，停止注入液氮。
5.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S5.开始脱模，具体为：分离机构(3)抬起镜壳，保证垂直精度，将镜壳抬升到相应高度后停止运动。
6.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S6.吊取镜壳，包括以下步骤：
S61.穿洁净服，带紧手套；
S62.用镊子卸掉热电偶胶带；
S63.观察密封罩(1)内温度，此时充入加热后的氮气，使其腔内温度迅速恢复至室温后，打开密封腔门；
S64.用镊子取下热电偶胶带；
S65.松开复制爪(32)，上吊装盘，打开制动钳；
S66.移开复制爪(32)，将镜壳吊起，观察复制爪(32)的爪部位是否有印记，快速转运至千级洁净室内。
7.根据权利要求1所述的大尺寸薄壁X射线聚焦镜复制方法，其特征在于：实现所述S7.卸芯轴模具 (2) ，包括以下步骤：
S71.打开密封罩(1)的抱闸，拉出设备；
S72.卸掉芯轴模具(2)的上端密封帽，开启夹持机构(4)，取出芯轴模具(2)，翻转，卸掉下部转接，转移至模具储藏间。
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