CN113893772A - 一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，包括存气室，用于存储注入的多元气体；防回机构，贯穿设置在存气室的侧壁；通气预存机构，安装在所述存气室的顶端且与所述防回机构连接；其中，所述通气预存机构包括贯穿连接在存气室上的通入半封管、多个预存部件以及封口部件,本发明可通过预存部件，实现计量体积的气体临时预存，用以解决小体积气体的注入控制难的问题，其具体实施时，直接通过多个气通口朝防回机构内引入多种气体，之后通过封口部件封堵单个或多个气通口以控制进入防回机构内的气体种类，然后再通过预存部件存储进入气通口的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置。
背景技术
气体工业名词，半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气，而半导体特殊材料气体在制备时需要进行混合配比，要混合的气体也种类繁多，混合气体的配比装置也随之发展起来。
目前在国内气体混合配比装置的生产厂家还比较缺少，基本都是在生产固定配比度的普通纯度气体混合装置,即使配比度是可调型的，配比精度也不高，而且采用的管材及设备也都是比较普通的，无法满足一些行业和科研单位的对实验性气体混合配比可调范围宽、气体纯度高、操作简单、控制精度高的需求。
针对这个问题在线有技术中便提出了多种解决方案，例如，申请号为201720094713.8的专利文献，其公开了一种多元气体混合配比装置，其通过将原料气体经过高效的过滤器，以将原料气体中的颗粒物和水分去除，使得气体纯度更好；之后原料气体通过精密比例调节阀和气动控制阀，实现了精确配比的要求,不仅使气体混合配比度的可调范围更宽,而且配比精度更高。
但上述操作在面对气体混合的比例调节时却存在局限性，例如，在气体混合时需要将不同的气体注入同一个容器内进行混合，但在注入容器时需要控制注入的气体含量，因气体注入时是持续性且大量注入的，一旦出现需要注入的单种气体注入量较小时，精密比例调节阀无法很好的控制注入量从而极易出现注入过量或注入量较少的情况。
因此，现有技术中的多元气体混合配比装置，其无法解决在对单种气体进行小体积注入时难以控制注入量易出现注入过量或注入量较少的问题
发明内容
本发明的目的在于提供一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，以解决现有技术中在对单种气体进行小体积注入时难以控制注入量的技术问题。
为解决上述技术问题，本发明具体提供下述技术方案：
一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，包括
存气室，用于存储注入的多元气体；
防回机构，贯穿设置在存气室的侧壁；
通气预存机构，安装在所述存气室的顶端且与所述防回机构连接；
其中，所述通气预存机构包括贯穿连接在存气室上的通入半封管、多个预存部件以及封口部件；
所述通入半封管靠近存气室的一端与所述防回机构侧壁连接，所述通入半封管的侧壁呈环形设置有多个气通口；所述封口部件连接在所述通入半封管的另一端；多个所述预存部件分别与多个气通口一一对应连接；
所述通入半封管能够通过多个气通口朝防回机构内引入多种气体；所述封口部件能够封堵单个或多个气通口以控制进入防回机构内的气体种类；所述预存部件能够存储进入气通口的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿；所述防回机构能够推动从通入半封管引入的气体进入存气室并将存气室与通入半封管分隔以防止气体回流。
作为本发明的一种优选方案，所述防回机构包括贯穿连接在存气室侧壁的阻回柱，所述阻回柱内设置有推入腔，所述推入腔的侧壁与通入半封管连通，所述推入腔内滑动连接有推动块，所述推动块的侧壁连接有贯穿推入腔至外侧的施力推柱，所述施力推柱能够带着推动块在推入腔内周期性滑动；
所述推入腔在远离施力推柱的一端内壁安装有单向隔片。
作为本发明的一种优选方案，所述封口部件包括贯穿连接在通入半封管远离存气室的一端表面中心位置的螺纹柱，所述螺纹柱靠近存气室的一端连接有封挡套，所述封挡套沿所述通入半封管的内侧壁设置，所述封挡套的表面开设有多个选通孔；
