CN113547490A - 显示装置的制造装置 - Google Patents

Abstract

提供显示装置的制造装置。显示装置的制造装置是包括彼此不同的第一腔体和第二腔体的显示装置的制造装置，包括：第一工作台，配置在所述第一腔体内，并且包括第一对齐标记；第一相机，在所述第一腔体内配置在所述第一工作台的上部，并且获取所述第一对齐标记和安装在所述第一工作台上的对象基板的位置信息；第二相机，配置在所述第二腔体内；以及控制部，根据由所述第一相机获取的所述位置信息，决定所述第二相机的位置。

Description

显示装置的制造装置

技术领域

本发明涉及显示装置的制造装置和显示装置的制造方法。

背景技术

向用户提供图像的智能电话、平板PC、数码相机、笔记本电脑、导航仪和智能电视等电子设备包括用于显示图像的显示装置。

作为显示装置的显示画面的装置，包括如有机发光显示面板或液晶显示面板这样的显示面板。其中，作为发光显示面板可包括发光元件，例如是发光二极管(LightEmitting Diode，LED)的情况下，存在将有机物用作荧光物质的有机发光二极管(OLED)、将无机物用作荧光物质的无机发光二极管等。

根据显示装置的大小，显示装置所包括的显示面板的大小可以不同。根据显示面板的大小，制造各显示装置的制造装置的各构成在其大小和形状上有所不同。此外，根据各显示面板的大小，需要替换制造其的制造装置的构成。

发明内容

本发明要解决的课题在于，提供如下的显示装置的制造装置和显示装置的制造方法，即，即使显示面板的大小不同，也可以不替换制造装置的各构成，并且可减少替换所述构成的时间来提高工序的效率。

本发明的课题并不限制以上所提及的课题，通过以下的记载，本领域技术人员应当能够明确理解未提及的其他课题。

用于解决所述的课题的一实施例涉及的显示装置的制造装置是包括彼此不同的第一腔体和第二腔体的显示装置的制造装置，包括：第一工作台，配置在所述第一腔体内，并且包括第一对齐标记；第一相机，在所述第一腔体内配置在所述第一工作台的上部，并且获取所述第一对齐标记和安装在所述第一工作台上的对象基板的位置信息；第二相机，配置在所述第二腔体内；以及控制部，根据由所述第一相机获取的所述位置信息，决定所述第二相机的位置。

所述显示装置的制造装置还可包括：相机驱动部，根据由所述控制部决定的所述第二相机的位置来移动所述第二相机的位置。

所述显示装置的制造装置还可包括：数据处理部，处理由所述第一相机获取的所述位置信息并提供给所述控制部。

所述显示装置的制造装置还可包括：第二工作台，配置在所述第二腔体内，所述控制部可根据所述对象基板的所述位置信息来决定安装于所述第二工作台的所述对象基板的位置。

所述控制部可根据所述对象基板的所述位置信息来决定所述第二工作台的位置。

用于解决所述的课题的一实施例涉及的显示装置的制造装置包括：工作台，在上表面包括多个第一吸附孔和多个第二吸附孔；以及第一吸附部件和第二吸附部件，分别向所述工作台的上表面提供负压，并且彼此被独立地驱动，所述第一吸附部件与多个所述第一吸附孔连接，并且所述第二吸附部件与多个所述第二吸附孔连接。

多个所述第一吸附孔可配置在所述工作台的第一区域处，并且多个所述第二吸附孔可配置在不与所述第一区域重叠的所述工作台的第二区域。

所述工作台还可包括工作台上板以及配置在所述工作台上板的下部的工作台下板，多个所述第一吸附孔和多个所述第二吸附孔可位于所述工作台上板，并且所述第一吸附部件和所述第二吸附部件可与所述工作台下板连接。

所述工作台下板可包括与所述第一吸附部件连接的第一吸附槽以及与所述第二吸附部件连接的第二吸附槽。

所述第一吸附槽可与各所述第一吸附孔中的至少一部分重叠，并且所述第二吸附槽可与各所述第二吸附孔中的至少一部分重叠。

所述显示装置的制造装置还可包括：移送单元，包括具有多个孔的机器人手；以及吸附部件，与多个所述孔中的至少一部分连接。

所述显示装置的制造装置还可包括：填充部件，插入到多个所述孔中不与所述吸附部件连接的剩余的孔内。

所述显示装置的制造装置还可包括：相机，位于所述工作台的上部；以及移动部件，与所述相机连接，所述移动部件可使所述相机在第一方向以及与所述第一方向相交的第二方向上移动。

所述显示装置的制造装置还可包括腔体，所述工作台可配置在所述腔体的内部。

用于解决所述的课题的一实施例涉及的显示装置的制造方法包括：利用配置在第一腔体内的第一相机获取配置在所述第一腔体内的第一工作台的第一对齐标记的位置信息和安装在所述第一工作台上的对象基板的第二对齐标记的位置信息的步骤；以及基于所获取的位置信息来对配置在与所述第一腔体不同的第二腔体内的第二相机的位置进行调整的步骤，配置在所述第二腔体内的第二工作台的第三对齐标记与所述第二相机之间的相对位置和所述第一工作台的所述第一对齐标记与所述第一相机之间的相对位置相同。

所述第一对齐标记与所述第二对齐标记可在第一方向上间隔开，由所述控制部调整的所述第二相机的位置可在所述第一方向上与所述第三对齐标记间隔开，并且所述第一对齐标记与所述第二对齐标记在所述第一方向上间隔开的距离可与所述第三对齐标记与所述第二相机在第一方向上间隔开的距离相同。

所述第一对齐标记与所述第二对齐标记可在第二方向上间隔开，由所述控制部调整的所述第二相机的位置可在所述第二方向上与所述第三对齐标记间隔开，并且所述第一对齐标记与所述第二对齐标记在所述第二方向上间隔开的距离可与所述第三对齐标记与所述第二相机在第二方向上间隔开的距离相同。

所述第一工作台可在上表面包括多个第一吸附孔和多个第二吸附孔以及彼此被独立地驱动的第一吸附部件和第二吸附部件，所述第一吸附部件可与各第一吸附孔连接，所述第二吸附部件可与各第二吸附孔连接，并且所述第一吸附部件和所述第二吸附部件可分别向所述工作台的上表面提供负压。

多个所述第一吸附孔可配置在所述第一工作台的第一区域，并且多个所述第二吸附孔可配置在不与所述第一区域重叠的所述第一工作台的第二区域。

所述第一工作台还可包括工作台上板以及配置在所述工作台上板的下部的工作台下板，多个所述第一吸附孔和多个所述第二吸附孔可位于所述工作台上板，并且所述第一吸附部件和所述第二吸附部件可与所述工作台下板连接。

其他实施例的具体事项包括在详细说明和附图中。

(发明效果)

根据本发明的各实施例，可提供如下的显示装置的制造装置和显示装置的制造方法，即，即使显示面板的大小不同，也可以不替换制造装置的各构成，并且可减少替换所述构成的时间来提高工序的效率。

