CN113719595A - 传动、双联动及防晃坠防装置、天车系统及晶圆搬运方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种传动、双联动及防晃坠防装置、天车系统及晶圆搬运方法，应用于自动控制技术领域，更确切的说涉及半导体制造技术，其中传动装置包括安装板、电机、第一轴承座、第二轴承座、联轴器、旋转轴、凸轮和凸轮随动器，电机、第一轴承座和第二轴承座安装于安装板，旋转轴支承于第一轴承座和第二轴承座之间，凸轮设置于旋转轴上，凸轮上设置有凸轮槽以安装凸轮随动器，电机的输出轴通过联轴器驱动旋转轴，其中凸轮随动器的一端与联动机构连接，以在电机的驱动下，使得连接联动机构的凸轮随动器一端被限定在同一平面内运动以驱动联动机构。通过单电机驱动，机构简单，体积小，重量轻，可灵活应用于半导体制造中的晶圆搬运场景。

Description

传动、双联动及防晃坠防装置、天车系统及晶圆搬运方法

技术领域

本发明属于自动控制技术领域，更确切的说涉及半导体制造技术，尤其涉及一种传动、双联动及防晃坠防装置、天车系统及晶圆搬运方法。

背景技术

在半导体制造中常常需要使用天车系统来运输晶圆。一方面，晶圆较为脆弱，对于运输过程中的稳定性要求较高，比如通常情况下要求晶圆运输过程中的振动加速度不大于0.5g。另一方面，晶圆生产成本较高，这时若发生坠落，势必会造成人员、设备以及产品的损失。因此，天车系统的防坠落机构和防振动机构是极为必要。

目前，为防止运输中晶圆出现晃动和坠落，现有天车系统需要采用两套独立的辅助机构分别进行防晃动和防坠落，且每套独立辅助机构需要各自控制电机进行驱动，不仅辅助机构复杂，设备体积大，需要占用较大空间，而且设备重量较重，加重了天车系统中空中轨道龙骨负担。

基于以上本申请提供了解决以上技术问题的技术方案。

发明内容

本发明提供一种传动、双联动及防晃坠防装置、天车系统及晶圆搬运方法，可基于单电机对辅助机构进行驱动，传动结构简单，简化了天车系统中的辅助机构，减小了占用体积，减轻了设备重量，降低了对天车系统中龙骨负担。

本发明提供的技术方案如下：

本发明一方面提供一种传动装置，包括：安装板、电机、第一轴承座、第二轴承座、联轴器、旋转轴、凸轮和凸轮随动器；

所述电机、所述第一轴承座和所述第二轴承座安装于所述安装板，所述旋转轴支承于所述第一轴承座和所述第二轴承座之间；

所述电机的输出轴与所述联轴器的第一端连接，所述联轴器的第二端与所述旋转轴的第一端连接；

所述凸轮设置于所述第一轴承座与所述第二轴承座之间的所述旋转轴上，以使所述凸轮在所述电机的驱动下跟随所述旋转轴转动；

所述凸轮随动器的第一端设置于凸轮槽内，所述凸轮随动器的第二端与联动机构连接，以在所述电机的驱动下，使得所述凸轮随动器的第二端在同一平面内运动以驱动所述联动机构，其中所述凸轮槽为设置于所述凸轮上的轨迹槽，所述轨迹槽为根据所述凸轮随动器的第二端在同一平面内的运动轨迹进行设置的轨迹槽，所述联动机构与所述安装板之间相对固定连接。

在其中一个实施例中，所述传动装置还包括锁紧螺母和第一卡簧，所述旋转轴的第一端通过所述锁紧螺母连接于第一轴承座，所述第一卡簧设置于所述第一轴承座的内部，所述锁紧螺母与所述第一卡簧配合以在轴向上固定所述旋转轴。

在其中一个实施例中，所述传动装置还包括码盘和码盘检测装置，所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端，所述码盘检测装置固定安装于所述安装板上，所述码盘检测装置用于检测目标标识以确定所述凸轮随动器的行程，其中所述目标标识设置于所述码盘上。

在其中一个实施例中，所述旋转轴的第二端设置有定位轴肩，所述码盘设置有径向凹槽，所述传动装置还包括第二卡簧；

所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端包括：所述定位轴肩和所述第二卡簧配合以对所述码盘进行轴向定位，所述定位轴肩与所述径向凹槽配合以对所述码盘进行径向定位，使得所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端；

和/或，所述目标标识包括凸起部位，所述码盘上设置有所述凸起部位，所述码盘检测装置包括光电传感器。

在其中一个实施例中，当所述码盘检测装置包括光电传感器时，所述光电传感器为槽型的光电传感器；

和/或，当所述码盘检测装置包括光电传感器时，所述光电传感器通过钣金件安装于所述安装板上。

在其中一个实施例中，所述传动装置还包括第一连接件，所述码盘与所述第一连接件螺丝锁附，所述第一连接件与所述旋转轴的第二端键连接。

本发明第二方面提供一种双联动装置，包括第一悬臂、第二悬臂、第一悬臂销、第二悬臂销、第一驱动摆杆、第二驱动摆杆、第一摆动连杆、第二摆动连杆、夹持摆杆和驱动连杆；

所述第一驱动摆杆的第一端与所述第一悬臂销的第一端转动连接，所述第一悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第一端固定连接，所述第二驱动摆杆的第一端与所述第二悬臂销转动连接，所述第二悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第二端固定连接；

所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接；

所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置转动连接，所述驱动连杆的第二端与所述夹持摆杆的第一端转动连接，所述夹持摆杆的第二端通过所述第一悬臂与所述第二驱动摆杆上的第二位置转动连接；

所述第一驱动摆杆设置有第一轴承安装孔，所述第二驱动摆杆设置有第二轴承安装孔，所述第一悬臂的一端安装于所述第一轴承安装孔，所述第二悬臂的一端安装于所述第二轴承安装孔，所述第一悬臂的另一端和所述第二悬臂的另一端分别与外部凸轮随动器所在的传动装置固定连接；

其中，所述第一驱动摆杆、所述第二驱动摆杆、所述第一摆动连杆和所述第二摆动连杆，通过所述第一悬臂销和所述第二悬臂销构成空间四边形以作为四边形联动机构的四条边；所述夹持摆杆和所述驱动连杆作为三角形联动机构的两条边，所述第一摆动连杆上设置有被驱动部，以在所述被驱动部受到外部凸轮随动器的驱动后，使得所述第一摆动连杆在同一平面内运动，以使所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