所述螺纹柱能够带着封挡套沿通入半封管的内侧壁滑动以使选通孔逐渐脱离与气通口的重合状态从而完成封堵至少一个气通口的动作。
作为本发明的一种优选方案，所述预存部件包括与所述气通口连接的通入管，所述通入管能够对进入气通口的气体进行计量，所述通入管的侧壁连接有预存柱管，所述预存柱管能够截流存储未经过通入管计量的气体，所述预存柱管的侧壁安装有导入管，所述导入管远离预存柱管的一端连接在预存柱管靠近气通口的一端侧壁；
所述预存柱管包括端部与通入管侧壁连接的固定排柱，所述固定排柱内设置有多个存气腔，所述存气腔内贯穿连接有推入柱塞，所述存气腔与推入柱塞的轴心重合，所述推入柱塞能够被进入存气腔内的气体推动沿存气腔内壁升高，所述存气腔内壁设置有刻度，所述存气腔内设有与推入柱塞连接的推动簧，所述推动簧能够推着推入柱塞滑入存气腔以使存气腔内的计量气体进入气通口，所述存气腔靠近通入管的一端也安装有单向隔片。
作为本发明的一种优选方案，所述导入管内滑动连接有用于同时封堵多个存气腔的活动柱；
所述固定排柱远离通入管的一端连接有卡位条，所述卡位条能够对推入柱塞升高的进程进行限制。
作为本发明的一种优选方案，所述通入管包括调节囊套，所述调节囊套的两端均连接有一个连接管，其中一个所述连接管的端部与所述气通口密封连接，此个所述连接管的侧壁与固定排柱连接，且此个所述连接管远离气通口的一端设置有收束套，所述收束套与所述调节囊套的侧壁连接，所述收束套的侧壁设置有多个辅助夹套；
所述调节囊套的侧壁套设有箍紧套，所述箍紧套能够沿着辅助夹套表面滑动并推着收束套收拢缩小调节囊套的直径。
作为本发明的一种优选方案，所述箍紧套的侧壁连接有多个夹紧柱片，所述夹紧柱片能够推动调节囊套的内壁紧贴以排出调节囊套内残余气体，所述夹紧柱片的侧壁安装有与箍紧套连接的回位件。
作为本发明的一种优选方案，所述活动柱靠近导入管的一端安装有与箍紧套连接的拉动柱，所述拉动柱能够拉着活动柱一起活动并拉着箍紧套脱离收束套。
作为本发明的一种优选方案，所述推入柱塞的侧壁螺纹连接有螺纹套，所述螺纹套套设在推动簧内侧；
所述卡位条的表面与推入柱塞对应位置处开设有阶梯孔，所述阶梯孔用于对螺纹套进行限位。
作为本发明的一种优选方案，所述辅助夹套的表面开设有多个止回槽，所述止回槽能够防止箍紧套在辅助夹套的表面自动滑动。
本发明与现有技术相比较具有如下有益效果：
本发明可通过预存部件，实现计量体积的气体临时预存，用以解决小体积气体的注入控制难的问题，其具体实施时，直接通过多个气通口朝防回机构内引入多种气体，之后通过封口部件封堵单个或多个气通口以控制进入防回机构内的气体种类，然后再通过预存部件存储进入气通口的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿。
附图说明
为了更清楚地说明本发明的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。
图1为本发明实施例中整体结构示意图；
图2为本发明实施例中调节囊套未收缩时的结构示意图；
图3为本发明实施例中调节囊套收缩时的结构示意图；
图4为本发明实施例中卡位条俯视图；
图5为本发明实施例中导入管结构示意图。
图中的标号分别表示如下：
1-存气室；2-防回机构；3-通气预存机构；4-通入半封管；5-预存部件；6-封口部件；7-气通口；
21-阻回柱；22-推入腔；23-推动块；24-施力推柱；25-单向隔片；
51-通入管；52-预存柱管；53-导入管；
511-调节囊套；512-连接管；513-收束套；514-辅助夹套；515-箍紧套；516-夹紧柱片；517-回位件；518-止回槽；
521-固定排柱；522-存气腔；523-推入柱塞；524-推动簧；525-螺纹套；
531-活动柱；532-卡位条；533-拉动柱；534-阶梯孔；
61-螺纹柱；62-封挡套；63-选通孔。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示，本发明提供了一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，包括
存气室1，用于存储注入的多元气体；
防回机构2，贯穿设置在存气室1的侧壁；
通气预存机构3，安装在存气室1的顶端且与防回机构2连接；
其中，通气预存机构3包括贯穿连接在存气室1上的通入半封管4、多个预存部件5以及封口部件6；
