JP2020078805A - ガルバノスキャナー光学系 - Google Patents
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Abstract
【課題】大出力のレーザ装置を用いたときの加工速度を向上することができるスキャナー光学系を提供する。【解決手段】DOEまたはホモジナイザーと1対の対向したアクシコンレンズをさらに設置することで、レーザの強度分布はガウシアン分布から環状分布に変換され、アクシコンレンズが破損することなく、ガウシアン分布またはトップハット分布から環状の強度分布に変換してワークに照射して、大出力のレーザ装置を用いたときの加工速度を向上する。【選択図】図2
Description
この発明は、金属・セラミックス・樹脂、CFRP複合材料などの材料をレーザ加工装置に使用されるガルガノスキャナー光学系、とくに穴あけ加工や切断加工の目的でレーザ熱源を利用するための光学系として利用する際のスキャナー光学系に関するものである。
近年、CFRP、GFRPなどの繊維強化複合材料はすでに航空機産業や自動車産業では機体や車体および部品に適用されるようになった。現状として、その穴あけや切断にはダイヤモンドカッター、ダイヤモンドコーティングした切削工具を用いた機械切削・穴あけやウオータジェット切断などが利用されている。しかし、CFRP複合材料やFRM複合材料などの複合材料はマトリックスと強化材の繊維が異なる材質・物性であるために、その切断、穴あけ、溝加工などの除去加工が容易ではない。たとえば、ダイヤモンド工具による切削時には炭素繊維が空中に飛散したりすると作業者が吸引し、人体に大きな問題となる。また、高価な切削工具の摩耗が損傷しやすく、加工費が高価となる。また、金属および金属と非金属の複合材料からなる電機製品や機械部品に微細な穴あけを多数あけるとき、50μm以下の穴径になると、ドリルによる機械的穴あけも困難となる。ウオータジェット切断では機械が非常に高価であり、切断後に用いた研削材を水と分離処理する必要があるなど、問題点がある。そこで、レーザ加工を適用するとこのような加工困難な材料を高速加工することが可能である。すなわち、高輝度で高出力のレーザ加工機が発達し、レーザ装置にガルバノスキャナーを付けて高速加工する技術が背景としてある。
図1は従来の3次元ガルバノスキャナーの光学系を示す。図1において、1はスキャナーの筐体、2はレーザ発振器からのプロセスファイバーのコネクター、3はコリメーションレンズで、プロセスファイバーから出射されたレーザビームを平行なビームにコリメイトするレンズである。4はZ軸調整レンズで、5はZ軸調整レンズ4で調整されたビームを被加工物(ワーク)7近傍にレーザビームを集光する集光レンズである。6aは集光されたレーザビームをもう1つのガルガノミラー6bに照射するガルバノミラーである。このとき、両ガルバノミラーはX方向またはY方向の回転速度および回転角がコンピュータにより制御されて駆動するのが通常である。図中の矢印はレーザビームの伝送経路を模擬的に示している。また、この経路のA断面およびB断面におけるレーザ強度分布も模式的に図中に示す。なお、2次元のガルバノスキャナーの場合はZ軸調整レンズ4は利用されない。
次に動作について説明する。レーザ発振器から出力されたレーザビームはファイバーコネクター2を通してスキャナー筐体1中に入ってくる。入射したビームは放射状に拡がるので、コリメートレンズ3で平行ビームに成形される。ワーク7表面にビーム焦点が来るように調整するのはZ軸調整レンズ4および集光レンズ5が利用される。両ガルバノミラー6aおよび6bはX方向またはY方向の回転速度および回転角がコンピュータにより制御されて駆動するので ワーク表面で、任意のビーム駆動が可能となる。
従来のガルバンスキャナーは以上のように構成されており、従来の光学系においては、レーザ発振器からファイバー伝送されたレーザビームの強度分布は 大きく変化しなく、入射ビームの強度分布Aがガウシアン分布の場合はワーク表面での強度分布Bもガウシアン分布である。トップハット分布ならば トップハット分布となる、図1に示されたようにビームの強度分布を大きく変換する光学系がないので、環状の強度分布で加工したいときは、そのような加工ができないという問題点があった。近年は、DOE(回折光学素子)を用いて、レンズ3とレンズ4の間に配置して、ある特定の強度分布に変換できるが、この方法は1つの分布を作成する費用が100万円を超えたりするので、種々の強度分布を作成する時は大変高価となる問題点がある。
