CN113820152A - 微波器件电热应力施加自动化测试评价系统 - Google Patents

Abstract

本发明的微波器件电热应力自动化测试评价系统包括应力施加、检测控制、电源和数据处理等子系统；应力施加子系统搁置在鱼骨式支撑架上的隔热板上，由隔热板与风扇板构成可变风道；检测控制子系统和电源子系统位于隔热板下方，且与隔热板有间隔；电源与应力施加子系统用电源线互连，电源线上串有电流传感器；检测控制子系统中夹具与热台上设有温度传感器；检测控制子系统采集温度和电流的数据和并发送给数据处理子系统；数据处理子系统分析测量数据并发送反馈指令，由检测控制子系统控制电源、风扇和热台。本发明解决现有微波器件电热应力测试效率低、准确度低和可靠性低等问题。

Description

微波器件电热应力施加自动化测试评价系统

技术领域

本发明涉及微波元器件可靠性技术领域，具体涉及一种微波器件电热应力施加自动化测试评价系统。

背景技术

对宇航、长寿命等领域应用的高可靠的微波器件的进行筛选、考核和极限应力评估，电热应力是评估器件高可靠性应用环境中适用性的主要技术手段。目前主要有两种方式，一是抽屉式电热应力评价系统，另一种是暴露式热台评价系统。抽屉式电热应力评价系统是封闭系统，随着电热应力长时间施加，内部积聚的热量难以散出，导致电热耦合效应较强的微波器件承受较大后期的电热应力。抽屉式系统将整个电源、热台集成在内部，内部热量耦合严重，设备使用寿命受到影响，还需要增加额外的散热系统，增大了系统的体积。航天系统采用多品种、小批次的微波器件，仅几只微波器件也需要使用整个系统，应力施加的效率低。暴露式热台具备较强的散热能力，但散热可控性低，在同个热台上的每个微波器件的散热状况无法检测和调整反馈，器件受到的电热应力不均衡性大，同批次的微波器件的应力参数离散性大，施加应力准确度低。热台式系统需要将电源、热台摆放在台面上，需要占据较大的面积。因此，针对宇航、长寿命领域应用的微波器件进行筛选、考核和极限应力评估需要开发电热应力控制精度高、易于集成扩展和散热能力可控电热应力施加系统。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，解决现有微波器件电热应力施加测试效率低、准确度低的问题。

