CN113568097B - 热控光子结构 - Google Patents

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Abstract

在一些实施方式中，热控光子结构可以包括悬置在基板上方的悬置区域；多个桥接元件，连接到悬置区域并被配置成将悬置区域悬置在基板上方，其中多个开口被限定在多个桥接元件之间；和至少一个设置在悬置区域上的具有调制宽度的加热元件。具有调制宽度的至少一个加热元件可以包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分。较大宽度的至少一个部分可以与多个开口中的一个开口对准，较小宽度的至少一个部分可以与多个桥接元件中的一个桥接元件对准。

Description

热控光子结构
技术领域
本公开涉及可调谐激光器和使用悬置反射镜的可调谐激光器的热控制。
背景技术
可调谐激光器是一种能够以受控方式改变工作波长的激光器。可调谐激光器可用于光通信系统、电信系统等，例如收发器、线路卡等。可调谐激光器可以包括波长选择性的反射镜，并且反射镜的反射波长被调谐。在某些情况下，波导光栅可以用作可调谐激光器中的波长选择反射镜。在波导光栅中，产生波导有效折射率的周期性扰动，以选择性地对波长与周期性折射率扰动的空间频率对应的光进行反射。波导光栅可以通过热调谐(例如加热)来调谐。热调谐使用施加到波导光栅的大量热量来改变波导光栅的温度。
发明内容
在一些实施方式中，热控制反射镜结构包括悬置在基板上方的光波导区域，其中光波导区域包括用于反射光的光栅；多个桥接元件，连接到所述光波导区域并被配置为将所述光波导区域悬置在所述基板上方，其中多个开口被限定在所述多个桥接元件之间；以及至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在光波导区域上，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
在一些实施方式中，热控光子结构包括悬置在基板上方的悬置区域；多个桥接元件，连接到悬置区域并被配置成将悬置区域悬置在基板上方，其中多个开口被限定在多个桥接元件之间；以及至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在悬置区域上，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
在一些实施方式中，可调谐激光器包括热控制反射镜结构，包括:悬置在基板上方的光波导区域，其中光波导区域包括用于反射光的光栅；多个桥接元件，连接到所述光波导区域并被配置为将所述光波导区域悬置在所述基板上方，其中多个开口被限定在所述多个桥接元件之间；以及至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在光波导区域上，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
附图说明
图1是本文描述的示例光子结构的透视图。
图2是本文描述的示例光子结构的俯视图。
图3是本文描述的示例光子结构的俯视图。
图4是本文描述的示例光子结构的俯视图。
图5是本文描述的示例光子结构的俯视图。
具体实施方式
以下具体实施方式参考了附图。不同附图中相同的附图标记可以标识相同或相似的元件。
如上所述，可调谐激光器可以采用通过加热来调谐的反射镜。例如，电阻器(例如电阻加热器)可以位于波导上或附近，并且电阻器可以加热与波导相关联的激光腔镜(例如光栅)。电阻器可以具有均匀的宽度。反射镜的折射率可以根据热光效应通过加热而局部改变。这可以移动反射镜峰值，从而调谐可调谐激光器的波长。
在一些情况下，可调谐激光器可以包括悬置结构。例如，可调谐激光器的反射镜可以通过一组桥接件悬置在基板上方。这提供了热隔离，增加了热阻，并减少了热质量。结果，可调谐激光器可以实现更高的调谐效率并且消耗更少的功率。该组桥接件可以是导热的，因此可以提供热量从悬置结构逸出的路径。因此，桥接件附近的悬置结构的温度可能较低。这可能影响反射镜加热的均匀性，特别是如果使用连续光栅，并且可能导致激光调谐失真。
本文描述的一些实施方式提供了热控制(例如，热调谐)光子结构。光子结构可以包括由一组桥接件悬置的悬置区域，例如可调谐激光器的悬置反射镜。在一些实施方式中，光子结构可以包括用于加热悬置结构的具有调制宽度的加热器。加热器的调制宽度提供了加热器电阻的调制，从而导致加热器的一个或多个部分具有相对较多的热量产生，而加热器的一个或多个部分具有相对较少的热量产生。因此，加热器局部电阻的调节可以补偿经过该组桥接件的热损失，从而使与悬置区域相关的温度曲线变平。在一些实施方式中，该组桥接件可以是交错的，以便进一步减轻经过该组桥接件的热损失的影响。这样，本文所述的热控制光子结构可以具有改善的温度均匀性，从而改善可调谐激光器的光学性能、紧凑性和可靠性。
