CN113521837A - 用于过滤装置的适配器及使用方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims abstract description 93
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 40
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 10
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 9
- -1 polypropylene Polymers 0.000 claims description 7
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 5
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000004811 fluoropolymer Substances 0.000 claims description 3
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 claims description 3
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 claims description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 5
- 239000004813 Perfluoroalkoxy alkane Substances 0.000 description 4
- 229920011301 perfluoro alkoxyl alkane Polymers 0.000 description 4
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 description 1
- MKTJTLRLXTUJCM-UHFFFAOYSA-N azanium;hydrogen peroxide;hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-].OO MKTJTLRLXTUJCM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003139 buffering effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 1
- 238000013022 venting Methods 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/13—Supported filter elements
- B01D29/15—Supported filter elements arranged for inward flow filtration
- B01D29/21—Supported filter elements arranged for inward flow filtration with corrugated, folded or wound sheets
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D35/00—Filtering devices having features not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00, or for applications not specifically covered by groups B01D24/00 - B01D33/00; Auxiliary devices for filtration; Filter housing constructions
- B01D35/30—Filter housing constructions
- B01D35/306—Filter mounting adapter
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/31—Self-supporting filtering elements
- B01D29/33—Self-supporting filtering elements arranged for inward flow filtration
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/11—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with bag, cage, hose, tube, sleeve or like filtering elements
- B01D29/13—Supported filter elements
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D29/00—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor
- B01D29/62—Regenerating the filter material in the filter
- B01D29/66—Regenerating the filter material in the filter by flushing, e.g. counter-current air-bumps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/04—Supports for the filtering elements
- B01D2201/0407—Perforated supports on both sides of the filtering element