在其中一个实施例中，所述第一悬臂和/或第二悬臂为第一外螺纹型等高螺栓；

和/或，所述第一悬臂销和/或所述第二悬臂销为第二外螺纹型等高螺栓；

和/或，所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接包括：所述第一驱动摆杆的第二端通过第三外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接；

和/或，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接包括：所述第二驱动摆杆的第二端通过第四外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接；

和/或，所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行转动承连接包括：所述驱动连杆的第一端通过第五外螺纹型等高螺栓与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行转动连接。

在其中一个实施例中，所述双联动装置还包括夹持连杆和第一拉簧；

所述夹持连杆的第一端设置有第一安装座，所述驱动连杆上设置有第二安装座，所述第一拉簧的两端对应连接于所述第一安装座和所述第二安装座，以使所述夹持连杆在所述第一拉簧的作用下跟随所述三角形联动机构外伸或收缩。

在其中一个实施例中，所述双联动装置还包括夹紧辊轮，所述夹紧辊轮设置于所述夹持连杆的第二端；

和/或，所述双联动装置还包括无油衬套，所述夹持摆杆、所述驱动连杆和所述夹持连杆通过第六外螺纹型等高螺栓和所述无油衬套连接，其中所述无油衬套设置于所述驱动连杆的连接处内。

在其中一个实施例中，第一中心距与第二中心距按预设的倍程设置，其中所述第一中心距为所述第一悬臂和所述第一悬臂销之间的中心距，所述第二中心距为所述第一悬臂和第一连接处的中心距，所述第一连接处为所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端的连接处。

在其中一个实施例中，所述第一驱动摆杆和所述第二驱动摆杆均为斜L型摆杆。

本发明第三方面提供一种防晃坠防装置，包括第二连接件、如前述任意一项所述传动装置和如前述任意一项所述双联动装置，其中所述双联动装置中第一悬臂、第二悬臂通过所述第二连接件与所述传动装置中的安装板固定连接，所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部连接，以在所述传动装置中电机的驱动下，使得所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

在其中一个实施例中，所述第二连接件包括L型连接件；

第一悬臂、第二悬臂通过所述第二连接件与所述传动装置中的安装板固定连接包括：第一悬臂、第二悬臂通过所述L型连接件与所述传动装置中的安装板螺纹锁附。

在其中一个实施例中，所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部连接包括：所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部螺纹锁附。

在其中一个实施例中，所述传动装置的安装板设置有若干第一减重结构；

和/或，所述双联动装置的第一驱动摆杆设置有若干第二减重结构；

和/或，所述双联动装置的第二驱动摆杆设置有若干第三减重结构；

和/或，所述双联动装置的第二摆动连杆设置有若干第四减重结构；

和/或，所述双联动装置的夹持摆杆设置有若干第五减重结构。

本发明第四方面提供一种天车系统，包括如前述任意一项所述防晃坠防装置，其中所述防晃坠防装置设置于天车系统中的天车内侧，所述传动装置的安装板固定于天车的侧壁，以在所述传动装置中电机的驱动下，使得所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

本发明第五方面提供一种晶圆搬运方法，应用于如前述任意一项所述天车系统，所述晶圆搬运方法包括：

启动所述传动装置的电机，以驱动所述双联动装置中的四边形联动机构和三角形联动机构进行同时联动地外伸于第一预定位置，其中所述第一预定位置位于所述天车系统中所述防晃防坠装置的工作位，以在搬运中对待搬运晶圆进行防晃动和防坠落；

当所述天车系统将所述待搬运晶圆搬运到目标位置时，通过所述传动装置的电机驱动所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构进行同时联动地收缩至第二预定位置，其中所述第二预定位置位于所述天车系统中的所述防晃防坠装置的停止位。

本发明提供了一种传动、双联动及防晃坠防的装置、天车系统及晶圆搬运方法，能够带来以下至少一种有益效果：

通过电机输出轴驱动旋转轴，两侧轴承座起到良好支撑作用，联轴器可补偿电机输出轴与旋转轴之间的轴向、径向等安装偏差，可基于单输入轴实现多轴联动，不仅传动结构简单，可以减少电机数量，有效减少机构占用空间，还能减轻设备重量，降低空中轨道龙骨负担，以及通过在凸轮实现电机驱动行程限位，有效避免电机过冲现象，同时对电机性能要求较低(如无需采用控制电机驱动)，可以省去电机相关驱动器，进一步减少产品空间尺寸和设备重量。

附图说明

下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。

图1为本发明提供的一种传动装置的结构示意图；

图2为本发明提供的一种传动装置中凸轮与行程关系的示意图；

图3为本发明提供的一种传动装置中码盘及码盘检测装置的结构示意图；

图4为本发明提供的一种传动装置中码盘及码盘检测装置的结构示意图；

图5为本发明提供的一种双联动装置的结构示意图；

图6为本发明提供的一种双联动装置中四边形联动机构和三角形联动机构的结构示意图；

图7为本发明提供的一种双联动装置中驱动摆杆、悬臂销和摆动连杆相互连接的结构示意图；

图8为本发明提供的一种双联动装置在传动机构驱动下伸展状态的结构示意图；

图9为本发明提供的一种双联动装置在传动机构驱动下收缩状态的结构示意图；

图10为本发明提供的一种双联动装置中悬臂与驱动摆杆的转动连接的结构示意图；

图11为本发明提供的一种双联动装置中采用无油衬垫连接驱动连杆、夹持摆杆、夹持连杆的结构示意图；

图12为本发明提供的一种防晃防坠装置的结构示意图；

图13为本发明提供的一种防晃防坠装置在使用中处于伸展状态的结构示意图；

图14为本发明提供的一种防晃防坠装置在使用中处于收缩状态的结构示意图；

图15为本发明提供的一种防晃防坠装置中悬臂与连接件螺纹锁附的结构示意图；

图16为本发明提供的一种晶圆搬运方法的流程图。

具体实施方式

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。

基于本申请，所属领域的技术人员应了解，本文中所描述的一个方面可与任何其它方面独立地实施，且可以各种方式组合这些方面中的两者或两者以上。举例来说，可使用本文中所阐述的任何数目和方面来实施设备及/或实践方法。另外，可使用除了本文中所阐述的方面中的一或多者之外的其它结构及/或功能性实施此设备及/或实践此方法。