图1是本文描述的示例光子结构(photonic structure)100的透视图。光子结构100可以是热可调的光子结构。例如，光子结构100可以用于可调谐激光器。然而，光子结构100不限于用于可调谐激光器，并且可以用于其他类型的激光器、不使用激光器的其他光学系统、使用热调谐反射镜的其他系统等。
如图1所示，光子结构100可以包括基板102。基板102可以包括半导体材料。例如，半导体材料可以是磷化铟(InP)。光子结构100可以包括间隔物/牺牲层104。间隔物/牺牲层104可以包括砷化铟镓(InGaAs)。间隔物/牺牲层104可以包括从基板102的表面突出的支撑元件，以在基板102和悬置区域106(例如，台面结构)之间形成间隙。
悬置区域106可以包括光波导区域118，光波导区域118包括光波导108。如图所示，光波导108可以是脊形波导。脊形波导可以包括以下叠层:底部包层(例如，由间隔物/牺牲层104支撑)、设置在底部包层上的芯层和设置在芯层上的顶部包层。顶部包层可以包括在顶部的波导脊108a，用于引导一光模态。光波导108可以包括半导体材料，例如InP。
光波导108的折射率可以被调制以反射光。例如，光波导108可以包括光栅(未示出)，例如布拉格光栅。光栅可以是热可调的。光栅可以是连续光栅或采样光栅(例如，具有一个或多个突发部分(burst section)的光栅)。在一些实施方式中，光栅可以被蚀刻在波导脊108a的表面中。
悬置区域106可以包括位于光波导108上方的绝缘介电层110(例如，沉积在顶部包层上)。悬置区域106可以包括至少一个加热元件112。例如，加热元件112可以位于介电层110之上(例如，沉积在其上)。加热元件112可以是电阻加热器。也就是说，加热元件112可以是在施加电流时产生热量的电阻器。加热元件112可以是薄膜电极。加热元件112可以包括金属或金属合金，例如氮化钽(TaN)。
悬置区域106可以通过多个桥接元件114悬置在基板102上方。桥接元件114可以是从悬置区域106横向延伸的热触点(例如，根据规则或不规则的间隔图案)。例如，第一和第二组桥接元件114可以沿着悬置区域106的相对侧延伸(例如，相对于由波导脊108a限定的线)。桥接元件114可以限定多个开口116(例如，沿着悬置区域106的相对侧延伸的第一和第二组开口116)。例如，开口116可以被限定在两个相邻的桥接元件114之间、桥接元件114和悬置区域106的边缘之间和/或类似位置。开口116可以从光子结构100的顶表面延伸到基板102和悬置区域106之间的间隙。在一些实施方式中，悬置区域106(例如，光波导区域118)可以被蚀刻以形成桥接件元件114和开口116。桥接元件114可以将悬置区域106连接到基板102(例如，经由场区域和/或间隔物/牺牲层104)。在一些实施方式中，桥接元件114的位置可以与采样光栅的突发部分的位置对准。
如上所述，图1是作为例子提供的。其他示例可以不同于关于图1所描述的。图1中所示的层的数量和布置被提供作为示例。实际上，悬置结构100可以包括附加层、更少的层、不同的层或与图1中所示的不同排列的层。附加地或替代地，悬置结构100的一组层(例如，一层或多层)可以执行被描述为由悬置结构100的另一组层执行的一个或多个功能。
图2是本文描述的示例光子结构200的俯视图。光子结构200可以对应于或者可以包括在光子结构100中。光子结构200可以是热均匀的，或者是热受控的。
如上所述，光子结构200可以包括悬置区域206。例如，悬置区域206可以包括光波导区域，该光波导区域包括光波导和反射镜(例如，光波导可以包括光栅)。如上所述，悬置区域206可以包括加热元件212。例如，加热元件212可以是电阻加热器(例如，电阻器)。加热元件212可以沿着悬置区域206延伸，通常沿着光传播方向210延伸。例如，加热元件212可以平行于光波导延伸。
如上所述，悬置区域206可以通过多个桥接元件214悬置在基板上方，并且多个桥接元件214可以限定多个开口216。如上所述，第一组桥接元件214可以从悬置区域206的第一侧延伸，第二组桥接元件214可以从悬置区域206的第二侧(例如，相反侧)延伸。在一些实施方式中，第一组桥接元件214和第二组桥接元件214可以对准。例如，第一组桥接元件214和第二组桥接元件214的桥接元件可以沿着悬置区域206的相反侧具有相应的长度和相应的位置。因此，悬置区域206的相反侧上的第一组开口216和第二组开口216可以具有相应的长度和相应的位置。