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/08—Regeneration of the filter
- B01D2201/085—Regeneration of the filter using another chemical than the liquid to be filtered
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/29—Filter cartridge constructions
- B01D2201/291—End caps
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/30—Filter housing constructions
- B01D2201/301—Details of removable closures, lids, caps, filter heads
- B01D2201/302—Details of removable closures, lids, caps, filter heads having inlet or outlet ports
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D2201/00—Details relating to filtering apparatus
- B01D2201/30—Filter housing constructions
- B01D2201/301—Details of removable closures, lids, caps, filter heads
- B01D2201/306—Closures, lids, caps or filter heads forming one element with the filtering element
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Abstract
提供了一种用于过滤装置中的适配器，所述适配器具有：向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁包括两个或更多个中空通路；以及中心流体流动端口，其中所述适配器可被焊接到过滤装置壳体头部。
Description
背景技术
在过滤器包括与过滤器壳体聚合物不同的聚合物的情况下，当将过滤器安装到过滤器壳体中时，一些过滤装置要求使用适配器。然而，需要改进的过滤装置。
本发明用于改进现有技术的至少一些缺点。从如以下阐述的描述中，本发明的这些和其他优点将显而易见。
发明内容
本发明的一个实施例提供了一种过滤装置，所述过滤装置包括：(a)过滤器，所述过滤器包括布置在过滤器壳体中的中空筒形过滤元件，所述中空筒形过滤元件包括多孔介质，所述过滤器壳体包括外罩、内芯、第一端盖和第二端盖，其中，所述外罩和所述内芯被密封到所述第一端盖和所述第二端盖，并且所述过滤元件在所述外罩与所述内芯之间，所述第二端盖包括封闭端盖、并且所述第一端盖包括敞开端盖，所述敞开端盖包括中空突起，所述中空突起包括过滤器出口，所述中空突起具有外壁；(b)过滤装置壳体，所述过滤装置壳体包括：头部，所述头部包括入口端口和出口端口；以及碗状件，所述碗状件具有用于接纳所述过滤器的内部；(c)适配器，所述适配器包括中空本体，所述中空本体具有：(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径，其中，所述顶部部分渐缩内径具有最大直径和最小直径；(ii)底部部分；以及(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述向下延伸的中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部；其中，所述环状通道的所述外侧壁密封在包括所述过滤器出口的所述中空突起的所述外壁上，并且所述适配器被焊接到所述过滤装置壳体的头部并且焊接到所述适配器的所述顶部部分；并且其中，流体流动路径穿过所述入口端口、所述外罩、所述多孔介质、所述过滤器出口、所述适配器的中心流体流动端口和所述出口端口。
根据另一个实施例，一种用于过滤装置中的适配器包括：中空本体，所述中空本体具有：(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径，其中，所述顶部部分渐缩内径具有最大直径和最小直径；(ii)底部部分；以及(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面、以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述向下延伸的中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部。
附图说明
图1A是根据本发明实施例的过滤装置的实施例的横截面图，该过滤装置包括过滤装置壳体、过滤器和适配器，该适配器包括向下倾斜的内壁和倾斜中空通路，其中适配器被焊接到过滤装置壳体，并且适配器密封到过滤器的端部上；图1B是图1A示出的过滤装置的俯视图，并且图1C是图1A示出的过滤装置的左侧视图。
图2A是图1A示出的过滤装置中示出的适配器的实施例的俯视立体图；图2B是仰视立体图，图2C是俯视图；图2D是仰视图，图2E是沿着图2C的线A-A的截面图，并且图2F是沿着图2C的线B-B的截面图。
图3是图1A示出的过滤装置中的过滤器的横截面图。
图4A是根据本发明实施例的过滤装置的实施例的横截面图，该过滤装置包括过滤装置壳体、过滤器和适配器，该适配器包括向下倾斜的内壁和中空通路，其中适配器被焊接到过滤装置壳体，并且适配器密封到过滤器的端部上；图4B是图4A示出的过滤装置的俯视图，并且图4C是图4A示出的过滤装置的左侧视图。
图5A是图4A示出的过滤装置中示出的适配器的实施例的俯视立体图；图5B是仰视立体图，图5C是俯视图；图5D是仰视图，图5E是沿着图5C的线C-C的截面图，并且图5F是沿着图5C的线D-D的截面图。
图6是图4A示出的过滤装置中的过滤器的横截面图。