各实施例所涉及的效果并不限于以上例示的内容，在本说明书内包括更多的效果。

附图说明

图1是用于说明本发明的一实施例涉及的显示装置的制造装置的示意图。

图2是一实施例涉及的第一移送单元的机器人手的立体图。

图3是示出在一实施例涉及的第一移送单元的机器人手的支承部结合了吸附部件和填充部件的情况的图。

图4是简单示出一实施例涉及的真空腔体的内部的图。

图5是一实施例涉及的第二移送单元的机器人手的立体图。

图6是示出在一实施例涉及的第二移送单元的机器人手的支承部结合了吸附部件和填充部件的情况的图。

图7是一实施例涉及的工作台的立体图。

图8是一实施例涉及的工作台的分解立体图。

图9是沿图8的Ⅸ-Ⅸ'线截取的剖视图。

图10是一实施例涉及的安装有视觉系统和对象基板的工作台的立体图。

图11是放大了图10的一部分的平面图。

图12是用于说明一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。

图13是放大了图10的一部分的平面图。

图14是用于说明一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。

图15是由一实施例涉及的制造装置制造出的显示装置的平面图。

图16是由一实施例涉及的制造装置制造出的显示装置的弯曲区域周边的示意性剖视图。

图17是另一实施例涉及的显示装置的制造装置的视觉系统的立体图。

图18是放大了又一实施例涉及的显示装置的制造装置的工作台的一部分的平面图。

图19是用于说明又一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。

图20是又一实施例涉及的工作台的立体图。

图21是又一实施例涉及的工作台的分解立体图。

图22是又一实施例涉及的工作台的立体图。

附图标记说明

10：显示装置的制造装置；CH1：第一真空腔体；CH2：第二真空腔体；CH3：第三真空腔体；CH4：第四真空腔体；TC1：第一送还腔体；TC2：第二送还腔体；100：第一移送单元；200：第二移送单元；300：工作台；400：视觉系统；S：对象基板。

具体实施方式

参照与附图一起详细后述的各实施例，本发明的优点、特征以及达成这些优点和特征的方法会变得明确。但是，本发明并不限于以下公开的各实施例，可以以互相不同的形式实现，各实施例仅仅使本发明的公开变得完整，并且是为了向本领域技术人员完整地告知发明的范畴而提供的，应仅由权利要求书的范围定义本发明。

元件(elements)或者层位于其他元件或者层上(on)的情况不仅包括直接位于其他元件上的情况，还包括其间存在其他层或其他元件的情况。在整个说明书中，同一符号指代同一构成要素。

虽然为了叙述各构成要素而使用第一、第二等，但是各构成要素当然不限于这些用语。这些用语仅用作使一个构成要素区别于其他构成要素的目的。因此，在本发明的技术思想内，以下提及的第一构成要素当然也可以是第二构成要素。

以下，参照附图来说明具体的各实施例。

图1是用于说明本发明的一实施例涉及的显示装置的制造装置的示意图。

参照图1，一实施例涉及的显示装置的制造装置10可包括至少一个真空腔体、至少一个送还腔体以及第一移送单元100。

真空腔体可包括第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4(以下，有时统称为真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4)。虽然在附图上示出了四个真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4，但是真空腔体的数量并不限于此，可为三个以下或者五个以上。

真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4作为箱(box)型结构物，在其内部可进行对于对象基板(参照图3的“S”)的制造工序。即，真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4中的每个可提供进行对于对象基板(参照图3的“S”)的制造工序的空间。虽然在真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4中的每个内可进行彼此不同的制造工序，但是并不限于此。在真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4中的每个的一侧壁面可配置供对象基板(参照图3的“S”)等出入的门(未图示)。真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4中的每个可被密闭并且内部处于真空状态，并且可彼此被物理地分离。

送还腔体可包括第一送还腔体TC1和第二送还腔体TC2(以下，有时统称为送还腔体TC1、TC2)。虽然在附图上示出了两个送还腔体TC1、TC2，但是送还腔体的数量并不限于此，可为一个或者三个以上。第一送还腔体TC1和第二送还腔体TC2可执行供对象基板(参照图3的“S”)进入到系统内部的入口和/或出口的功能。例如，对象基板(参照图3的“S”)可被送入第一送还腔体TC1，并且经过在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中执行的加工步骤，可被退回到第二送还腔体TC2。

第一移送单元100可将对象基板(参照图3的“S”)送入各真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4和各送还腔体TC1、TC2，或者从其退回。第一移送单元100可包括机器人臂(Robot arm)110和机器人手(Robot hand)120。

机器人臂110可支承机器人手120并且可使机器人手120移动。机器人手120支承对象基板(参照图3的“S”)并且可使对象基板(参照图3的“S”)移动。

为了对机器人手120进行更加详细的说明，进一步参照图2和图3。

图2是一实施例涉及的第一移送单元的机器人手的立体图。图3是示出在一实施例涉及的第一移送单元的机器人手的支承部结合了吸附部件和填充部件的情况的图。

进一步参照图2和图3，一实施例涉及的显示装置的制造装置10还可包括吸附部件123和填充部件124，并且机器人手120可包括支承部121、孔122和结合部125。

支承部121可在平面上大于对象基板S的大小。支承部121可在平面上形成为矩形的形状。然而，并不限于此，也可形成为三角形、五边形等多边形形状，或者可形成为椭圆形状等。支承部121可提供配置对对象基板S进行吸附的吸附部件123和填充部件124的空间，并且可固定吸附部件123和填充部件124。在支承部121可形成有多个孔122。

孔122可通过支承部121来定义，并且其在厚度方向上可贯通支承部121。虽然孔122可在平面上形成为圆形，但是并不限于此，也可形成为三角形、四边形等多边形，或者还可形成为椭圆形状等。在多个孔122中的一部分孔的内部可配置吸附部件123，并且在剩余的一部分的孔可配置填充部件124。然而，并不限于此，也可省略填充部件124。

吸附部件123可与多个孔122中的至少一部分连接并且以真空吸附对象基板S。由此，对象基板S可被固定在机器人手120的支承部121上。虽然未图示，但是还可配置有与吸附部件123连接且吸入空气使得吸附部件123以真空吸附对象基板S的真空吸入部(未图示)。

填充部件124可配置在多个孔122中未配置吸附部件123的孔122内。填充部件124可配置在未配置吸附部件123的孔122内，从而填充所述孔122并且防止从外部吸入空气等。由此，所述吸附部件123可顺利地进行操作。

虽然吸附部件123可连接到位于与对象基板S对应的整个区域的所有孔122，但是并不限于此。例如，吸附部件123也可配置在与对象基板S对应的区域中的一部分孔122处。即，吸附部件123也可仅配置在机器人手120的至少一部分区域来支承对象基板S。

可将配置有吸附部件123的区域指代为对应区域DA，并且可将未配置吸附部件123的区域指代为周边区域GA。对应区域DA的大小和形状可对应于对象基板S的大小和形状，并且对应区域DA可与对象基板S重叠。

