CN113812143A - 用于图像传感器像素的nmos比较器 - Google Patents

Abstract

仅限NMOS的运算跨导放大器(OTA)将PMOS晶体管替换为光学传感器(诸如动态视觉传感器或基于事件的视觉传感器)的像素中的开关电容伪电阻器。因此，如果采用堆叠CMOS图像传感器(CIS)处理，则上部晶圆可以保持没有N个阱，同时在上部晶圆上的OTA仍然完整。因此，每个像素只能有一个晶圆到晶圆的连接。此外，通过将开关电容伪电阻器作为三端器件操作，还可以增加增益。

Description

用于图像传感器像素的NMOS比较器

相关申请

本申请要求于2019年5月10日提交的美国临时申请号62/846,282的35 USC 119(e)项下的权益，该申请通过引用全部并入本文。

背景技术

如今，机器视觉主要基于传统相机及其相关的基于帧的空间分辨光学传感器。对于某些机器视觉任务，例如目标识别，这些传统的基于帧的相机及其基于图像的光学传感器非常适合。然而，对于其他任务，例如，监视、跟踪或位置和运动估计，传统图像传感器存在缺点。

主要缺点是传统相机产生大量冗余和不必要的数据，必须对这些数据进行捕获、通信和处理。这种高数据负载通过降低时间分辨率来减慢反应时间，导致功耗增加，并且增加机器视觉系统的尺寸和成本。此外，大多数图像传感器的动态范围有限、低光性能差、运动模糊。

另一方面，所谓的动态视觉传感器(DVS)克服了基于帧的编码的限制。参见由Lichtsteiner等人撰写的标题为“Photoarray for Detecting Time-Dependent ImageData”的美国专利申请公开号US 2008/0135731，其通过本引用并入本文。这些空间分辨光学传感器用于像素数据压缩以消除数据冗余。这些传感器还可以实现高时间分辨率、低延迟、低功耗、高动态范围和很少的运动模糊。因此，DVS类型的光学传感器非常适合，尤其适用于太阳能或电池供电的压缩传感或移动机器视觉应用，其中，必须估计系统的位置，并且其中由于电池容量有限，处理能力受到限制。

DVS在本地预处理视觉信息。DVS不生成清晰的图像，而是针对计算机应用程序生成智能数据。传统的图像传感器将电影作为一系列静态图像捕获，而DVS检测并仅传输场景中的变化位置。它编码的视觉信息比传统的相机更有效，因为它在像素数据压缩。这意味着可以使用更少的资源、更低的净功率和更快的系统反应时间来处理数据。高时间分辨率允许连续跟踪视觉特征，从而克服对应问题。此外，DVS的结构允许高动态范围和良好的低光性能。

基于事件的视觉传感器(EVB)通常是但并不总是原始DVS结构的变体。一般地，EVB的像素在没有周期性采样率的情况下异步运行，并且在其感知到亮度变化超过可调阈值时立即发出所谓的DVS地址事件。接通事件与超过阈值的亮度增加相关；并且关断事件和接通事件与给定像素处超过阈值的亮度降低相关联。

此外，还有许多混合空间分辨光学传感器的示例。例如，已经提出将基于帧的图像感测与基于事件的视觉感测结合到相同的像素阵列中。此外，还有其他提出的传感器体系结构，该传感器体系结构提供了事件检测和图像传感的不同的组合。

发明内容

通常地，视觉传感器通过四个元件的组合捕获时间变化事件，所有这些元件在许多提议的结构中都可以存在某些缺陷。

电流域对数(log)感光器是连续时间电路。该电流域对数(log)感光器通常地具有来自反馈晶体管的额外散粒噪声源。与传统的图像传感器相比，该感光器在弱光条件下的信噪比(SNR)也会降低。在低光照条件下，该感光器的速度往往较慢。

这些传感器的模拟存储器也存在设计挑战。这些传感器会发生泄漏，并且会消耗传感器芯片上相对较大的表面积。此外，存储器的性质意味着在像素复位期间集成信号丢失。事件的数量丢失，即触发事件的变化量未知。