従来のガルバンスキャナーは以上のように構成されており、従来の光学系においては、レーザ発振器からファイバー伝送されたレーザビームの強度分布は 大きく変化しなく、入射ビームの強度分布Aがガウシアン分布の場合はワーク表面での強度分布Bもガウシアン分布である。トップハット分布ならば トップハット分布となる、図1に示されたようにビームの強度分布を大きく変換する光学系がないので、環状の強度分布で加工したいときは、そのような加工ができないという問題点があった。近年は、DOE(回折光学素子)を用いて、レンズ3とレンズ4の間に配置して、ある特定の強度分布に変換できるが、この方法は1つの分布を作成する費用が100万円を超えたりするので、種々の強度分布を作成する時は大変高価となる問題点がある。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされたもので、光軸に垂直な面内のレーザビームの強度分布をガウシアン分布またはトップハット分布から環状の強度分布に変換してワークに照射して、大出力のレーザ装置を用いたときの加工速度を向上することができるスキャナー光学系を提供することである。
この発明のスキャナー光学系は、図2に示すように、レーザ発振器からの高出力密度のレーザ光をファイバーコネクター2を通してスキャナー1に導光したレーザビームの強度分布(ガウシアン分布)Aからは環状分布CおよびDに変換するために考案したものである。出力密度が100kW/cm2以上の高出力密度のレーザビームをアクシコンレンズ9に入射すると、同レンズの円錐体の頂点で、発熱が多く、破損する可能性があるので、入射前に、DOEまたはホモジナイザー8を設置し、これらの光学部品8を透過すると、強度分布はガウシアン分布Aからトップハット分布Bに変換され、その後で、対向した1対のアクシコンレンンズ9および10にレーザビームを透過させることにより、アクシコンレンズが破損することなく、強度分布をトップハット分布Bから環状分布CまたはDの強度分布に変換できる。このように本発明はレーザ出力が1kW以上で、出力密度が10kW/cm2以上のレーザビームをガウシアン分布から環状分布に変換する機能を有するスキャナー光学系の考案である。なお、図2の中に示したコリメーションレンズ3、Z軸調整レンズ4、集光レンズ5、ガルバノミラー6a及び6b、被加工物(=ワーク)7は図1と同様のものである。
この発明の請求項1によるスキャナ光学系は、任意の内径外径を有する円環状へのレーザビームの整形を、レーザ発振器と集光レンズとの間に、まずホモジナイザーまたはDOE(回折光子)を設置し、スキャナーに入射したガウシアン状やこれに近い強度分布を持つレーザビームをトップハット状分布に変換した後、対向して設置された2個のアクシコンレンズ9および10を透過させて、トップハット状分布を環状分布に変換する機構をもつものである。
この発明の請求項2によるスキャナ光学系は、対向して設置された2個のアクシコンレンズ9および10の間隔を変化させることにより透過後のビーム径や強度分布の調整を行うことができるものである。
この発明の請求項3によるスキャナ光学系で用いられるDOEおよびホモジナイザで調整されるガウシアン分布のレーザビームエリアはビーム径の2分の1のエリアの出力密度を最高強度の10分の1から10分の5の範囲で行うものとする。
この発明の請求項4によるスキャナ光学系は、対向して設置された2個のアクシコンレンズ9および10の間隔を変化させることにより、透過後のレーザ強度分布は
図3に示すような外周部の強度が高く、中心部の強度が弱い環状分布とすることにより、比較的厚い各種材料を容易にレーザ切断または穴あけを行う特徴をものである。
図3に示すような外周部の強度が高く、中心部の強度が弱い環状分布とすることにより、比較的厚い各種材料を容易にレーザ切断または穴あけを行う特徴をものである。
この発明のスキャナー光学系においては、被加工物7付近での、光軸に垂直な面内での光強度分布を所定の光強度分布に調整する調整手段を有するので、ビーム外周部で強度が高く、ビーム中心部で強度が低くなる分布形状のレーザビームが成形できるので、刃物でいうと鋭利な刃をもつビームとなり、厚板をより高速に加工ができる。
以下、本発明の好適な実施の形態を、図面を参照して詳細に説明する。
実施例1.以下、この発明の一実施例を図2に従って説明する。図2において、1はガルバノスキャナーの筐体である。3kWのシングルモードのファイバーレーザ発振器から出力されたレーザビームは、この筐体に取付けたファイバーコネクター2を通して筐体1内へ導入される。導入されたレーザビームの強度分布はガウシアン分布のものであり、放射状に拡がるので、コリメーションレンズ3により平行ビームに調整される。強度分布Aはこの時の強度分布を模式的に示す。この時の平行ビームのビーム径は約1mm〜5mmであり、レーザ出力が3kWとすると、ビーム径2mmとすると約10万W/cm2となる。
上記のレーザビームをさらに、ホモジナイザーまたはDOE(回折光学素子)を用いて、し、スキャナーに入射したガウシアン状の強度分布を持つレーザビームをトップハット状分布Bに変換する。その後、対向して設置された2個のアクシコンレンズ9および10を透過させることにより、トップハット状分布を環状分布に変換する機構をもつものである。図3はこのときの強度分布の詳細を示し、ビーム外周部の強度が高く、ビーム中心の強度が低い環状分布となるように調整する。