也可仅在机器人手120的一部分区域选择性地真空吸附对象基板S。所述区域可根据对象基板S的大小和形状而不同。配置有吸附部件123的区域可根据对象基板S的大小和形状而不同。配置有所述吸附部件123的区域可与对象基板S的大小和形状对应，并且可与对象基板S重叠。然而，并不限于此，配置有吸附部件123的位置也可与对象基板S的一部分重叠。即，吸附部件123也可仅配置在位于对应区域DA内的孔122中的一部分孔处。在该情况下，吸附部件123可在对应区域DA内具有彼此不同的多个图案。

因此，根据对象基板S的大小和形状，吸附部件123的配置位置以及配置有吸附部件123的区域的大小及形状可以不同，由此具有彼此不同的形状和大小的对象基板S可被附着于一个机器人手120上。即，即使对象基板S的大小和形状不同，也无需替换机器人手120自身，可利用同一机器人手120使具有各种大小和形状的对象基板S移动。因此，可减少替换机器人手120自身所需的时间，并且可减少工序所需的时间来提高工序效率。

填充部件124可配置在位于周边区域GA的孔122的内部。然而，并不限于此，在配置于周边区域GA的孔122的内部可不配置其他构成，其可以是空的。

结合部125可位于支承部121上。结合部125从一方向上的一侧末端延续到另一侧末端，但是并不限于此，可形成为桥(Bridge)形状。虽然未图示，但是结合部125可包括与机器人臂110结合的结合槽(未图示)。通过结合部125可结合机器人臂110与机器人手120，并且可通过机器人臂110移送机器人手120和位于机器人手120上的对象基板S。

以下，对配置在真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4的内部的各构成进行说明。

图4是简单示出一实施例涉及的真空腔体的内部的图。

为了便于说明，在图4中仅示出了第一真空腔体CH1的内部，然而这是例示，以下所叙述的说明也可适用于第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4。

参照图4，显示装置的制造装置10还可包括第二移送单元200、工作台(Stage)300和视觉系统(Vision system)400。

第二移送单元200可配置在第一真空腔体CH1内。第二移送单元200可接收由第一真空腔体CH1的外部的第一移送单元(参照图1的“100”)传递的对象基板(图3的“S”)，在第一真空腔体CH1的内部移送对象基板(图3的“S”)，并使对象基板(图3的“S”)位于工作台300上。第二移送单元200可包括机器人臂210和机器人手220。第二移送单元200的机器人臂210可支承第二移送单元200的机器人手220，并且使第二移送单元200的机器人手220移动。第二移送单元200的机器人手220支承对象基板(参照图3的“S”)并且使对象基板(参照图3的“S”)移动。对此的详细说明将在后面叙述。

工作台300可配置在第一真空腔体CH1内。工作台300可提供能够安装对象基板S的空间，并且支承对象基板S。换言之，对象基板S被安装在工作台300上。对象基板S可配置在工作台300的上表面上。工作台300可利用真空、静电和/或范德华力等来固定安装在工作台300上的对象基板S。此外，工作台300可在安装了对象基板S的状态下进行移动或旋转，从而调整对象基板S的位置和方向。工作台300可以是能够与安装在工作台300上的对象基板S的大小和形状无关地使用的公用工作台。对此的详细说明将在后面叙述。

视觉系统400可配置在第一真空腔体CH1内。视觉系统400可确认工作台300的工作台对齐标记(Align mark)(参照图10的“311”)和对象基板S的对象基板对齐标记(参照图10的“MK1”、“MK2”)的位置。视觉系统400可包括第一相机410和第二相机420。第一相机410和第二相机420可位于工作台300的上部。换言之，第一相机410和第二相机420可被配置成与工作台300间隔开，且在第一相机410和第二相机420与工作台300之间设有对象基板S。对此的详细说明将在后面叙述。

以下，参照图5和图6，对第二移送单元200的机器人手220进行详细说明。

图5是一实施例涉及的第二移送单元的机器人手的立体图。图6是示出在一实施例涉及的第二移送单元的机器人手的支承部结合了吸附部件和填充部件的情况的图。

参照图5和图6，一实施例涉及的显示装置的制造装置10还可包括吸附部件223和填充部件224。

第二移送单元200的机器人手220可支承对象基板S。机器人手220可包括支承部221、孔222、吸附部件223、填充部件224和结合部225。

支承部221可在平面上大于对象基板S的大小。支承部221可在平面上形成为矩形的形状。然而，并不限于此，也可形成为三角形、五边形等多边形形状，或者还可形成为椭圆形状等。支承部221可提供配置对对象基板S进行吸附的吸附部件223和填充部件224的空间，并且固定吸附部件223和填充部件224。在支承部221可形成有多个孔222。

孔222可通过支承部221来定义，并且在厚度方向上贯通支承部221。虽然孔222可在平面上形成为圆形，但是并不限于此，也可形成为三角形、四边形等多边形，或者还可形成为椭圆形状等。在多个孔222中的一部分孔的内部可配置吸附部件223，并且在剩余的一部分的孔可配置填充部件224。然而，并不限于此，也可省略填充部件224。

吸附部件223可与多个孔222中的至少一部分连接并且以真空吸附对象基板S。由此，对象基板S可被固定在机器人手220的支承部221上。虽然未图示，但是还可配置有与吸附部件223连接并且吸入空气使得吸附部件223以真空吸附对象基板S的真空吸入部(未图示)。

填充部件224可配置在多个孔222中未配置吸附部件223的孔222内。填充部件224可配置在未配置吸附部件223的孔222内，从而填充所述孔222并防止从外部吸入空气等。由此，所述吸附部件223可顺利地进行操作。

虽然吸附部件223可与位于和对象基板S对应的整个区域中的所有孔222连接，但是并不限于此。例如，也可仅在与对象基板S对应的区域中的一部分孔222处配置吸附部件223。即，也可仅在机器人手220的至少一部分区域配置吸附部件223来真空吸附对象基板S。

配置有吸附部件223的区域可被指代为对应区域DA，并且未配置吸附部件223的区域可被指代为周边区域GA。对应区域DA的大小和形状可对应于对象基板S的大小和形状，并且对应区域DA可与对象基板S重叠。

可仅在机器人手220的一部分区域选择性地真空吸附对象基板S。所述区域可根据对象基板S的大小和形状而不同。配置有吸附部件223的区域可根据对象基板S的大小和形状而不同。配置有吸附部件223的区域可对应于对象基板S的大小和形状，并且可与对象基板S重叠。然而，并不限于此，配置有吸附部件223的位置也可与对象基板S的一部分重叠。即，吸附部件223也可仅配置在位于对应区域DA内的孔222中的一部分孔处。在该情况下，吸附部件223可在对应区域DA内具有彼此不同的多个图案。

因此，根据对象基板S的大小和形状，吸附部件223的配置位置以及配置吸附部件223的区域的大小和形状可以不同，由此具有彼此不同的形状和大小的对象基板S可被附着在一个机器人手220上。即，即使对象基板S的大小和形状不同，也无需替换机器人手220自身，可利用同一机器人手220使具有各种大小和形状的对象基板S移动。因此，可减少替换机器人手220自身所需的时间，并且可减少工序所需的时间，因而可提高工序效率。