传感器的像素内比较器有时会出现问题。该比较器由许多晶体管组成。这会影响传感器的填充系数。

传感器的特征异步读数也存在问题。该特征异步读数往往需要复杂的电路，需要额外的晶体管。

同时，堆叠CMOS图像传感器(CIS)处理允许底部晶圆上具有较小的特征尺寸，同时具有高度光敏性的上部晶圆。然而，DVS类型的体系结构不能真正利用这一点。CMOS处理中常见的金属-绝缘体-金属(MiM)电容器的电容不随特征尺寸缩放。因此，当其他电路收缩时，它们往往占据管芯区域。此外，许多晶体管无法按CMOS处理的最小特征尺寸进行缩放，因为匹配非常重要。此外，许多晶体管必须设计为在高电源电压下工作，从而形成厚栅氧化层，以承受足够大的电压波动或显示足够小的栅/沟道泄漏。此外，新CIS处理使用具有全电荷转移的高度优化的感光器来降低噪声，但DVS体系结构无法利用这些处理进步，因为光电二极管是连续工作的。

本发明可以用来解决这些挑战中的一些问题。可以利用堆叠的光学传感器和感光器管芯，该感光器管芯可以将该感光器管芯的值“写入”到较低的数字、模拟或混合数字-模拟较低的管芯中，在该管芯中执行存储器和/或处理。

该“写入”操作最好使用运算跨导放大器(OTA)执行，因为这可以允许例如双重采样方案，即，使用相同的OTA复位感光器并且检测变化。

OTA面临的主要挑战是，这些OTA通常需要PMOS晶体管。PMOS所需的N阱用作光电二极管，因此降低了量子效率并在电路中引入噪声。随之而来的N阱间距规则将增加像素面积。

建议的解决方案可以涉及仅限NMOS的运算跨导放大器。该放大器用开关电容伪电阻器代替PMOS晶体管。因此，上部晶圆可以保持不含N个阱，同时在上部晶圆上OTA仍然完整。因此，如果采用堆叠CIS处理，则每个像素仅可有一个晶圆到晶圆连接。此外，通过将开关电容伪电阻器作为三端器件操作，还可以增加增益。

总体上，根据一个方面，本发明具有用于光学传感器的比较器，包括接收各个比较器输入的输入NMOS晶体管和控制至少一个输入NMOS晶体管的漏极电阻的时钟NMOS晶体管。

实施例包括耦接到时钟NMOS晶体管之间的节点的电容器。此外，一些已经对NMOS晶体管进行时钟控制，以控制两个输入NMOS晶体管中的每一个的漏极电阻。事实上，有两对时钟NMOS晶体管，每对都控制两个输入NMOS晶体管的漏极电阻。在后一种情况下，电容器可以耦接在每对时钟NMOS晶体管之间。

此外，另一对时钟NMOS晶体管可以用于控制输入NMOS晶体管的源极电阻。

总体上，根据另一方面，本发明具有用于光学传感器的像素电路，该像素电路包括：感光器，用于检测接收光子；以及比较器，用于将感光器的输出与参考电压进行比较，其中，比较器不包含PMOS晶体管。

总体上，根据另一方面，本发明具有用于光学传感器的像素电路，该像素电路包括：感光器，用于检测接收光子；比较器，用于将感光器的输出与参考电压进行比较，并且采用开关电容伪电阻器作为输入晶体管的源极电阻和/或漏极电阻。

总体上，根据另一个方面，本发明具有一种光学传感器，该光学传感器包括：像素电路的阵列，其中，每个像素电路包括：感光器，用于检测光子；以及比较器，用于将感光器的输出与参考电压进行比较，并且采用开关电容伪电阻器作为输入晶体管的源极电阻和/或漏极电阻。

本发明的上述和其他特征，包括：构造和部件组合的各种新颖细节以及其他优点，现在将参考附图更详细地描述，并且在权利要求中指出。应当理解，体现本发明的特定方法和装置是通过图示而不是作为本发明的限制来示出的。在不脱离本发明范围的情况下，本发明的原理和特征可以应用在各种和许多实施例中。

附图说明

在附图中，参考字符表示不同视图中的相同部分。附图不必按比例绘制；相反地，重点放在说明本发明的原理上。附图内容：

图1A是示出根据本发明的用于使用堆叠CMOS管芯的光学传感器的像素的电路图；

图1B是示出基于事件的视觉传感器的像素的更具体的设计的电路图，该视觉传感器使用本发明可以应用到的堆叠CMOS管芯；

图2A是光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第一实施例的电路图；

图2B是光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第二实施例的电路图；

图2C是光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第三实施例的电路图；

图2D是光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第四实施例的电路图；

图3是示出采用开关电容器电流源SI而不是连续时间电流源的变型的电路图；

图4是示出多级OTA的电路图；

图5A是时钟Φ1和时钟Φ2的电压随时间变化的曲线图；

图5B是示出用于生成时钟Φ1和时钟Φ2的布置的框图；以及

图6示出框图下的图5A的状态机220的实现。

具体实施方式

下面将参考附图更全面地描述本发明，附图中示出本发明的示例性实施例。然而，本发明可以以许多不同形式体现，并且不应被解释为限于本文所述的实施例；而不是，提供这些实施例使得本公开将是彻底和完整的，并且将向本领域技术人员充分传达本发明的范围。

