CN113834907A - 连续多通道检测mo源浓度的装置 - Google Patents
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- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 48
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 40
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 20
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 13
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 2
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 2
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000407 epitaxy Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000002902 organometallic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0062—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method or the display, e.g. intermittent measurement or digital display
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G19/00—Weighing apparatus or methods adapted for special purposes not provided for in the preceding groups
- G01G19/52—Weighing apparatus combined with other objects, e.g. furniture
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N35/00—Automatic analysis not limited to methods or materials provided for in any single one of groups G01N1/00 - G01N33/00; Handling materials therefor
- G01N35/00584—Control arrangements for automatic analysers
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Pathology (AREA)
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Abstract
本发明的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的。
Description
技术领域
本发明涉及MO源领域，尤其涉及一种连续多通道检测MO源浓度的装置。
背景技术
MO源 （metalorganic source）种类繁多，在研究和生产中使用过的MO源超过70多种， MO源概念已超出金属有机化合物的范围，现在MO源的含义应是：凡在MOCVD外延技术中作为基本材料使用的金属或元素有机化合物统称为MO源，因此MO源在外国文献中常笼统地称为“MOCVD的前体物（Precursor）”。
现有技术专利 CN103924214A公开了一种蒸汽输送MO源连续供应系统，通过设置MO源储存罐往MO源钢瓶充MO源气，两个装置都设置有液位探头，MO源储存罐加热，MO源钢瓶恒温，MO源储罐温度只要高于低温鼓泡器温度即可， 不需要精确控温；当MO源钢瓶液位高时， 便直接从MO源钢瓶内输出MO源；当MO源钢瓶处于低液位时，便采用MO源储存罐向MO源钢瓶输送MO源， 再从MO源钢瓶输出MO源，可连续使用。但是目前，MO源应用在客户端MOCVD机台上使用时，浓度的准确且稳定输出是一个基础需求，所以MO源的生产在优化工艺和质量过程中需要对源的浓度稳定输出情况进行检测，且MO源使用周期甚至长达数月，中间存在老化，固态源自重压缩，板结等情况，造成输出浓度不稳定，无法满足客户需求。因此需要提供一种多通道连续检测MO源浓度的装置。
发明内容
为解决上述问题，本发明提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，通过增加旁通管路与测试管路分开以达到连续测试的目的，解决了背景技术中出现的问题。
本发明的目的是提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶，所有的源瓶共同通过进管路一连接有氮气缓冲罐；
所有的源瓶通过测试阀共同连接有测试管路，测试管路末端连接有浓度测试仪，浓度测试仪连接有末端管路；
所有的源瓶通过排出阀共同连接有旁通管路，旁通管路连接着缓冲罐；
末端管路上连接有第一吸收罐和第二吸收罐，缓冲罐也连接在末端管路上；
所有的源瓶与氮气缓冲罐之间还通过进管路二进行连接，进管路二连接有并联的流量计一和压力控制器。
进一步改进在于：所述氮气缓冲罐的进气端连接有气体纯化器。
进一步改进在于：所述第一吸收罐底部设置有电子秤。
进一步改进在于：所述流量计一和压力控制器的末端通过压差计与测试管路相连。
进一步改进在于：所述流量计一和压力控制器的末端通过阀门一以及氮气缓冲罐通过阀门二共同连接有真空泵一；所述末端管路的末端连接有真空泵二。
进一步改进在于：所述每个源瓶均连接有流量计二，流量计二连接着并联的末端管路和旁通管路。
进一步改进在于：所述源瓶连接着进管路一一端设置有阀门三；所述源瓶连接着进管路二一端设置有阀门四。
进一步改进在于：所述缓冲罐连接有真空压力表。
本发明的有益效果：本发明通过氮气缓冲罐作为系统载气，在进入系统前接入气体纯化器进行净化，氮气可通过进管路一进入到源瓶中，也可通过进管路二经压力控制器来调节后端压力；源瓶通过有旁通管路来连接缓冲罐对氮气直通到缓冲罐中，尾气通过吸收罐吸收经真空泵二排放；源瓶通过测试管路连接有浓度测试仪，来对MO源进行浓度测试，测试后的MO源进入到缓冲罐或吸收罐内；这样可通过开闭测试阀和排出阀来控制其中一个源瓶的MO源进行浓度测试，其余源瓶的MO源通过旁通管路通入缓冲罐，可连续对其中一个源瓶进行浓度测试；并且设置第一吸收罐底部设置有电子秤进行实时称重以提醒第一吸收罐内已经达到饱和需要及时更换；设置真空泵一进行进气，设置真空泵二进行排尾气；并且关闭阀门三开启阀门四使得进管路二工作，开启阀门三关闭阀门四使得进管路一工作；缓冲罐连接有真空压力表进行检测压力。
附图说明
图1是本发明的示意图。
图2是图1其中一个源瓶处的放大示意图。
其中：1-源瓶，2-进管路一，3-氮气缓冲罐，4-测试阀，5-测试管路，6-浓度测试仪，7-排出阀，8-旁通管路，9-缓冲罐，10-第一吸收罐，11-第二吸收罐，12-进管路二，13-流量计一，14-压力控制器，15-气体纯化器，16-电子秤，17-压差计，18-阀门一，19-阀门二，20-真空泵一，21-真空泵二，22-流量计二，23-阀门三，24-阀门四，25-真空压力表，26-排出阀，27- PLC面板。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步的详述，本实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
