CN113653698B - 一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，包括工作气缸、密闭气缸、活塞杆气浮活塞、上端盖、下端盖、上密封套管、下密封套管、弹性薄膜、直线电机，上端盖与上密封套管分别与工作气缸的上下两端盖接，下密封套管和下端盖分别与密闭气缸的上下两端盖接，上密封套管和下密封套管相互固定且弹性薄膜夹设于上密封套管与下密封套管之间，活塞杆穿过上端盖伸入工作气缸内并与收纳于工作气缸内的气浮活塞固定连接，直线电机安装于密闭气缸内并驱动所述弹性薄膜产生形变。本发明的有益效果在于：提高了恒压气缸控制系统的响应速度和控制精度，提高了恒压气缸的应用范围，满足超精密恒力输出控制、工件位置控制等方面的要求。

Description

一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统
技术领域
本发明涉及恒压气缸技术领域，具体涉及一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统。
背景技术
传统的低摩擦气缸气缸通常采用特殊的低摩擦材料密封来减小缸筒和活塞之间存在接触摩擦力，但存在工艺性差、成本高、维护困难且寿命短的缺陷，同时无法实现精密的力输出控制和工件位置控制，为解决这一问题，利用气浮技术可以实现缸筒和活塞杆的无摩擦，气浮气缸由此诞生。
目前正在研究的带气浮轴承的恒压气缸仍然存在一些缺陷，恒压气缸的压力控制方法多采用滑膜控制，滑膜控制固有的缺陷将导致流量控制阀频繁通断从而引起气缸内压力波动，流量控制阀与气缸之间的长气管也增加了系统的响应时间，活塞运动时引起的压力波动无法被快速消除，现有的恒压气缸的活塞运动控制频率在10Hz一下，且在活塞运动频率大于2Hz时将产生较大的压力误差，当作用在气缸负载上的外力频率较高时，现有恒压气缸不再适用。
发明内容
为克服已有气浮气缸恒压控制系统控制精度不高，响应时间长，无法满足高频控制的不足，本发明提供一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其流量控制实现高幅低频控制，体积控制实现高频低幅控制，满足超精密恒力输出控制、工件位置控制等方面的要求。
本发明的技术方案为：
一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，包括工作气缸、密闭气缸、活塞杆气浮活塞、上端盖、下端盖、上密封套管、下密封套管、弹性薄膜、储气罐、直线电机、主气路流量控制阀、气动三通接头以及密闭气缸流量控制阀，所述上端盖与所述上密封套管分别与所述工作气缸的上下两端盖接，所述下密封套管和所述下端盖分别与所述密闭气缸的上下两端盖接，所述上密封套管和所述下密封套管相互固定且所述弹性薄膜夹设于所述上密封套管与所述下密封套管之间，所述活塞杆穿过所述上端盖伸入所述工作气缸内并与收纳于所述工作气缸内的气浮活塞固定连接，所述气浮活塞将所述工作气缸的内腔分割为低压气腔和高压气腔，外部气源依次通过所述主气路流量控制阀和所述气动三通接头给所述工作气缸供气，且依次通过所述主气路流量控制阀、所述气动三通接头以及所述密闭气缸流量控制阀给所述密闭气缸和所述储气罐供气，所述直线电机安装于所述密闭气缸内且用于驱动所述弹性薄膜产生形变以改变所述高压气腔的体积。
作为本发明的一种优选改进，所述气浮活塞通过活塞杆连接件与所述活塞杆连接，所述活塞杆连接件与所述气浮活塞通过螺栓连接，且所述活塞杆连接件与所述气浮活塞之间设有弹性橡胶，所述气浮活塞内置有压力传感器，所述压力传感器用于测量所述高压气腔内的真实气压。
作为本发明的一种优选改进，所述的气浮活塞由所述高压气腔供气，高压气体从气浮活塞底部的进气道经进气孔至环形进气槽，在所述气浮活塞与所述工作气缸的缸筒内壁间形成一层气膜，气流直接流至所述低压气腔或从排气槽再经排气孔流至所述低压气腔，低压气腔与大气相通，所述高压气腔内的高压气流也可通过排气槽再经排气孔流至所述低压气腔。
作为本发明的一种优选改进，所述直线电机通过推动支管上与所述弹性薄膜粘连的刚性薄板改变所述高压气腔的体积。
作为本发明的一种优选改进，所述工作气缸包括工作气缸缸筒和套设于所述工作气缸缸筒上的工作气缸保护套，所述密闭气缸包括密闭气缸缸筒和套设于所述密闭气缸缸筒上的密闭气缸保护套。
作为本发明的一种优选改进，所述上密封套管和所述下密封套管分别通过密封圈与所述工作气缸缸筒和所述密闭气缸缸筒套装。
作为本发明的一种优选改进，所述上端盖与所述工作气缸保护套通过螺栓固定，所述下端盖通过密封圈与所述密闭气缸缸筒套装并与所述密闭气缸保护套通过螺栓固定。
作为本发明的一种优选改进，所述上端盖和所述上密封套管上均套装有缓冲垫圈。
作为本发明的一种优选改进，所述下端盖上设置三级圆柱形导线密封孔可供直线电机导线通过，并采用密封胶对所述三级圆柱形导线密封孔进行静密封。
作为本发明的一种优选改进，所述弹性薄膜通过两个弹性密封圈与所述上密封套管和所述下密封套管套装在一起。