通入半封管4靠近存气室1的一端与防回机构2侧壁连接，通入半封管4的侧壁呈环形设置有多个气通口7；封口部件6连接在通入半封管4的另一端；多个预存部件5分别与多个气通口7一一对应连接；
通入半封管4能够通过多个气通口7朝防回机构2内引入多种气体；封口部件6能够封堵单个或多个气通口7以控制进入防回机构2内的气体种类；预存部件5能够存储进入气通口7的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿；防回机构2能够推动从通入半封管4引入的气体进入存气室1并将存气室1与通入半封管4分隔以防止气体回流。
本发明可通过预存部件5，实现计量体积的气体临时预存，用以解决小体积气体的注入控制难的问题，其具体实施时，直接通过多个气通口7朝防回机构2内引入多种气体，之后通过封口部件6封堵单个或多个气通口7以控制进入防回机构2内的气体种类，然后再通过预存部件5存储进入气通口7的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿；
而在气体注入过程中可通过防回机构2推动从通入半封管4引入的气体进入存气室1并将存气室1与通入半封管4分隔以防止气体回流，也就是说对气体进行二次混合增压，使得气体能够在注入存气室1的过程中便完成了充分混合的动作，其较现有技术直接冲入存气室1的操作，将增压步骤分化成两步降低了气体回流的几率，同时提高了气体混合的效率。
本发明较现有技术能通过预存部件5实现计量体积的气体临时预存以及通过整体装置实现气体的防回流以及多级同步增压混合动作(混合和增压动作具体分成两步且均是同步进行的)。
如图1所示，现有技术中在将气体从外界装置注入存气室1时是直接注入的，而这就极易出现存气室1内压强过大导致气体倒流的现象发生，故而优选的，防回机构2包括贯穿连接在存气室1侧壁的阻回柱21，阻回柱21内设置有推入腔22，推入腔22的侧壁与通入半封管4连通，推入腔22内滑动连接有推动块23，推动块23的侧壁连接有贯穿推入腔22至外侧的施力推柱24，施力推柱24能够带着推动块23在推入腔22内周期性滑动；
推入腔22在远离施力推柱24的一端内壁安装有单向隔片25。
当需要注入气体时，直接通过外界装置(如电动推杆)带着施力推柱24周期性滑动(原理相当于柱塞泵)，也就是说通过施力推柱24带着推动块23在推入腔22内周期性滑动，以图1为例，当推动块23在推入腔22内左滑时，推入腔22内压强降低，从而将通入半封管4内气体抽入推入腔22，之后推动块23在推入腔22内右滑使得推入腔22内的气体被推入存气室1。
在全文的气体流动过程中起到最大作用之一便是单向隔片25，该单向隔片25的作用便是起到单向隔绝气体的作用，使得气体只能单方向运动，在当推动块23在推入腔22内左滑时，推入腔22在远离施力推柱24一端的单向隔片25可以阻挡存气室1内气体进入推入腔22，之后推动块23在推入腔22内右滑推入腔22的侧壁与通入半封管4连通处也可设置单向隔片25，使得推入腔22内的气体只能进入存气室1而不会进入通入半封管4。
该单向隔片25由表面设置通孔的透气片以及中心位置与透气片表面连接且用于挡住通孔的橡胶片组成，在实现单向阻隔时，通入半封管4与推入腔22连接处的单向隔片25便是橡胶片设置在靠近推入腔22一侧，透气片连接在橡胶片远离推入腔22一侧，当推入腔22抽气时，气体能够推开橡胶片从透气片进入推入腔22。
而推入腔22在远离施力推柱24一端的单向隔片25(具体参照图1)，其透气片与推入腔22上的出气口连接，橡胶片连接在透气片远离推入腔22一侧，如此可以通过橡胶片阻挡透气片引导存气室1内气体进入推入腔22。
如图1和图4所示，封口部件6包括贯穿连接在通入半封管4远离存气室1的一端表面中心位置的螺纹柱61(该螺纹柱61与通入半封管4螺纹连接)，螺纹柱61靠近存气室1的一端连接有封挡套62，封挡套62沿通入半封管4的内侧壁设置，封挡套62的表面开设有多个选通孔63；
螺纹柱61能够带着封挡套62沿通入半封管4的内侧壁滑动以使选通孔63逐渐脱离与气通口7的重合状态从而完成封堵至少一个气通口7的动作。
该封口部件6的具体结构不唯一，但本实施例中的封口部件6作为一种优选方案，其能够实现封堵不同数目以及不同尺寸大小的气通口7，现有技术中在封堵气孔时也是采用重叠的圆环片，但其设置的圆环片不能针对不同尺寸的气孔。