为了达到上述的目的，本发明提供一种微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，包括应力施加子系统、检测控制子系统、电源子系统和数据处理子系统；所述应力施加子系统位于上层，搁置在隔热板上，所述隔热板通过支撑架支撑；所述检测控制子系统和所述电源子系统位于所述隔热板下方，且与所述隔热板有间隔；所述电源子系统与所述应力施加子系统连接；所述检测控制子系统设有温度传感器和电流传感器，温度传感器设置在所述应力施加子系统上，利用电流传感器获取待测试微波元器件的漏极电流和栅极电流；所述检测控制子系统采集温度传感器和电流传感器的测量数据，并发送给所述数据处理子系统；所述数据处理子系统根据测量数据向所述检测控制子系统发送反馈指令，由所述检测控制子系统控制所述电源子系统对所述应力施加子系统的输出。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述应力施加子系统包括热台、应力施加夹具、风道控制模块、顶层隔热板和应力施加监控模块；所述热台搁置在隔热板上；所述风道控制模块设置在所述热台上；所述应力施加夹具设置在所述热台上，且位于所述风道控制模块内；所述热台用于加热所述应力施加夹具，所述风道控制模块用于应力施加子系统散热；所述顶层隔热板设置在所述风道控制模块上；所述应力施加监测模块位于所述顶层隔热板上；所述应力施加夹具为多个，多个所述应力施加夹具沿所述热台边沿均匀分布。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，将所述热台的上表面划分成多个区域；所述风道控制模块包括可拆卸绝热隔板、插入式风扇隔板和板槽；所述板槽设置在所述热台的上表面上；通过可拆卸绝热隔板和板槽的组合在每个区域的四周形成一围栏，将各区域隔离开；所述应力施加夹具设置在区域内，根据使用的应力施加夹具卸掉部分可拆卸绝热隔板，更换为插入式风扇隔板，使区域之间以及区域与外部贯通，形成风道；所述插入式风扇隔板插入所述板槽内时，所述板槽自带的电极与所述插入式风扇隔板上的电极接通，对所述插入式风扇隔板上的电扇进行供电。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述应力施加监测模块包括监测传感器和指示灯，所述监测传感器设置在所述顶层隔热板朝向应力施加夹具的表面上；所述指示灯设置在所述顶层隔热板朝向外的表面上；对热台的每一区域，各设一监测传感器和一指示灯；所述监测传感器通过顶层隔热板内部导线与其对应的指示灯连接。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述检测控制子系统还包括设有中控单片机的控制板和开关组，所述控制板通过数据总线与所述数据处理子系统连接；每个应力施加夹具上设有温度传感器；每个应力施加夹具配置有两条屏蔽电源线和一条信号线，一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具的待测微波元器件的漏极，另一端通过开关a连接所述电源子系统；另一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具的待测微波元器件的栅极，另一端通过开关b连接所述电源子系统；信号线一端与该应力施加夹具上的温度传感器连接，另一端通过开关c连接所述控制板。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述热台上设有温度传感器，该温度传感器通过温度监测线与所述控制板连接；所述热台通过功率线与所述电源子系统连接。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述隔热板通过中空螺纹柱和六角螺母与所述热台连接，温度监测线和功率线从中空螺纹柱中走线。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述电源子系统包括电源、二级电源和电路转接板；所述控制板设置在所述电源上，所述电路转接板设置在所述控制板上，所述二级电源设置在所述电路转接板上；所述二级电源通过所述电路转接板与所述电源连接，所述二级电源将所述电源的输出转换为各待测试微波元器件、热台所需的电压；所述控制板与所述二级电源连接；各应力施加夹具的两条屏蔽电源线、热台的功率线均通过所述所述电路转接板与所述二级电源连接。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，应力施加测试过程中，采用先对待测微波元器件栅极加负电、再对待测微波元器件漏极加正电的方式；上电后，检测控制子系统按预设采样时间采集应力施加夹具上温度传感器、热台上温度传感器以及电流传感器的测量数据，并发送给数据处理子系统；数据处理子系统对测量数据进行分析、处理，并给出反馈指令，由检测控制子系统控制电源子系统的输出，实现对热台、待测微波元器件栅极和漏极的功率调节；监测传感器模块通过实时监控应力施加子系统的温度并向指示灯发送信息，指示灯通过不同颜色显示不同信息；若某个应力施加夹具上出现电流大或温度升高异常现象，数据处理子系统存储数据并通过反馈指令提高该应力施加夹具上待测微波元器件的栅极负压，关断该待测微波元器件的漏极电流，同时提高该待测微波元器件两侧风扇的转速进行加速散热，指示灯亮通知技术人员处理。

上述微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其中，所述应力施加子系统、所述检测控制子系统和所述电源子系统组成测试子单元，至少两套测试子单元通过并行数据总线与数据处理子系统连接。

与现有技术相比，本发明的有益技术效果是：

1)本发明提出的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，应力施加子系统搁置在隔热板上且用鱼骨式支撑架支撑起来，隔热板可阻止热台向下热传导和热辐射，使应力施加子系统与检测控制子系统和电源子系统实现热隔离，应力施加子系统、检测控制子系统和电源子系统均处于开放空间状态，有效防止应力施加子系统产生的热量影响检测控制子系统和电源子系统，优化了应力施加系统的热处理能力，显著提高了测试评价系统的可靠性，保障了测试结果准确可靠；利用数据处理子系统和检测控制子系统控制微波元器件电热应力施加测试，实现了测试的自动化，提高了测试效率；利用温度传感器的测量数据对电源子系统的输出进行控制，可根据测试实时情况及时对测试进行调节，提高了测试的准确度；采用应力施加监测模块实时监控待应力施加器件的应力施加状态，并通过指示灯的颜色变化将其显示，进一步提高了系统工作的准确度；

2)本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，各应力施加夹具的屏蔽电源线和信号线分别通过开关与二级电源和控制板连接，屏蔽电源线可防止器件之间互相串扰，各应力施加夹具的屏蔽电源线和信号线形成自己的线束，保障各应力施加夹具间相互独立工作，同一应力施加夹具的不同线路之间相互独立工作，进一步提高测试评价系统的可靠性；

3)本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，热台上设置多个应力施加夹具，可同时对多个微波元器件进行测试；而且可通过多个测试子单元集成，同时对更多微波元器件进行测试，在提高测试效率的同时可保障测试条件的同一性(即更多的微波元器件在相同测试条件下进行可靠性测试)，进一步提高测试效果的准确度，提高测试评价系统的可靠性；

