CN113703289A - 光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质，该方法包括获取工作时的光刻机的各种工作参数；将各种工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；对比工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。本申请提供的上述技术方案，通过将工作时的光刻机的各种工作参数转换成对应的工作图形界面，根据工作图形界面来判断光刻机的各个参数是否出现异常，更加直观的对比出设备各项参数状态的变化，解决了传统方式依靠工程师停机检查及设备仪器检测时效性低的问题，同时避免了因为设备参数变化跟踪不及时导致产品的批量报废。

Description

光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质。

背景技术

光刻机是集成电路生产和制造过程中的关键设备之一，光刻机在持续的工作状态中，因为外界温湿度、净化度等环境影响，同时由于工作时联动的零部件很多，容易出现马达丢步，光路偏移，能量衰减等一系列的故障，从而影响掩模版的图形质量。

目前在检查光刻机的图形质量时，主要是通过跟踪设备各个部件的参数变化或者在停机时通过工程师对各个设备仪器进行检测，这样不但效率低下，而且在设备参数变化跟踪不及时容易导致产品的批量报废。

发明内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种光刻机参数状态检测方法、装置、设备及其存储介质。

第一方面，本申请实施例提供了一种光刻机参数状态检测方法，该方法至少包括以下步骤：

获取工作时的光刻机的各种工作参数；

将各种所述工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；

对比所述工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若所述偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若所述偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的Focus参数，所述Focus为光刻机曝光时的镜头与掩膜版之间的距离；

将所述Focus参数转换成黑白交界的正方块并量化；

对比所述黑白交界的正方块与对应的正常图形界面的偏差，当所述黑白交界的正方块的长宽不相等或者90°角的清晰度小于预设值时，则判定工作时的Focus参数有异常。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的CD bias参数，所述CD bias为曝光时xy方向实际线条效果与设计值之间的偏差；

将所述CD bias参数转换成横竖线条并量化；

对比所述横竖线条区域的透光率与预设值之间的偏差，当所述偏差值超过阈值时，则判定所述CD bias参数有异常。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的PPX-PPY参数，所述PPX-PPY参数为光刻机的激光器出光后经过两条光路处理后合并成完全重叠的同一个光斑；

将所述PPX-PPY参数转换成对应的内十字图形和外十字图形并量化；

对比所述内十字图形和所述外十字图形之间的重合度，当所述重合度超过预设值时，则判定所述PPX-PPY参数有异常。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的zoom参数，所述zoom参数为光路光斑的长度；

将所述zoom参数转换成线条并量化；

对比所述线条的长度与预设长度之间的差值，当所述差值的范围超过阈值时，则判定所述zoom参数有异常。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的rotation参数，所述rotation参数为两个光路的光斑扭曲或者旋转角度；

将所述rotation参数转换成45°斜线并量化；

对比两条45°斜线之间的重合度，当所述重合度超过预设值时，则判定所述rotation参数有异常。

进一步，该方法包括：获取工作时的光刻机的VIC mura参数，所述VIC mura参数为激光经过光路上的器件处理后体现在镜头光斑上的能量均匀性；

将所述VIC mura参数转换成等间距线条或规则图形并量化；

对比所述等间距线条或规则图形的颜色是否发生变化，若所述等间距线条或规则图形的颜色出现规律的条状颜色变化，则判定所述VIC mura参数有异常。

第二方面，本申请实施例提供了一种光刻机参数状态检测装置，该装置包括：

获取单元，用于获取工作时的光刻机的各种工作参数；

转换单元，用于将各种所述工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；

对比单元，用于对比所述工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若所述偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若所述偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

第三方面，本申请实施例提供了一种计算机设备包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，处理器执行程序时实现如本申请实施例描述的方法。