従来の技術では、ガウシアン強度分布をもつファイバーレーザ装置とスキャナーを用いてCFRP複合材料(板厚:2.0mm)を高速レーザ切断すると、レーザ出力2kW、スキャナーのスキャン速度を4m/sの高速で、30回スキャンして加工した場合、図4に示すように、CFRPの切断断面は樹脂の黒化領域が約388μmと幅広く生じる。
本発明のスキャナーを用いれば、黒化領域の幅が100μm以下になる。
黒化領域の幅が388μmでは工業的にはNGであるが、100μm以下になれば、許容される場合が多い。従来のウオータジェット切断の加工速度に比べて、数10倍の高速でCFRP部材のレーザ加工が可能となる。
本発明のスキャナーを用いれば、黒化領域の幅が100μm以下になる。
黒化領域の幅が388μmでは工業的にはNGであるが、100μm以下になれば、許容される場合が多い。従来のウオータジェット切断の加工速度に比べて、数10倍の高速でCFRP部材のレーザ加工が可能となる。
実施例2.次に、この発明の他の実施例2について説明する。本発明のガルバノスキャナーを用いて、5mm厚さのセラミックスを4m/sの高速でレーザ溝加工をすれば、その溝の断面形状は矩形の溝となり、セラミックスの表面処理が加工となる。
以上のように、本発明の請求項1によればレーザ発振器からのレーザビームの強度分布を加工目的に適応させることにより、CFRP複合材料のような切断が困難な材料でも、熱影響部の幅を工業的に許容される100μm以下のレベルまで狭くでき、従来法に比べ、高速のレーザ加工ができる。
本発明のガルバノスキャナーを用いることにより、従来 困難であったCFRP複合材料を高速でレーザ加工できるので、自動車産業や航空機産業で応用されているCFRP部材の高速レーザ切断やレーザ穴あけが利用可能となる。
1 ガルバノスキャナーの筐体
2 ファイバーコネクター
3 コリメーションレンズ
4 Z軸調整レンズ
5 集光レンズ
6 ガルバノミラー(6a:Xガルバノミラー,および 6b:Yガルバノミラー)
7 被加工物(ワーク)
8 DOEまたはホモジナイザー
9 アクシコンレンズ1
10 アクシコンレンズ2
2 ファイバーコネクター
3 コリメーションレンズ
4 Z軸調整レンズ
5 集光レンズ
6 ガルバノミラー(6a:Xガルバノミラー,および 6b:Yガルバノミラー)
7 被加工物(ワーク)
8 DOEまたはホモジナイザー
9 アクシコンレンズ1
10 アクシコンレンズ2
Claims (4)
- レーザ加工用ガルバノスキャナーに導光されたビームの強度分布をガウシアン分布から環状の強度分布に変換する方法として、レーザ発振器からの高出力密度のレーザ光をファイバーコネクターを通してスキャナーに導光された出力密度が100kW/cm2以上の高出力密度のレーザビームの強度分布がガウシアン分布のものを、DOE(回折光学素子)またはホモジナイザーを透過させて、強度分布をガウシアン分布Aからトップハット分布Bに変換させ、その後で、対向した1対のアクシコンレンンズにレーザビームを透過させることにより、アクシコンレンズが破損することなく、強度分布をトップハット分布から環状強度分布に変換した後、Xガルバノミラー、集光レンズおよびYガルバノミラーを用いて、被加工物に環状強度分布のレーザビームを高速で走査できるように設定した1式のガルバノスキャナー光学系。
- 請求項1に示される当該アクシコンレンズは1対のアクシコンレンズが対向して配置され、それらの間隔またはアクシコンレンズの頂角などを変化させることにより、これらのレンズを透過後のビーム径や強度分布の調整を行うことができる特徴をもつものである。
- 請求項1に示される当該DOEおよびホモジナイザで調整されるガウシアン分布のレーザビームエリア(光軸と垂直な断面のエリア)はコリメイト後のビーム径の2分の1の中心部エリアの出力密度を最高出力強度の20分の1から10分の5の範囲で調整できることを特徴とするものである。
- 請求項1から請求項3までに示されるガルバノスキャナ光学系で最終的に得られる環状強度分布は被加工物(=ワーク)の表面では外周部の強度が非常に高く、中心部の強度が弱い環状分布とすることで、比較的厚い各種材料を高速でレーザ切断または穴あけを行うことを特徴とするものである。
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KR20220120487A (ko) * | 2021-02-22 | 2022-08-30 | 주식회사 아큐레이저 | 레이저 조사 장치 |
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2018
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