填充部件224可配置在位于周边区域GA的孔222的内部。然而，并不限于此，在配置于周边区域GA的孔222的内部可不配置其他构成，其可以是空的。

结合部225可位于支承部221上。结合部225从一方向上的一侧末端延续到另一侧末端，但是并不限于此，可形成为桥(Bridge)形状。虽然未图示，但是结合部225可包括与机器人臂210结合的结合槽(未图示)。通过结合部225可结合机器人臂210与机器人手220，并且通过机器人臂210可移送机器人手220和位于机器人手220上的对象基板S。

以下，参照图7至图9，对工作台300进行详细说明。

图7是一实施例涉及的工作台的立体图。图8是一实施例涉及的工作台的分解立体图。图9是沿图8的Ⅸ-Ⅸ'线截取的剖视图。

参照图7至图9，根据安装在工作台300上的对象基板S的大小和形状，工作台300固定对象基板S的区域可不同。工作台300固定对象基板S的方法可以有多种，例如工作台300可真空吸附对象基板S，并且真空吸附对象基板S的区域可根据对象基板S的大小和形状而不同，但是并不限制于此。

工作台300可包括工作台上板310、位于工作台上板310的下部的工作台下板320以及吸附部件322。然而，并不限于此，工作台300也可不被分离成工作台上板310和工作台下板320而是形成为一体。

虽然工作台上板310可在平面上形成为矩形的形状，但是并不限于此，也可在平面上形成为三角形、五边形等多边形形状或者形成为圆形形状。在工作台上板310上可安装对象基板S。工作台上板310可包括对齐标记311、标尺312以及多个吸附孔313。

对齐标记311可配置在工作台上板310上，并且可配置在工作台上板310的角部。虽然对齐标记311可在平面上形成为十字(+)形状，但是对齐标记311的平面上的形状并不限于此，例如也可形成为三角形、六边形、圆形、椭圆形等形状。工作台300的对齐标记311可成为用于测量安装在工作台300上的对象基板S的位置的基准点。

标尺312可配置在工作台上板310上，并且沿着工作台上板310的至少任一个边的边缘配置。标尺312可形成为沿着工作台上板310的至少任一个边的边缘在一条直线上排列有作为图形信息的一种的多个刻度的形状。标尺312执行更加准确地测量安装在工作台300上的对象基板S的位置的作用。

工作台300的吸附孔313可通过工作台上板310定义，并且在厚度方向上可贯通工作台上板310。虽然吸附孔313可在平面上形成为圆形，但是并不限于此，也可形成为三角形、四边形等多边形或者形成为椭圆形状等。安装在工作台300上的对象基板S可通过工作台300的吸附孔313以及与吸附孔313连接的吸附部件322等被吸附在工作台上板310(或者工作台上表面)，从而被固定在工作台300上。

工作台下板320可位于工作台上板310的下部。工作台下板320的形状可与工作台上板310的形状对应地形成。工作台下板320可包括吸附槽321。

可具备多个吸附槽321。可沿着第一方向DR1彼此间隔开来反复配置吸附槽321，并且可沿着第二方向DR2彼此间隔开来反复配置吸附槽321。虽然示出了沿着第一方向DR1配置七个吸附槽321并且沿着第二方向DR2配置四个吸附槽321的情况，但是吸附槽321的数量并不限于此。

吸附槽321可在工作台下板320上形成为朝向下侧凹陷的槽(Groove)的形状。各吸附槽321可与后述的吸附部件322连接并且进行真空吸入。可彼此独立地形成各吸附槽321，从而彼此被分离。在工作台下板320与工作台上板310结合的情况下，或者工作台上板310与工作台下板320形成为一体的情况下，各吸附槽321可独立地形成密闭的空间。即，各吸附槽321可彼此分离并且独立地进行真空吸入。例如，多个吸附槽321中的一部分可进行真空吸入而剩余的吸附槽321可不进行真空吸入，但是并不限于此。

可具备多个吸附部件322，并且多个吸附部件322可分别被独立地驱动。各吸附部件322可吸入与所述吸附部件322连接的吸附槽321的内部的气体并将其排出到外部。由此，吸附部件322可向工作台300的上表面(或者工作台上板310)提供负压。各吸附部件322可与彼此不同的吸附槽321连接，并且与彼此不同的多个吸附孔313连接。因此，各吸附槽321可独立地进行真空吸入。然而，并不限于此，也可以是两个以上的吸附部件322与一个吸附槽321连接。

随着吸附部件322进行真空吸入，吸附部件322可向工作台300的上表面(或者工作台上板310)提供负压。换言之，吸附部件322可通过与所述吸附部件322连接的吸附槽321和/或与所述吸附槽321重叠的吸附孔313，真空吸附安装在工作台300上的对象基板S。在吸附槽321进行真空吸附的情况下，位于所述工作台上板310的吸附孔313上的对象基板S可被真空吸附在工作台300上，从而被固定。

同时，具备工作台下板320所具备的多个吸附槽321以及与所述吸附槽321连接的吸附部件322，随着各吸附部件322被独立地驱动，在一个工作台300上可安装大小和形状不同的对象基板S。换言之，工作台300可仅对工作台300的一部分区域选择性地进行真空吸入，且选择性地驱动位于所述区域的至少一个吸附孔313以及与连接到所述吸附孔313的至少一个吸附槽321连接的吸附部件322，从而进行真空吸入。

因此，即使安装在工作台300上的对象基板S的大小和形状不同，也可驱动和与安装在工作台300上的对象基板S对应的区域的吸附槽321连接的吸附部件322，从而在所对应的区域真空吸附对象基板S。因此，即使对象基板S的大小和形状不同，也可驱动与分别对应于对象基板S的区域的吸附槽321连接的吸附部件322，从而在不替换工作台300的情况下，在工作台300上分别安装大小和形状不同的对象基板S。

虽然可在与安装在工作台300上的对象基板S对应的整个区域真空吸附对象基板S，但是并不限于此，也可仅在与所述对象基板S对应的区域中的一部分区域真空吸附对象基板S。即，可对和配置在与安装于工作台300上的对象基板S对应的整个区域的吸附槽321连接的吸附部件322的全部进行驱动，从而在所述整个区域实现真空吸入。然而，并不限于此，也可仅使和配置在与安装在工作台300上的对象基板S对应的整个区域的吸附槽321连接的吸附部件322中的一部分工作，从而仅在所述区域的一部分实现真空吸入。

由此，即使对象基板S的大小不同，也可无需替换工作台300自身。随着无需替换工作台300自身，可防止因替换工作台300自身而消耗时间的情况，并且可减少工序上消耗的时间。因此，可提高工序效率。