第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序用于：

计算机程序被处理器执行时实现如本申请实施例描述的方法。

本发明的有益效果包括：

本申请通过将工作时的光刻机的各种工作参数转换成对应的工作图形界面，根据工作图形界面来判断光刻机的各个参数是否出现异常，更加直观的对比出设备各项参数状态的变化，发现图形异常后可以迅速锁定设备故障的原因及位置，解决了传统方式依靠工程师停机检查及设备仪器检测时效性低的问题，同时避免了因为设备参数变化跟踪不及时导致产品的批量报废。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为本发明实施例提供的光刻机参数状态检测方法的流程示意图；

图2为本发明实施例提供的又一光刻机参数状态检测方法的流程示意图；

图3为本发明实施例提供的一个光刻机参数状态检测装置300的示例性结构框图；

图4示出了适于用来实现本申请实施例的计算机系统的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关发明，而非对该发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与发明相关的部分。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。

请参考图1，图1示出了本申请实施例提供的一种光刻机参数状态检测方法，该方法至少包括以下步骤：

步骤110：获取工作时的光刻机的各种工作参数；

步骤120：将各种工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；

步骤130：对比工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

本申请实施例中，应用于光刻机参数状态检测，在经过一些列的处理后，将光刻机的工作参数转换成对应的工作图形界面。现有技术中，光刻机在持续的工作状态中，因为外界温湿度、净化度等环境影响，同时由于工作时联动的零部件很多，容易出现马达丢步，光路偏移，能量衰减等一系列的故障，从而影响掩模版的图形质量。检查光刻机的图形质量时，主要是通过跟踪设备各个部件的参数变化或者在停机时通过工程师对各个设备仪器进行检测，这样不但效率低下，而且在设备参数变化跟踪不及时容易导致产品的批量报废。

为了克服现有技术中光刻机参数检测效率低下的问题，本申请实施例提供了一种光刻机参数状态检测方法，该方法通过获取工作时的光刻机的各种工作参数；然后将各种工作参数转换成对应的工作图形界面；最后对比工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。本实施例通过将工作时的光刻机的各种工作参数转换成对应的工作图形界面，根据工作图形界面来判断光刻机的各个参数是否出现异常，更加直观的对比出设备各项参数状态的变化，发现图形异常后可以迅速锁定设备故障的原因及位置，同时，本申请将各种工作参数进行量化，即将各种工作参数转换成对应的数值，通过观察对应的数值是否出现问题，从而可以更快的发现异常并进一步对其进行调整，解决了传统方式依靠工程师停机检查及设备仪器检测时效性低的问题，同时避免了因为设备参数变化跟踪不及时导致产品的批量报废。

为了具体确定光刻机中的工作参数，请参考图2，图2示出了本申请又一实施例提供的光刻机参数状态检测方法的流程示意图。

如图2所示，该方法包括：

步骤210：获取工作时的光刻机的Focus参数，Focus为光刻机曝光时的镜头与掩膜版之间的距离；

步骤220：将Focus参数转换成黑白交界的正方块并量化；

步骤230：对比黑白交界的正方块与对应的正常图形界面的偏差，当黑白交界的正方块的长宽不相等或者90°角的清晰度小于预设值时，则判定工作时的Focus参数有异常。

本申请实施例中，Focus为光刻机曝光掩模版时镜头与掩模版之间的距离，此参数故障会导致图像边缘模糊，锐度不够。XY方向线条差异放大。本申请将Focus参数转换成黑白交界的正方块，当正方块的长宽不相等或者90°拐角清晰度小于预设值时，则说明Focus参数有变动，对应的数字越大，Focus变动的越大，此时就需要对光刻机曝光掩模版时镜头与掩模版之间的距离进行调整。通过黑白交界的正方块的变化情况来直接判断Focus参数的情况，不但方便了检查而且提高了效率。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的CD bias参数，CD bias为曝光时xy方向实际线条效果与设计值之间的偏差；将CDbias参数转换成横竖线条并量化；对比横竖线条区域的透光率与预设值之间的偏差，当偏差值超过阈值时，则判定CD bias参数有异常。