还需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本申请的基本构想，图式中仅显示与本申请中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

另外，在以下描述中，提供具体细节是为了便于透彻理解实例。然而，所属领域的技术人员将理解，可在没有这些特定细节的情况下实践所述方面。术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等描述的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

目前，半导体制造中用于运输晶圆的天车系统，采用两套独立的辅助机构分别进行防晃动和防坠落，且每套独立辅助机构需要各自控制电机进行驱动，因而辅助机构较复杂，占用空间较大，重量较重，在天车系统使用辅助机构时有诸多不便。

基于此，在对天车系统及辅助机构进行深入研究分析并改进探索中，提出一种新的辅助机构方案：基于单电机的驱动进行双联动控制，其中基于单电机构成结构简单的传动装置，再基于该传动装置驱动双联动装置进行同时联动的伸展或收缩。

其中，在单电机构成的传动装置中，在凸轮的带动下，凸轮随动器的一端被限定在同一平面内运动，因而可将凸轮随动器的这一端作为双联动的驱动动力来源，使得双联动的四边形联动机构和三角形联动机构，能同时在各自所在平面内联动地伸展或收缩，比如当单电机驱动四边形联动机构和三角形联动机构同时伸展时，三角形联动机构位于待搬运物体(比如装载有晶圆的装置)侧边进行防晃动，四边形联动机构位于待搬运物体下方进行防坠落，而当单电机驱动四边形联动机构和三角形联动机构同时收缩时，收缩后的辅助机构可收缩于天车系统的天车内侧。

因此，改进后的辅助机构可基于单电机同时进行防晃动和防坠落的双联动，不仅能有效地对晶圆物品进行防晃动和防坠落，而且辅助机构是基于单电机驱动，系统构成非常简单，占用空间小，重量轻，对原有天车系统的影响小。

下面结合附图对本申请实施例进行示例描述。

如图1所示，本发明实施例提供一种传动装置，可包括：安装板1、凸轮2、旋转轴3、联轴器4、电机5、第一轴承座6、第二轴承座7和凸轮随动器8，电机5、第一轴承座6和第二轴承座7安装于安装板1，旋转轴3支承于第一轴承座6和第二轴承座7之间，电机5的输出轴与联轴器4的第一端连接，联轴器4的第二端与旋转轴3的第一端连接，凸轮2设置于第一轴承座6与第二轴承座7之间的旋转轴3上，以使凸轮2在电机5的驱动下跟随旋转轴3转动，凸轮随动器8的第一端设置于凸轮槽内，凸轮随动器8的第二端与联动机构(图中未示出)连接，以在电机5的驱动下，使得凸轮随动器8的第二端在同一平面内运动以驱动所述联动机构，其中所述凸轮槽为设置于凸轮2上的轨迹槽，所述轨迹槽为根据所述凸轮随动器的第二端在同一平面内的运动轨迹进行设置的轨迹槽(如图中标识的凸轮2上的凹槽)。

需要说明的是，联轴器可指用来将不同机构中的主动轴和从动轴牢固地联接起来一同旋转，并传递运动和扭矩的机械部件，联轴器可有效地补偿电机5的输出轴和旋转轴3之间在轴向、径向等方面的安装偏差，这里联轴器可根据实际应用需要选用市售产品获知定制件，这里不作限定；旋转轴可为在电机驱动下进行旋转的结构件，比如圆柱状的轴，因而轴的形状、大小以及长度等可根据实际应用需要进行确定，这里不作限定；第一轴承座和第二轴承座，可以是内部安装有轴承的轴承座，以用于支承旋转轴，使得旋转轴可在两侧轴承座的支承下有效地被电机驱动旋转。

需要说明的是，前述联动机构可以是半导体制造中，搬运晶圆所使用的天车系统辅助机构，比如防晃动机构、防坠落机构等。

本说明书实施例提供的传动装置，可至少具有以下几方面效果：

一方面，通过电机5驱动联轴器4而带动旋转轴3，在旋转轴3传递的扭矩作用下，凸轮2跟随旋转轴3转动，这时安装于凸轮槽内的凸轮随动器8第一端受到凸轮2的传动而带动所述联动机构。

传动装置只需一个电机，即基于单电机实现单输入轴驱动，进而通过凸轮驱动联动机构，传动装置的结构简单，设备占用空间更小，设备重量更轻，非常适合应用于半导体制造过程中的天车系统中。

第二方面，凸轮槽是根据凸轮随动器8的第二端在同一平面内的运动轨迹而设置于凸轮2上，而凸轮随动器8的第二端通常用于连接被驱动的联动机构，以及联动机构通常与安装板1之间相对固定连接后使用，因而凸轮随动器8的第一端镶嵌于所述凸轮槽后，在电机5的驱动下，凸轮随动器8的第二端将被限定在同一平面内运动而驱动所述联动机构，比如驱动所述联动机构的联动部件在同一平面内运动(如伸展、收缩等)。

相比于传统的滑槽机构，滑槽机构不可避免存在启动冲击，而采用凸轮2带动凸轮随动器8后，启动和加减速非常平稳，瞬间冲击很小。此处凸轮槽的轨迹线可为正弦曲线，可无明显瞬间冲击。

第三方面，在采用凸轮2后，可有效地对凸轮随动器8的第二端进行行程限位，进而对所述联动机构的行程进行限位，比如在远休止角以及近休止角区域，即使电机5出现过冲，凸轮随动器8也不会带动所述联动机构运动。其中，远休止角可指从动件在距凸轮回转中心最远的位置停留不动时对应的凸轮转角；近休止角可指从动件在距凸轮轴心最近处停歇时对应的凸轮转角。

图2为前述凸轮2在电机5驱动下的转动角与行程之间关系曲线示意图。从图中可以看出，在凸轮2的转动角为110°至140°以及250°至360°时，虽然凸轮2在转动，但行程可保持在最大行程(比如图中所示的行程40mm)，即在最大行程对应的转动角区域下，凸轮随动器8可无水平面内的运动(或者说凸轮随动器8的第二端在平面内无运动)，因而达到最大行程后凸轮2的转动可称为无效行程。因此，在根据凸轮随动器8的第二端在同一平面内的运动轨迹在凸轮2上的设置相应的轨迹槽后，可通过凸轮2定义出凸轮随动器8(或者说凸轮随动器8的第二端，或是所述联动机构)的最大行程，可实现机械硬限位，可以规避电机过冲风险。

