CN113539782A - 基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪和分析方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪和方法，所述质谱仪包括炬管、线圈和采样锥，炬管竖直地设置在采样锥的下侧；承载单元用于承载炬管和线圈，炬管和线圈间相对静止；位置调节装置包括第一调节单元和第二调节单元；第一调节单元用于实现二维移动，承载单元设置在第一调节单元上；第二调节单元包括马达、转换模块、转换件和承载模块，转换模块用于将马达的转动转换为直线移动；承载模块包括承载件和至少二个导向件，承载件设置在导向件上，沿着导向件竖直移动；第一调节单元设置在承载件上；转换件分别连接转换模块和承载件，用于将直线移动转换为承载件的竖直移动。本发明具有可靠性好等优点。
Description
技术领域
本发明涉及质谱分析，特别涉及基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪和分析方法。
背景技术
电感耦合等离子体质谱仪(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry，简称ICP-MS)是用于检测痕量金属元素的重要仪器和方法，但是现市场上采用是水平火焰的ICP-MS为主，水平炬管的火焰容易造成锥口变形损坏。
解决锥口变形的主要方法有：1增加样品积分时间，但是影响样品测试结果的准确性；2.减少排风，但是会导致炬室温度升高，损坏仪器；3.更坏采样锥，但是采样锥成交较高，更换采样锥的同时还会增加仪器的调试时间。
若采用垂直炬管的进样方式，则存在检查安装锥、炬管、RF线圈的相对位置难以观察等问题，同时炬管产生的火焰和锥口的相对位置的精度要求高，较小的偏差都会对信号产生特别大的影响，因此对三维移动的要求也特别高。
现有的三维平台，存在的主要问题是，无法同时保证体积小、精度高、负载重的功能，三个要求中总要一个是无法满足，但是只有满足三个要求才能使用集成到电感耦合等离子体质谱仪上，满足仪器的性能要求。
发明内容
为解决上述现有技术方案中的不足，本发明提供了一种基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪。
本发明的目的是通过以下技术方案实现的：
基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，所述质谱仪包括炬管、线圈和采样锥，所述炬管竖直地设置在所述采样锥的下侧；所述质谱仪还包括：
承载单元，所述承载单元用于承载所述炬管和线圈，所述炬管和线圈间相对静止；
位置调节装置，所述位置调节装置包括第一调节单元和第二调节单元；所述第一调节单元用于实现二维移动，所述承载单元设置在所述第一调节单元上；
所述第二调节单元包括马达、转换模块、转换件和承载模块，所述转换模块用于将所述马达的转动转换为水平移动；所述承载模块包括承载件和至少二个导向件，所述承载件设置在所述导向件上，沿着所述导向件竖直移动；所述第一调节单元设置在所述承载件上；所述转换件分别连接所述转换模块和承载件，用于将所述水平移动转换为所述承载件的竖直移动。
本发明的另一目的在于提供了应用上述基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的分析方法，该发明目的是通过以下技术方案得以实现的：
基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的分析方法，所述分析方法为：
马达转动，转换模块将马达的转动转换为滑动件的直线移动；
将所述滑动件的直线移动转换为转换件的竖直移动，从而带动与所述转换件连接的承载件沿着多个导向件竖直移动，设置在所述承载件上的承载单元随着所述承载件竖直移动；炬管竖直地设置在所述承载单元上，线圈固定在所述承载单元上，并与所述炬管保持相对静止；
在水平方向上二维调节所述承载单元的位置，所述承载单元设置在二维调节单元上，所述二维调节单元设置在所述承载件上；
样品在进入所述炬管内，通过所述线圈激发成等离子体，从而形成离子；
所述离子穿过采样锥后进入质谱分析单元。
与现有技术相比，本发明具有的有益效果为：
1.解决了锥口烧伤问题；
炬管为竖直设置，且和线圈保持相对静止，炬管和线圈同步移动，防止炬管移动时与线圈靠的过近而烧坏炬管，解决了采样锥被烧变形的问题；
2.检测精度高；
在调试中，利用第一调节单元和第二调节单元精准地同步调节竖直炬管和线圈的空间位置，达到每个工况下的最佳位置，获得最准确的检测数据；
实现炬管在三个维度上微调，三个方向的位置精度和重复精度可以达到0.01mm，实现炬管火焰与锥口达到最佳位置；
3.可靠性好；
利用转换模块和转换件，使得马达的转动可靠地转换为转换件的竖直移动，多个导向件的使用，使得承载件及转换件仅有竖直方向移动，有效地防止了承载件倾斜，确保了炬管定位的准确度。
附图说明
参照附图，本发明的公开内容将变得更易理解。本领域技术人员容易理解的是：这些附图仅仅用于举例说明本发明的技术方案，而并非意在对本发明的保护范围构成限制。图中：
图1是根据本发明实施例的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的结构示意图；
