CN113829081A - 一种选择性能场辅助加工系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种选择性能场辅助加工系统。其中,该系统包括微米级高速识别模块、激光原位辅助模块、超声振动辅助模块、能场加载高速控制模块和金刚石刀具;其中,微米级高速识别模块用于快速识别待加工工件在加工过程中的材料基体类型,并将识别到的信息处理成相应的控制信号发送至包括电光调制器和超声电源控制器的能场加载高速控制模块中,实现对待加工工件的选择性加工,即采用激光原位辅助加工脆性颗粒,采用超声振动辅助加工软金属基体。本发明可以在一次加工过程中同时完成脆性颗粒和软金属基体的超精密切削,能实现脆性颗粒的高精度低损伤超精密切削,还能在加工软金属基体时有效抑制刀具磨损。

Description

一种选择性能场辅助加工系统
技术领域
本发明属于超精密加工技术领域,更具体地,涉及一种选择性能场辅助加工系统。
背景技术
硅铝合金、铝基碳化硅等复合材料,由软金属基体和脆性颗粒(硅、碳化硅等)组成,具有低密度、高比刚度、高抗疲劳性、高抗磨损性和高抗腐蚀性等优异的物理、化学和机械性能,广泛应用于航空航天、电子封装和生物技术中。加工表面完整性对复合材料零件性能具有重要影响。随着我国科技的进步与发展,对复合基材料的加工精度和加工质量提出了更高的要求。
金刚石切削技术具有加工效率高、加工自由度高、加工精度高、亚表面损伤低等优势,已被证实为制备复合材料高质量加工表面的一种有效加工手段。由于脆性颗粒大大降低了延性软金属基体的变形行为,容易造成脆性颗粒剥落,导致复合材料加工性能极低。而软金属基体的挤压变形和强烈摩擦,会使切屑与前刀面之间产生很大的压力和很高的切削温度,造成较大的积屑瘤,导致刀具发生粘着磨损,影响刀具寿命,降低工件表面加工质量。现有技术是在单步切深为微米量级的超精密金刚石切削加工中,采用多步切削工艺来实现几十微米厚度的材料去除。在复合材料的多步切削加工过程中,前一步切削过程中产生的残余应力对后续的材料去除产生强烈的影响,例如显著的应力松弛对颗粒-基体界面强度产生影响,进而影响刀具-颗粒之间的相互作用,这会导致复合材料加工表面质量难以提升,且加工效率不高。复合材料的高效高质量制造已经成为航天制造领域的“卡脖子”难题。
激光原位辅助切削技术可实现激光与刀具的耦合,使激光光束穿过刀具本体并聚焦于切削区域,使硬脆材料发生软化,提高脆性材料的塑性流动能力,抑制裂纹扩展、降低切削力,从而实现高效率高质量硬脆材料元件的超精密成形制造。但是对于复合材料,激光原位辅助加工技术会使软金属基体变得更软,导致加工过程中脆性颗粒更容易剥落,也会加剧刀具粘着磨损。同时金刚石刀具也更容易发热,发生热化学反应,导致使用寿命降低。超声振动辅助切削技术是一种间歇式的脉冲场辅助加工方法,在每一个振动周期内可实现纳米级材料去除,降低切削力,与此同时,刀具与工件间歇式接触,使切削液或空气更容易到达加工区域,优化冷却和润滑效果,降低切削热,减少刀具热化学反应,抑制积屑瘤的形成,可实现软金属材料的超精密加工。但在加工硬脆材料时存在因微观冲击作用造成刀具崩刃的风险,且受到振幅和频率限制,切削速度较低,加工效率较低。
因此,如何实现复合材料脆性颗粒的高效率高精度低损伤超精密切削,并能在加工复合材料软金属基体时有效抑制刀具磨损是亟需解决的问题。
发明内容
针对现有技术的缺陷,本发明的目的在于提供一种选择性能场辅助加工系统,可以在一次加工过程中同时完成脆性颗粒和软金属基体的超精密切削,能实现脆性颗粒的高精度低损伤超精密切削,还能在加工软金属基体时有效抑制刀具磨损。
为实现上述目的,本发明提供了一种选择性能场辅助加工系统,包括微米级高速识别模块、激光原位辅助模块、超声振动辅助模块、能场加载高速控制模块和金刚石刀具,其中,
所述微米级高速识别模块,用于快速识别待加工工件在加工过程中的材料基体类型,并将识别到的信息处理成相应的控制信号发送至包括电光调制器和超声电源控制器的所述能场加载高速控制模块中,实现对待加工工件的选择性加工;