通过凸轮2的硬限位，可有效避免电机5的过冲对所述联动机构的过冲驱动而造成联动机构偏离预定位置，因而可避免不正确的驱动造成联动机构对搬运中的晶圆造成不必要损伤，比如超过预定位置过多而过度挤压晶圆，比如未能到达预定位置而无法有效地对晶圆防晃动，比如联动机构未能伸展到预定位置无法对晶圆进行防坠落保护等等。

第四方面，在凸轮2的硬限位下，可降低对电机5的性能要求，即电机5可采用简单电机，而无需采用控制电机，可省去电机相关驱动器，这样传动装置的结构更简单，设备体积更小，设备占用空间更小，设备重量更轻，非常适合应用于半导体制造过程中的天车系统中。

在一些实施方式中，凸轮2可为圆柱状，这时凸轮2的结构简单，占用体积小，凸轮2跟随旋转轴3转动时可占用更小空间，重量轻。

在一些实施方式中，旋转轴3上可加工有键槽，这时可通过键连接方式将旋转轴3与凸轮2进行固连，采用键连接方式后，在提高固连效果同时，连接结构得到简化，可以有效地传递扭矩。

在一些实施方式中，旋转轴可采用螺母和卡簧连接于第一轴承座，实现旋转轴3的轴向固定，避免旋转轴在轴向上移动。

实施中，本说明书实施例提供的传动装置，还可包括锁紧螺母(如图1中第一轴承座6的右侧螺母示意)和第一卡簧(图中未示出)，这时旋转轴3的第一端通过锁紧螺母连接于第一轴承座6，所述第一卡簧设置于第一轴承座6的内部，锁紧螺母与第一卡簧配合以在轴向上固定旋转轴3，避免旋转轴3在轴向上移动，可避免凸轮2在轴向上移动，进而可提高连接于凸轮2的第二端的所述联动机构在同一平面内运动的精确性。

在一些实施方式中，可在传动装置中设置检测机构，以对电机驱动凸轮的过程进行检测，提高电机驱动准确性。

实施中，如图3所示，本说明书实施例提供的传动装置，还可包括码盘10和码盘检测装置9，其中码盘10可固定安装于旋转轴3的第二端(如图1中第二轴承座的左侧)，码盘检测装置9可固定安装于安装板1上，这时码盘检测装置9可用于检测目标标识以确定凸轮随动器8的行程，其中所述目标标识设置于码盘10上，使得目标标识在电机5的驱动下跟随转动，从而可根据预先设置的识别策略，确定码盘转动的角度，即确定出凸轮2转动的角度，从而可确定出凸轮2的行程(或者说是凸轮随动器8的第二端的轨迹，亦或是所述联动机构的联动位置)。

实际应用中，可根据所述联动机构的驱动要求，预先标定出目标标识的位置与凸轮随动器8(或者说是所述联动机构)的行程之间关系，从而可通过码盘检测装置9对码盘10上的目标标识实时检测，实时确定出行程是否达到预定要求，比如所述联动机构是否在驱动后联动地伸展到工作位，比如所述联动机构是否在驱动后联动地收缩到收纳位等。

在一些实施方式中，可通过简单连接结构，将码盘固定于旋转轴3的第二端上，进一步简化连接以及传动装置的整体结构。

实施中，本说明书实施例提供的传动装置，还可包括第一连接件，其中码盘10与所述第一连接件螺丝锁附，所述第一连接件与旋转轴3的第二端进行键连接，使得码盘10稳定地固连于旋转轴3上。

在一些实施方式中，可通过定向结构将码盘固连于旋转轴上，以及通过定向结构可快速地固连，连接关系简单，安装方便。

如图3和图4所示，旋转轴3的第二端设置有定位轴肩，码盘10设置有径向凹槽，所述传动装置还可包括第二卡簧，这时码盘10固定安装于旋转轴10的第二端可包括：所述定位轴肩和所述第二卡簧配合以对码盘10进行轴向定位，所述定位轴肩与所述径向凹槽配合以对码盘10进行径向定位，使得码盘10固定安装于旋转轴3的第二端。

在一些实施方式中，可通过在码盘设置简单目标标识，以及利用简单检测手段完成目标标识的识别检测，有利于简化设备构成，提高识别准确性和降低成本。

如图4所示，所述目标标识包括凸起部位101，1即码盘10上设置有凸起部位101，这时码盘检测装置9包括光电传感器，从而可利用低成本、简单结构的光电传感器对码盘10的转动进行识别。

实施中，可使用两个光电传感器，还可将光电传感器分设于码盘10的两侧，便于光电传感器对凸起部位101进行监测。

通过将凸起部位101作为旋转过程中的感应片，配合光电传感器进行检测。比如当外凸传感应片位于光电传感器检测区域内时，传感器生成停止信号，使得电机5可停止工作，比如当外凸传感应片未遮挡光电传感器，传感器生成控制信号，使得电机5进行驱动工作等。因此，通过码盘和码盘检测机构相互配合，可实现传动装置的运动控制。

在一些实施方式中，当码盘检测装置9包括光电传感器时，所述光电传感器可为槽型的光电传感器，可利用结构简单的光电传感器，提高检测准确性。

在一些实施方式中，当码盘检测装置9包括光电传感器时，所述光电传感器可通过钣金件安装于安装板1上，比如图3中位于右侧的光电传感器通过钣金件固定于安装板上。

在一些实施方式中，可对所述传动装置的各个部件进行减重设置，可进一步减轻设备重量，更好地满足对设置重量有限制的使用场合。

实施中，可在安装板1上设置若干减重结构，比如在安装板1的两端，将未影响安装使用的部分进行镂空设置。

基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种双联动装置，不仅结构简单，还可基于一个驱动进行双联动，因而可作为半导体制造中用于搬运晶圆的天车系统中一种辅助机构，并可基于前述任意一个实施例提供的所述传动装置驱动下，进行双联动的伸展或收缩，有效地在晶圆搬运中进行防晃动和防坠落。