如图1和2所示，本实施例提供一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有四个源瓶1，所有的源瓶1共同通过进管路一2连接有氮气缓冲罐3；所有的源瓶1与氮气缓冲罐3之间还通过进管路二12进行连接，进管路二12连接有并联的流量计一13和压力控制器14；所述氮气缓冲罐3的进气端连接有气体纯化器15；这样通过氮气缓冲罐3作为系统载气，在进入系统前接入气体纯化器15进行净化，氮气可通过进管路一2进入到源瓶中，也可通过进管路二12经压力控制器来14调节后端压力。
所有的源瓶1通过测试阀4共同连接有测试管路5，测试管路5末端连接有浓度测试仪6，浓度测试仪6连接有末端管路7；所有的源瓶1通过排出阀26共同连接有旁通管路8，旁通管路8连接着缓冲罐9；
末端管路7上连接有第一吸收罐10和第二吸收罐11，缓冲罐9也连接在末端管路7上；所述末端管路7的末端连接有真空泵二21；源瓶1通过有旁通管路8来连接缓冲罐9对MO源直通到缓冲罐9中，尾气通过吸收罐吸收经真空泵二21排放；源瓶1通过测试管路5连接有浓度测试仪6，来对MO源进行浓度测试，测试后的MO源进入到缓冲罐9或吸收罐内；这样可通过开闭测试阀4和排出阀26来控制其中一个源瓶1进行浓度测试，其余源瓶1通过旁通管路8通入缓冲罐9，可连续对其中一个源瓶1进行浓度测试，从而多个源瓶可连续进行浓度测试。
所述第一吸收罐10底部设置有电子秤16进行实时称重以提醒第一吸收罐内已经达到饱和需要及时更换。所述流量计一13和压力控制器14的末端通过压差计17与测试管路5相连。这样氮气缓冲罐3的氮气可直接进行进入到测试管路5。
所述流量计一13和压力控制器14的末端通过阀门一18以及氮气缓冲罐3通过阀门二19共同连接有真空泵一20；所述每个源瓶1均连接有流量计二22，流量计二22连接着并联的末端管路7和旁通管路8。这样通过真空泵一20来进气，设置流量计二22监控每个源瓶出气流量。
所述源瓶1连接着进管路一2一端设置有阀门三23；所述源瓶1连接着进管路二12一端设置有阀门四24。这样关闭阀门三23开启阀门四24使得进管路二12工作，开启阀门三23关闭阀门四24使得进管路一2工作；所述缓冲罐8连接有真空压力表25进行检测压力。
本实施还通过设置PLC面板27来控制所有的阀门、流量计、压力控制器、真空泵、浓度测试仪。
实际使用时：MO源位于源瓶1中，通过氮气缓冲罐3经进管路一2或进管路二12进入到源瓶1中，进气的过程中进管路二12通过流量计一13监控流量，通过压力控制器14来调节后端压力；当需要测试其中一个源瓶1的MO源的浓度时，打开该源瓶1的测试阀4，关闭该源瓶1的排出阀7，使MO源进入到测试管路5内，之后通过浓度测试仪6进行测试浓度，测试的同时，其余三个源瓶1的测试阀4关闭，其余三个源瓶1的排出阀7打开使得MO源进入到缓冲罐9中，该测试时间可以维持0.5H或1H或1.5H，从而长时间单瓶连续测测试，能够充分体现某时间段内该MO源的浓度稳定性。
Claims (8)
1.一种连续多通道检测MO源浓度的装置，包括有至少四个源瓶（1），所有的源瓶（1）共同通过进管路一（2）连接有氮气缓冲罐（3）；
其特征在于：所有的源瓶（1）通过测试阀（4）共同连接有测试管路（5），测试管路（5）末端连接有浓度测试仪（6），浓度测试仪（6）连接有末端管路（7）；
所有的源瓶（1）通过排出阀（26）共同连接有旁通管路（8），旁通管路（8）连接着缓冲罐（9）；
末端管路（7）上连接有第一吸收罐（10）和第二吸收罐（11），缓冲罐（9）也连接在末端管路（7）上；
所有的源瓶（1）与氮气缓冲罐（3）之间还通过进管路二（12）进行连接，进管路二（12）连接有并联的流量计一（13）和压力控制器（14）。
2.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述氮气缓冲罐（3）的进气端连接有气体纯化器（15）。
3.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述第一吸收罐（10）底部设置有电子秤（16）。
4.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述流量计一（13）和压力控制器（14）的末端通过压差计（17）与测试管路（5）相连。
5.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述流量计一（13）和压力控制器（14）的末端通过阀门一（18）以及氮气缓冲罐（3）通过阀门二（19）共同连接有真空泵一（20）；所述末端管路（7）的末端连接有真空泵二（21）。
6.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述每个源瓶（1）均连接有流量计二（22），流量计二（22）连接着并联的末端管路（7）和旁通管路（8）。
7.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述源瓶（1）连接着进管路一（2）一端设置有阀门三（23）；所述源瓶（1）连接着进管路二（12）一端设置有阀门四（24）。
8.如权利要求1所述连续多通道检测MO源浓度的装置，其特征在于：所述缓冲罐（8）连接有真空压力表（25）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111057147.0A CN113834907A (zh) | 2021-09-09 | 2021-09-09 | 连续多通道检测mo源浓度的装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111057147.0A CN113834907A (zh) | 2021-09-09 | 2021-09-09 | 连续多通道检测mo源浓度的装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113834907A true CN113834907A (zh) | 2021-12-24 |
Family
ID=78958871
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111057147.0A Pending CN113834907A (zh) | 2021-09-09 | 2021-09-09 | 连续多通道检测mo源浓度的装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN113834907A (zh) |
-
2021
- 2021-09-09 CN CN202111057147.0A patent/CN113834907A/zh active Pending
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| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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