当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为脆性颗粒时,所述电光调制器根据所述控制信号控制所述激光原位辅助模块产生激光能场,所述激光能场聚焦在所述金刚石刀具与所述待加工工件之间的切削区域,辅助所述金刚石刀具进行切削加工;当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为软金属基体时,所述超声电源控制器根据所述控制信号控制所述超声振动辅助模块产生超声能场,所述超声能场使所述金刚石刀具与所述待加工工件间歇式接触,实现对软金属基体的超精密加工。
本发明提供的选择性能场辅助加工系统,通过增加微米级高速识别模块和能场加载高速控制模块,将金刚石切削技术、激光原位辅助技术和超声振动辅助技术有机融合。能场加载高速控制模块根据微米级高速识别模块快速识别到的材料基体类型,控制激光能场、超声能场选择性地加载在待加工工件的不同基体上,即利用激光原位辅助模块辅助加工脆性颗粒,可有效提高脆性颗粒塑性流动能力和塑脆转变深度,抑制裂纹扩展,减小亚表面损伤;利用超声振动辅助加工软金属基体,能优化软金属基体切削冷却润滑效果,抑制刀具磨损,满足复合材料超高表面质量和面形精度的高效制造需求。
在其中一个实施例中,所述激光原位辅助模块包括光纤激光器和激光高频调控装置,其中,
所述光纤激光器的激光谐振腔内安装有所述电光调制器,所述电光调制器与所述微米级高速识别模块相连,当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为脆性颗粒时,所述电光调制器根据所述微米级高速识别模块发出的控制信号控制所述光纤激光器发射激光;
所述激光高频调控装置设置在所述光纤激光器发射的激光光线上,用于对所述激光的光斑形状、尺寸、能量进行高频调控,使所述激光投射到所述金刚石刀具上并聚焦在所述切削区域,实现激光能场辅助切削加工。
在其中一个实施例中,所述金刚石刀具的后端设置为椭球面。
在其中一个实施例中,所述光斑形状包括圆形光斑、椭圆形光斑或方形光斑;所述光斑直径为20~1000μm;所述能量分布包括均匀分布、高斯分布、椭圆高斯分布、超高斯分布或平顶高斯分布。
在其中一个实施例中,所述超声振动辅助模块安装在所述激光原位辅助模块的前端,所述超声振动辅助模块包括超声变幅杆、超声电源和压电陶瓷单元,所述压电陶瓷单元安装在所述超声变幅杆上,其中,
所述超声变幅杆的中心为通孔,用于使所述激光原位辅助模块产生的激光能场聚焦在所述切削区域;
所述超声电源、所述微米级高速识别模块分别与所述超声电源控制器相连,当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为软金属基体时,所述超声电源控制器根据所述微米级高速识别模块发出的控制信号控制所述超声电源产生高频振动信号;
所述压电陶瓷单元与所述超声电源相连,用于接收所述高频振动信号并将所述高频振动信号转换为机械振动信号,使安装在所述超声变幅杆前端的金刚石刀具产生二维超声振动,实现所述金刚石刀具与所述待加工工件间歇式接触。
在其中一个实施例中,所述压电陶瓷单元采用四组压电陶瓷片,包括环形压电陶瓷和半圆形压电陶瓷,用于使所述超声变幅杆同时产生轴向振动和弯曲振动,使所述金刚石刀具产生超声椭圆振动。
在其中一个实施例中,所述微米级高速识别模块包括信息快速采集单元和数据处理单元,其中,
所述信息快速采集单元,安装在所述金刚石刀具的前端,用于快速采集待加工工件的表面数据信息;
所述数据处理单元,与所述信息快速采集单元相连,用于收集和处理所述信息快速采集单元采集到的信息,并将采集到的信息处理为所述电光调制器和所述超声电源控制器的控制信号。
在其中一个实施例中,所述信息快速采集单元采用高速相机或光纤传感器。
在其中一个实施例中,所述数据处理单元采用工业级IPC,对所述高速相机采用二值化的图像识别处理,对所述光纤传感器采用光通量阈值比较处理。
附图说明
图1是一实施例中选择性能场辅助加工系统的模块示意图;
图2是一实施例中选择性能场辅助加工系统的技术原理框图;
图3是一实施例中选择性能场辅助加工系统辅助加工过程示意图;
图4是一实施例中选择性能场辅助加工系统的结构示意图;
图5是一实施例中选择性能场辅助加工系统的剖面结构示意图。
图6是一实施例中选择性能场辅助加工系统的能场切换示意图;
图7是一实施例中选择性能场辅助加工系统的控制流程示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