具体地，CD bias为曝光时xy方向实际线条效果与设计值之间的偏差，在检测时将CD bias参数转换成横竖线条，当在检验仪上投射光观察横竖线区域的透光率与预设值之间的偏差超过阈值时，就需要对CD bias参数进行相对应的调整。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的PPX-PPY参数，PPX-PPY参数为光刻机的激光器出光后经过两条光路处理后合并成完全重叠的同一个光斑；将PPX-PPY参数转换成对应的内十字图形和外十字图形并量化；对比内十字图形和外十字图形之间的重合度，当重合度超过预设值时，则判定PPX-PPY参数有异常。

具体地，PPX-PPY参数为光刻机的激光器出光后经过两条光路处理后合并成完全重叠的同一个光斑，此参数调节的是两个光斑的重叠效果；此参数故障会导致图形效果变差，有重影。本申请将PPX-PPY测试图形分层转换然后置换lic文件格式，曝光的时候光路1只曝光内“十”字，光路2只曝光外“十”字；当显现出来的图形内外“十”字不重合的时候就说明此参数需要调整。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的zoom参数，zoom参数为光路光斑的长度；将zoom参数转换成线条并量化；对比线条的长度与预设长度之间的差值，当差值的范围超过阈值时，则判定zoom参数有异常。

具体地，上述zoom参数短了会导致扫描接口连接不上，显示在图形上为有规律的黑色残留线条，zoom长了会导致图形重叠区域过多的被曝光。本申请将将zoom参数转换成线条，当制作出来的测试图形接口位置的线条距离与非接口位置的线条距离发生变化时说明此参数有变动，需要测量变化的距离进行参数调整。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的rotation参数，rotation参数为两个光路的光斑扭曲或者旋转角度；将rotation参数转换成45°斜线并量化；对比两条45°斜线之间的重合度，当重合度超过预设值时，则判定rotation参数有异常。

具体地，上述rotation包括rotation1和rotation2，其中rotation1和rotation2是指两个光路的光斑扭曲或者旋转；扫描带接合位置扭曲错位。此参数测试图形是将扫描带的接口位置排布45°的斜线，与PPX-PPY的转换方法类似，可以同时观察出两个光路rotation的变化，当一长条45°的斜线变成错开的两短条45°斜线时，说明rotation参数需要调整。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的VIC mura参数，VIC mura参数为激光经过光路上的器件处理后体现在镜头光斑上的能量均匀性；将VIC mura参数转换成等间距线条或规则图形并量化；对比等间距线条或规则图形的颜色是否发生变化，若等间距线条或规则图形的颜色出现规律的条状颜色变化，则判定VIC mura参数有异常。

具体地，VIC mura参数为激光经过光路上的器件处理后体现在镜头光斑上的能量均匀性，当VIC mura参数出现异常时，就会导致图形线条粗细不均匀。本申请将VIC mura参数转成成间距线条或规则图形，当每条扫描带的能量不均匀时，此区域图形在显微镜下观察效果会变成规律的条状颜色变化，从而就需要对VIC mura参数进行调整。

在一些实施例中，本申请中的光刻机参数状态检测方法还包括：获取工作时的光刻机的Intensity参数，该Intensity参数为使用的激光能量剂量；然后将Intensity参数转化成两个长方形并量化，当两个长方形的尖角接触角越小则说明CD精度越好，当两个长方形的尖角接触角断开则说明能量过大，当两个长方形的尖角接触角较大则说明能量偏小。

应当注意，尽管在附图中以特定顺序描述了本发明方法的操作，但是，这并非要求或者暗示必须按照该特定顺序来执行这些操作，或是必须执行全部所示的操作才能实现期望的结果。附加地或备选地，可以省略某些步骤，将多个步骤合并为一个步骤执行，和/或将一个步骤分解为多个步骤执行。

进一步地，参考图3，图3示出了根据本申请一个实施例的光刻机参数状态检测装置300，该装置应用于光刻机的参数状态检测，包括：

获取单元310，用于获取工作时的光刻机的各种工作参数并量化；

转换单元320，用于将各种所述工作参数转换成对应的工作图形界面；

对比单元330，用于对比所述工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若所述偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若所述偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