当需要调节进入的气体种类时，只用下旋螺纹柱61，之后螺纹柱61会带着封挡套62沿通入半封管4的内侧壁滑动以使选通孔63逐渐脱离与气通口7的重合状态从而完成封堵至少一个气通口7的动作，以图1为例该封挡套62上的选通孔63数目从下至上依次减少，方便封堵动作完成，且螺纹柱61上可设置定位点，使得气通口7的封堵数目能快速知晓同时封堵精度能得到控制。
如图1、图4和图5所示，预存部件5包括与气通口7连接的通入管51，通入管51能够对进入气通口7的气体进行计量(具体实现时可以在通入管51与气通口7的连接处设置气体计量阀)，通入管51的侧壁连接有预存柱管52，预存柱管52能够截流存储未经过通入管51计量的气体，预存柱管52的侧壁安装有导入管53，导入管53远离预存柱管52的一端连接在预存柱管52靠近气通口7的一端侧壁；
预存柱管52包括端部与通入管51侧壁连接的固定排柱521，固定排柱521内设置有多个存气腔522，存气腔522内贯穿连接有推入柱塞523，存气腔522与推入柱塞523的轴心重合，推入柱塞523能够被进入存气腔522内的气体推动沿存气腔522内壁升高，存气腔522内壁设置有刻度，存气腔522内设有与推入柱塞523连接的推动簧524，推动簧524能够推着推入柱塞523滑入存气腔522以使存气腔522内的计量气体进入气通口7，存气腔522靠近通入管51的一端也安装有单向隔片25，该处的单向隔片25其设置的橡胶片方向与通入半封管4与推入腔22连接处单向隔片25的橡胶片方向相反，该处的单向隔片25控制气体只能进入不能出。
固定排柱521远离通入管51的一端连接有卡位条532，卡位条532能够对推入柱塞523升高的进程进行限制。
推入柱塞523的侧壁螺纹连接有螺纹套525，螺纹套525套设在推动簧524内侧(如此设置可以使推动簧524压缩后不会影响螺纹套525滑出存气腔522，也就是说，存气腔522的内径与推动簧524的外径相等，但存气腔522的内径大于螺纹套525内径)；卡位条532的表面与推入柱塞523对应位置处开设有阶梯孔534，阶梯孔534用于对螺纹套525进行限位。
该预存部件5的具体结构不唯一，但本发明的预存部件5作为一种优选的方案，其能够实现在预存计量体积的气体时还能够对气通口7的孔径进行调节。
该预存部件5在具体工作时，先进行计量体积气体预存：
以图1为例，直接通过外接的注气装置朝通入管51内注入气体，此时可通过在通入管51与气通口7的连接处设置的气体计量阀对气体进行临时阻挡，方便气体预存，之后，拉动推入柱塞523的端部，使推入柱塞523沿着存气腔522内壁滑动，而升高的推入柱塞523会抽入通入管51内的气体，原理相当于注射器。
而推入柱塞523升高时会压缩推动簧524，方便推入柱塞523回位，且升高的推入柱塞523还会带着螺纹套525一起升高，当滑动至所需的刻度出时，通过卡位条532上的阶梯孔534对螺纹套525进行限位，如此便完成了计量体积气体预存，该螺纹套525的具体结构如图5，该螺纹套525上设置了嵌槽，使得阶梯孔534能插入嵌槽。
计量体积气体的多少可以根据旋转螺纹套525在推入柱塞523上的位置来进行控制，螺纹套525越早滑出存气腔522便代表气体存储的越少。
如图1和图5所示，导入管53内滑动连接有用于同时封堵多个存气腔522的活动柱531。
该活动柱531可以起到同时封堵多个存气腔522的作用，防止存气腔522内气体全部跑出，该活动柱531可选择橡胶材料制成。
如图1和图5所示，通入管51包括调节囊套511，调节囊套511的两端均连接有一个连接管512，其中一个连接管512的端部与气通口7密封连接，此个连接管512的侧壁与固定排柱521连接，且此个连接管512远离气通口7的一端设置有收束套513，收束套513与调节囊套511的侧壁连接，收束套513的侧壁设置有多个辅助夹套514；
调节囊套511的侧壁套设有箍紧套515，箍紧套515能够沿着辅助夹套514表面滑动并推着收束套513收拢缩小调节囊套511的直径。
该通入管51的具体结构不唯一，但本实施例中的通入管51作为一种优选方案，其能够实现在气体注入时进行注入比例的调节也就是直接缩小通入管51的直径也就是对气通口7的孔径进行调节。
气通口7的孔径进行调节：