如图5和图6所示，本说明书实施例提供一种双联动装置，可包括悬臂11、悬臂销17、驱动摆杆12、第一摆动连杆19、第二摆动连杆13、夹持摆杆26和驱动连杆25。

为便于示意说明和理解，下面说明中，将图5中的左右两个悬臂11分别记为第一悬臂和第二悬臂，将图5中的左右两个悬臂销分别记为第一悬臂销和第二悬臂销，将图5中的左右两个驱动摆杆12分别记为第一驱动摆杆和第二驱动摆杆，以下不再重复说明。

如图5、图6和图7所示，所述第一驱动摆杆的第一端与所述第一悬臂销的第一端转动连接，所述第一悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第一端固定连接。相应地，所述第二驱动摆杆的第一端与所述第二悬臂销转动连接，所述第二悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第二端固定连接；

所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接；

所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置转动连接，所述驱动连杆的第二端与所述夹持摆杆的第一端转动连接，所述夹持摆杆的第二端通过所述第一悬臂与所述第二驱动摆杆上的第二位置转动连接；

所述第一驱动摆杆设置有第一轴承安装孔，所述第二驱动摆杆设置有第二轴承安装孔，所述第一悬臂的一端安装于所述第一轴承安装孔，所述第二悬臂的一端安装于所述第二轴承安装孔，所述第一悬臂的另一端和所述第二悬臂的另一端分别与外部凸轮随动器所在的传动装置固定连接接；

其中，所述第一驱动摆杆、所述第二驱动摆杆、所述第一摆动连杆和所述第二摆动连杆，通过所述第一悬臂销和所述第二悬臂销构成空间四边形以作为四边形联动机构的四条边；所述夹持摆杆和所述驱动连杆作为三角形联动机构的两条边，所述第一摆动连杆上设置有被驱动部，以在所述被驱动部受到外部凸轮随动器的驱动后，使得所述第一摆动连杆在第一平面内运动，以使所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

图8和图9分别是双联动装置外伸状态和收缩状态的结果示意，双联动装置可在同一个驱动下实现双联动伸展或收缩，伸展时可作为半导体制造中天车系统的防晃动和防坠落辅助机构，其中四边形联动机构可伸展于装载有晶圆搬运装置下方，以防止晶圆坠落，三角形联动机构可伸展于搬运装置侧边，以防搬运装置晃动导致晶圆晃动，而且收缩时双联动装置占用空间小，非常灵活地应用于晶圆搬运的天车系统中，比如在通过安装板安装于天车系统后，对天车系统的影响非常小。

需要说明的是，悬臂销的长度、大小等参数可根据实际应用需要进行选定，比如根据需要防晃动物品的高度，将悬臂销长度选定为物品高度的一半左右，这时三角形联动机构可出于物品高度一半出进行防晃动，因而这里不作限定；悬臂的长度、大小等参数可根据实际安装使用需要进行选定，这里不作限定；还有，驱动摆杆、摆动连杆、夹持摆杆和驱动连杆等部件，可以根据实际应用需要确定这些结构部件的参数，这里不作限定。

在一些实施方式中，可采用螺纹型等高螺栓作为前述驱动摆杆、摆动连杆、夹持摆杆和驱动连杆等部件之间的转动连接部件，简化连接关系。

在一些实施例中，所述第一悬臂和/或第二悬臂可为第一外螺纹型等高螺栓，驱动摆杆通过螺纹型等高螺栓固定于安装板进行使用，其中螺纹型等高螺栓的一端固定于安装板(比如前述任意实施例所述传动装置的安装板)，螺纹型等高螺栓的另一端与驱动摆杆转动连接，以是所述双联动装置以螺纹型等高螺栓为轴进行联动下的伸展或收缩。

如图10所示，悬臂11可采用螺纹型等高螺栓，驱动摆杆12中安装有轴承14，螺纹型等高螺栓穿过轴承后使用紧固螺母16进行紧固，连接关系简单，便于使用中的连接安装。

需要说明的是，螺纹型等高螺栓采用螺母紧固中，可以根据实际应用需要，确定是一端采用螺母紧固，或者是两端均采用螺母紧固，这里不作限定。还有，其余转动位置连接，也可使用螺纹型等高螺栓进行连接，下面不再一一展开。

在一些实施例中，所述第一悬臂销和/或可为第二外螺纹型等高螺栓，即采用螺纹型等高螺栓，将所述第一驱动摆杆和所述第一摆动连杆构成空间结构，和/或将所述第二驱动摆杆和所述第一摆动连杆构成空间结构。

在一些实施例中，所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接包括：所述第一驱动摆杆的第二端通过第三外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接。

在一些实施例中，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接包括：所述第二驱动摆杆的第二端通过第四外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接。

在一些实施例中，所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行轴承连接包括：所述驱动连杆的第一端通过第五外螺纹型等高螺栓与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行转动连接。

在一些实施方式中，可在所述三角形联动机构上增设夹持连杆，通过夹持连杆对晶圆搬运过程进行防晃动，可提高防晃动辅助机构在晶圆搬运中的防晃动作用。

实施中，如图6所示，所述双联动装置还可包括夹持连杆22和第一拉簧23，其中夹持连杆22的第一端设置有第一安装座(即拉簧的一端安装座)，驱动连杆25上设置有第二安装座(即拉簧的另一端安装座)，所述第一拉簧的两端对应连接于所述第一安装座和所述第二安装座，以使所述夹持连杆在所述第一拉簧的作用下跟随所述三角形联动机构的外伸或收缩。

在一些示例中，可驱动连杆25上设置有若干第二安装座(如图中驱动连杆25上圆孔位置示意的多个第二安装座)，从而可在实际应用中，根据夹持使用需要，将相应拉簧安装到相应安装座上，以满足预设的防晃动要求。

需要说明的是，拉簧可为弹性部件，安装于安装座，使得夹持连杆22在联动中伸出到达预定位置或者收缩到预定位置，比如晶圆搬运中夹持连杆22在受冲击力后，将向上收缩方向偏移，这时拉伸弹簧受力，将产生作用力，迫使夹持连杆22进行反向偏移，因而夹持连杆223回复到原先伸展位置。