图2是根据本发明实施例的承载单元的结构示意图。
具体实施方式
图1-2和以下说明描述了本发明的可选实施方式以教导本领域技术人员如何实施和再现本发明。为了解释本发明技术方案，已简化或省略了一些常规方面。本领域技术人员应该理解源自这些实施方式的变型或替换将在本发明的范围内。本领域技术人员应该理解下述特征能够以各种方式组合以形成本发明的多个变型。由此，本发明并不局限于下述可选实施方式，而仅由权利要求和它们的等同物限定。
实施例1：
图1给出了本发明实施例的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的结构示意图，如图1所示，所述基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪包括：
炬管101、线圈102和采样锥103，所述炬管101竖直地设置在所述采样锥103的下侧；
承载单元，如图2所示，所述承载单元用于承载所述炬管101和线圈102，所述炬管101和线圈102间相对静止；
位置调节装置，所述位置调节装置包括第一调节单元201和第二调节单元；所述第一调节单元201用于实现二维移动，所述承载单元设置在所述第一调节单元201上；
所述第二调节单元包括马达401、转换模块、转换件和承载模块，所述转换模块用于将所述马达401的转动转换为直线移动；所述承载模块包括承载件503和至少二个导向件504，所述承载件503设置在所述导向件504上，沿着所述导向件504竖直移动；所述第一调节单元201设置在所述承载件503上；所述转换件分别连接所述转换模块和承载件503，用于将所述直线移动转换为所述承载件503的竖直移动，且所述承载件503在转换件驱动下仅有竖直移动，无水平方面移动。
为了确保炬管101竖直设置，且炬管101和线圈102相对静止，进一步地，所述承载单元包括：
固定部301，所述固定部301设置在所述第一调节单元201上，所述线圈102的一端固定在所述固定部301上，另一端环绕所述炬管101；
第一安装部302，所述第一安装部302固定在所述固定部301，所述炬管101竖直地固定在所述第一安装部302上。
为了确保第一安装部水平设置，进一步地，所述承载单元还包括：
第二安装部303，所述第二安装部303固定在所述第一调节单元201上，所述固定部301设置在第二安装部303的上侧；
连接部304，所述连接部304的下端固定在所述第二安装部303上，上端连接所述第一安装部302。
为了稳定、可靠地将马达的转动转换为直线移动，如水平直线移动，进一步地，所述转换模块包括：
螺杆402和螺母，所述螺母套在所述螺杆402上；所述马达401驱动所述螺杆402转动；
导轨404和滑动件405，所述滑动件405设置在所述导轨404上，所述螺母和滑动件405连接。
为了稳定、可靠地将直线移动转换为竖直移动，且仅有竖直移动，进一步地，所述转换件包括竖直部分501和倾斜部分502，所述竖直部分501的用于连接所述承载件503和倾斜部分502，所述倾斜部分502被所述滑动件405承载。
为了使滑动件405方便地在转换件下侧相对滑动，进一步地，所述滑动件405的上端设置滚动件，所述滚动件承载所述倾斜部分502。
为了精确地获得所述承载件503在竖直方向的位置，进一步地，所述质谱仪还包括：
测距单元，所述测距单元用于获得所述承载件503相对参照面的高度。
本发明实施例的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的分析方法，如根据本实施例的质谱仪的工作方法，所述分析方法为：
马达401转动，转换模块将马达401的转动转换为滑动件405的直线移动，如水平直线移动，或倾斜的直线移动；
将所述滑动件405的直线移动转换为转换件的竖直移动，从而带动与所述转换件连接的承载件503沿着多个导向件504竖直移动，设置在所述承载件503上的承载单元随着所述承载件503竖直移动；炬管101竖直地设置在所述承载单元上，线圈102固定在所述承载单元上，并与所述炬管101保持相对静止；
利用第一调节单元201在水平方向上二维调节所述承载单元的位置；
样品进入所述炬管101内，通过所述线圈102激发成等离子体，从而形成离子；
所述离子穿过采样锥103后进入质谱分析单元。
为了稳定、可靠地将直线移动转换为竖直移动，进一步地，所述转换件的工作方式为：
所述滑动件405承载所述转换件的倾斜部分502，当所述滑动件405在倾斜部分502的下侧水平直线移动时，所述转换件仅在竖直方向移动。
实施例2：
根据本发明实施例1的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪及分析方法的应用例。
在该应用例中，如图1所示，炬管101和线圈102分别设置在承载单元的不同部件上，炬管101和线圈102保持相对静止；
如图2所示，承载单元包括固定部301、第一安装部302、第二安装部303和连接部304；第二安装部303水平地固定在第一调节单元201上，固定部301固定在所述第二安装部303上侧，连接部304竖直设置，下端固定在第二安装部303上，上端固定水平设置的第一安装部302；炬管101竖直地设置在所述第一安装部302上，线圈102的一端固定在所述固定部301上，另一端环绕炬管101；