图10是一实施例涉及的安装有视觉系统和对象基板的工作台的立体图。在图10中，为了便于说明，在工作台300上仅示出了工作台300的对齐标记311。

参照图10，对象基板S可包括第一对齐标记MK1和第二对齐标记MK2(以下，有时统称为对齐标记MK1、MK2)。第一对齐标记MK1和第二对齐标记MK2可配置在对象基板S上，并且可配置在对象基板S的角部。虽然第一对齐标记MK1和第二对齐标记MK2可在平面上形成为十字(+)形状，但是第一对齐标记MK1和第二对齐标记MK2的平面上的形状并不限于此，例如也可形成为三角形、六边形、圆形、椭圆形等形状。第一对齐标记MK1指代位于在第一方向DR1上靠近工作台300的对齐标记311的位置处的对齐标记，并且第二对齐标记MK2指代位于在第一方向DR1远离工作台300的对齐标记311的位置处的对齐标记。

一实施例涉及的视觉系统400可包括第一相机410、第二相机420和移动部件430。

第一相机410和第二相机420可确认工作台300的对齐标记311的位置，并且可确认对象基板S的对齐标记MK1、MK2的位置。通过确认工作台300的对齐标记311的位置以及对象基板S的对齐标记MK1、MK2的位置，可确认对象基板S是否被安装在工作台300上的期望的位置处。

虽然未图示，但是第一相机410和第二相机420可包括识别光产生部(未图示)和识别光接收部(未图示)。识别光产生部(未图示)起到生成对齐标记识别光并朝向对齐标记311、MK1、MK2侧辐射对齐标记识别光的作用。识别光接收部(未图示)接收从对齐标记311、MK1、MK2反射的识别光。然而，并不限于此，识别光产生部(未图示)可以不设置在第一相机410和第二相机420中，而是被设置在单独的对齐标记识别光产生装置中。

移动部件430可使第一相机410和第二相机420在第一方向DR1以及与第一方向DR1交叉的第二方向DR2上移动。移动部件430可包括第一移动部431和第二移动部432。

第一移动部431可位于工作台300和对象基板S的上部，并且与工作台300和对象基板S间隔开来配置。第一移动部431可在第一方向DR1上延伸，并且使第一相机410和第二相机420在第一方向DR1上移动。第一移动部431可形成为一个导轨，但是并不限于此。同时，第一移动部431可使第一相机410和第二相机420独立地移动，由此可调节第一相机410与第二相机420之间在第一方向DR1上的距离。

第二移动部432可位于工作台300和对象基板S的第一方向DR1上的一侧和另一侧，并且与工作台300和对象基板S间隔开来配置。第二移动部432可在第二方向DR2上延伸，并且使第一相机410和第二相机420在第二方向DR2上移动。第二移动部432可由成对的两个导轨形成，但是并不限于此。

附图上示出的第一移动部431的形状、第二移动部432的形状以及第一移动部431与第二移动部432之间的结合关系仅为例示，并不限于此，可以形成为各种形状。

用于确认对象基板S的对齐位置和大小的第一相机410和第二相机420的位置可设置在多个真空腔体(参照图1的“CH1”、“CH2”、“CH3”、“CH4”)中的一个中，从而可一起设置剩余真空腔体中的第一相机410和第二相机420的位置。为了说明该情况，进一步参照图11和图12。

图11是放大了图10的一部分的平面图。图12是用于说明一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。在图11中示出了使第一相机410和第二相机420从工作台300的对齐标记311朝向安装在工作台300上的对象基板S的对齐标记MK1、MK2移动的移动路径。

首先，进一步参照图11，第一相机410可从工作台300的对齐标记311朝向对象基板S的第一对齐标记MK1在第一方向DR1和第二方向DR2上移动。换言之，第一相机410可从工作台300的对齐标记311朝向对象基板S的第一对齐标记MK1在第一方向DR1上移动第一距离d1，并且在第二方向DR2上移动第二距离d2。随着第一相机410如上所述那样移动，第二相机420也可一同移动。

在第一相机410位于对象基板S的第一对齐标记MK1的上部之后，第一相机410可被固定，并且可使第二相机420在第一方向DR1上移动。换言之，第二相机420可在随第一相机410移动之后朝向第二对齐标记MK2在第一方向DR1上移动第三距离d3。

接着，进一步参照图12，一实施例涉及的显示装置的制造装置10还可包括数据处理部DP、控制部CT和视觉系统驱动部DR_V。虽然在附图上示出了视觉系统400、第一相机410和第二相机420在第一方向DR1上移动的情况，但是这是为了便于说明，视觉系统400、第一相机410和第二相机420不仅可在第一方向DR1上移动，还可在第二方向DR2上移动。

数据处理部DP可对第一真空腔体CH1的第一相机410和/或第二相机420移动的信息进行处理。即，数据处理部DP可将第一真空腔体CH1的第一相机410和/或第二相机420移动的第一距离d1、第二距离d2和第三距离d3变换为适合于传送的形式，并提供给控制部CT。数据处理部DP可通过有线或无线通信方式将所需的信息提供给控制部CT。

控制部CT可基于从数据处理部DP提供的信息，调整第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第一相机410和第二相机420的位置。控制部CT可包括中央处理装置(CPU)。控制部CT可处理所述信息并基于此来控制后述的视觉系统驱动部DR_V。

视觉系统驱动部DR_V可从控制部CT接收基于所述信息的控制命令，从而使第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第一相机410和第二相机420移动。第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第一相机410和第二相机420可通过分别设置在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中的移动部件430来移动。视觉系统驱动部DR_V可包括至少一个电机或执行器，从而可驱动所述移动部件430，但是并不限于此。

可分别在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中设置视觉系统驱动部DR_V，从而调整各自的第一相机410和第二相机420的位置。然而，并不限于此，一个视觉系统驱动部DR_V也可统一调整第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4的第一相机410和第二相机420的位置。

虽然未图示，但是控制部CT可将第一相机410和第二相机420的位置信息存储于存储部(未图示)。存储部(未图示)可包括能够存储所述位置信息的内置存储器和外置存储器中的至少一个。

即，可通过使第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第一相机410和第二相机420同步，从而只要在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中的任一个中移动了第一相机410和第二相机420，就可使剩余的第一相机410和第二相机420以相同方式移动。由此，在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中工作台300的对齐标记311与第一相机410之间的相对位置以及工作台300的对齐标记311与第二相机420之间的相对位置可以分别都相同。即，在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中，工作台300的对齐标记311与第一相机410之间在第一方向DR1上的距离以及在第二方向DR2上的距离可以分别都相同，并且工作台300的对齐标记311与第二相机420之间在第一方向DR1上的距离和在第二方向DR2上的距离可以分别都相同。

因此，工序的准确性可得到提高，并且可节省对齐各真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4的第一相机410和第二相机420所需的时间，从而可提高工序效率性。

配置在第一真空腔体CH1内的视觉系统400的第一相机410和第二相机420不仅可与配置在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4内的视觉系统400的第一相机410及第二相机420同步，而且还可与第一移送单元100和配置在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4内的第二移送单元200同步。为了说明该情况，参照图13和图14。

图13是放大了图10的一部分的平面图。图14是用于说明一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。在图13中示出了安装在工作台300上的对象基板S移动的情况。此外，示出了随着安装在工作台300上的对象基板S移动，第一相机410沿着对象基板S的第一对齐标记MK1移动的移动路径移动的情况。