本发明的有益效果如下：提高了恒压气缸控制系统的响应速度和控制精度，提高了恒压气缸的应用范围，满足超精密恒力输出控制、工件位置控制等方面的要求。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
图1为本发明一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统的整体结构图；
图2为本发明一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统的部分结构剖视图；
图3为本发明气浮活塞的立体结构图；
图4为本发明气浮活塞的剖视结构图；
图5为本发明下端盖的剖视结构图；
图6为本发明上密封套管的剖视图；
图7为本发明一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸的气缸的缓冲垫圈的剖视图。
图中：1、活塞杆堵头；2、活塞杆；3、上端盖；4工作气缸；5、主气路流量控制阀；6、气动三通接头；7、主气路口；8、密闭气缸流量控制阀；9、储气罐；10、密闭气缸；11、下端盖；12、气浮活塞；13、工作气缸进气口；14、上密封套管；15、下密封套管；16、直线电机；17密闭气缸保护套；18、密闭气缸缸筒；19、密封圈；20、弹性密封圈；21、工作气缸保护套；22、压力传感器；23、弹性橡胶垫；24、缓冲垫圈；25、活塞杆连接件；26、工作气缸缸筒；27、密闭气缸进气口；28、密闭气腔；29、高压气腔；30、低压气腔；31、弹性薄膜；32、刚性薄板；33、支管；121、进气槽；122、排气槽；123、进气道；124、进气孔；125、排气孔；141；螺栓孔；142、第一密封圈沟槽；143、第二密封圈沟槽；144、缓冲圈沟槽；111、螺栓槽；112、第三密封圈沟槽；113、三级圆柱形导线密封孔。
具体实施方式
述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
另外，在本发明中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等应做广义理解，例如，“固定”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
另外，本发明各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
请参阅图1和2所示，本发明提供了一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，包括工作气缸4、密闭气缸10、活塞杆2、气浮活塞12、上端盖3、下端盖11、上密封套管14、下密封套管15、弹性薄膜31、储气罐9、直线电机16、主气路流量控制阀5、气动三通接头6以及密闭气缸流量控制阀8，所述上端盖3与所述上密封套管14分别与所述工作气缸4的上下两端盖接，所述下密封套管15和所述下端盖11分别与所述密闭气缸10的上下两端盖接，所述上密封套管14和所述下密封套管15相互固定且所述弹性薄膜31夹设于所述上密封套管14与所述下密封套管15之间，具体的，所述弹性薄膜31通过两个弹性密封圈20与所述上密封套管14和所述下密封套管15套装在一起。
所述工作气缸4包括工作气缸缸筒26和套设于所述工作气缸缸筒26上的工作气缸保护套21，所述密闭气缸10包括密闭气缸缸筒18和套设于所述密闭气缸缸筒18上的密闭气缸保护套17。所述上密封套管14和所述下密封套管15分别通过密封圈19与所述工作气缸缸筒26和所述密闭气缸缸筒18套装。
所述上端盖3与所述工作气缸保护套21通过螺栓固定，所述下端盖11通过密封圈19与所述密闭气缸缸筒18套装并与所述密闭气缸保护套17通过螺栓固定。所述上端盖3和所述上密封套管14上均套装有缓冲垫圈24(如图7所示)。
所述活塞杆2一端穿过所述上端盖3伸入所述工作气缸4内并与收纳于所述工作气缸4内的气浮活塞12固定连接，另一端固定活塞杆堵头1与工作负载相连且伸出所述工作气缸4外。所述气浮活塞12将所述工作气缸4的内腔分割为低压气腔30和高压气腔29。
再结合图3和4所示，所述气浮活塞12通过活塞杆连接件25与所述活塞杆2连接，所述活塞杆连接件25与所述气浮活塞12通过螺栓连接，且所述活塞杆连接件25与所述气浮活塞12之间设有弹性橡胶23，所述气浮活塞12内置有压力传感器22，所述压力传感器22用于测量所述高压气腔29内的真实气压。
所述的气浮活塞12由所述高压气腔29供气，高压气体从气浮活塞12底部的进气道123经进气孔124至环形进气槽121，在所述气浮活塞12与所述工作气缸4的缸筒内壁间形成一层气膜，气流直接流至所述低压气腔30或从排气槽122再经排气孔125流至所述低压气腔30，低压气腔30与大气相通，所述高压气腔29内的高压气流也可通过排气槽122再经排气孔125流至所述低压气腔30，从而避免了高低压气流对气膜的影响。