如图1所示，第二调节单元固定在底盘100上，包括电机401、螺杆402、螺母、导轨404、滑动件405和轴承，电机401驱动水平设置的螺杆402转动，螺母利用螺纹套在所述螺杆402上，滑动件405设置在与螺杆402平行设置的导轨404上，螺母连接滑动件405，使得单元螺杆402转动时，驱动滑动件405沿着导轨404水平直线移动；轴承设置在滑动件405的顶端；承载件503的四个角分别具有允许竖直设置的导向件504穿过的通孔，通孔的内径和导向件504的外径差别很小，使得承载件503仅能沿着导向件504竖直移动；转换件具有竖直部分501和倾斜部分502，竖直部分501的下端连接所述承载件503，上端连接倾斜部分502，所述倾斜部分502被所述轴承顶着，滑动件405在倾斜部分502下侧水平直线移动，使得倾斜部分502仅有竖直移动；
第一调节单元201采用电动二维移动平台，实现在水平方向的二维调节，设置在所述承载件503上。
本发明实施例的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的分析方法，也即根据本实施例的质谱仪的工作方法，所述分析方法为：
马达转动，驱动螺母携带滑动件405在导轨404上水平直线移动；
滑动件405在转换件的倾斜部分502下侧水平直线移动，从而转换为转换件的竖直移动(转换件仅有竖直移动)，从而带动与所述转换件连接的承载件503沿着多个导向件504竖直移动(承载件503仅有竖直移动)，设置在所述承载件503上的承载单元随着所述承载件503竖直移动；炬管101竖直地设置在所述承载单元的第一安装部302上，线圈102固定在所述承载单元的固定部301上，并与所述炬管101保持相对静止；
利用第一调节单元201，在水平方向上二维调节所述承载单元的位置，所述承载单元设置在第一调节单元201上，所述第一调节单元201设置在所述承载件503上；可见，在承载单元的三维调节中，所述炬管101和线圈102保持相对静止；
样品在进入所述炬管101内，通过所述线圈102激发成等离子体，从而形成离子；
所述离子穿过采样锥103后进入质谱分析单元。
实施例3：
根据本发明实施例1的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪及分析方法的应用例，与实施例2不同的是：
1.不再设置第二安装部和连接部，固定部直接固定在第一调节单元上，第一安装部水平地固定在固定部上；
2.螺杆和导轨间保持平行，且相对水平面倾斜设置；
3.转换件包括水平部分和竖直部分，水平部分被滑动件支撑；当倾斜直线移动的滑动件在转换件的水平部分下侧移动时，转换件随之竖直移动，且仅有竖直移动。
Claims (10)
1.基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，所述质谱仪包括炬管、线圈和采样锥，所述炬管竖直地设置在所述采样锥的下侧；其特征在于，所述质谱仪还包括：
承载单元，所述承载单元用于承载所述炬管和线圈，所述炬管和线圈间相对静止；
位置调节装置，所述位置调节装置包括第一调节单元和第二调节单元；所述第一调节单元用于实现二维移动，所述承载单元设置在所述第一调节单元上；
所述第二调节单元包括马达、转换模块、转换件和承载模块，所述转换模块用于将所述马达的转动转换为直线移动；所述承载模块包括承载件和至少二个导向件，所述承载件设置在所述导向件上，沿着所述导向件竖直移动；所述第一调节单元设置在所述承载件上；所述转换件分别连接所述转换模块和承载件，用于将所述直线移动转换为所述承载件的竖直移动。
2.根据权利要求1所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述承载单元包括：
固定部，所述固定部设置在所述第一调节单元上，所述线圈的一端固定在所述固定部上，另一端环绕所述炬管；
第一安装部，所述第一安装部固定在所述固定部，所述炬管竖直地固定在所述第一安装部上。
3.根据权利要求2所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述承载单元还包括：
第二安装部，所述第二安装部固定在所述第一调节单元上；
连接部，所述连接部的下端固定在所述第二安装部上，上端连接所述第一安装部。
4.根据权利要求3所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述第一安装部和第二安装部分别水平设置。
5.根据权利要求1所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述转换模块包括：
螺杆和螺母，所述螺母套在所述螺杆上；所述马达驱动所述螺杆转动；
导轨和滑动件，所述滑动件设置在所述导轨上，所述螺母和滑动件连接。
6.根据权利要求5所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述转换件包括竖直部分和倾斜部分，所述竖直部分的用于连接所述承载件和倾斜部分，所述倾斜部分被所述滑动件承载。
7.根据权利要求6所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述滑动件的上端设置滚动件，所述滚动件承载所述倾斜部分。