加热元件212可以具有调制的宽度，以沿着加热元件212提供调制的电阻。如图2所示，加热元件212可以包括大致纵向(例如，在光传播210的方向上)的条带。加热元件212可以包括一个或多个较小宽度的部分(这里称为较窄部分)212a和一个或多个较大宽度的部分(这里称为较宽部分)212b。因此，当电流施加到加热元件212时，较窄部分212a可以具有相对较高的电阻，从而产生更多的热量，而较宽部分212b可以具有相对较低的电阻，从而产生较少的热量。
较窄部分212a可与桥接元件214对准，较宽部分212b可与开口216对准。也就是说，加热元件212的宽度可以被调制，使得较窄部分212a沿着加热元件212定位，以便对应于桥接元件214的位置。类似地，较宽部分212b沿着加热元件212定位，使得较宽部分212b的位置对应于开口216的位置。这样，加热元件212在与桥接元件214对准的加热元件212的一些部分中具有增加的局部电阻，从而在桥接元件214处产生更多的热量，以补偿经过桥接元件214的热量损失。
在一些实施方式中，加热元件212可以具有空间矩形调制(如图2所示)、三角形调制和/或正弦调制等示例。在矩形调制或另一种类似调制的情况下，较宽部分可包括加热元件212的较大宽度的跨度(相对于加热元件212的相邻跨度而言)，较窄部分可包括加热元件212的较小宽度的跨度(相对于加热元件212的相邻跨度而言)。这里，较大宽度的跨度可以与开口216对准(例如，较大宽度的跨度的中心可以与开口216的中心对准)，较小宽度的跨度可以与桥接元件214对准(例如，较小宽度的跨度的中心可以与桥接元件214的中心对准)。在三角调制、正弦调制或另一种类似调制的情况下，较宽的部分可以包括加热元件212的最大宽度点(或相对于加热元件212的相邻部分的较大宽度点，例如在调制的波峰处)，较窄的部分可以包括加热元件212的最小宽度点(或相对于加热元件212的相邻部分的较小宽度点，例如在调制的波谷处)。这里，最大宽度点可以与开口216对准(例如，与开口216的中心对准)，最小宽度点可以与桥接元件214对准(例如，与桥接元件214的中心对准)。
加热元件212可以包括第一横向侧和第二横向侧。在一些实施方式中，第一横向侧可以是直的，第二横向侧可以被调制。也就是说，第一横向侧可以是未调制的，第二横向侧可以是经调制的(如下面结合图3所述)。在一些实施方式中，第一横向侧和第二横向侧可以被调制(如图2所示)。
在一些实施方式中，加热元件212可以位于光波导管上方。例如，加热元件212可以位于光波导的波导脊上方。在一些实施方式中，加热元件212可以位于光波导管的一侧。例如，加热元件212可以位于光波导的波导脊的一侧。在一些实施方式中，第一加热元件212和第二加热元件212(其中至少一个具有调制宽度)可以位于光波导的相反侧。例如，第一加热元件212和第二加热元件212可以位于光波导的波导脊的相反侧(如图3所示)。加热元件212的位置可以是前述的任意组合。
如上所述，提供图2作为示例。其他示例可以不同于针对图2所描述的。
图3是本文描述的示例光子结构300的俯视图。特别地，图3示出了光子结构300的放大边缘部分。光子结构300可以对应于或者可以包括在光子结构100和/或200中。如图3所示，光子结构300可以包括悬置区域306、光波导308、多个加热元件312(或者如上所述的单个加热元件)、多个桥接元件314和多个开口316，如上所述。如图3所示，加热元件312可以包括一个经调制侧和一个未调制侧。此外，如上所述，加热元件312可以包括一个或多个较窄部分312a和一个或多个较宽部分312b。
光子结构300的边缘部分可以从光子结构300的边缘开始包括第一开口316(或最后开口316)和相应的桥接件元件(一个或多个)314。因此，光子结构300的中间部分可以包括边缘部分之间(例如，第一开口316和最后开口316之间)的光子结构300的一部分。
如图3所示，加热元件312可以具有宽度W和调制深度D。加热元件312的宽度W可以对应于较宽部分312b的宽度，并且宽度W和调制深度D之间的差可以对应于较窄部分312a的宽度。调制深度D可以是用于产生电阻和相应热输出的值，该热输出补偿与桥接元件314相关联的热损失。在一些实施方式中，加热元件可以采用多个不同的调制深度来提供特定的热调谐。
桥接元件314和开口316可以各自具有宽度W'。桥接元件314可以各自具有长度L。开口316可以各自具有长度L'。在一些实施方式中，长度L可以小于长度L'。如上所述，桥接元件314可以沿着悬置区域306定位。例如，桥接元件314可以根据间距P来定位，该间距对应于相邻桥接元件314的后缘的分隔距离。