4)本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，采用了集成了风扇的可变风道，与热台共同控温，可给每个器件提供精准、均一的热环境；可变风道除了便于控制系统内温度，还可根据实验室环境实现定向排热功能；温度和电应力可控还提供了多品种、数量少的器件的独立应力施加和散热风道设计能力，单一系统可解决多种器件同时长时间应力施加等问题，满足航天进度需求；

5)本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，应力施加子系统、检测控制子系统和电源子系统纵向排布，节省了空间，在现有实验室环境内有利于多个测试子单元集成(在相同空间范围内能放置更多的测试子单元)，且系统成本低。

附图说明

本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统由以下的实施例及附图给出。

图1所示为本发明实施例一的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的示意图。

图2为本发明实施例一中应力施加子系统的爆炸图。

图3为本发明实施例一中附有监控传感器的顶层隔热板下表面示意图。

图4为本发明实施例一中风道控制示意图。

图5为本发明实施例一中插入安装式风扇隔板和隔热板对比图。

图6为本发明实施例二的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的框图。

图7为本发明实施例二的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的示意图。

具体实施方式

以下将结合图1～图7对本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统作进一步的详细描述。

本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统包括应力施加子系统、检测控制子系统、电源子系统和数据处理子系统；

所述应力施加子系统位于上层，搁置在隔热板上，所述隔热板通过鱼骨式支撑架支撑；

所述检测控制子系统和所述电源子系统位于所述隔热板下方，且与所述隔热板有间隔；

所述电源子系统与所述应力施加子系统连接；

所述应力施加子系统上设有温度传感器，温度传感器与所述检测控制子系统连接；所述检测控制子系统采集温度传感器的测量数据并发送给所述数据处理子系统；所述数据处理子系统对测量数据进行分析处理得到反馈指令，并发送给所述检测控制子系统，由所述检测控制子系统控制所述电源子系统对所述应力施加子系统的输出。

微波元器件电热应力施加测试通常要持续几千小时，测试评价系统本身的可靠性对测试结果准确度有重要影响，因此保障测试评价系统长时间可靠工作至关重要。本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，应力施加子系统、检测控制子系统和电源子系统纵向排布，应力施加子系统搁置在隔热板上且用支撑架支撑起来，使应力施加子系统与检测控制子系统和电源子系统隔离开，应力施加子系统、检测控制子系统和电源子系统均处于开放空间状态，即未使用壳体将应力施加子系统、检测控制子系统和电源子系统封装起来，纵向排布有利于节省空间，处在开放空间状态有利于空气对流，应力施加子系统与检测控制子系统和电源子系统不接触，测试过程中应力施加子系统产生的热量不会传导给检测控制子系统和电源子系统，且应力施加子系统与检测控制子系统和电源子系统之间有隔热板，有效隔断测试过程中应力施加子系统产生的热量向检测控制子系统和电源子系统辐射。本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统通过多种手段有效防止应力施加子系统产生的热量影响检测控制子系统和电源子系统，显著提高了测试评价系统的可靠性，保障了测试结果准确可靠。

本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，利用数据处理子系统和检测控制子系统控制微波元器件电热应力施加测试，实现了测试的自动化，提高了测试效率；利用温度传感器的测量数据对电源子系统的输出进行控制，可根据测试实时情况及时对测试进行调节，进一步提高了测试的准确度。

实施例1

图1所示为本发明实施例一的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的示意图；图2所示为本发明实施例一中应力施加子系统的爆炸图；图3为本发明实施例一中附有监测传感器的顶层隔热板下表面示意图；图4所示为本发明实施例一中风道控制示意图；图5为本发明实施例一中插入安装式风扇隔板和可拆卸隔热板对比图。

本实施例的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统包括四个子系统，分别是应力施加子系统、检测控制子系统、电源子系统和数据处理子系统。

参见图1和图2，所述应力施加子系统位于上层，搁置在隔热板17上，所述隔热板17通过鱼骨式支撑架41支撑在支撑板42上；

所述应力施加子系统包括热台16、应力施加夹具18、风道控制模块、顶层隔热板11和应力施加监控模块；所述热台16搁置在隔热板17上；所述风道控制模块设置在所述热台16上；所述应力施加夹具18设置在所述热台16上，且位于所述风道控制模块内；所述热台16用于加热所述应力施加夹具18，所述风道控制模块用于应力施加子系统散热；所述应力施加监测模块位于所述顶层隔热板11上；