在一些实施方式中，可在夹持连杆的端部安装有夹紧辊轮，更好地在晶圆搬运中进行防晃动。

实施中，如图6所示，所述双联动装置还可包括夹紧辊轮21，其中夹紧辊轮21设置于夹持连杆22的第二端。

需要说明的是，夹紧辊轮21与夹持连杆22之间的连接可为固定连接，也可为转动连接，这里不作限定。

在一些实施方式中，可在转动连接中采用无油衬套进行连接。

在一种示例中，如图11所示，可将无油衬套设置于夹持连杆22、驱动连杆25和夹持摆杆26之间的转动连接中间。其中，图11可为图6中C-C剖面视图的部分示意图示。

实施中，所述双联动装置还可包括无油衬套27，夹持摆杆26、驱动连杆25和夹持连杆22可通过第六外螺纹型等高螺栓20和无油衬套27连接，其中无油衬套27设置于驱动连杆25的连接处内，即夹持摆杆26、驱动连杆25以及夹持连杆22均固定至第六外螺纹型等高螺栓20，中间采用无油衬套27间隔。

需要说明的是，无油衬套可以是铜套的一种改良，可用于各种机械的滑动部位，具有摩擦系数小、耐磨和无油润滑等特点，可根据实际应用需要应用于转动连接部位，这里不作具体限定。

在一些实施方式中，可通过驱动摆杆22的设置来实现联动中的倍程。

实施中，第一中心距与第二中心距可按预设的倍程设置，其中所述第一中心距为所述第一悬臂和所述第一悬臂销之间的中心距，所述第二中心距为所述第一悬臂和第一连接处的中心距，所述第一连接处为所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端的连接处。

例如，悬臂11距离第二摆动连杆13的中心距较远，而距离第一摆动连杆19较近，可通过调节两处中心距的比例，实现联动的倍程功能。

在一些实施方式中，驱动摆赶12可为斜L型摆杆，即所述第一驱动摆杆和所述第二驱动摆杆均为斜L型摆杆，其中斜L型摆杆的短臂可与第一摆动连杆19连接，而斜L型摆杆的长臂可与第二摆动连杆13连接，进而在第一摆动连杆19被驱动下，更好地进行倍程功能。

在一些实施方式中，第一摆动连杆19上的被驱动部可设置于中部位置，既方便安装和使用，也有利于双联动装置在驱动下进行联动的伸展或收缩。

实施中，被驱动部可以为第一摆动连杆19设置的凹槽，以更好地安装驱动部件，比如将驱动部件紧固于凹槽中，其中驱动部件可为前述任意一个实施例所述传动装置中的凸轮随动器。

需要说明的是，被驱动部和驱动部件之间的连接可以使得第一摆动连杆19在驱动部件的驱动下，限制在同一平面内进行运动的，这里不作限定。

在一些实施方式中，所述四边形联动机构可以是平行四边形的联动结构，结构简单，联动效果好。

实施中，第一悬臂和第二悬臂之间的中心距，即两侧悬臂11之间的中心距，可与第一摆动连杆19的两端安装孔的中心距一致，使得以这两个中心距构成第一个空间平行四边形机构，即以悬臂11、悬臂销17、驱动摆杆12、第一摆动连杆19等构成第一个空间平行四边形。

实施中，第一悬臂和第二悬臂之间的中心距，即两侧悬臂11之间的中心距，可与第二摆动连杆13的两端安装孔的中心距一致，使得以这两个中心距构成第二个空间平行四边形机构，即以驱动摆杆12、第二摆动连杆13等构成第二个空间平行四边形机构。

在一些实施方式中，可对双联动装置的各个部件进行减重设计，有利于减轻设备重量，降低晶圆搬运的天车系统整体重量，减轻天车对龙骨的负担。

在一些示例中，可对驱动摆杆12进行减重设计，比如所述第一驱动摆杆设置有若干第二减重结构，和/或在所述第二驱动摆杆设置有若干第三减重结构。

在一些示例中，可对第二摆动连杆13进行减重设计，即第二摆动连杆13设置有若干第四减重结构。

在一些示例中，可对夹持摆杆进行减重设计，即夹持摆杆26设置有若干第五减重结构。

需要说明的是，前述减重设计的减重结构，可以是对结构件进行镂空设计的结构，比如将结构件的部分部位进行镂空，使得结构件的重量得到减轻。当然，进行减重设计时应在未影响结构件自身强度下进行，这里不对减重结构和减重设计进行限定。

基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种防晃坠防装置，不仅结构简单，还可基于一个驱动实现双联动的防晃动和防坠落，可将该防晃防坠装置作为半导体制造中用于搬运晶圆的天车系统中一种辅助机构，以使用一个所述防晃防坠装置取代原方案中防晃动机构和防坠落机构的两套独立装置，有效简化设备的结构，减小设备体积，降低设备占用空间，以及减轻设备重量，非常灵活地应用于晶圆搬运中的天车系统中，以进行晶圆搬运中的防晃动和防坠落。

如图12所示，本说明实施例提供一种防晃坠防装置，可包括第二连接件300、如前述任意一项实施例所述传动装置(图中标记为传动装置100)和如前述任意一项实施例所述双联动装置(图中标记为双联动装置200)，其中双联动装置200中的悬臂11(即第一悬臂，而另一侧的第二悬臂也通过对应的第二连接件连接于安装板)通过第二连接件300与传动装置100中的安装板固定连接，传动装置100中凸轮随动器的第二端与双联动装置200中第一摆动连杆上的被驱动部连接(如图中标记18的示意)，以在传动装置100中电机的驱动下，使得双联动装置200中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

实施中，第一悬臂、第二悬臂通过所述第二连接件与所述传动装置中的安装板固定连接，这里的固定连接是指通过固定连接后，双联动装置200和传动装置100之间相对固定，使得传动装置100中的凸轮随动器驱动双联动装置中的第一摆动连杆在同一个平面内进行运动，实现基于单电机驱动下防晃动和防坠落的同时双联动地伸展或收缩。因此，第二连接件的形式可根据实际应用需要进行确定，以更好地将传动装置100和双联动装置200固连后使用。

如图13所示，在将所述防晃防坠装置应用于天车系统中后，通过所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸于预设位置，其中所述三角形联动机构伸展于待搬运物体侧面，比如图中夹紧辊轮伸展于装载有晶圆的物品侧面，可对物体的晃动启动限定作用，而所述四边形联动机构伸展于待搬运物体下方，可对物体的坠落起到限定作用。因此，在将所述防晃防坠装置应用于半导体制造的晶圆搬运中时，不仅防晃动和防坠落的辅助机构简单，还能有效地对晶圆搬运过程进行防晃动和防坠落。