在一些实施方式中，光子结构300的边缘部分处的开口316的尺寸不同于光子结构300的中间部分处的开口316。例如，边缘部分处的开口316可以比中间部分处的开口316具有更大的长度。换句话说，桥接件元件314(例如，在边缘部分处限定第一开口316)可以根据间距P加上附加距离“L-额外”来定位。这样，可以改善光子结构300的边缘部分处的温度均匀性。在一些实施方式中，边缘部分处的较窄部分312a的尺寸不同于中间部分处的较窄部分312a。例如，边缘部分处的较窄部分312a可以比中间部分处的较窄部分312a具有更大的长度。边缘部分处的开口316可以与边缘部分处的较窄部分312a对准(或部分对准)(例如，边缘部分处的较窄部分312a的长度可以对应于或小于边缘部分处的开口316的长度)。
如上所述，提供图3作为示例。其他示例可以不同于针对图3所描述的。
图4是本文描述的示例光子结构400的俯视图。光子结构400可以对应于或者可以包括在光子结构(一个或多个)100、200和/或300中。光子结构400可以是热均匀的，或者是热受控的。如图4所示，如上所述，光子结构400可以包括悬置区域406(例如，包括光波导)、加热元件412、多个桥接元件414和多个开口416。例如，如上所述，加热元件412可以包括一个或多个较窄部分412a和一个或多个较宽部分412b。
在一些实施方式中，桥接元件414可以具有不均匀的长度和/或开口416可以具有不均匀的长度。在一些实施方式中，较窄部分412a可以具有不均匀的宽度，和/或较宽部分412b可以具有不均匀的宽度。
在一些实施方式中，一组桥接元件414的至少一部分(例如，该组的第一和最后一个桥接元件414之间的桥接元件414)沿着悬置区域406的横向侧的长度可以沿着悬置区域406或其一部分的长度而改变(例如，减小)。例如，桥接元件414的长度可以在光传播方向410上减小，使得第一桥接元件414(例如，更靠近光源)具有第一长度(例如，更长的长度)，第二桥接元件414(例如，更远离光源)具有第二长度(例如，更短的长度)。类似地，一组开口416的至少一部分(例如，该组的第一和最后一个开口416之间的开口416)沿着悬置区域406的横向侧的长度可以沿着悬置区域406或其一部分的长度而改变(例如，增加)。例如，开口416的长度可以在光传播方向410上增加，使得第一开口416(例如，更靠近光源)具有第一长度(例如，更短的长度)，第二开口416(例如，更远离光源)具有第二长度(例如，更长的长度)。
在一些实施方式中，较宽部分412b的至少一部分的宽度可以沿着悬置区域406或其一部分的长度而变化(例如，增加)。例如，较宽部分412b的宽度可以在光传播方向410上增加，使得第一较宽部分412b(例如，更靠近光源)具有第一宽度(例如，更小的宽度)，而第二较宽部分412b(例如，更远离光源)具有第二宽度(例如，更大的宽度)。换句话说，加热元件412的调制深度可以沿着加热元件412的长度或其一部分增加(例如，加热元件412的调制宽度可以是锥形的)。在一些实施方式中，如上所述，桥接元件414的长度和较宽部分412b的宽度都可以改变。
在一些实施方式中，桥接元件414可以具有不均匀的宽度和/或开口416可以具有不均匀的宽度。也就是说，桥接元件414和/或开口416的宽度可以以类似于上述的方式在光传播方向上改变(例如，增加或减少)。
这样，光子结构400的热调谐效率可以在光传播410的方向上改变(例如，增加)(例如，用于补偿由入射到光波导的反射镜上的光源引起的自加热效应导致的不均匀温度分布)。例如，光子结构400的第一部分可以具有相对较低的热调谐效率，并且光子结构400的第二部分可以具有相对较高的热调谐效率。第一部分可以更靠近光源，第二部分可以更远离光源。如上所述，相对较长的桥接元件414和/或相对较小的调制深度可能导致较低的热调谐效率。如上所述，较高的热调谐效率可由相对较短的桥接元件414和/或相对较大的调制深度产生。因此，相对于第二部分，第一部分(较低的热调谐效率)可以允许较高的热损失，以抵消自加热(其可能更靠近光源)。
如上所述，提供图4作为示例。其他示例可以不同于针对图4所描述的。
图5是本文描述的示例光子结构500的俯视图。光子结构500可以对应于或者可以包括在光子结构(一个或多个)100、200、300和/或400中。光子结构500可以是热均匀的，或者是热受控的。如图5所示，如上所述，光子结构500可以包括悬置区域506(例如，包括光波导)、加热元件512、多个桥接元件514和多个开口516。
如图5所示，桥接元件514可以在悬置区域506的相反侧偏移。也就是说，桥接元件514可以在悬置区域506的相反侧交错排列。例如，从悬置区域506的第一横向侧延伸的第一组桥接元件514和从悬置区域506的第二横向侧延伸的第二组桥接元件514可以相对于彼此偏移(例如，交错)。