本发明提供了一种选择性能场辅助加工系统,可用于任何材料、形状的工件进行选择性加工,本发明以该系统用于对复合材料工件进行选择性加工为例进行详细说明。
请先查阅图1,图1是本发明一实施例提供的选择性能场辅助加工系统的模块示意图,如图1所示,本实施例提供的选择性能场辅助加工系统包括微米级高速识别模块100、激光原位辅助模块200、超声振动辅助模块300、能场加载高速控制模块500和金刚石刀具400。
其中,微米级高速识别模块100,采用微米级高速识别技术,可快速识别待加工复合材料在加工过程中的材料基体类型,并将识别到的信息处理成相应的控制信号发送至包括电光调制器510和超声电源控制器520的能场加载高速控制模块500,利用能场加载高速控制模块500实现激光原位辅助模块200、超声振动辅助模块300对复合材料的选择性加工。
即当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为脆性颗粒时,如硅基部分时,电光调制器510根据其发出的控制信号控制激光原位辅助模块200产生激光能场,且该激光能场聚焦在金刚石刀具400与待加工复合材料之间的切削区域,即金刚石刀具400的切削刃口处,利用激光能场使脆性颗粒加热软化和材料改性,继而通过金刚石刀具400对该脆性颗粒进行切削加工,可有效提高脆性材料的塑性流动能力,抑制裂纹扩展、降低切削力,从而实现高效率高质量硬脆材料元件的超精密成形制造。
当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为软金属基体时,如铝基部分时,超声电源控制器520根据其发出的控制信号控制超声振动辅助模块300产生超声能场,该超声能场作用在金刚石刀具400上,使金刚石刀具400和待加工复合材料间歇式接触,从而使切削过程中切削液或空气更容易到达切削区域,优化冷却和润滑效果,降低切削热,减少刀具热化学反应,抑制积屑瘤的形成,实现软金属基体的超精密加工。
本实施例提供的选择性能场辅助加工系统,通过增加微米级高速识别模块100和能场加载高速控制模块500,将金刚石切削技术、激光原位辅助技术和超声振动辅助技术有机融合。能场加载高速控制模块500根据微米级高速识别模块100快速识别到的材料基体类型,控制激光能场、超声能场选择性地加载在待加工复合材料的不同基体上,即利用激光原位辅助加工脆性颗粒,可有效提高脆性颗粒塑性流动能力和塑脆转变深度,抑制裂纹扩展,减小亚表面损伤;利用超声振动辅助加工软金属基体,能优化软金属基体切削冷却润滑效果,抑制刀具磨损,满足复合材料超高表面质量和面形精度的高效制造需求。
在一个实施例中,参见图2和图3,激光原位辅助模块200可包括光纤激光器210和激光高频调控装置220(图2中未示出)。
其中,光纤激光器210的激光谐振腔内安装有电光调制器510,电光调制器510与微米级高速识别模块100相连,当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为脆性颗粒52时,电光调制器510根据微米级高速识别模块100发出的控制信号控制光纤激光器210发射激光21,即电光调制器510通过不阻断光纤激光器210的谐振通道来容许其激光脉冲产生。具体地,光纤激光器210的激光功率可设置在0~100W范围内可调。
激光高频调控装置220设置在光纤激光器210发射的激光光线21上,用于对激光21的光斑形状、尺寸、能量进行高频调控,使激光21投射到金刚石刀具400上并聚焦在金刚石刀具400的切削刃口处,实现激光能场辅助切削加工。为保证激光能实现精准聚焦,本实施例提供的金刚石刀具400后端可设置为椭球面,该椭球面可以确保投射到椭球面上任意一处的激光21均可以经过折射聚焦到刀具切削刃口处,保证激光能实现精准聚焦,实现切削区域精确加热软化。
具体地,激光高频调控装置220可包括激光调控器222和聚焦透镜224,参见图4,激光高频调控装置220可安装于最小运动量为1μm的精密微位移运动平台60上,通过调节激光发射位置与聚焦透镜224的距离、方向等,可实现激光能量分布、光斑直径、光斑形状的多种调节;激光发射位置与所选的金刚石刀具400具有一定的关系,不同前角的刀具激光经过聚焦后在辐照于工件表面的位置有所区别,通过调节聚焦透镜224的高低可以实现光斑位置的上下调整。激光光束与聚焦透镜224光斑焦点的距离决定了光束聚焦程度,影响光斑的大小、形状等。因此通过调节聚焦透镜224的距离可以实现不同光斑大小、形状的调节。激光光束位置聚焦透镜224焦点位置时,光斑聚焦程度最好,此时光斑直径最小为20μm;当距离调节到行程最大值时,光束聚焦程度较小,此时光斑直径最大,可达1000μm。不同能量分布的调节可主要改变了激光光束最高能量的位置,其主要通过改变聚焦透镜224与激光光束入射时的相对位置实现,束腰高斯激光中心位置能量最高,此时激光光束与聚焦透镜224焦点保持在同一水平。