首先，参照图10和图13，安装在工作台300上的对象基板S可为了初始设置而移动。即，通过第一移送单元100(参照图1的“100”)和第二移送单元200(参照图4的“200”)被移送到工作台300上的对象基板S可能未正确地配置在期望的位置处，因此需要将所述对象基板S准确地移动到期望的位置处。在附图中，用虚线表示了对象基板S的原来的位置，并且用实线表示了移动到期望的位置处的对象基板S。

在移动对象基板S之前，第一相机410可确认位于原来的位置处的对象基板S的第一对齐标记MK1的位置，然后可通过操作人员或者单独的构成使对象基板S移动到期望的位置。接着，可确认配置在期望的位置的对象基板S的第一对齐标记MK1的位置。由此，第一相机410可分别确认对象基板S在第一方向DR1和/或第二方向DR2上移动的距离。即，通过第一相机410分别确认移动前后的对象基板S的第一对齐标记MK1的位置，由此可测量对象基板S在第一方向DR1和/或第二方向DR2上移动的距离d4、d5。

以上，说明了使用视觉系统400的第一相机410和对象基板S的第一对齐标记MK1来测量所述移动距离d4、d5的情况，但是并不限于此，也可使用第二相机420或者使用对象基板S的第二对齐标记MK2。

接着，进一步参照图14，一实施例涉及的显示装置的制造装置10包括数据处理部DP和控制部CT，而且还可包括移送单元驱动部DR_T。虽然在附图上示出了视觉系统400、第一相机410和第二相机420在第一方向DR1上移动的情况，但这是为了便于说明，视觉系统400、第一相机410和第二相机420不仅可在第二方向DR1上移动，还可在第二方向DR2上移动。

数据处理部DP可处理第一真空腔体CH1的第一相机410移动的信息。即，数据处理部DP可将第一真空腔体CH1的第一相机410移动的第四距离d4和第五距离d5变换为适合于传送的形式并提供给控制部CT。数据处理部DP可通过有线或无线通信方式将所需的信息提供给控制部CT。

控制部CT可基于从数据处理部DP提供的信息，调整通过第一移送单元100以及第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第二移送单元200安装的对象基板S的位置。控制部CT可包括中央处理装置(CPU)。控制部CT可对所述信息进行处理并基于此来控制后述的移送单元驱动部DR_T。

移送单元驱动部DR_T可从控制部CT接收基于所述信息的控制命令，从而使通过第一移送单元100以及第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第二移送单元200安装的对象基板S的位置移动。即，在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自中，可通过第一移送单元100以及第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第二移送单元200将对象基板S安装在工作台300上的期望的位置。

虽然未图示，但是控制部CT可将第一相机410和/或第二相机420的位置信息存储在存储部(未图示)中。存储部(未图示)可包括能够存储所述位置信息的内置存储器和外置存储器中的至少一个。

即，可使配置在第一真空腔体CH1内的视觉系统400、第一移送单元100以及第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的第二移送单元200彼此同步，从而只要在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中的任一个中使对象基板S移动到了期望的位置，就可通过剩余的第二移送单元200和第一移送单元100统一改变对象基板S安装在工作台300上的位置。由此，在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自中，当对象基板S被安装在工作台300上的情况下，工作台300的对齐标记311与对象基板S的对齐标记MK1、MK2之间的相对位置均可相同。即，随着工序的进行，在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自中，当对象基板S被安装在工作台300上的情况下，工作台300的对齐标记311与对象基板S的第一对齐标记MK1之间在第一方向DR1上的距离以及在第二方向DR2上的距离均可相同，并且工作台300的对齐标记311与对象基板S的第二对齐标记MK2之间在第一方向DR1上的距离以及在第二方向DR2上的距离均可相同。

因此，可提高工序的准确性，并且可节省使对象基板S位于设置在各真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4内的各工作台300的期望的位置处的过程所需的时间，因此可提高工序效率性。

以下，参照图15和图16，简单说明通过所述工序形成的显示装置DSP。

图15是由一实施例涉及的制造装置制造出的显示装置的平面图。图16是由一实施例涉及的制造装置制造出的显示装置的弯曲区域周边的示意性剖视图。

参照图15和图16，显示装置DSP显示动态图像或静态图像。显示装置DSP可指代提供显示画面的所有电子装置。例如，显示装置DSP不仅包括提供显示画面的移动电话、智能电话、平板PC(Personal Computer)、电子表、智能手表、手表电话、移动通讯终端机、电子手册、电子书、PMP(Portable Multimedia Player)、导航仪、游戏机、数码相机等便携式电子设备，还可包括电视系统、笔记本电脑、监控器、广告板、物联网等。

显示装置DSP可包括活性区域AAR和非活性区域NAR。在显示装置DSP中，若将显示画面的部分定义为显示区域且将不显示画面的部分定义为非显示区域，则显示区域可包括于活性区域AAR。在显示装置DSP具有触摸功能的情况下，作为构成触摸输入的感测的区域的触摸区域也可包括于活性区域AAR。显示区域和触摸区域可重叠。活性区域AAR可为既构成显示也构成触摸输入的感测的区域。

活性区域AAR可包括多个像素PX。多个像素PX可排列在行列方向上。虽然各像素PX的形状可在平面图上(即，以平面图状态观察时)是矩形或正方形，但是并不限于此，也可以是各边相对于第一方向DR1倾斜的菱形形状。活性区域AAR的形状可以是矩形或者被倒角的矩形。

非活性区域NAR配置在活性区域AAR的周边。非活性区域NAR可为边框区域。非活性区域NAR可包围活性区域AAR的所有边(在图中是四个边)。

显示装置DSP包括提供显示画面的显示面板PNL。作为显示面板PNL的例，可列举有机发光显示面板、微型LED显示面板、纳米LED显示面板、量子点发光显示面板、液晶显示面板、等离子显示面板、场发射显示面板、电泳显示面板、电润湿显示面板等。以下作为显示面板PNL的一例，例示适用了有机发光显示面板的情况，但是并不限于此，只要是可以适用相同的技术思想，也可以适用于其他显示面板。

显示面板PNL可包括包含如聚酰亚胺等柔性高分子物质的柔性基板SUB。由此，显示面板PNL可被弯曲、弯折、折叠或卷曲。显示面板PNL可包括作为面板被弯曲的区域的弯曲区域BR。以弯曲区域BR为中心，显示面板PNL可被区分为位于弯曲区域BR的一侧的主区域MR和位于弯曲区域BR的另一侧的子区域SR。

主区域MR在与弯曲区域BR的连接部具有L字切割形状。子区域SR从弯曲区域BR延伸。在子区域SR可配置驱动芯片IC。驱动芯片IC可包括驱动显示面板PNL的集成电路。

在弯曲区域BR，显示面板PNL可朝向第三方向DR3的另一侧以具有曲率的方式被弯曲。在弯曲区域BR可配置弯曲保护层BPL。弯曲保护层BPL可配置在基板SUB的一面上。弯曲保护层BPL可由树脂等构成以保护弯曲区域BR。

