CN113707588B - 一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,属于料盒转换装置技术领域,以解决目前的镂空料盒在转换时,通常是员工手动倒料切换料盒,从而效率较低,并且目前的料盒转换装置功能单一,不具备对清洗液体的收集功能的问题,包括:安装底座;所述安装底座上部转动连接有转换盒体,且转换盒体内部设有同步移动部;所述同步移动部上部安装有两个镂空料盒主体。本发明在一个镂空料盒主体内的半导体产品清洗同时,可提起将另外一个镂空料盒主体内放入第二批待清洗的半导体产品,从而提高了料盒的转换效率,且通过集液部的设置,从而有效减少清洗液体的浪费,从而大大提高了本料盒转换装置的实用。
Description
技术领域
本发明属于料盒转换装置技术领域,更具体地说,特别涉及一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,而半导体产品在制造时,通常需要对半导体产品进行清洗,而清洗过程中便需要对料盒进行转换。
目前半导体产品在清洗的时候,需要通过切换镂空料盒实现半导体产品的转运,但是目前的镂空料盒在转换时,通常是员工手动倒料切换料盒,这样一来,便对员工操作经验要求较高,且存在着摔料的风险,而且料盒转换的效率较低,并且目前的料盒转换装置功能单一,只能转换料盒,而不具备对清洗液体的收集功能,从而降低了料盒转换装置的实用性。
发明内容
为了解决上述技术问题,本发明提供一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,以解决目前的镂空料盒在转换时,通常是员工手动倒料切换料盒,这样一来,便对员工操作经验要求较高,且存在着摔料的风险,而且料盒转换的效率较低,并且目前的料盒转换装置功能单一,只能转换料盒,而不具备对清洗液体的收集功能,从而降低了料盒转换装置的实用性的问题。
本发明一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置的目的与功效,由以下具体技术手段所达成:
一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,包括安装底座;所述安装底座上部转动连接有转换盒体,且转换盒体内部设有同步移动部;所述同步移动部上部安装有两个镂空料盒主体,且同步移动部上部位于两个镂空料盒主体下部共设有两个防护壳件,右侧一个防护壳件上部设有拧动件;所述安装底座左侧固定安装有集液部,且集液部上设有清扫部,安装底座上端面前侧安装有驱动件。
进一步的,所述转换盒体左端设有三个排液口,且转换盒体底部中侧固定有驱动轴,驱动轴前端固定有驱动齿轮,所述转换盒体内部前后两侧固定有四根横向导杆,且四根横向导杆上部滑动有同步移动部;
进一步的,所述安装底座上端面呈前后对称状安装有两个竖向支板,且两个竖向支板上部通过轴承转动连接有转换盒体,所述安装底座上端面呈左右对称状固定有两个限位板,且两个限位板上端面均为弧形面,并且右侧限位板上端与转换盒体底端面相接触;
进一步的,所述镂空料盒主体底部通过四根支柱固定有连接板,且连接板底端面左右两侧均呈均匀状固定有四个T型滑块,所述连接板底端面前侧固定有卡扣支块,且卡扣支块上的两个矩形通口内部均通过滑柱滑动有一个弹性卡扣,且每根滑柱外部均套接有弹簧,当镂空料盒主体与支撑板件处于安装状态时,八个T型滑块分别与支撑板件上的两个滑轨滑动相连接,且两个弹性卡扣与挡板上的矩形卡口相卡接;
进一步的,所述同步移动部包括移动板、带动齿条、支撑板件、配重块、同步齿轮、第一滑筒、滑轨和挡板,所述移动板的数量为两个,且两个移动板相对面均固定有一根带动齿条,每个移动板上端均固定有一个支撑板件,且右侧一个支撑板件底端面固定有配重块,所述同步齿轮通过转轴转动连接在转换盒体内部底端面中侧,且同步齿轮与两根带动齿条相啮合,两个移动板相背面均固定有两个第一滑筒,且四个第一滑筒分别与四根横向导杆滑动相连接,每个所述支撑板件上端面左右两侧均固定有一个滑轨,且每个滑轨上端面均开设有T型滑槽,每个滑轨上端面均呈均匀状开设有三个缺口,每个支撑板件上端面位于滑轨一端均固定有一个挡板,且每个挡板前端面中部均开设有矩形卡口,每个支撑板件上部均通过滑轨滑动有一个镂空料盒主体,每个挡板外端面位于矩形卡口处均固定有一个防护壳件;