如本文所用，术语“和/或”包括一个或多个相关列出项目的任何和所有组合。此外，除非另有明确说明，否则单数形式和条款“一(a)”、“一个(an)”和“该(the)”也包括复数形式。应进一步理解，术语：包括(includes)、包含(comprises)、包括(including)和/或包含(comprising)，当在本说明书中使用时，规定了特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件的存在，但不排除一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、其元素和/或组的存在或添加。此外，将理解，当包括组件或子系统的元件被称为和/或显示为连接或耦接到另一元件时，该元件可以直接连接或耦接到另一元件、或者可以存在中间元件。

应当理解，尽管本文使用诸如“第一”和“第二”的术语来描述各种元件，但这些元件不应受到这些术语的限制。这些术语仅用于区分一个元件和另一个元件。因此，下面讨论的元件可以被称为第二元件，并且类似地，在不脱离本发明的教导的情况下，第二元件可以被称为第一元件。

除非另有定义，否则本文中使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的相同含义。将进一步理解，诸如在常用词典中定义的术语，应当被解释为具有与其在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且除非在此明确定义，否则不会以理想化或过于正式的意义来解释。

图1A示出了用于动态视觉或基于事件的视觉传感器或其他光学传感器的通用像素电路100，该像素电路100根据本发明的原理跨堆叠互补金属氧化物半导体(CMOS)管芯实现。

在上部晶圆中，感光器(PR)将光子转换为传感器电压Vs。有时提供复位路径RS，以在检测到事件或启动或传感器复位时复位该电压。

运算跨导放大器(OTA)可以通过两种方式用于感测传感器电压Vs中显示的PR值。

在直接读出模式下，使用斜坡ADC或类似方案，以便控制器随时间改变参考电压Vref。OTA用作比较器来确定PR值并且将其存储在下部晶圆中。这将为像素提供类似图像传感器的功能。

在双采样读出中，OTA用于经由路径RS复位PR。OTA随后用于直接读出。

在下部晶圆中，控制逻辑(CL)确保在数字或模拟存储器(MEM)中PR值的转换和存储。

图1B示出了根据本发明原理的跨CMOS管芯扩展的基于事件的视觉传感器的像素结构的细节。

基础电路布置取自PCT/IB2017/058526和美国公开号2018/0191972，其全部内容通过本引用并入本文。然而，所提议的发明中的核心概念可以应用于实际上作为IC实现的任何基于事件的视觉传感器，而不依赖于所使用的任何特定像素结构。

像素电路100包含光电二极管PD或其他光电传感器，以测量入射光，并且将光强度转换为电流Iphoto。然后，感光器电路PRC根据光强度生成感光器信号Vpr。存储电容器C1记忆过去的感光器信号。光电传感器PD、感光器电路PRC、以及存储电容器C1构成感光器模块PR。

存储电容器C1接收感光器信号Vpr，使得电容器的第一极板携带电荷，该电荷响应于感光器信号Vpr以及光传感器PD接收的光。存储电容器C1的第二板连接到OTA的比较器节点(反相输入)。因此，比较器节点的电压Vs随感光器信号Vpr的变化而变化。

OTA将当前感光器信号Vpr和过去感光器信号之间的差值与参考电压Vref中显示的阈值进行比较。

像素电路优选地以堆叠的管芯实现，在该像素电路中感光器PR和运算跨导放大器比较器OTA位于优化了对入射光子的灵敏度的上部管芯中。

另一方面，下部管芯的存储器50基于来自控制器60的采样信号存储OTA输出Vcomp。存储器可以是采样电路(例如开关和寄生或显式电容器)或数字存储电路(锁存器或触发器)。在一个实施例中，存储器将是采样电路，并且每个像素将具有两个存储器。

外围电路控制空间分辨光学传感器的整个阵列的像素电路100。通常地，该阵列将包含像素电路的二维阵列，诸如大于100乘100像素的阵列。此外，外围电路通常将包含控制器60，该控制器60将阈值信号应用于OTA，并且将控制信号发送到存储器50。

外围电路还可以包含用于阵列的读出电路，该读出电路读取存储器50的内容，确定每个像素的光强度是否增加、减少或不变，并且将(根据当前存储器值计算的)输出发送至处理器。