其中,激光能量分布包括均匀分布、高斯分布、椭圆高斯分布、超高斯分布、平顶高斯分布等;光斑直径在20~1000μm范围内可进行任意调控;光斑形状包括圆形光斑、椭圆形光斑、方形光斑等。
在一个实施例中,参见图3~图5,超声振动辅助模块300安装在激光原位辅助模块200的前端,超声振动辅助模块300包括压电陶瓷单元310、超声变幅杆320和超声电源330,压电陶瓷单元310安装在超声变幅杆320上。
其中,超声变幅杆320的中心为通孔,用于使光纤激光器210发射的激光聚焦在金刚石刀具400的切削刃口处。
超声电源330、微米级高速识别模块100分别与超声电源控制器520相连,当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为软金属基体54时,超声电源控制器520根据微米级高速识别模块100发出的控制信号控制超声电源330产生高频振动信号。
压电陶瓷单元310与超声电源330相连,用于接收高频振动信号并将高频振动信号转换为机械振动信号,使安装在超声变幅杆320前端的金刚石刀具400产生二维超声振动,实现金刚石刀具400与待加工复合材料50间歇式接触。
具体地,压电陶瓷单元310可采用四组压电陶瓷片,包括环形压电陶瓷和半圆形压电陶瓷,可以使超声变幅杆320同时产生轴向振动和弯曲振动,使安装于超声变幅杆320前端的金刚石刀具400能够产生超声椭圆振动,超声椭圆振动在每个振动周期内进行材料去除之后能够及时将切屑带出,避免刀具前刀面出现材料堆叠,避免切屑对原位辅助激光光路的影响。优选地,压电陶瓷单元310使金刚石刀具400产生的超声椭圆振动的振动频率达40kHz以上,轴向振幅和横向振幅均达4μm以上。
在一个实施例中,微米级高速识别模块100包括信息快速采集单元110和数据处理单元120,快速采集单元110与数据处理单元120相连,其中,快速采集单元110用于快速采集待加工工件的表面数据信息;数据处理单元120用于收集和处理信息快速采集单元110采集到的信息,并将采集到的信息处理为上述电光调制器510和超声电源控制器520的控制信号。
具体地,信息快速采集单元110可安装在金刚石刀具400的前端,能有效减少识别带来的延迟,以便能场能够准确的选择性加载。
考虑到脆性颗粒尺寸在20~150μm,切削速度0.5~5m/min,信息快速采集单元110可选用高速相机或光纤传感器实时采集复合材料表面数据。数据处理单元120可选用工业级IPC作为数据处理控制器,对于高速相机采用二值化的图像识别处理,对于光纤传感器采用光通量阈值比较处理。可实现高速旋转下对待加工复合材料50表面数据采集,具有微米级采集区域、稳定性高、延迟小、采集频率高的特点。采用的数据处理单元120可对采集到的数据进行实时处理,并能快速发出控制指令,对不同材料采取不同的加工措施。
上述实施例提供的选择性能场辅助加工系统的工作原理为:当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为脆性颗粒52时,微米级高速识别模块100将识别的信息处理成一控制信号,发送至电光调制器510和超声电源控制器520,超声电源控制器520根据该控制信号控制超声电源330不产生高频振动信号,而电光调制器510根据该控制信号通过不阻断光纤激光器210的谐振通道来允许激光脉冲产生,使激光21聚焦于刀具刃口处,从而精准加热软化切削区域,实现脆性颗粒的超精密加工。
当微米级高速识别模块100识别到的材料基体类型为软金属基体54时,微米级高速识别模块100将识别的信息处理成另一控制信号,发送至电光调制器510和超声电源控制器520,超声电源控制器520根据该控制信号控制超声电源330供电产生高频振动信号,使刀具与工件间歇式接触,而电光调制器510根据该控制信号则切断光纤激光器210的谐振通道来抑制激光脉冲产生,使激光无法加载到切削区域中,从而实现对软金属基体的超精密加工。具体可参见图6,图6为本实施例提供的选择性能场辅助加工系统的能场切换示意图。