所述应力施加夹具18为多个，多个所述应力施加夹具18沿所述热台16边沿均匀分布，满足多个应力施加夹具受热的均一性；本实施例中，所述热台16为矩形热台，将矩形热台台面分成九个面积大小相等的区域，如图4所示，除中央区域外，在其余八个区域内各设一所述应力施加夹具18，八个所述应力施加夹具18沿矩形热台边沿均匀分布；

参见图2和图5，所述风道控制模块包括可拆卸绝热隔板14、插入式风扇隔板20和板槽15；所述板槽15设置在所述热台16的上表面上，所述可拆卸绝热隔板14和所述插入式风扇隔板20均可插在所述板槽15内；所述插入式风扇隔板20插入所述板槽15内时，所述板槽15自带的电极与所述插入式风扇隔板20上的电极202接通，对所述插入式风扇隔板20上的电扇201进行供电；通过可拆卸绝热隔板14和板槽15的组合在每个区域的四周形成一围栏，将各区域隔离开；如图2所示，所述顶层隔热板11支撑在可拆卸绝热隔板14和板槽15形成的围栏上，且所述顶层隔热板11通过螺钉13与所述板槽15紧固连接；

如图3所示，所述顶层隔热板11朝向应力施加夹具的表面上设置监测传感器19，所述监测传感器19通过顶层隔热板11内部导线与所述顶层隔热板11朝向外的表面上的指示灯12连接；监测传感器19和指示灯12组成应力施加监测模块；

参见图2和图3，本实施例中，在每个应力施加夹具18外围四个角处各设一所述板槽15，八个应力施加夹具18共设十六个板槽15；任意相邻两个板槽15间可安装可拆卸绝热隔板15或插入式风扇隔板20；所述顶层隔热板11通过十六个螺钉13与十六个板槽15连接；对热台16九个区域，各设一监测传感器19，共九个监测传感器19，各监测传感器19的位置对应相应区域的应力施加夹具18；所述顶层隔热板11朝向外的表面上有九个指示灯12，通过顶层隔热板11内部导线与所述顶层隔热板11朝向应力施加夹具的表面上的九个监测传感器19一一对应连接；

卸掉相邻区域间的可拆卸绝热隔板14，可使该相邻区域贯通；卸掉位于热台16边缘的可拆卸绝热隔板14，可使相应区域与外部空气贯通，故可根据需要卸掉部分可拆卸绝热隔板14，更换为插入式风扇隔板20安装上，形成风道；将不同的可拆卸绝热隔板14替换为插入式风扇隔板20，可形成不同的风道；每个风扇201的风向可调节为两个方向，能够根据实际风道具体调节风扇201的风向位置；举例说明，如图4，若只需要应力施加测试三个微波器件，且使用的应力施加夹具为F、G、B，则可对应卸掉i、j、t、q、n五块可拆卸绝热隔板14，将其替换为插入式风扇隔板20，调整风扇201的风向，可形成F→G→热台中心→B的风道。

参见图1，所述检测控制子系统位于中层，所述检测控制子系统包括设有中控单片机的控制板25、温度传感器、电流传感器和开关组，所述电流传感器和所述开关组均设置于节点23内；所述电源子系统位于下层，所述电源子系统包括电源32、二级电源31和电路转接板24；

所述电源32设置在支撑板42上，所述控制板25设置在所述电源32上，所述电路转接板24设置在所述控制板25上，所述二级电源31设置在所述电路转接板24上；

所述控制板25通过数据总线与所述数据处理子系统连接，实现所述控制板25内的中控单片机与所述数据处理子系统的连接；

所述二级电源31通过所述电路转接板24与所述电源32连接，所述二级电源31将所述电源32的输出转换为各待测试微波元器件、热台16所需的电压，供各待测试微波元器件及热台16使用；

每个应力施加夹具18上均设有温度传感器；每个应力施加夹具18配置有两条屏蔽电源线和一条信号线，该两条屏蔽电源线和一条信号线组成线束α21；一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具18的待测微波元器件的漏极，另一端连接开关a，该开关a通过电路转接板24与所述二级电源31的输出端a连接，线路上设有电流传感器；另一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具18的待测微波元器件的栅极，另一端连接开关b，该开关b通过电路转接板24与所述二级电源31的输出端b连接，线路上亦设有电流传感器；信号线一端与该应力施加夹具18上的温度传感器连接，另一端连接开关c，该开关c与所述控制板25(中控单片机)连接；开关a、开关b和开关c组合成开关组；