如图14所示，在将所述防晃防坠装置应用于天车系统中后，当防晃防坠装置处于收缩状态时，由于占用空间小，并不影响天车系统中待搬运物品的装载、卸载等操作。

需要说明的是，在图13、图14中，两侧为所述防晃防坠装置，中间为待搬运物品。

在一些实施方式中，如图15(为图12中B-B的剖面视图的部分示意)所示，第二连接件300可包括L型连接件，这时悬臂11(即第一悬臂或第二悬臂)通过所述第二连接件300与传动装置100中的安装板固定连接可包括：第一悬臂、第二悬臂通过所述L型连接件与所述传动装置中的安装板螺纹锁附。

通过螺纹锁附进行固连，结构简单，连接方便，可灵活地根据使用场景进行固连使用。

在一些实施方式中，所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部连接包括：所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部螺纹锁附。

在图12中，凸轮随动器的第二端连接于第一摆动连杆上(如图中标识18的示意)。需要说明的是，连接方式可根据实际应用需要确定，比如使用螺母紧固，这里不作限定。

在一些实施方式中，可分别对传动装置100、双联动装置200作减重设计，以减轻设备重量。

实施中，可对各部件进行减重设计，比如结构件的板材可选用铝材，比如结构件减重结构设计，如在传动装置中的安装板上设计多个矩形、圆形等挖空部位，具体减重设计可参考现有技术，这里不再赘述。

基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种天车系统，可基于前述任意一个实施例所述防晃防坠装置，进行晶圆搬运中的防晃动和防坠落。

本说明实施例提供一种天车系统，可包括如前述任意一项实施例所述防晃坠防装置，其中所述防晃坠防装置设置于天车系统中的天车内侧，所述传动装置的安装板固定于天车的侧壁，以在所述传动装置中电机的驱动下，使得所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

使用所述防晃防坠装置后，天车系统可灵活地应用于半导体制造的晶圆搬运中，不仅防晃动和防坠落的辅助机构结构简单，设备体积小，重量轻，对天车的龙骨负担小。

实施中，可根据实际天车系统的使用需要，确定所述防晃防坠装置的安装位置、数量等，这里不作限定。

基于相同发明构思，本说明书实施例还提供一种晶圆搬运方法，应用于半导体制造中的天车系统，高效、可靠地进行晶圆搬运。

如图16所示，一种晶圆搬运方法，可应用于如前述任意一个实施例所述天车系统，其中所述晶圆搬运方法可包括以下步骤：

步骤S402、启动所述传动装置的电机，以驱动所述双联动装置中的四边形联动机构和三角形联动机构进行同时联动地外伸于第一预定位置，其中所述第一预定位置位于所述天车系统中所述防晃防坠装置的工作位，以在搬运中对待搬运晶圆进行防晃动和防坠落；

步骤S404、当所述天车系统将所述待搬运晶圆搬运到目标位置时，通过所述传动装置的电机驱动所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构进行同时联动地收缩至第二预定位置，其中所述第二预定位置位于所述天车系统中的所述防晃防坠装置的停止位。

需要说明的是，前述步骤S402-S404，是对原天车系统中的两套独立辅助机构(即防晃动机构和防坠落机构)进行改造后，在搬运中辅助机构在搬运中采用的相关步骤流程，因而搬运的其余步骤可与原方案相同或相似，比如晶圆装载到天车系统中，比如晶圆从天车系统中卸载下来等等，这里不作展开说明。

通过上述步骤S402-S404，可对晶圆的搬运过程进行高效、可靠的防晃动和防坠落，避免半导体制造中出现晶圆搬运的物损、人伤等情况。

应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (18)

1.一种传动装置，其特征在于，包括：安装板、电机、第一轴承座、第二轴承座、联轴器、旋转轴、凸轮和凸轮随动器；

所述电机、所述第一轴承座和所述第二轴承座安装于所述安装板，所述旋转轴支承于所述第一轴承座和所述第二轴承座之间；

所述电机的输出轴与所述联轴器的第一端连接，所述联轴器的第二端与所述旋转轴的第一端连接；

所述凸轮设置于所述第一轴承座与所述第二轴承座之间的所述旋转轴上，以使所述凸轮在所述电机的驱动下跟随所述旋转轴转动；

所述凸轮随动器的第一端设置于凸轮槽内，所述凸轮随动器的第二端与联动机构连接，以在所述电机的驱动下，使得所述凸轮随动器的第二端在同一平面内运动以驱动所述联动机构，其中所述凸轮槽为设置于所述凸轮上的轨迹槽，所述轨迹槽为根据所述凸轮随动器的第二端在同一平面内的运动轨迹进行设置的轨迹槽，所述联动机构与所述安装板之间相对固定连接。

2.根据权利要求1所述的传动装置，其特征在于，所述传动装置还包括锁紧螺母和第一卡簧，所述旋转轴的第一端通过所述锁紧螺母连接于第一轴承座，所述第一卡簧设置于所述第一轴承座的内部，所述锁紧螺母与所述第一卡簧配合以在轴向上固定所述旋转轴。

3.根据权利要求1所述的传动装置，其特征在于，所述传动装置还包括码盘和码盘检测装置，所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端，所述码盘检测装置固定安装于所述安装板上，所述码盘检测装置用于检测目标标识以确定所述凸轮随动器的行程，其中所述目标标识设置于所述码盘上。

4.根据权利要求3所述的传动装置，其特征在于，所述旋转轴的第二端设置有定位轴肩，所述码盘设置有径向凹槽，所述传动装置还包括第二卡簧；

所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端包括：所述定位轴肩和所述第二卡簧配合以对所述码盘进行轴向定位，所述定位轴肩与所述径向凹槽配合以对所述码盘进行径向定位，使得所述码盘固定安装于所述旋转轴的第二端；