进一步的,所述集液部内部上端安装有L型支板,且L型支板左侧上端面固定镶嵌有防溅水网层,集液部前端面右侧开设有出液口,且集液部前端面右侧位于出液口外部设有过滤箱,所述过滤箱内部安装有过滤网板,且过滤网板后端面设有清扫部,过滤箱前端设有循环出液管;
进一步的,所述防护壳件上部开口处通过转轴转动连接有遮挡门,且遮挡门上滑动贯穿有锁紧螺栓,遮挡门上端面位于锁紧螺栓外部固定有防护套,且防护套内周面直径与锁紧螺栓上端外周面直径相等,所述锁紧螺栓上端面开设有V字形插槽,且V字形插槽内插接有拧动件,锁紧螺栓下端外部螺纹连接有螺纹筒,且螺纹筒固定在防护壳件上;
进一步的,所述清扫部包括清扫毛刷和第三滑筒,所述清扫毛刷的数量为三个,且三个清扫毛刷之间通过四根第三滑筒固定相连接,上部一个清扫毛刷上端与拉绳另一端固定相连接,且拉绳贯穿过滤箱顶部,三个清扫毛刷刷毛均与过滤网板后端面相接触,四个所述第三滑筒内部滑动有两根支撑滑杆,且两根支撑滑杆固定在过滤网板后端面,两根支撑滑杆上端外部套接有弹簧;
进一步的,所述驱动件包括电动缸、驱动齿条、第二滑筒和拉绳,所述电动缸安装在安装底座上端面,且电动缸上的伸缩杆上端固定有与驱动齿轮啮合的驱动齿条,驱动齿条前后两侧均固定有一个第二滑筒,且电动缸与外部控制器为普通电性连接,前侧一个所述第二滑筒支块下端固定有拉绳,且两个第二滑筒内部均滑动有一根竖向滑杆,并且两根竖向滑杆均固定在电动缸上。
进一步的,所述拧动件下端设有驱动块,且驱动块为V字形插块结构,并且驱动块与右侧锁紧螺栓上端的V字形插槽相插接,所述拧动件上端面设有吊环,且拧动件外周面设有防滑条纹。
与现有技术相比,本发明具有如下有益效果:
1、本发明通过驱动件、转换盒体、同步移动部的配合,半导体产品在清洗时,通过电动缸伸缩杆的伸缩,即可实现转换盒体的上下转动,然后通过同步移动部,使得两个镂空料盒主体同步向相反方向移动,从而在一个镂空料盒主体内的半导体产品清洗同时,可提起将另外一个镂空料盒主体内放入第二批待清洗的半导体产品,如此循环操作,从而提高了料盒的转换效率,且无需员工手动转换,从而对员工操作经验要求较低。
2、本发明通过防护壳件的设置,使得两个镂空料盒主体在防护壳件的作用下不能被普通员工拆下,从而使得镂空料盒主体内部清洗后的半导体产品只能挨个取出,而不能直接倒出,这样一来,便能够有效避免摔料的风险,从而大大提高了半导体产品的良品率。
3、本发明通过集液部的设置,在转换盒体左端在向左倾斜时,转换盒体内部收集的清洗液体便会通过三个排液口排入集液部内部,且通过在L型支板左侧上端面固定镶嵌有防溅水网层,从而使三个排液口流出的清洗液体能够在防溅水网层的作用下得到防飞溅作用,从而有效减少清洗液体的浪费,然后通过过滤箱内部过滤网板过滤后,可循环使用,从而大大提高了本料盒转换装置的实用性。
4、本发明通过驱动件与清扫部的配合,在电动缸伸缩杆向上移动同时,通过前侧一个第二滑筒上的支块带动拉绳右端向上移动,然后通过拉绳左端带动三个清扫毛刷向上移动,而当电动缸伸缩杆向下移动时,拉绳失去拉力作用后,三个清扫毛刷再在弹簧作用下向下移动,如此上下往复移动,从而使得过滤网板后端面能够得到自动清扫作用,有效避免过滤网板后端面发生堵塞现象。
附图说明
图1是本发明的第一视角结构示意图。
图2是本发明的第二视角结构示意图。
图3是本发明的拆分状态下结构示意图。
图4是本发明的转换盒体和同步移动部结构示意图。
图5是本发明的移动板和镂空料盒主体结构示意图。
图6是本发明的支撑板件和镂空料盒主体拆分状态下结构示意图。
图7是本发明的图6中A处局部放大结构示意图。
图8是本发明的防护壳件、遮挡门和防护套局部剖视结构示意图。
图9是本发明的过滤箱局部剖视结构示意图。
图10是本发明的过滤网板和清扫部结构示意图。