本实施例中，箍紧套515的具体结构如图2和图3所示，由外环以及安装在外环内壁的托起块组成，在具体调节时直接推动箍紧套515，之后箍紧套515会沿着辅助夹套514表面滑动，因辅助夹套514的结构如图5所示，当箍紧套515逐渐朝着靠近气通口7的方向活动时，箍紧套515会推着收束套513收拢缩小调节囊套511的直径，该调节囊套511的直径会由图2状态呈现为图3状态(也就是代表气通口7的状态)。
如图4所示，箍紧套515的侧壁连接有多个夹紧柱片516，夹紧柱片516能够推动调节囊套511的内壁紧贴以排出调节囊套511内残余气体，夹紧柱片516的侧壁安装有与箍紧套515连接的回位件517。
在调节囊套511内不再被冲入气体时，夹紧柱片516会在回位件517的拉动下推动调节囊套511的内壁紧贴以排出调节囊套511内残余气体，也就是说图4所示时，胀大的调节囊套511会推着回位件517拉伸。
如图5所示，活动柱531靠近导入管53的一端安装有与箍紧套515连接的拉动柱533，拉动柱533能够拉着活动柱531一起活动并拉着箍紧套515脱离收束套513。
当需要进行计量补偿时，直接拉动拉动柱533，之后拉动柱533会拉着活动柱531一起活动使计量气体可以进入气通口7，同时拉动柱533会拉着箍紧套515脱离收束套513。
辅助夹套514的表面开设有多个止回槽518，止回槽518能够防止箍紧套515在辅助夹套514的表面自动滑动。
以上实施例仅为本申请的示例性实施例，不用于限制本申请，本申请的保护范围由权利要求书限定。本领域技术人员可以在本申请的实质和保护范围内，对本申请做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本申请的保护范围内。
Claims (10)
1.一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：包括
存气室(1)，用于存储注入的多元气体；
防回机构(2)，贯穿设置在存气室(1)的侧壁；
通气预存机构(3)，安装在所述存气室(1)的顶端且与所述防回机构(2)连接；
其中，所述通气预存机构(3)包括贯穿连接在存气室(1)上的通入半封管(4)、多个预存部件(5)以及封口部件(6)；
所述通入半封管(4)靠近存气室(1)的一端与所述防回机构(2)侧壁连接，所述通入半封管(4)的侧壁呈环形设置有多个气通口(7)；所述封口部件(6)连接在所述通入半封管(4)的另一端；多个所述预存部件(5)分别与多个气通口(7)一一对应连接；
所述通入半封管(4)能够通过多个气通口(7)朝防回机构(2)内引入多种气体；所述封口部件(6)能够封堵单个或多个气通口(7)以控制进入防回机构(2)内的气体种类；所述预存部件(5)能够存储进入气通口(7)的气体并将存储的气体分成多股计量气体以在调节气体混合比例时进行计量气体补偿；所述防回机构(2)能够推动从通入半封管(4)引入的气体进入存气室(1)并将存气室(1)与通入半封管(4)分隔以防止气体回流。
2.根据权利要求1所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述防回机构(2)包括贯穿连接在存气室(1)侧壁的阻回柱(21)，所述阻回柱(21)内设置有推入腔(22)，所述推入腔(22)的侧壁与通入半封管(4)连通，所述推入腔(22)内滑动连接有推动块(23)，所述推动块(23)的侧壁连接有贯穿推入腔(22)至外侧的施力推柱(24)，所述施力推柱(24)能够带着推动块(23)在推入腔(22)内周期性滑动；
所述推入腔(22)在远离施力推柱(24)的一端内壁安装有单向隔片(25)。
3.根据权利要求2所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述封口部件(6)包括贯穿连接在通入半封管(4)远离存气室(1)的一端表面中心位置的螺纹柱(61)，所述螺纹柱(61)靠近存气室(1)的一端连接有封挡套(62)，所述封挡套(62)沿所述通入半封管(4)的内侧壁设置，所述封挡套(62)的表面开设有多个选通孔(63)；
所述螺纹柱(61)能够带着封挡套(62)沿通入半封管(4)的内侧壁滑动以使选通孔(63)逐渐脱离与气通口(7)的重合状态从而完成封堵至少一个气通口(7)的动作。