本发明提供的选择性能场辅助加工系统可搭建在超精密加工上,如图4和图5所示,该超精密加工包括装夹装置、加工装置和前述的选择性能场辅助加工系统。待加工复合材料50通过真空吸附在装夹装置的主轴90上,超声振动辅助模块300固定在激光原位辅助模块200前端,激光原位辅助模块200固定在加工装置的刀架座70上。微米级高速识别模块100中的信息快速采集单元110固定于金刚石刀具400前端设置的支架80上,使采集区域前置于切削区域。本发明提供的选择性能场辅助加工系统通过微米级高速识别技术实时识别加工过程中的材料基体类型,并将识别信息处理成控制信号,发送至电光调制器510和超声电源控制器520中,实现待加工复合材料50的选择性加工,即采用激光原位辅助加工脆性颗粒52,采用超声振动辅助加工软金属基体54,以满足待加工复合材料50超高表面质量和面形精度的高效制造需求。
本实施例提供的选择性能场辅助加工系统结构简单、集成化程度高,可以在一次加工过程中同时完成脆性颗粒和软金属基体的超精密加工,能够在满足制造精度的前提下,增加切削深度,提高生产效率。
参见图7,使用本实施例的选择性能场辅助加工系统实施本发明的选择性加工具体包括如下步骤:
首先通过信息快速采集单元110快速采集待加工复合材料的表面数据信息,并将该信息传递给数据处理单元120。
然后利用数据处理单元120将该信息处理为控制信号,发送至电光调制器510和超声电源控制器520。
当刀尖区域识别为软金属基体54时,超声电源控制器520控制超声电源330产生高频振动信号,安装在超声变幅杆320上的压电陶瓷单元310将电信号转换为机械振动信号,使安装于超声变幅杆320前端的金刚石刀具400产生二维超声振动,刀具与工件间歇式接触,从而实现对软金属基体54的超精密加工;当刀尖区域识别为脆性颗粒52时,电光调制器510通过不阻断光纤激光器210的谐振通道来允许激光脉冲产生,激光高频调控装置220通过调节激光出射位置与聚焦透镜的距离、方向等,使激光21聚焦于刀具刃口处,从而精准加热软化切削区域,实现脆性颗粒52的超精密加工。
本实施例提供的选择性能场辅助加工系统,充分发挥激光能场和超声能场的优势,选择性地加载在复合材料不同基体上,利用激光原位辅助技术提高脆性颗粒52塑性流动能力和塑脆转变深度,抑制裂纹扩展,减小亚表面损伤。利用超声振动辅助技术优化软金属基体54切削冷却润滑效果,抑制刀具磨损,以满足复合材料超高表面质量和面形精度的高效制造需求。本发明不仅适用于复合材料工件,也适用于其他材料、其他形状的工件的选择性加工。
本领域的技术人员容易理解,以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种选择性能场辅助加工系统,其特征在于,包括微米级高速识别模块、激光原位辅助模块、超声振动辅助模块、能场加载高速控制模块和金刚石刀具,其中,
所述微米级高速识别模块,用于快速识别待加工工件在加工过程中的材料基体类型,并将识别到的信息处理成相应的控制信号发送至包括电光调制器和超声电源控制器的所述能场加载高速控制模块中,实现对待加工工件的选择性加工;
当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为脆性颗粒时,所述电光调制器根据所述控制信号控制所述激光原位辅助模块产生激光能场,所述激光能场聚焦在所述金刚石刀具与所述待加工工件之间的切削区域,辅助所述金刚石刀具进行切削加工;当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为软金属基体时,所述超声电源控制器根据所述控制信号控制所述超声振动辅助模块产生超声能场,所述超声能场使所述金刚石刀具与所述待加工工件间歇式接触,实现对软金属基体的超精密加工。
2.根据权利要求1所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述激光原位辅助模块包括光纤激光器和激光高频调控装置,其中,