图中,部件名称与附图编号的对应关系为:
1、安装底座;101、竖向支板;102、限位板;2、转换盒体;201、排液口;202、驱动齿轮;203、驱动轴;204、横向导杆;3、同步移动部;301、移动板;302、带动齿条;303、支撑板件;304、配重块;305、同步齿轮;306、第一滑筒;307、滑轨;308、挡板;4、镂空料盒主体;401、连接板;402、卡扣支块;403、弹性卡扣;5、防护壳件;501、遮挡门;502、锁紧螺栓;503、防护套;6、集液部;601、过滤箱;602、循环出液管;603、L型支板;604、防溅水网层;605、过滤网板;7、拧动件;701、驱动块;8、驱动件;801、电动缸;802、驱动齿条;803、第二滑筒;804、拉绳;9、清扫部;901、清扫毛刷;902、第三滑筒。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明,但不能用来限制本发明的范围。
在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上;术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例:
如附图1至附图10所示:
本发明提供一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,包括有:安装底座1;安装底座1上部转动连接有转换盒体2,便于配重块304在重力作用下进行左右移动,安装底座1上端面呈前后对称状安装有两个竖向支板101,且两个竖向支板101上部通过轴承转动连接有转换盒体2;安装底座1上端面呈左右对称状固定有两个限位板102,用于对转换盒体2上下转动时进行限位,且两个限位板102上端面均为弧形面,并且右侧限位板102上端与转换盒体2底端面相接触;
转换盒体2左端设有三个排液口201,且转换盒体2底部中侧固定有驱动轴203,驱动轴203前端固定有驱动齿轮202,用于驱动驱动轴203进行转动;转换盒体2内部前后两侧固定有四根横向导杆204,且四根横向导杆204上部滑动有同步移动部3;转换盒体2内部设有同步移动部3,用于带动两个镂空料盒主体4同步向相反方向移动;
同步移动部3上部安装有两个镂空料盒主体4,用于存放半导体产品,镂空料盒主体4底部通过四根支柱固定有连接板401,且连接板401底端面左右两侧均呈均匀状固定有四个T型滑块;连接板401底端面前侧固定有卡扣支块402,用于安装弹性卡扣403,且卡扣支块402上的两个矩形通口内部均通过滑柱滑动有一个弹性卡扣403,且每根滑柱外部均套接有弹簧,从而使弹性卡扣403具有较好的弹性,当镂空料盒主体4与支撑板件303处于安装状态时,八个T型滑块分别与支撑板件303上的两个滑轨307滑动相连接,且两个弹性卡扣403与挡板308上的矩形卡口相卡接,从而使镂空料盒主体4在支撑板件303上得到固定作用;
同步移动部3上部位于两个镂空料盒主体4下部共设有两个防护壳件5,用于对镂空料盒主体4上的两个弹性卡扣403进行防护,防止普通员工轻易将两个弹性卡扣403进行捏动,右侧一个防护壳件5上部设有拧动件7,用于驱动锁紧螺栓502进行转动,拧动件7下端设有驱动块701,且驱动块701为V字形插块结构,并且驱动块701与右侧锁紧螺栓502上端的V字形插槽相插接;拧动件7上端面设有吊环,且拧动件7外周面设有防滑条纹,拧动件7可由检修人员随身携带,从而在打开遮挡门501时,只能通过将驱动块701插入锁紧螺栓502上端的V字形插槽内才能将遮挡门501打开,有效避免镂空料盒主体4被普通员工拆下的现象;安装底座1左侧固定安装有集液部6;
集液部6上设有清扫部9,清扫部9包括清扫毛刷901和第三滑筒902,清扫毛刷901的数量为三个,且三个清扫毛刷901之间通过四根第三滑筒902固定相连接,上部一个清扫毛刷901上端与拉绳804另一端固定相连接,且拉绳804贯穿过滤箱601顶部,三个清扫毛刷901刷毛均与过滤网板605后端面相接触,从而在三个清扫毛刷901上下移动时,能够使过滤网板605后端面得到清扫作用,避免过滤网板605上网孔的堵塞现象;四个第三滑筒902内部滑动有两根支撑滑杆,且两根支撑滑杆固定在过滤网板605后端面,两根支撑滑杆上端外部套接有弹簧,使三个清扫毛刷901在失去拉力后能够在弹簧作用下向下移动;