在一些实施方式中，第一组和第二组桥接元件514可以根据不同的间隔沿着悬置区域506定位(例如，由此产生交错)。在一些实施方式中，第一组和第二组桥接元件514可以根据相同的间隔和根据与悬置区域506的边缘的不同偏移沿着悬置区域506定位。例如，第一组中的第一桥接元件514可以位于距边缘第一距离处，第二组中的第一桥接元件514可以位于距边缘第二距离处(例如，不同于第一距离)。
在一些实施方式中，加热元件512可以具有均匀的宽度(如图所示)。在一些实施方式中，加热元件512可以具有调制的宽度，如以上结合图2和3所述。附加地或替代地，加热元件512的调制深度可以沿着加热元件512的长度变化，如以上结合图4所述。附加地或替代地，桥接元件514和/或开口516可以具有不均匀的长度，如以上结合图4所述。
如上所述，提供图5作为示例。其他示例可以不同于关于图5所描述的。
前述公开内容提供了说明和描述，但不旨在穷举或将实施方式限制到所公开的精确形式。可以根据上述公开内容进行修改和变化，或者可以从实现的实践中获得修改和变化。此外，这里描述的任何实施方式可以被组合，除非前述公开明确地提供了一个或多个实施方式可以不被组合的理由。
即使特征的特定组合在权利要求中被引用和/或在说明书中被公开，这些组合并不旨在限制各种实施方式的公开。事实上，这些特征中的许多可以以权利要求中没有具体叙述和/或说明书中没有公开的方式进行组合。尽管下面列出的每个从属权利要求可以直接依赖于仅一个权利要求，但是各种实施方式的公开包括每个从属权利要求与权利要求集中的每个其他权利要求的组合。
除非明确说明，否则这里使用的元件、动作或指令不应被解释为关键或必要的。此外，如本文所用，冠词“一”旨在包括一个或多个项目，并且可以与“一个或多个”互换使用此外，如本文所用，冠词“该”旨在包括与冠词“该”相关联的一个或多个项目，并且可以与“该一个或多个”互换使用。此外，如此处所使用的，术语“组”旨在包括一个或多个项目(例如，相关项目、不相关项目、相关和不相关项目的组合等)，并且可以与“一个或多个”互换使用。当只打算使用一个项目时，使用短语“仅一个”或类似的语言。此外，如这里所使用的，术语“具有”等意在是开放式术语。此外，短语“基于”旨在表示“至少部分基于”，除非另有明确说明。此外，如本文所用，术语“或”在串联使用时旨在包括在内，并且可以与“和/或”互换使用，除非另有明确说明(例如，如果与“任一”或“仅其中之一”结合使用)。此外，为了便于描述，这里可以使用空间上相对的术语，例如“下”、“下”、“上方”、“上方”等，来描述一个元件或特征与图中所示的另一个元件或特征的关系。除了附图中描述的方位之外，空间相关术语旨在包括使用或操作中的设备、装置和/或元件的不同方位。该设备可以以其他方式定向(旋转90度或在其他方向)，并且这里使用的空间相对描述符同样可以相应地解释。
相关申请的交叉引用
本专利申请要求2020年4月29日提交的美国临时专利申请第63/017，380号的优先权，其标题为“UNIFORM THERMAL TUNING OF PHOTONIC STRUCTURES”。在先申请的公开内容被认为是本专利申请的一部分，并通过引用结合到本专利申请中。

Claims (20)

1.一种热控反射镜结构，包括:
悬置在基板上方的光波导区域，
其中所述光波导区域包括用于反射光的光栅；
多个桥接元件，连接到光波导区域并被配置成将光波导区域悬置在基板上方，
其中多个开口被限定在多个桥接元件之间；和
至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在光波导区域上，
其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
2.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中，具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括电阻加热器。
3.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中，具有调制宽度的所述至少一个加热元件具有一个未调制侧和一个经调制侧。
4.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中，具有调制宽度的所述至少一个加热元件具有两个经调制侧。
5.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中，具有调制宽度的所述至少一个加热元件位于所述光波导区域的波导脊上方。
6.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件位于所述光波导区域的波导脊的一侧。