本申请实施例中，应用于光刻机参数状态检测，在经过一些列的处理后，将光刻机的工作参数转换成对应的工作图形界面。现有技术中，光刻机在持续的工作状态中，因为外界温湿度、净化度等环境影响，同时由于工作时联动的零部件很多，容易出现马达丢步，光路偏移，能量衰减等一系列的故障，从而影响掩模版的图形质量。检查光刻机的图形质量时，主要是通过跟踪设备各个部件的参数变化或者在停机时通过工程师对各个设备仪器进行检测，这样不但效率低下，而且在设备参数变化跟踪不及时容易导致产品的批量报废。

为了克服现有技术中光刻机参数检测效率低下的问题，本申请实施例提供了一种光刻机参数状态检测方法，该方法通过获取工作时的光刻机的各种工作参数；然后将各种工作参数转换成对应的工作图形界面；最后对比工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。本实施例通过将工作时的光刻机的各种工作参数转换成对应的工作图形界面，根据工作图形界面来判断光刻机的各个参数是否出现异常，更加直观的对比出设备各项参数状态的变化，发现图形异常后可以迅速锁定设备故障的原因及位置，解决了传统方式依靠工程师停机检查及设备仪器检测时效性低的问题，同时避免了因为设备参数变化跟踪不及时导致产品的批量报废。

应当理解，装置300中记载的诸单元或模块与参考图1描述的方法中的各个步骤相对应。由此，上文针对方法描述的操作和特征同样适用于装置300及其中包含的单元，在此不再赘述。装置300可以预先实现在电子设备的浏览器或其他安全应用中，也可以通过下载等方式而加载到电子设备的浏览器或其安全应用中。装置300中的相应单元可以与电子设备中的单元相互配合以实现本申请实施例的方案。

下面参考图4，其示出了适于用来实现本申请实施例的终端设备或服务器的计算机系统400的结构示意图。

如图4所示，计算机系统400包括中央处理单元(CPU)401，其可以根据存储在只读存储器(ROM)402中的程序或者从存储部分408加载到随机访问存储器(RAM)403中的程序而执行各种适当的动作和处理。在RAM 403中，还存储有系统400操作所需的各种程序和数据。CPU 401、ROM 402以及RAM 403通过总线404彼此相连。输入/输出(I/O)接口405也连接至总线404。

以下部件连接至I/O接口405：包括键盘、鼠标等的输入部分406；包括诸如阴极射线管(CRT)、液晶显示器(LCD)等以及扬声器等的输出部分407；包括硬盘等的存储部分408；以及包括诸如LAN卡、调制解调器等的网络接口卡的通信部分409。通信部分409经由诸如因特网的网络执行通信处理。驱动器410也根据需要连接至I/O接口405。可拆卸介质411，诸如磁盘、光盘、磁光盘、半导体存储器等等，根据需要安装在驱动器410上，以便于从其上读出的计算机程序根据需要被安装入存储部分408。

特别地，根据本公开的实施例，上文参考图1-2描述的过程可以被实现为计算机软件程序。例如，本公开的实施例包括一种计算机程序产品，其包括有形地包含在机器可读介质上的计算机程序，所述计算机程序包含用于执行图1-2的方法的程序代码。在这样的实施例中，该计算机程序可以通过通信部分409从网络上被下载和安装，和/或从可拆卸介质411被安装。

附图中的流程图和框图，图示了按照本发明各种实施例的系统、方法和计算机程序产品的可能实现的体系架构、功能和操作。在这点上，流程图或框图中的每个方框可以代表一个模块、程序段、或代码的一部分，前述模块、程序段、或代码的一部分包含一个或多个用于实现规定的逻辑功能的可执行指令。也应当注意，在有些作为替换的实现中，方框中所标注的功能也可以以不同于附图中所标注的顺序发生。例如，两个接连地表示的方框实际上可以基本并行地执行，它们有时也可以按相反的顺序执行，这依所涉及的功能而定。也要注意的是，框图和/或流程图中的每个方框、以及框图和/或流程图中的方框的组合，可以用执行规定的功能或操作的专用的基于硬件的系统来实现，或者可以用专用硬件与计算机指令的组合来实现。