安装底座1上端面前侧安装有驱动件8,用于驱动转换盒体2进行上下转动,驱动件8包括电动缸801、驱动齿条802、第二滑筒803和拉绳804,电动缸801安装在安装底座1上端面,且电动缸801上的伸缩杆上端固定有与驱动齿轮202啮合的驱动齿条802,用于驱动驱动齿轮202,驱动齿条802前后两侧均固定有一个第二滑筒803,且电动缸801与外部控制器为普通电性连接;前侧一个第二滑筒803支块下端固定有拉绳804,且两个第二滑筒803内部均滑动有一根竖向滑杆,并且两根竖向滑杆均固定在电动缸801上,从而使驱动齿条802在上下移动时能够得到有效导向作用。
参照图1、图4和图5,同步移动部3包括移动板301、带动齿条302、支撑板件303、配重块304、同步齿轮305、第一滑筒306、滑轨307和挡板308,移动板301的数量为两个,且两个移动板301相对面均固定有一根带动齿条302,每个移动板301上端均固定有一个支撑板件303,用于支撑镂空料盒主体4,且右侧一个支撑板件303底端面固定有配重块304,从而使右侧一个支撑板件303能够在配重块304作用下进行左右移动;同步齿轮305通过转轴转动连接在转换盒体2内部底端面中侧,且同步齿轮305与两根带动齿条302相啮合,两个移动板301相背面均固定有两个第一滑筒306,且四个第一滑筒306分别与四根横向导杆204滑动相连接,从而使两个移动板301在移动时能够得到有效导向作用;每个支撑板件303上端面左右两侧均固定有一个滑轨307,且每个滑轨307上端面均开设有T型滑槽,每个滑轨307上端面均呈均匀状开设有三个缺口,便于维修人员对镂空料盒主体4的拆卸,每个支撑板件303上端面位于滑轨307一端均固定有一个挡板308,且每个挡板308前端面中部均开设有矩形卡口,每个支撑板件303上部均通过滑轨307滑动有一个镂空料盒主体4,每个挡板308外端面位于矩形卡口处均固定有一个防护壳件5。
参照图8,防护壳件5上部开口处通过转轴转动连接有遮挡门501,且遮挡门501上滑动贯穿有锁紧螺栓502,遮挡门501上端面位于锁紧螺栓502外部固定有防护套503,且防护套503内周面直径与锁紧螺栓502上端外周面直径相等,从而使锁紧螺栓502上端只能通过拧动件7进行转动,避免普通员工进行转动;锁紧螺栓502上端面开设有V字形插槽,用于与驱动块701进行插接,且V字形插槽内插接有拧动件7,锁紧螺栓502下端外部螺纹连接有螺纹筒,且螺纹筒固定在防护壳件5上,通过螺纹筒的设置,用于与锁紧螺栓502下端进行螺纹连接,从而使关闭的遮挡门501得到有效固定作用。
参照图1和图9,集液部6内部上端安装有L型支板603,且L型支板603左侧上端面固定镶嵌有防溅水网层604,集液部6前端面右侧开设有出液口,且集液部6前端面右侧位于出液口外部设有过滤箱601;过滤箱601内部安装有过滤网板605,用于对集液部6内部收集的清洗液体进行过滤,且过滤网板605后端面设有清扫部9,从而能够使过滤网板605后端面得到有效清扫作用,过滤箱601前端设有循环出液管602,用于与外部输水泵进行连接。
在另一实施例中,每个支撑板件303底端面均呈左右对称状安装有四个支撑滚轮,且八个支撑滚轮均与转换盒体2内部底端面滚动相连接,通过支撑滚轮的设置,从而使支撑板件303在移动时,能够有效减少横向导杆204的承受力,且支撑板件303在移动时更加轻便。
使用时:半导体产品在清洗时,首先将待清洗的半导体产品放置到前侧一个镂空料盒主体4内,然后通过外设控制器将电动缸801启动,使电动缸801伸缩杆带动驱动齿条802向上移动,然后通过驱动齿条802带动驱动齿轮202顺时针转动,从而使驱动轴203带动转换盒体2顺时针旋转,使转换盒体2右端向下倾斜,然后前侧支撑板件303在配重块304的重力作用下带动前侧镂空料盒主体4及待清洗的半导体产品向右滑动,从而使待清洗的半导体产品移动至清洗设备上的清洗装置底部,然后通过清洗液进行清洗即可;