更详细地说，每个像素的OTA区分该像素接收到的光是否增加和/或减少。对于关断事件：如果Vs低于阈值Voff(Vref上)，则OTA输出为高，并且该电平存储在存储器中。这意味着检测到下降。如果Vs不低于阈值，则比较器输出为低：未检测到下降。

对于接通事件，低比较器输出意味着增加，而高比较器输出意味着没有变化。因此，读取必须知道存储器内容以及应用的阈值。

像素电路100和控制器60如下操作。

由光电传感器PD接收到的光强度的变化将被转化为感光器信号Vpr的变化。Vpr的变化也将反映在OTA反向输入(-)处的比较器节点处的电压Vs中。这是因为存储电容器C1两端的电压保持恒定。

在控制器60所选择的时间，OTA将存储电容器C1第二端子处的比较器节点处的电压(Vs)与(从控制器60)施加到OTA的非反相输入(+)的阈值电压Vref进行比较。

控制器60操作存储器50以存储比较器输出Vcomp。

如前所述，当针对光学传感器的二维像素阵列的每个像素电路实现OTA时，出现问题。OTA通常需要PMOS晶体管。然而，PMOS所需的N阱用作光电二极管。这会降低量子效率并在电路中引入噪声。

建议的解决方案可以涉及仅限NMOS的运算跨导放大器。它用开关电容伪电阻器(switched capacitor pseudo-resistor)代替PMOS晶体管。因此，上部晶圆可以保持不含N个阱，同时完整的OTA仍在上部晶圆上。因此，每个像素只能有一个晶圆到晶圆的连接。此外，通过将开关电容伪电阻器作为三端器件操作，还可以增加增益。

图2A示出用于光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第一实施例。

基础电路包括：第一输入晶体管T1，该第一输入晶体管T1在其栅极处接收Vref。该第一输入晶体管T1的漏极连接到电压源导轨。第二输入晶体管T2在其栅极处接收Vs。第一晶体管T1和第二晶体管T2的源极连接到第三偏置晶体管T3的漏极，该第三偏置晶体管T3在其栅极处接收偏置电压，并且该第三偏置晶体管T3的源极接地。

OTA具有连续时间电流源，并且使用开关电容伪电阻器将电流转换为电压。每个伪电阻器包括一个电容器C1和两个开关(即时钟晶体管T5和时钟晶体管T6)，该时钟晶体管T5和时钟晶体管T6由两个时钟源Φ1(phi1)和Φ2(phi2)驱动，并且在各自的栅极处接收两个时钟源Φ1和Φ2。该Φ1和Φ2是不重叠的时钟。时钟晶体管T5和时钟晶体管T6连接在电压源Vcc与输入晶体管T2的漏极之间。

OTA的输出在晶体管T2的漏极处被获取，并且相应地输出电容。

有利地，驱动Φ1和Φ2的电压可以高于OTA的电源电压Vcc，以确保所有开关正确接通。

图2B示出用于光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第二实施例。

此版本还使用开关电容伪电阻器，并且包括：电容器C2和两个开关(时钟晶体管T7和时钟晶体管T8)，该时钟晶体管T7和时钟晶体管T8由在电压源Vcc与晶体管Tl的漏极之间的两个时钟驱动。此实施例可以与差分输出Vcomp+和Vcomp-一起使用。

图2C示出用于光学传感器像素阵列的像素电路100的OTA的第三实施例。

此版本包括连接在电容器C1和电容器C2先前接地端子之间的晶体管T9和晶体管T10。此外，晶体管T10的源极连接到晶体管Tl的漏极。

这里，开关电容伪电阻器的第三个端子允许通过注入与相反“管腿(leg)”中的电压成比例的电流来进一步增加电路的增益。

除了与输出电压成反比的电阻器电流(I1)外，还注入与另一管腿上的电压成反比的第三端子电流(I2)。

图2D示出用于光学传感器的像素阵列的像素电路100的OTA的第四实施例。

如果共用电容器C1上的开关电容时钟Φ1和开关电容时钟Φ2的相位反转，则注入每个管腿的电流I1、电流I2与其他管腿的电压成反比，从而产生反馈效应，并由此增加增益。

在本实施例中，与之前的实施例一样，必须仔细考虑输出Vcomp的负载，并且相对于寄生电容C3和寄生电容C4进行相应的平衡。

图3示出了对像素电路100的OTA的变型。

为了稳定输出，最好使用开关电容电流源S1而不是连续时间电流源。

具体而言，在晶体管Tl、晶体管T2的耦接漏极与晶体管T3的源极之间添加开关电容伪电阻器，该开关电容伪电阻器包括：电容器C9和两个开关(晶体管T12和晶体管T13)，它们由两个时钟源Φ1和Φ2驱动。