所述光纤激光器的激光谐振腔内安装有所述电光调制器,所述电光调制器与所述微米级高速识别模块相连,当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为脆性颗粒时,所述电光调制器根据所述微米级高速识别模块发出的控制信号控制所述光纤激光器发射激光;
所述激光高频调控装置设置在所述光纤激光器发射的激光光线上,用于对所述激光的光斑形状、尺寸、能量进行高频调控,使所述激光投射到所述金刚石刀具上并聚焦在所述切削区域,实现激光能场辅助切削加工。
3.根据权利要求1或2所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述金刚石刀具的后端设置为椭球面。
4.根据权利要求2所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述光斑形状包括圆形光斑、椭圆形光斑或方形光斑;所述光斑直径为20~1000μm;所述能量分布包括均匀分布、高斯分布、椭圆高斯分布、超高斯分布或平顶高斯分布。
5.根据权利要求1或2所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述超声振动辅助模块安装在所述激光原位辅助模块的前端,所述超声振动辅助模块包括超声变幅杆、超声电源和压电陶瓷单元,所述压电陶瓷单元安装在所述超声变幅杆上,其中,
所述超声变幅杆的中心为通孔,用于使所述激光原位辅助模块产生的激光能场聚焦在所述切削区域;
所述超声电源、所述微米级高速识别模块分别与所述超声电源控制器相连,当所述微米级高速识别模块识别到的材料基体类型为软金属基体时,所述超声电源控制器根据所述微米级高速识别模块发出的控制信号控制所述超声电源产生高频振动信号;
所述压电陶瓷单元与所述超声电源相连,用于接收所述高频振动信号并将所述高频振动信号转换为机械振动信号,使安装在所述超声变幅杆前端的金刚石刀具产生二维超声振动,实现所述金刚石刀具与所述待加工工件间歇式接触。
6.根据权利要求5所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述压电陶瓷单元采用四组压电陶瓷片,包括环形压电陶瓷和半圆形压电陶瓷,用于使所述超声变幅杆同时产生轴向振动和弯曲振动,使所述金刚石刀具产生超声椭圆振动。
7.根据权利要求1所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述微米级高速识别模块包括信息快速采集单元和数据处理单元,其中,
所述信息快速采集单元,安装在所述金刚石刀具的前端,用于快速采集待加工工件的表面数据信息;
所述数据处理单元,与所述信息快速采集单元相连,用于收集和处理所述信息快速采集单元采集到的信息,并将采集到的信息处理为所述电光调制器和所述超声电源控制器的控制信号。
8.根据权利要求7所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述信息快速采集单元采用高速相机或光纤传感器。
9.根据权利要求8所述的选择性能场辅助加工系统,其特征在于,所述数据处理单元采用工业级IPC,对所述高速相机采用二值化的图像识别处理,对所述光纤传感器采用光通量阈值比较处理。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114850936A (zh) * 2022-05-17 2022-08-05 南京航空航天大学 一种双步多分区力调控的自适应超声辅助加工平台及方法
CN114918736A (zh) * 2022-06-13 2022-08-19 重庆大学 一种适用于难加工材料的智能工艺系统
WO2023061161A1 (zh) * 2021-10-15 2023-04-20 华中科技大学 一种选择性能场辅助加工系统
CN116079432A (zh) * 2023-01-04 2023-05-09 重庆大学 一种基于智能刀柄的超声铣削自适应调控装置

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1934895A (zh) * 2004-03-16 2007-03-21 大日精化工业株式会社 光控制式光路切换型数据分布装置和分布方法