在前侧支撑板件303在向右滑动同时,通过前侧带动齿条302带动同步齿轮305逆时针转动,从而使后侧带动齿条302带动后侧移动板301同步向左移动,然后当后侧移动板301通过后侧支撑板件303带动镂空料盒主体4移动至转换盒体2左侧时,将另一批待清洗的半导体产品再放置到后侧镂空料盒主体4内,然后当前侧镂空料盒主体4内的半导体产品清洗完毕后,再通过外设控制器将电动缸801启动,并控制电动缸801伸缩杆向下移动,从而使驱动齿条802向下移动,然后带动驱动齿轮202逆时针转动,从而使转换盒体2左端向下倾斜,然后前侧支撑板件303在配重块304的重力作用下带动前侧镂空料盒主体4及清洗完毕的半导体产品向左滑动,然后再在两个带动齿条302与同步齿轮305的配合下,使得后侧镂空料盒主体4带着另一批待清洗的半导体产品移动至清洗设备上的清洗装置底部,如此循环操作,从而提高了料盒的转换效率。
本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的,而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用,并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
Claims (10)
1.一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:料盒转换装置,包括:安装底座(1);
所述安装底座(1)上部转动连接有转换盒体(2),且转换盒体(2)内部设有同步移动部(3);
所述同步移动部(3)上部安装有两个镂空料盒主体(4),且同步移动部(3)上部位于两个镂空料盒主体(4)下部共设有两个防护壳件(5),右侧一个防护壳件(5)上部设有拧动件(7);
所述安装底座(1)左侧固定安装有集液部(6),且集液部(6)上设有清扫部(9),安装底座(1)上端面前侧安装有驱动件(8)。
2.如权利要求1所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述安装底座(1)上端面安装有两个竖向支板(101),且两个竖向支板(101)上部转动连接有转换盒体(2);
所述安装底座(1)上端面固定有两个限位板(102),且两个限位板(102)上端面均为弧形面,并且右侧限位板(102)上端与转换盒体(2)底端面相接触。
3.如权利要求2所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述转换盒体(2)左端设有三个排液口(201),且转换盒体(2)底部中侧固定有驱动轴(203),驱动轴(203)前端固定有驱动齿轮(202);
所述转换盒体(2)内部前后两侧固定有四根横向导杆(204),且四根横向导杆(204)上部滑动有同步移动部(3)。
4.如权利要求3所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述同步移动部(3)包括移动板(301)、带动齿条(302)、支撑板件(303)、配重块(304)、同步齿轮(305)、第一滑筒(306)、滑轨(307)和挡板(308),所述移动板(301)的数量为两个,且两个移动板(301)相对面均固定有一根带动齿条(302),每个移动板(301)上端均固定有一个支撑板件(303),且右侧一个支撑板件(303)底端面固定有配重块(304);
所述同步齿轮(305)转动连接在转换盒体(2)内部底端面中侧,且同步齿轮(305)与两根带动齿条(302)相啮合,两个移动板(301)相背面均固定有两个第一滑筒(306),且四个第一滑筒(306)分别与四根横向导杆(204)滑动相连接;