8.根据权利要求1所述的基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪，其特征在于，所述质谱仪还包括：
测距单元，所述测距单元用于获得所述承载件相对参照面的高度。
9.基于竖直炬管的电感耦合等离子体质谱仪的分析方法，所述分析方法为：
马达转动，转换模块将马达的转动转换为滑动件的直线移动；
将所述滑动件的直线移动转换为转换件的竖直移动，从而带动与所述转换件连接的承载件沿着多个导向件竖直移动，设置在所述承载件上的承载单元随着所述承载件竖直移动；炬管竖直地设置在所述承载单元上，线圈固定在所述承载单元上，并与所述炬管保持相对静止；
在水平方向上二维调节所述承载单元的位置，所述承载单元设置在二维调节单元上，所述二维调节单元设置在所述承载件上；
样品在进入所述炬管内，通过所述线圈激发成等离子体，从而形成离子；
所述离子穿过采样锥后进入质谱分析单元。
10.根据权利要求9所述的分析方法，其特征在于，所述转换件的工作方式为：
所述滑动件承载所述转换件的倾斜部分，当所述滑动件在倾斜部分的下侧水平直线移动时，所述转换件仅在竖直方向移动。
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Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3603787A (en) * | 1966-05-17 | 1971-09-07 | Ass Elect Ind | Spark-type ion source and downstream deflector for mass spectrometer |
| JPH08277076A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Toshiba Fa Syst Eng Kk | ガイドレール固定装置及び固定方法 |
| KR20130087845A (ko) * | 2012-01-30 | 2013-08-07 | 한국원자력연구원 | 플라즈마 검출장치, 이를 구비하는 유도결합플라즈마 질량분석기 및 플라즈마와 이온신호의 상관관계 분석방법 |
| CN103353763A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-10-16 | 中国地质大学（武汉） | 三维移动平台及应用其的icp炬管定位装置 |
| CN207730704U (zh) * | 2017-12-30 | 2018-08-14 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 等离子体-质谱分析系统 |
| CN112750678A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-04 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪及其工作方法 |
-
2021
- 2021-06-15 CN CN202110657833.5A patent/CN113539782A/zh active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3603787A (en) * | 1966-05-17 | 1971-09-07 | Ass Elect Ind | Spark-type ion source and downstream deflector for mass spectrometer |
| JPH08277076A (ja) * | 1995-04-06 | 1996-10-22 | Toshiba Fa Syst Eng Kk | ガイドレール固定装置及び固定方法 |
| KR20130087845A (ko) * | 2012-01-30 | 2013-08-07 | 한국원자력연구원 | 플라즈마 검출장치, 이를 구비하는 유도결합플라즈마 질량분석기 및 플라즈마와 이온신호의 상관관계 분석방법 |
| CN103353763A (zh) * | 2013-06-08 | 2013-10-16 | 中国地质大学（武汉） | 三维移动平台及应用其的icp炬管定位装置 |
| CN207730704U (zh) * | 2017-12-30 | 2018-08-14 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 等离子体-质谱分析系统 |
| CN112750678A (zh) * | 2020-12-31 | 2021-05-04 | 杭州谱育科技发展有限公司 | 基于炬管竖直的电感耦合等离子体质谱仪及其工作方法 |
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Legal Events
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