4.根据权利要求3所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述预存部件(5)包括与所述气通口(7)连接的通入管(51)，所述通入管(51)能够对进入气通口(7)的气体进行计量，所述通入管(51)的侧壁连接有预存柱管(52)，所述预存柱管(52)能够截流存储未经过通入管(51)计量的气体，所述预存柱管(52)的侧壁安装有导入管(53)，所述导入管(53)远离预存柱管(52)的一端连接在预存柱管(52)靠近气通口(7)的一端侧壁；
所述预存柱管(52)包括端部与通入管(51)侧壁连接的固定排柱(521)，所述固定排柱(521)内设置有多个存气腔(522)，所述存气腔(522)内贯穿连接有推入柱塞(523)，所述存气腔(522)与推入柱塞(523)的轴心重合，所述推入柱塞(523)能够被进入存气腔(522)内的气体推动沿存气腔(522)内壁升高，所述存气腔(522)内壁设置有刻度，所述存气腔(522)内设有与推入柱塞(523)连接的推动簧(524)，所述推动簧(524)能够推着推入柱塞(523)滑入存气腔(522)以使存气腔(522)内的计量气体进入气通口(7)，所述存气腔(522)靠近通入管(51)的一端也安装有单向隔片(25)。
5.根据权利要求4所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述导入管(53)内滑动连接有用于同时封堵多个存气腔(522)的活动柱(531)；
所述固定排柱(521)远离通入管(51)的一端连接有卡位条(532)，所述卡位条(532)能够对推入柱塞(523)升高的进程进行限制。
6.根据权利要求5所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述通入管(51)包括调节囊套(511)，所述调节囊套(511)的两端均连接有一个连接管(512)，其中一个所述连接管(512)的端部与所述气通口(7)密封连接，此个所述连接管(512)的侧壁与固定排柱(521)连接，且此个所述连接管(512)远离气通口(7)的一端设置有收束套(513)，所述收束套(513)与所述调节囊套(511)的侧壁连接，所述收束套(513)的侧壁设置有多个辅助夹套(514)；
所述调节囊套(511)的侧壁套设有箍紧套(515)，所述箍紧套(515)能够沿着辅助夹套(514)表面滑动并推着收束套(513)收拢缩小调节囊套(511)的直径。
7.根据权利要求6所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述箍紧套(515)的侧壁连接有多个夹紧柱片(516)，所述夹紧柱片(516)能够推动调节囊套(511)的内壁紧贴以排出调节囊套(511)内残余气体，所述夹紧柱片(516)的侧壁安装有与箍紧套(515)连接的回位件(517)。
8.根据权利要求7所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述活动柱(531)靠近导入管(53)的一端安装有与箍紧套(515)连接的拉动柱(533)，所述拉动柱(533)能够拉着活动柱(531)一起活动并拉着箍紧套(515)脱离收束套(513)。
9.根据权利要求8所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述推入柱塞(523)的侧壁螺纹连接有螺纹套(525)，所述螺纹套(525)套设在推动簧(524)内侧；
所述卡位条(532)的表面与推入柱塞(523)对应位置处开设有阶梯孔(534)，所述阶梯孔(534)用于对螺纹套(525)进行限位。
10.根据权利要求9所述的一种可调控气体混合比例的多元气体混合配比装置，其特征在于：所述辅助夹套(514)的表面开设有多个止回槽(518)，所述止回槽(518)能够防止箍紧套(515)在辅助夹套(514)的表面自动滑动。
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2021
- 2021-11-08 CN CN202111313087.4A patent/CN113893772B/zh active Active
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