所述控制板25(中控单片机)与所述二级电源31连接；

所述热台16上设有温度传感器，该温度传感器通过温度监测线与所述控制板25(中控单片机)连接；所述热台16通过功率线、电路转接板24与所述二级电源31的输出端c连接；所述隔热板17通过中空螺纹柱和六角螺母与所述热台16连接，固定在所述热台16下方，温度监测线和功率线从中空螺纹柱22中走线；所述功率线不仅对热台16进行供电，还分裂出并行导线嵌入板槽15的对应位置，进一步通过电极202对插入式风扇隔热板20进行供电；本实施例中，在所述热台16上设置多个温度传感器，从多个点对所述热台16的温度进行实时采样。

较佳地，所述二级电源3包括夹具电源模块和热台电源模块；夹具电源模块为待测微波元器件的漏极和栅极供电，对应一应力施加夹具18有两个夹具电源模块，分别为夹持于该应力施加夹具18上的待测微波元器件的漏极和栅极供电；热台电源模块为热台16供电；各电源模块之间互相隔离；

本实施例的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统工作原理如下：

将待测微波元器件夹持于应力施加夹具18上，待测微波元器件的栅极和漏极分别与线束α21中相应屏蔽电源线连接；根据使用的应力施加夹具卸掉部分可拆卸绝热隔板14，将其替换为插入式风扇隔板20，形成相匹配的风道；

数据处理子系统向控制板25(中控单片机)发送开关指令，控制板25(中控单片机)控制相应开关接通，使连接待测微波元器件栅极和漏极的屏蔽电源线与二级电源31连通、使用的应力施加夹具上的温度传感器与控制板25(中控单片机)接通、中空螺纹柱22内部的功率线与二级电源31连通、热台16上的温度传感器与控制板25(中控单片机)接通；

数据处理子系统向控制板25(中控单片机)发送功率指令，控制板25(中控单片机)控制二级电源31向中空螺纹柱22内部的功率线、连接待测微波元器件栅极和漏极的屏蔽电源线输出功率，应力施加测试开始；

应力施加测试过程中，采用先加栅极负电、再加漏极正电的方式；首先上电，监测待测微波元器件的电流和温度是否均一稳定，各温度传感器实时测量热台16及应力施加夹具18的温度，控制板25(中控单片机)按预设采样时间采集各温度传感器的测量数据并发送给数据处理子系统；数据处理子系统对测量数据进行分析、处理，并给出反馈命令，由控制板25(中控单片机)控制二级电源31的输出，实现对热台16、连接待测微波元器件栅极和漏极的屏蔽电源线的功率调节；监测传感器模块19通过实时监控应力施加子系统的温度并向指示灯12发送信息，指示灯12通过不同颜色显示不同信息，实现进一步对应力施加子系统的实时监测，提高系统的可靠性；

如某个应力施加夹具上显示测试电流大或温度升高等数据异常现象，数据处理系统存储数据并提高栅极负压，关断待测微波元器件的漏极电流，同时该待测微波元器件两侧的风扇提高转速进行加速散热，指示灯12亮通知技术人员处理。

本实施例中，热台16上设置有八个应力施加夹具18，可同时对八个待测微波元器件进行可靠性测试。

实施例2

实施例2对实施例1进行扩展，设一套应力施加子系统、一套检测控制子系统和一套电源子系统组成一套测试子单元，本发明的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统支持多套测试子单元集成。

图6所示为本发明实施例二的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的框图，图7为所示为本发明实施例二的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统的示意图。

参见图6和图7，本实施例的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统包括至少两套测试子单元，各测试子单元通过并行数据总线51与数据处理总端52连接。

Claims (10)

1.微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，包括应力施加子系统、检测控制子系统、电源子系统和数据处理子系统；

所述应力施加子系统位于上层，搁置在隔热板上，所述隔热板通过支撑架支撑；

所述检测控制子系统和所述电源子系统位于所述隔热板下方，且与所述隔热板有间隔；

所述电源子系统与所述应力施加子系统连接；

所述检测控制子系统设有温度传感器和电流传感器，温度传感器设置在所述应力施加子系统上，利用电流传感器获取待测试微波元器件的漏极电流和栅极电流；所述检测控制子系统采集温度传感器和电流传感器的测量数据，并发送给所述数据处理子系统；所述数据处理子系统根据测量数据向所述检测控制子系统发送反馈指令，由所述检测控制子系统控制所述电源子系统对所述应力施加子系统的输出。