再参阅图5所示，所述下端盖11包括螺栓槽111、第三密封圈沟槽112以及三级圆柱形导线密封孔113，所述下端盖11通过所述螺栓槽111与螺栓(未标号)的配合实现与所述密闭气缸保护套17固定。所述第三密封圈沟槽112内用于安装密封圈19。所述三级圆柱形导线密封孔113可供直线电机导线通过，然后采用密封胶对所述三级圆柱形导线密封孔113进行静密封。
再参阅图6所示，所述上密封套管14上设有螺栓孔141、第一密封圈沟槽142、第二密封圈沟槽143以及缓冲圈沟槽144，所述上密封套管14通过所述螺栓孔141与螺栓的配合实现与所述下密封套管15固定。两个所述弹性密封圈20分别安装于所述第一密封圈沟槽142和所述第二密封圈沟槽143内。所述缓冲垫圈24对应所述缓冲圈沟槽144安装。
外部气源依次通过所述主气路流量控制阀5和所述气动三通接头6与所述工作气缸4的工作气缸进气口13连通并给所述工作气缸4供气，且依次通过所述主气路流量控制阀5、所述气动三通接头6以及所述密闭气缸流量控制阀8与密闭气缸进气口27连通并给所述密闭气缸10和所述储气罐9供气，所述直线电机16安装于所述密闭气缸10内且用于驱动所述弹性薄膜31产生形变以改变所述高压气腔29的体积，具体的，所述直线电机16通过推动支管33上与所述弹性薄膜31粘连的刚性薄板32改变所述高压气腔29的体积。
本发明提供的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统的工作原理如下：
系统开始工作时，外部气源供洁净空气通至主气路口7，气流经主气路流量控制阀5和气动三通接头6至工作气缸进气口13为工作气缸4供气，同时也通过密闭气缸流量控制阀8为密闭气缸10和储气罐9供气，当工作气缸内压力足以支撑起工作负载时，关闭密闭气缸流量控制阀8，此时密闭气腔28与高压气腔29内气压值相等，密闭气缸10内直线电机16仅需较小的力即可通过推动支管33上与弹性薄膜31粘连的刚性薄板32改变高压气腔体积，也可通过主气路流量控制阀5的通断控制工作气缸缸筒26内的气体流量。
根据理想气体状态方程：
Figure GDA0003532654420000061
其中，P为高压气腔压力，m为高压气腔内气体流量，V为高压气腔体积，R为气体常数，T为高压气腔内气体温度，本发明通过对气体流量与体积的协调控制建立双输入单输出系统实现对气缸气压P的高精度控制，流量控制为高幅低频控制，体积控制为高频低幅控制。
本发明提供的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统的有益效果在于：提高了恒压气缸控制系统的响应速度和控制精度，提高了恒压气缸的应用范围，满足超精密恒力输出控制、工件位置控制等方面的要求。
尽管本发明的实施方案已公开如上，但并不仅仅限于说明书和实施方案中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本发明的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本发明并不限于特定的细节和这里所示出与描述的图例。

Claims (10)

1.一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于，包括工作气缸(4)、密闭气缸(10)、活塞杆(2)、气浮活塞(12)、上端盖(3)、下端盖(11)、上密封套管(14)、下密封套管(15)、弹性薄膜(31)、储气罐(9)、直线电机(16)、主气路流量控制阀(5)、气动三通接头(6)以及密闭气缸流量控制阀(8)，所述上端盖(3)与所述上密封套管(14)分别与所述工作气缸(4)的上下两端盖接，所述下密封套管(15)和所述下端盖(11)分别与所述密闭气缸(10)的上下两端盖接，所述上密封套管(14)和所述下密封套管(15)相互固定且所述弹性薄膜(31)夹设于所述上密封套管(14)与所述下密封套管(15)之间，所述活塞杆(2)穿过所述上端盖(3)伸入所述工作气缸(4)内并与收纳于所述工作气缸(4)内的气浮活塞(12)固定连接，所述气浮活塞(12)将所述工作气缸(4)的内腔分割为低压气腔(30)和高压气腔(29)，外部气源依次通过所述主气路流量控制阀(5)和所述气动三通接头(6)给所述工作气缸(4)供气，且依次通过所述主气路流量控制阀(5)、所述气动三通接头(6)以及所述密闭气缸流量控制阀(8)给所述密闭气缸(10)和所述储气罐(9)供气，所述直线电机(16)安装于所述密闭气缸(10)内且用于驱动所述弹性薄膜(31)产生形变以改变所述高压气腔(29)的体积。
2.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述气浮活塞(12)通过活塞杆连接件(25)与所述活塞杆(2)连接，所述活塞杆连接件(25)与所述气浮活塞(12)通过螺栓连接，且所述活塞杆连接件(25)与所述气浮活塞(12)之间设有弹性橡胶(23)，所述气浮活塞(12)内置有压力传感器(22)，所述压力传感器(22)用于测量所述高压气腔(29)内的真实气压。