US20110092972A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-21 Tyco Healthcare Group Lp Methods for Ultrasonic Tissue Sensing and Feedback
WO2020006062A1 (en) * 2018-06-26 2020-01-02 Db Sonics, Inc. Sonotrode and method of manufacturing
CN111069767A (zh) * 2019-12-31 2020-04-28 华中科技大学 一种超声振动微激光辅助复合单点金刚石切削加工系统
CN112621551A (zh) * 2020-12-19 2021-04-09 华中科技大学 一种可快速定位的超精密晶圆磨削设备

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6980571B1 (en) * 2002-05-17 2005-12-27 Lpl Systems, Inc. Laser cutting method and system
US7804043B2 (en) * 2004-06-15 2010-09-28 Laserfacturing Inc. Method and apparatus for dicing of thin and ultra thin semiconductor wafer using ultrafast pulse laser
CN105710980B (zh) * 2016-01-17 2017-08-22 长春理工大学 激光原位辅助机械刻划硬脆材料的装置及方法
CN212599634U (zh) * 2020-06-01 2021-02-26 广东宏石激光技术股份有限公司 一种具有识别材料功能的激光加工头
CN113829081B (zh) * 2021-10-15 2022-06-07 华中科技大学 一种选择性能场辅助加工系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1934895A (zh) * 2004-03-16 2007-03-21 大日精化工业株式会社 光控制式光路切换型数据分布装置和分布方法
US20110092972A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-21 Tyco Healthcare Group Lp Methods for Ultrasonic Tissue Sensing and Feedback
WO2020006062A1 (en) * 2018-06-26 2020-01-02 Db Sonics, Inc. Sonotrode and method of manufacturing
CN111069767A (zh) * 2019-12-31 2020-04-28 华中科技大学 一种超声振动微激光辅助复合单点金刚石切削加工系统
CN112621551A (zh) * 2020-12-19 2021-04-09 华中科技大学 一种可快速定位的超精密晶圆磨削设备

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023061161A1 (zh) * 2021-10-15 2023-04-20 华中科技大学 一种选择性能场辅助加工系统
CN114850936A (zh) * 2022-05-17 2022-08-05 南京航空航天大学 一种双步多分区力调控的自适应超声辅助加工平台及方法
CN114918736A (zh) * 2022-06-13 2022-08-19 重庆大学 一种适用于难加工材料的智能工艺系统
CN114918736B (zh) * 2022-06-13 2023-11-21 重庆大学 一种适用于难加工材料的智能工艺系统
CN116079432A (zh) * 2023-01-04 2023-05-09 重庆大学 一种基于智能刀柄的超声铣削自适应调控装置
CN116079432B (zh) * 2023-01-04 2024-03-26 重庆大学 一种基于智能刀柄的超声铣削自适应调控装置

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