每个所述支撑板件(303)上端面左右两侧均固定有一个滑轨(307),且每个滑轨(307)上端面均开设有T型滑槽,每个滑轨(307)上端面均开设有三个缺口,每个支撑板件(303)上端面位于滑轨(307)一端均固定有一个挡板(308),且每个挡板(308)前端面中部均开设有矩形卡口,每个支撑板件(303)上部均通过滑轨(307)滑动有一个镂空料盒主体(4),每个挡板(308)外端面位于矩形卡口处均固定有一个防护壳件(5)。
5.如权利要求4所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述镂空料盒主体(4)底部固定有连接板(401),且连接板(401)底端面左右两侧均呈均匀状固定有四个T型滑块;
所述连接板(401)底端面前侧固定有卡扣支块(402),且卡扣支块(402)上的两个矩形通口内部均通过滑柱滑动有一个弹性卡扣(403),且每根滑柱外部均套接有弹簧,当镂空料盒主体(4)与支撑板件(303)处于安装状态时,八个T型滑块分别与支撑板件(303)上的两个滑轨(307)滑动相连接,且两个弹性卡扣(403)与挡板(308)上的矩形卡口相卡接。
6.如权利要求4所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述防护壳件(5)上部开口处转动连接有遮挡门(501),且遮挡门(501)上滑动贯穿有锁紧螺栓(502),遮挡门(501)上端面位于锁紧螺栓(502)外部固定有防护套(503),且防护套(503)内周面直径与锁紧螺栓(502)上端外周面直径相等;
所述锁紧螺栓(502)上端面开设有V字形插槽,且V字形插槽内插接有拧动件(7),锁紧螺栓(502)下端外部螺纹连接有螺纹筒,且螺纹筒固定在防护壳件(5)上。
7.如权利要求1所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述集液部(6)内部上端安装有L型支板(603),且L型支板(603)左侧上端面固定镶嵌有防溅水网层(604),集液部(6)前端面右侧开设有出液口,且集液部(6)前端面右侧位于出液口外部设有过滤箱(601);
所述过滤箱(601)内部安装有过滤网板(605),且过滤网板(605)后端面设有清扫部(9),过滤箱(601)前端设有循环出液管(602)。
8.如权利要求6所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述拧动件(7)下端设有驱动块(701),且驱动块(701)为V字形插块结构,并且驱动块(701)与右侧锁紧螺栓(502)上端的V字形插槽相插接;
所述拧动件(7)上端面设有吊环,且拧动件(7)外周面设有防滑条纹。
9.如权利要求1所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述驱动件(8)包括电动缸(801)、驱动齿条(802)、第二滑筒(803)和拉绳(804),所述电动缸(801)安装在安装底座(1)上端面,且电动缸(801)上的伸缩杆上端固定有与驱动齿轮(202)啮合的驱动齿条(802),驱动齿条(802)前后两侧均固定有一个第二滑筒(803);
前侧一个所述第二滑筒(803)支块下端固定有拉绳(804),且两个第二滑筒(803)内部均滑动有一根竖向滑杆,并且两根竖向滑杆均固定在电动缸(801)上。
10.如权利要求7所述一种基于半导体产品制造用的料盒转换装置,其特征在于:所述清扫部(9)包括清扫毛刷(901)和第三滑筒(902),所述清扫毛刷(901)的数量为三个,且三个清扫毛刷(901)之间通过四根第三滑筒(902)固定相连接,上部一个清扫毛刷(901)上端与拉绳(804)另一端固定相连接,且拉绳(804)贯穿过滤箱(601)顶部,三个清扫毛刷(901)刷毛均与过滤网板(605)后端面相接触;
四个所述第三滑筒(902)内部滑动有两根支撑滑杆,且两根支撑滑杆固定在过滤网板(605)后端面,两根支撑滑杆上端外部套接有弹簧。
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