此外，可以对图2B、图2C和图2D中示出的每个实施例进行相同的变型。

如图4所示，通过将第一级OTA-1的输出连接到第二级OTA-2的输入，可以实现多级版本。

图5A说明了非重叠的时钟Φ1和时钟Φ2的概念。时钟的转换在不同的时间发生，并且时钟不同时处于高逻辑电平。

图5B示出用于光学传感器生成两个时钟源Φ1和Φ2的一种方法。

在此，由图像传感器的控制器60配置的状态机220接收传感器使用的时钟。状态机220通过两个缓冲放大器Al、A2产生两个时钟信号Φ1和Φ2。配置缓冲器可以用于控制该放大级的增益。

图6示出了图5B的状态机220的状态图。当电路不工作时，状态机有一个空闲模式的状态。如果电路启用(Run)，状态机将循环四种不同的状态。在第一种状态下，输出Φ1和输出Φ2都为零。在可配置次数的时钟周期N1之后，状态机进入第二状态，在该第二状态中输出Φ1为1，而输出Φ2仍然为零。在可配置次数的时钟周期N2内保持该状态，然后进入第三状态。在第三种状态下，两个输出都再次为零。在可配置次数的时钟周期N3之后，状态机进入第四状态。在此状态下，输出Φ2为1，而输出Φ1为零。在可配置次数的时钟周期N4之后，状态机返回到第一个状态，并且周期重新启动。

虽然本发明已参考其优选实施例进行了具体展示和描述，但本领域技术人员将理解，在不脱离所附权利要求所涵盖的本发明范围的情况下，可以对其形式和细节进行各种更改。

Claims (14)

1.一种用于光学传感器的比较器，包括：

输入NMOS晶体管，接收各个比较器输入；以及

时钟NMOS晶体管，控制至少一个所述输入NMOS晶体管的漏极电阻。

2.根据权利要求1所述的比较器，还包括电容器，所述电容器耦接到在所述时钟NMOS晶体管之间的节点。

3.根据权利要求1所述的比较器，还包括控制两个所述输入NMOS晶体管中的每个的漏极电阻的时钟NMOS晶体管。

4.根据权利要求1所述的比较器，还包括两对时钟NMOS晶体管，每对时钟NMOS晶体管控制两个所述输入NMOS晶体管中的每个的漏极电阻。

5.根据权利要求4所述的比较器，还包括电容器，所述电容器耦接在所述每对时钟NMOS晶体管之间。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的比较器，还包括另一对时钟NMOS晶体管，所述另一对时钟NMOS晶体管控制所述输入NMOS晶体管的源极电阻。

7.一种用于光学传感器的像素电路，包括：

感光器，用于检测所接收的光子；以及

比较器，用于将所述感光器的输出与参考电压进行比较，其中，所述比较器不包含PMOS晶体管。

8.根据权利要求7所述的像素电路，其中，所述比较器包括：

输入NMOS晶体管，接收各个比较器输入；以及

时钟NMOS晶体管，控制至少一个所述输入NMOS晶体管的漏极电阻。

9.根据权利要求8所述的比较器，还包括电容器，所述电容器耦接到在所述时钟NMOS晶体管之间的节点。

10.一种用于光学传感器的像素电路，包括：

感光器，用于检测所接收的光子；以及

比较器，用于将所述感光器的输出与参考电压进行比较，并且采用开关电容伪电阻器作为输入晶体管的源极电阻和/或漏极电阻。

11.根据权利要求10所述的电路，还包括存储器，所述存储器用于存储所述比较器的输出。

12.根据权利要求10所述的电路，还包括用于数字的存储器，所述数字与所述比较器的输出从一种状态变为另一种状态的时间相对应。

13.根据权利要求10所述的电路，其中，所述像素电路以堆叠管芯实现，在所述堆叠管芯中，所述感光器和所述比较器位于上部管芯中，并且存储器位于下部管芯中。

14.一种光学传感器，包括像素电路的阵列，其中，每个所述像素电路包括：

感光器，用于检测光子；以及

比较器，用于将所述感光器的输出与参考电压进行比较，并且采用开关电容伪电阻器作为输入晶体管的源极电阻和/或漏极电阻。

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