描述于本申请实施例中所涉及到的单元或模块可以通过软件的方式实现，也可以通过硬件的方式来实现。所描述的单元或模块也可以设置在处理器中，例如，可以描述为：一种处理器包括第一子区域生成单元、第二子区域生成单元以及显示区域生成单元。其中，这些单元或模块的名称在某种情况下并不构成对该单元或模块本身的限定，例如，显示区域生成单元还可以被描述为“用于根据第一子区域和第二子区域生成文本的显示区域的单元”。

作为另一方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质可以是上述实施例中前述装置中所包含的计算机可读存储介质；也可以是单独存在，未装配入设备中的计算机可读存储介质。计算机可读存储介质存储有一个或者一个以上程序，前述程序被一个或者一个以上的处理器用来执行描述于本申请的应用于透明窗口信封的文本生成方法。

以上描述仅为本申请的较佳实施例以及对所运用技术原理的说明。本领域技术人员应当理解，本申请中所涉及的发明范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖在不脱离前述发明构思的情况下，由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案。

Claims (10)

1.一种光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：

获取工作时的光刻机的各种工作参数；

将各种所述工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；

对比所述工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若所述偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若所述偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

2.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的Focus参数，所述Focus为光刻机曝光时的镜头与掩膜版之间的距离；

将所述Focus参数转换成黑白交界的正方块并量化；

对比所述黑白交界的正方块与对应的正常图形界面的偏差，当所述黑白交界的正方块的长宽不相等或者90°角的清晰度小于预设值时，则判定工作时的Focus参数有异常。

3.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的CD bias参数，所述CD bias为曝光时xy方向实际线条效果与设计值之间的偏差；

将所述CD bias参数转换成横竖线条并量化；

对比所述横竖线条区域的透光率与预设值之间的偏差，当所述偏差值超过阈值时，则判定所述CD bias参数有异常。

4.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的PPX-PPY参数，所述PPX-PPY参数为光刻机的激光器出光后经过两条光路处理后合并成完全重叠的同一个光斑；

将所述PPX-PPY参数转换成对应的内十字图形和外十字图形并量化；

对比所述内十字图形和所述外十字图形之间的重合度，当所述重合度超过预设值时，则判定所述PPX-PPY参数有异常。

5.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的zoom参数，所述zoom参数为光路光斑的长度；

将所述zoom参数转换成线条并量化；

对比所述线条的长度与预设长度之间的差值，当所述差值的范围超过阈值时，则判定所述zoom参数有异常。

6.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的rotation参数，所述rotation参数为两个光路的光斑扭曲或者旋转角度；

将所述rotation参数转换成45°斜线并量化；

对比两条45°斜线之间的重合度，当所述重合度超过预设值时，则判定所述rotation参数有异常。

7.根据权利要求1所述的光刻机参数状态检测方法，其特征在于，该方法包括：

获取工作时的光刻机的VIC mura参数，所述VIC mura参数为激光经过光路上的器件处理后体现在镜头光斑上的能量均匀性；

将所述VIC mura参数转换成等间距线条或规则图形并量化；

对比所述等间距线条或规则图形的颜色是否发生变化，若所述等间距线条或规则图形的颜色出现规律的条状颜色变化，则判定所述VIC mura参数有异常。

8.一种光刻机参数状态检测装置，其特征在于，该装置包括：

获取单元，用于获取工作时的光刻机的各种工作参数；

转换单元，用于将各种所述工作参数转换成对应的工作图形界面并量化；

对比单元，用于对比所述工作图形界面与对应的正常图形界面的偏差，若所述偏差在预设范围内，则工作时的光刻机指标合格；若所述偏差超过预设范围，则工作时的光刻机出现故障。

9.一种计算机设备，包括存储器、处理器以及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述程序时实现如权利要求1-7中任一所述的方法。

10.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序用于：

所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1-7中任一所述的方法。

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