3.根据权利要求1或2所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述的气浮活塞(12)由所述高压气腔(29)供气，高压气体从气浮活塞(12)底部的进气道(123)经进气孔(124)至环形进气槽(121)，在所述气浮活塞(12)与所述工作气缸(4)的缸筒内壁间形成一层气膜，气流直接流至所述低压气腔(30)或从排气槽(122)再经排气孔(125)流至所述低压气腔(30)，低压气腔(30)与大气相通，所述高压气腔(29)内的高压气流也可通过排气槽(122)再经排气孔(125)流至所述低压气腔(30)。
4.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述直线电机(16)通过推动支管(33)上与所述弹性薄膜(31)粘连的刚性薄板(32)改变所述高压气腔(29)的体积。
5.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述工作气缸(4)包括工作气缸缸筒(26)和套设于所述工作气缸缸筒(26)上的工作气缸保护套(21)，所述密闭气缸(10)包括密闭气缸缸筒(18)和套设于所述密闭气缸缸筒(18)上的密闭气缸保护套(17)。
6.根据权利要求5所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述上密封套管(14)和所述下密封套管(15)分别通过密封圈(19)与所述工作气缸缸筒(26)和所述密闭气缸缸筒(18)套装。
7.根据权利要求5所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述上端盖(3)与所述工作气缸保护套(21)通过螺栓固定，所述下端盖(11)通过密封圈(19)与所述密闭气缸缸筒(18)套装并与所述密闭气缸保护套(17)通过螺栓固定。
8.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述上端盖(3)和所述上密封套管(14)上均套装有缓冲垫圈(24)。
9.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述下端盖(11)上设置三级圆柱形导线密封孔(113)可供直线电机导线通过，并采用密封胶对所述三级圆柱形导线密封孔(113)进行静密封。
10.根据权利要求1所述的一种气体流量与体积协调控制的恒压气缸系统，其特征在于：所述弹性薄膜(31)通过两个弹性密封圈(20)与所述上密封套管(14)和所述下密封套管(15)套装在一起。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM242614U (en) * 2003-10-09 2004-09-01 Ming-Chang Shih Low friction pneumatic cylinder embedded with the air bearing
JP2009121634A (ja) * 2007-11-16 2009-06-04 Soken Kogyo Kk エアシリンダ
CN103511366A (zh) * 2013-10-18 2014-01-15 浙江工业大学 长距离恒力输出气浮装置
CN103527570A (zh) * 2013-10-23 2014-01-22 浙江工商大学 一种高精度的恒力输出气浮装置
JP2017180604A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 デクセリアルズ株式会社 エアシリンダ

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM242614U (en) * 2003-10-09 2004-09-01 Ming-Chang Shih Low friction pneumatic cylinder embedded with the air bearing
JP2009121634A (ja) * 2007-11-16 2009-06-04 Soken Kogyo Kk エアシリンダ
CN103511366A (zh) * 2013-10-18 2014-01-15 浙江工业大学 长距离恒力输出气浮装置
CN103527570A (zh) * 2013-10-23 2014-01-22 浙江工商大学 一种高精度的恒力输出气浮装置
JP2017180604A (ja) * 2016-03-29 2017-10-05 デクセリアルズ株式会社 エアシリンダ

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