7.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括第一加热元件和第二加热元件，并且所述第一加热元件和所述第二加热元件中的至少一个具有所述调制宽度，并且
其中第一加热元件和第二加热元件位于光波导区域的波导脊的相反侧。
8.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中，所述多个桥接元件的长度在所述光波导区域的光传播方向上减小，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分包括较大宽度的多个部分，所述多个部分在光传播方向上宽度增加。
9.根据权利要求1所述的热控反射镜结构，其中所述多个桥接元件中的在所述光波导区域的第一侧处的第一组桥接元件与所述多个桥接元件中的在所述光波导区域的第二侧处的第二组桥接元件偏离。
10.一种热控光子结构，包括:
悬置在基板上方的悬置区域；
多个桥接元件，连接到悬置区域并被配置成将悬置区域悬置在基板上方，
其中多个开口被限定在多个桥接元件之间；和
至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在悬置区域上，
其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
11.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件具有矩形调制。
12.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件具有三角形调制。
13.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件具有正弦调制。
14.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中所述多个开口中位于所述热控光子结构的边缘部分处的开口的尺寸不同于所述多个开口中位于所述热控光子结构的中间部分处的开口的尺寸，并且
其中所述较小宽度的至少一个部分包括在边缘部分处的较小宽度的第一部分和在中间部分处的较小宽度的第二部分，并且较小宽度的第一部分的尺寸不同于较小宽度的第二部分。
15.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中所述多个桥接元件的长度在所述热控光子结构的光传播方向上减小，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分包括较大宽度的多个部分，所述多个部分在光传播方向上宽度增加。
16.根据权利要求10所述的热控光子结构，其中所述多个桥接元件中的在所述悬置区域的第一侧处的第一组桥接元件与所述多个桥接元件中的在所述悬置区域的第二侧处的第二组桥接元件偏离。
17.一种可调谐激光器，包括:
热控反射镜结构，包括:
悬置在基板上方的光波导区域，
其中所述光波导区域包括用于反射光的光栅；
多个桥接元件，连接到光波导区域并被配置成将光波导区域悬置在基板上方，
其中多个开口被限定在多个桥接元件之间；和
至少一个加热元件，具有调制宽度且设置在光波导区域上，
其中具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括较大宽度的至少一个部分和较小宽度的至少一个部分，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分与所述多个开口中的一开口对准，并且所述较小宽度的至少一个部分与所述多个桥接元件中的一桥接元件对准。
18.根据权利要求17所述的可调谐激光器，其中，具有调制宽度的所述至少一个加热元件包括第一加热元件和第二加热元件，并且所述第一加热元件和所述第二加热元件中的至少一个具有所述调制宽度，并且
其中第一加热元件和第二加热元件位于光波导区域的波导脊的相反侧。
19.根据权利要求17所述的可调谐激光器，其中，所述多个桥接元件的长度在所述光波导区域的光传播方向上减小，并且
其中所述较大宽度的至少一个部分包括较大宽度的多个部分，所述多个部分在光传播方向上宽度增加。
20.根据权利要求17所述的可调谐激光器，
其中所述多个开口中位于所述热控反射镜结构的边缘部分处的开口的尺寸不同于所述多个开口中位于所述热控反射镜结构的中间部分处的开口的尺寸，并且
其中所述较小宽度的至少一个部分包括在边缘部分处的较小宽度的第一部分和在中间部分处的较小宽度的第二部分，并且较小宽度的第一部分的尺寸不同于较小宽度的第二部分。
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