2.如权利要求1所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述应力施加子系统包括热台、应力施加夹具、风道控制模块、顶层隔热板和应力施加监控模块；所述热台搁置在隔热板上；所述风道控制模块设置在所述热台上；所述应力施加夹具设置在所述热台上，且位于所述风道控制模块内；所述热台用于加热所述应力施加夹具，所述风道控制模块用于应力施加子系统散热；所述顶层隔热板设置在所述风道控制模块上；所述应力施加监测模块位于所述顶层隔热板上；所述应力施加夹具为多个，多个所述应力施加夹具沿所述热台边沿均匀分布。

3.如权利要求2所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，将所述热台的上表面划分成多个区域；所述风道控制模块包括可拆卸绝热隔板、插入式风扇隔板和板槽；所述板槽设置在所述热台的上表面上；通过可拆卸绝热隔板和板槽的组合在每个区域的四周形成一围栏，将各区域隔离开；所述应力施加夹具设置在区域内，根据使用的应力施加夹具卸掉部分可拆卸绝热隔板，更换为插入式风扇隔板，使区域之间以及区域与外部贯通，形成风道；所述插入式风扇隔板插入所述板槽内时，所述板槽自带的电极与所述插入式风扇隔板上的电极接通，对所述插入式风扇隔板上的电扇进行供电。

4.如权利要求3所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述应力施加监测模块包括监测传感器和指示灯，所述监测传感器设置在所述顶层隔热板朝向应力施加夹具的表面上；所述指示灯设置在所述顶层隔热板朝向外的表面上；对热台的每一区域，各设一监测传感器和一指示灯；所述监测传感器通过顶层隔热板内部导线与其对应的指示灯连接。

5.如权利要求2所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述检测控制子系统还包括设有中控单片机的控制板和开关组，所述控制板通过数据总线与所述数据处理子系统连接；

每个应力施加夹具上设有温度传感器；

每个应力施加夹具配置有两条屏蔽电源线和一条信号线，一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具的待测微波元器件的漏极，另一端通过开关a连接所述电源子系统；另一条屏蔽电源线一端连接夹持于该应力施加夹具的待测微波元器件的栅极，另一端通过开关b连接所述电源子系统；信号线一端与该应力施加夹具上的温度传感器连接，另一端通过开关c连接所述控制板。

6.如权利要求5所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述热台上设有温度传感器，该温度传感器通过温度监测线与所述控制板连接；所述热台通过功率线与所述电源子系统连接。

7.如权利要求6所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述隔热板通过中空螺纹柱和六角螺母与所述热台连接，温度监测线和功率线从中空螺纹柱中走线。

8.如权利要求5所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述电源子系统包括电源、二级电源和电路转接板；所述控制板设置在所述电源上，所述电路转接板设置在所述控制板上，所述二级电源设置在所述电路转接板上；所述二级电源通过所述电路转接板与所述电源连接，所述二级电源将所述电源的输出转换为各待测试微波元器件、热台所需的电压；所述控制板与所述二级电源连接；各应力施加夹具的两条屏蔽电源线、热台的功率线均通过所述所述电路转接板与所述二级电源连接。

9.如权利要求4所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，应力施加测试过程中，采用先对待测微波元器件栅极加负电、再对待测微波元器件漏极加正电的方式；上电后，检测控制子系统按预设采样时间采集应力施加夹具上温度传感器、热台上温度传感器以及电流传感器的测量数据，并发送给数据处理子系统；数据处理子系统对测量数据进行分析、处理，并给出反馈指令，由检测控制子系统控制电源子系统的输出，实现对热台、待测微波元器件栅极和漏极的功率调节；

监测传感器模块通过实时监控应力施加子系统的温度并向指示灯发送信息，指示灯通过不同颜色显示不同信息；

若某个应力施加夹具上出现电流大或温度升高异常现象，数据处理子系统存储数据并通过反馈指令提高该应力施加夹具上待测微波元器件的栅极负压，关断该待测微波元器件的漏极电流，同时提高该待测微波元器件两侧风扇的转速进行加速散热，指示灯亮通知技术人员处理。

10.如权利要求1所述的微波器件电热应力施加自动化测试评价系统，其特征在于，所述应力施加子系统、所述检测控制子系统和所述电源子系统组成测试子单元，至少两套测试子单元通过并行数据总线与数据处理子系统连接。

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