在显示面板PNL的子区域SR的端部可配置有焊盘部。焊盘部可包括多个显示信号布线焊盘和触摸信号布线焊盘。在显示面板PNL的子区域SR的端部的焊盘部可连接驱动基板FPC。驱动基板FPC可为柔性印刷电路基板或膜。

显示面板PNL还可包括配置在主区域MR与子区域SR的重叠区域的第一保护膜PF1和第二保护膜PF2。第一保护膜PF1和第二保护膜PF2可彼此相向，并且可通过粘接剂或粘合剂等结合层PSA被结合。由此，可提高弯曲结构的机械稳定性。

在基板SUB被弯折的部分可配置有间隔件CSP。在基板SUB被弯折的状态下，间隔件CSP可配置在第一保护膜PF1和第二保护膜PF2的第一方向DR1上的侧面，并且可位于第一保护膜PF1及第二保护膜PF2与基板SUB之间。由此，可提高弯曲结构的机械稳定性。。

在基板SUB的一面上可配置有源元件层ATL、薄膜封装层ENC和触摸层TSP。

有源元件层ATL可包括发光元件以及驱动该发光元件的薄膜晶体管。薄膜封装层ENC可覆盖有源元件层ATL来防止有源元件层ATL暴露于水分或空气。在薄膜封装层ENC上可配置触摸层TSP。触摸层TSP可包括多个触摸电极。也可省略触摸层TSP。

显示装置DSP还可包括配置在显示面板PNL上的偏振部件POL。偏振部件POL使通过其的光产生偏振。偏振部件POL可起到减少外光反射的作用。在偏振部件POL配置在显示面板PNL上的情况下，在偏振部件POL与显示面板PNL之间可配置粘接部件PLA。偏振部件POL和显示面板PNL可通过粘接部件PLA被彼此粘接。

显示装置DSP还可包括窗部件WM。窗部件WM起到覆盖并保护显示面板PNL的作用。窗部件WM可通过包括光学透明粘接剂或光学透明树脂等的透明结合层OCR被附着在显示面板PNL的一面上。在显示装置DSP包括偏振部件POL的情况下，窗部件WM可附着在偏振部件POL的一面上。

窗部件WM可包括玻璃基材WD以及配置在玻璃基材WD上的印刷层IK。

玻璃基材WD可由透明的物质构成。玻璃基材WD例如可包括玻璃或塑料来构成。在玻璃基材WD包括塑料的情况下，玻璃基材WD可具有柔性性质。玻璃基材WD的平面形状对应于所适用的显示装置DSP的形状。

在玻璃基材WD上可配置印刷层IK。印刷层IK可配置在玻璃基材WD的边缘部位，并且可配置在非活性区域NAR。印刷层IK可为遮光层或者赋予美感的装饰层。

以下，说明显示装置的制造装置的其他实施例。在以下的实施例中，对于与说明过的实施例相同的构成，将省略或简化说明，以差异为主进行说明。

图17是另一实施例涉及的显示装置的制造装置的视觉系统的立体图。

参照图17，本实施例涉及的视觉系统400_1的第一相机410和第二相机420与图10的实施例的区别在于，不仅可在第一方向DR1和第二方向DR2上移动，还可在第三方向DR3上移动。

具体而言，本实施例涉及的视觉系统400_1包括使第一相机410和第二相机420在第一方向DR1上移动的第一移动部431和使第一相机410和第二相机420在第二方向DR2上移动的第二移动部432，并且还可包括使第一相机410和第二相机420在第三方向DR3上移动的第三移动部433_1。由此，第一相机410和第二相机420不仅可在第一方向DR1和第二方向DR2上移动，还可在第三方向DR3上移动。

在该情况下，即使对象基板S的厚度不同，本实施例涉及的视觉系统400_1也可使第一相机410和第二相机420在第三方向DR3上移动来使它们对焦。即，除了对象基板S的大小和形状不同外，厚度也不同的情况下，也可无需替换视觉系统400_1。因此，可减少替换视觉系统400_1所需的时间，并且可提高工序的效率。

同时，如上所述，通过各真空腔体(图12的“CH1”、“CH2”、“CH3”、“CH4”)的视觉系统400_1之间的同步化，第一相机410和第二相机420在第三方向DR3上的移动也可适用于配置在其他真空腔体(图12的“CH1”、“CH2”、“CH3”、“CH4”)内的视觉系统400_1的第一相机410和第二相机420。因此，可无需另行设定真空腔体(图12的“CH1”、“CH2”、“CH3”、“CH4”)各自的第一相机410和第二相机420。即，可减少所述设置所需的时间，并且可提高工序的效率。

图18是放大了又一实施例涉及的显示装置的制造装置的工作台的一部分的平面图。图19是用于说明又一实施例涉及的显示装置的制造装置的框图。

图18示出了本实施例涉及的工作台300_2移动的情况。此外，示出了随着工作台300_2移动，第一相机410沿着工作台300_2的对齐标记311移动的移动路径进行移动的情况。在图18中，用虚线表示了工作台300_2的原来的位置，并且用实线表示了移动到期望的位置的工作台300_2。虽然在图19中示出了视觉系统400、第一相机410、第二相机420和工作台300_2在第一方向DR1上移动的情况，但这是为了便于说明，视觉系统400、第一相机410、第二相机420和工作台300_2不仅可在第一方向DR1上移动，还可在第二方向DR2上移动。

参照图18和图19，本实施例涉及的工作台300_2与图12的实施例的区别在于其与视觉系统400同步。

具体而言，第一相机410可在工作台300_2移动之前确认位于原来的位置的工作台300_2的对齐标记311的位置，然后可通过操作人员或者单独的构成，使工作台300_2移动到期望的位置。接着，可确认配置在期望的位置的工作台300_2的对齐标记311的位置。由此，第一相机410可分别确认工作台300_2在第一方向DR1和/或第二方向DR2上移动的距离。即，通过第一相机410，分别确认移动前后的工作台300_2的对齐标记311的位置，由此可测量工作台300_2在第一方向DR1和/或第二方向DR2上移动的距离d6、d7。

本实施例涉及的显示装置的制造装置10_2包括数据处理部DP和控制部CT，并且还可包括工作台驱动部DR_S。

数据处理部DP可处理第一真空腔体CH1的第一相机410移动的信息。即，数据处理部DP可将第一真空腔体CH1的第一相机410移动的第六距离d6和第七距离d7变换为适合于传送的形式并提供给控制部CT。数据处理部DP可通过有线或无线通信方式将所需的信息提供给控制部CT。

控制部CT可基于从数据处理部DP提供的信息，调整工作台300_2的位置。控制部CT可包括中央处理装置(CPU)。控制部CT可处理所述信息并且基于此来控制后述的工作台驱动部DR_S。

工作台驱动部DR_S可从控制部CT接收基于所述信息的控制命令，从而使工作台300_2的位置移动。即，在第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自中，工作台300_2可移动到期望的位置。