和/或，所述目标标识包括凸起部位，所述码盘上设置有所述凸起部位，所述码盘检测装置包括光电传感器。

5.根据权利要求4所述的传动装置，其特征在于，当所述码盘检测装置包括光电传感器时，所述光电传感器为槽型的光电传感器；

和/或，当所述码盘检测装置包括光电传感器时，所述光电传感器通过钣金件安装于所述安装板上。

6.根据权利要求3所述的传动装置，其特征在于，所述传动装置还包括第一连接件，所述码盘与所述第一连接件螺丝锁附，所述第一连接件与所述旋转轴的第二端键连接。

7.一种双联动装置，其特征在于，包括第一悬臂、第二悬臂、第一悬臂销、第二悬臂销、第一驱动摆杆、第二驱动摆杆、第一摆动连杆、第二摆动连杆、夹持摆杆和驱动连杆；

所述第一驱动摆杆的第一端与所述第一悬臂销的第一端转动连接，所述第一悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第一端固定连接，所述第二驱动摆杆的第一端与所述第二悬臂销转动连接，所述第二悬臂销的第二端与所述第一摆动连杆的第二端固定连接；

所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接；

所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置转动连接，所述驱动连杆的第二端与所述夹持摆杆的第一端转动连接，所述夹持摆杆的第二端通过所述第一悬臂与所述第二驱动摆杆上的第二位置转动连接；

所述第一驱动摆杆设置有第一轴承安装孔，所述第二驱动摆杆设置有第二轴承安装孔，所述第一悬臂的一端安装于所述第一轴承安装孔，所述第二悬臂的一端安装于所述第二轴承安装孔，所述第一悬臂的另一端和所述第二悬臂的另一端分别与外部凸轮随动器所在的传动装置固定连接；

其中，所述第一驱动摆杆、所述第二驱动摆杆、所述第一摆动连杆和所述第二摆动连杆，通过所述第一悬臂销和所述第二悬臂销构成空间四边形以作为四边形联动机构的四条边；所述夹持摆杆和所述驱动连杆作为三角形联动机构的两条边，所述第一摆动连杆上设置有被驱动部，以在所述被驱动部受到外部凸轮随动器的驱动后，使得所述第一摆动连杆在同一平面内运动，以使所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

8.根据权利要求7所述的双联动装置，其特征在于，所述第一悬臂和/或第二悬臂为第一外螺纹型等高螺栓；

和/或，所述第一悬臂销和/或所述第二悬臂销为第二外螺纹型等高螺栓；

和/或，所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接包括：所述第一驱动摆杆的第二端通过第三外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第一端进行转动连接；

和/或，所述第二驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接包括：所述第二驱动摆杆的第二端通过第四外螺纹型等高螺栓与所述第二摆动连杆的第二端进行转动连接；

和/或，所述驱动连杆的第一端与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行转动承连接包括：所述驱动连杆的第一端通过第五外螺纹型等高螺栓与所述第一驱动摆杆上的第一位置进行转动连接。

9.根据权利要求7所述的双联动装置，其特征在于，所述双联动装置还包括夹持连杆和第一拉簧；

所述夹持连杆的第一端设置有第一安装座，所述驱动连杆上设置有第二安装座，所述第一拉簧的两端对应连接于所述第一安装座和所述第二安装座，以使所述夹持连杆在所述第一拉簧的作用下跟随所述三角形联动机构外伸或收缩。

10.根据权利要求9所述的双联动装置，其特征在于，所述双联动装置还包括夹紧辊轮，所述夹紧辊轮设置于所述夹持连杆的第二端；

和/或，所述双联动装置还包括无油衬套，所述夹持摆杆、所述驱动连杆和所述夹持连杆通过第六外螺纹型等高螺栓和所述无油衬套连接，其中所述无油衬套设置于所述驱动连杆的连接处内。

11.根据权利要求7所述的双联动装置，其特征在于，第一中心距与第二中心距按预设的倍程设置，其中所述第一中心距为所述第一悬臂和所述第一悬臂销之间的中心距，所述第二中心距为所述第一悬臂和第一连接处的中心距，所述第一连接处为所述第一驱动摆杆的第二端与所述第二摆动连杆的第一端的连接处。

12.根据权利要求11所述的双联动装置，其特征在于，所述第一驱动摆杆和所述第二驱动摆杆均为斜L型摆杆。

13.一种防晃坠防装置，其特征在于，包括第二连接件、如权利要求1-6中任意一项所述的传动装置和如权利要求7-12中任意一项所述的双联动装置，其中所述双联动装置中第一悬臂、第二悬臂通过所述第二连接件与所述传动装置中的安装板固定连接，所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部连接，以在所述传动装置中电机的驱动下，使得所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

14.根据权利要求13所述的防晃坠防装置，其特征在于，所述第二连接件包括L型连接件；

第一悬臂、第二悬臂通过所述第二连接件与所述传动装置中的安装板固定连接包括：第一悬臂、第二悬臂通过所述L型连接件与所述传动装置中的安装板螺纹锁附。

15.根据权利要求13所述的防晃坠防装置，其特征在于，所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部连接包括：所述传动装置中凸轮随动器的第二端与所述双联动装置中第一摆动连杆上的被驱动部螺纹锁附。

16.根据权利要求13所述的防晃坠防装置，其特征在于，所述传动装置的安装板设置有若干第一减重结构；

和/或，所述双联动装置的第一驱动摆杆设置有若干第二减重结构；

和/或，所述双联动装置的第二驱动摆杆设置有若干第三减重结构；

和/或，所述双联动装置的第二摆动连杆设置有若干第四减重结构；

和/或，所述双联动装置的夹持摆杆设置有若干第五减重结构。

17.一种天车系统，其特征在于，包括如权利要求13-16中任意一项所述的防晃坠防装置，其中所述防晃坠防装置设置于天车系统中的天车内侧，所述传动装置的安装板固定于天车的侧壁，以在所述传动装置中电机的驱动下，使得所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构同时联动地外伸或收缩。

18.一种晶圆搬运方法，其特征在于，应用于如权利要求17所述的天车系统，所述晶圆搬运方法包括：

启动所述传动装置的电机，以驱动所述双联动装置中的四边形联动机构和三角形联动机构进行同时联动地外伸于第一预定位置，其中所述第一预定位置位于所述天车系统中所述防晃防坠装置的工作位，以在搬运中对待搬运晶圆进行防晃动和防坠落；

当所述天车系统将所述待搬运晶圆搬运到目标位置时，通过所述传动装置的电机驱动所述双联动装置中所述四边形联动机构和所述三角形联动机构进行同时联动地收缩至第二预定位置，其中所述第二预定位置位于所述天车系统中的所述防晃防坠装置的停止位。

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