即，使配置在第一真空腔体CH1内的视觉系统400与第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4各自的工作台300_2彼此同步，从而只要在第一真空腔体CH1、第二真空腔体CH2、第三真空腔体CH3和第四真空腔体CH4中的任一个中使工作台300_2移动到了期望的位置，就可统一变更剩余的工作台300_2的位置。由此，可提高工序的准确性，并且可节省使位于各真空腔体CH1、CH2、CH3、CH4内的各工作台300_2移动到期望的位置的过程所需的时间，从而可提高工序效率性。

图20是又一实施例涉及的工作台的立体图。图21是又一实施例涉及的工作台的分解立体图。

参照图20和图21，本实施例涉及的工作台300_3与图7和图8的实施例的区别在于，包括多个吸附槽321_3并且吸附槽321_3在一方向上延伸。

具体而言，本实施例涉及的工作台300_3可包括多个吸附槽321_3，可在第一方向DR1上彼此间隔开来反复配置吸附槽321_3，并且吸附槽321_3可在第二方向DR2上延伸。即，可沿着第一方向DR1设置多个吸附槽321_3，并且沿着第一方向DR1设置了多个的吸附槽321_3可在第二方向DR2上延伸。然而，并不限于此，也可沿着第二方向DR2设置多个吸附槽321_3，并且沿着第二方向DR2设置了多个的吸附槽321_3可在第一方向DR1上延伸。

吸附槽321_3可与吸附部件322连接，并且可分别独立地驱动与各吸附槽321_3连接的吸附部件322。因此，各吸附槽321_3可独立地进行真空吸入。由此，即使安装在工作台300_3上的对象基板S的大小和形状不同，也可以对和与安装在工作台300_3上的对象基板S对应的区域的吸附槽321_3连接的吸附部件322进行驱动，从而在所对应的区域真空吸附对象基板S。

在该情况下，即使对象基板S的大小不同，也可无需替换工作台300_3自身。由此，可防止替换工作台300_3自身消耗时间的情况，并且可减少工序所消耗的时间。因此，可提高工序效率。

图22是又一实施例涉及的工作台的立体图。

参照图22，本实施例涉及的工作台300_4与图7和图8的实施例的区别在于，吸附部件322_4可直接与对象基板S(参照图3)抵接。

具体而言，本实施例涉及的工作台300_4可以不具备工作台下板320(参照图7和图8)，但是包括工作台上板310_4。同时，可不包括工作台下板320(参照图7和图8)所具备的吸附槽321(参照图7和图8)。

其中，本实施例涉及的吸附部件322_4可与工作台上板310_4的吸附孔313_4物理连接。例如，吸附部件322_4的一部分区域可配置在工作台上板310_4的吸附孔313_4的内部，并且可被夹在吸附孔313_4内，但是并不限于此。对于吸附部件322_4而言，一部分区域可朝向工作台上板310_4的上部部分突出，或者可配置在与工作台上板310_4的一面实质上相同的平面上。在该情况下，虽然未图示，但是对象基板S(参照图3)可直接被安装在吸附部件322_4上，并且吸附部件322_4可直接与对象基板S(参照图3)抵接。

吸附部件322_4可与多个吸附孔313_4中的至少一部分连接，从而真空吸附对象基板S(参照图3)。吸附部件322_4可被连接到多个吸附孔313_4中配置在与配置有对象基板S(参照图3)的区域对应的区域的吸附孔313_4。吸附部件322_4可被连接到配置在所对应的区域的吸附孔313_4中的至少一个吸附孔313_4。

换言之，可在工作台上板310_4上设置多个吸附孔313_4，并且吸附部件322_4可与多个吸附孔313_4中的至少一部分连接。吸附部件322_4可根据对象基板S(参照图3)的大小和形状而被配置在各种大小和形状的区域中。即，可以各种方式变更能够配置吸附部件322_4的区域的大小和形状。

此外，在未配置吸附部件322_4的吸附孔313_4内，可配置基板填充部件314_4。通过将基板填充部件314_4配置在未配置吸附部件322_4的吸附孔313_4内，可填充所述吸附孔313_4，并且可防止空气等从外部被吸入的情况。

因此，在该情况下，即使对象基板S的大小不同，也可无需替换工作台300_4自身。由此，可防止替换工作台300_4自身消耗时间的情况，并且可减少在工序上消耗的时间。因此，可提高工序效率。

以上，参照附图说明了本发明的各实施例，但是本领域技术人员应当能够理解在不变更本发明的技术思想或必要特征的情况下，可以以其他具体形态实施。因此，应理解以上所记载的各实施例在所有方面均为例示，并非限定性的。

Claims (10)

1.一种显示装置的制造装置，是包括彼此不同的第一腔体和第二腔体的所述显示装置的制造装置，包括：

第一工作台，配置在所述第一腔体内，并且包括第一对齐标记；

第一相机，在所述第一腔体内配置在所述第一工作台的上部，并且获取所述第一对齐标记和安装在所述第一工作台上的对象基板的位置信息；

第二相机，配置在所述第二腔体内；以及

控制部，根据由所述第一相机获取的所述位置信息，决定所述第二相机的位置。

2.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，还包括：

相机驱动部，根据由所述控制部决定的所述第二相机的位置，移动所述第二相机的位置。

3.根据权利要求2所述的显示装置的制造装置，还包括：

数据处理部，处理由所述第一相机获取的所述位置信息并提供给所述控制部。

4.根据权利要求1所述的显示装置的制造装置，还包括：

第二工作台，所述第二工作台配置在所述第二腔体内，

所述控制部根据所述对象基板的所述位置信息，决定安装于所述第二工作台的所述对象基板的位置。

5.根据权利要求4所述的显示装置的制造装置，其中，

所述控制部根据所述对象基板的所述位置信息，决定所述第二工作台的位置。

6.一种显示装置的制造装置，包括：

工作台，在上表面包括多个第一吸附孔和多个第二吸附孔；以及

第一吸附部件和第二吸附部件，分别向所述工作台的上表面提供负压，并且彼此被独立地驱动，

所述第一吸附部件与多个所述第一吸附孔连接，

所述第二吸附部件与多个所述第二吸附孔连接。

7.根据权利要求6所述的显示装置的制造装置，其中，

多个所述第一吸附孔配置在所述工作台的第一区域，并且多个所述第二吸附孔配置在不与所述第一区域重叠的所述工作台的第二区域。

8.根据权利要求6所述的显示装置的制造装置，其中，

所述工作台还包括工作台上板以及配置在所述工作台上板的下部的工作台下板，

多个所述第一吸附孔和多个所述第二吸附孔位于所述工作台上板，

所述第一吸附部件和所述第二吸附部件与所述工作台下板连接。

9.根据权利要求6所述的显示装置的制造装置，还包括：

移送单元，包括具有多个孔的机器人手；以及

吸附部件，与多个所述孔中的至少一部分连接。

10.根据权利要求6所述的显示装置的制造装置，还包括：

相机，位于所述工作台的上部；以及

移动部件，与所述相机连接，

所述移动部件使所述相机在第一方向以及与所述第一方向相交的第二方向上移动。

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