图7A是图1示出的过滤装置的局部示意图，示出了在适配器中沿中心流体流动路径(黑色箭头)和穿过中空通路(白色箭头)的沿流体流动路径的流动。图7B是沿着缺少向下倾斜的内壁和中空通路的适配器的中心流体流动路径的说明性流动的局部示意图。
具体实施方式
根据本发明实施例，提供了一种过滤装置，所述过滤装置包括：(a)过滤器，所述过滤器包括布置在过滤器壳体中的中空筒形过滤元件，所述中空筒形过滤元件包括多孔介质，所述过滤器壳体包括外罩、内芯、第一端盖和第二端盖，其中，所述外罩和所述内芯被密封到所述第一端盖和所述第二端盖，并且所述过滤元件在所述外罩与所述内芯之间，所述第二端盖包括封闭端盖、并且所述第一端盖包括敞开端盖，所述敞开端盖包括中空突起，所述中空突起包括过滤器出口，所述中空突起具有外壁；(b)过滤装置壳体，所述过滤装置壳体包括：头部，所述头部包括入口端口和出口端口；以及碗状件，所述碗状件具有用于接纳所述过滤器的内部；(c)适配器，所述适配器包括中空本体，所述中空本体具有：(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径，其中，所述顶部部分渐缩内径具有最大直径和最小直径；(ii)底部部分；以及(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述向下延伸的中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部；其中，所述环状通道的所述外侧壁密封在包括所述过滤器出口的所述中空突起的所述外壁上，并且所述适配器被焊接到所述过滤装置壳体的头部和焊接到所述适配器的所述顶部部分；并且其中，流体流动路径穿过所述入口端口、所述外罩、所述多孔介质、所述过滤器出口、所述适配器的中心流体流动端口和所述出口端口。
在优选实施例中，适配器和过滤装置壳体(尤其是过滤装置壳体的头部)各包括含氟聚合物，更优选地是全氟烷氧基烷烃(PFA)。
在一个实施例中，过滤器(尤其是第一端盖)包括聚丙烯或聚乙烯。
根据另一个实施例，一种用于过滤装置中的适配器包括：中空本体，所述中空本体具有：(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径，其中，所述顶部部分渐缩内径具有最大直径和最小直径；(ii)底部部分；以及(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述向下延伸的中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部。
有利地，减小了过滤装置中的死区。例如，在过滤装置的组装期间可减小死区，并且在准备过滤装置以进行装运时可减小死区(例如，包括用清洁液(诸如酸)进行清洁，并且用去离子水代替清洁液)，从而有利地允许快速地且高效地置换液体。此外，可减少在用户的位点处的安装好的过滤装置的过程启动时间。
在另一个优点中，适配器提供了防热护罩，以防止在焊接期间熔化过滤部件，并且还提供了高效密封。
在一个实施例中，一种组装过滤装置的方法包括：将根据本发明的包括中空通路的适配器的实施例放置在过滤器的顶部上，该过滤器包括布置在过滤器壳体中的中空筒形过滤元件，该中空筒形过滤元件包括多孔介质，该过滤器壳体包括第一端盖和第二端盖，第二端盖包括封闭端盖、并且第一端盖包括敞开端盖，该敞开端盖包括中空突起，该中空突起包括过滤器出口，该中空突起具有外壁，其中，过滤器布置在过滤装置壳体的碗状件中；向下推动适配器并使存在于过滤器和/或过滤装置壳体的碗状件中的一些空气通过中空通路；以及焊接过滤装置壳体的头部，并使通过中空通路的空气通过在过滤装置壳体的头部中的出口端口。
根据本发明的另一个实施例，提供了一种清洁过滤器的方法，该方法包括：使清洁液通过过滤装置的实施例；以及使去离子水通过过滤装置以将清洁液从过滤装置冲洗出。
根据本发明的另一个实施例，提供了一种过滤流体的方法，该方法包括使流体沿着流体流动路径通过过滤装置的实施例。例如，流体通过入口端口、过滤器，并且过滤过的流体通过过滤器出口、适配器中心流体流动端口和出口端口。在一些实施例中，该方法包括在过滤之前、以及在适当时在过滤期间，通过排气端口排出空气或气体。
现在将在下文更详细地描述本发明的部件中的每一者，其中相似的部件具有相似的附图标记。
图1A是根据本发明一个实施例的包括适配器100的过滤装置500的一个实施例的横截面图，其中适配器被焊接到过滤装置壳体200，并且适配器被密封到过滤器50的端部。图1B是过滤装置的头部201的俯视图，并且图1C是过滤装置的左侧视图，示出了过滤装置壳体。
根据图1A示出的实施例，过滤装置500包括过滤装置壳体200，该过滤装置壳体包括：头部201，该头部包括入口端口210和出口端口211；以及碗状件202，该碗状件具有用于接纳过滤器50(在图3中更详细地示出)的内部300，该过滤器包括布置在过滤器壳体51中的中空筒形过滤元件10，该中空筒形过滤元件包括多孔介质11，该过滤器壳体包括外罩52、内芯53、第一端盖54A和第二端盖54B，其中，外罩和内芯被密封到第一端盖和第二端盖，其中，过滤元件在外罩与内芯之间，第二端盖包括封闭端盖、并且第一端盖包括敞开端盖，该敞开端盖包括中空突起55，该中空突起包括过滤器出口56，该中空突起具有顶壁57、内壁58和外壁59，该外壁包括用于接纳被示出为O形环的弹性构件60A、60B的沟槽59A、59B。
根据该示出的实施例，适配器100(在图2A至图2F中更详细地示出)包括：中空本体101，该中空本体具有：顶部部分110，该顶部部分具有顶部部分渐缩内径111，其中该顶部部分渐缩内径具有最大直径111A和最小直径111B；底部部分150；以及中心流体流动端口130，该中心流体流动端口穿过中空本体101，该中心流体流动端口具有第一端部131和第二端部132、内侧壁133A和外侧壁133B，该中心流体流动端口130与过滤器出口56流体连通；顶部部分110包括提供顶部部分渐缩内径111的向下向内倾斜的内壁120，该向下向内倾斜的内壁120在顶部部分渐缩内径的最小直径111B处连接到中心流体流动端口的第一端部131，该向下倾斜的内壁具有上表面121、以及穿过该向下倾斜的内壁的该上表面121的两个或更多个中空通路125(示出了6个通路)，该两个或更多个中空通路125中的每一者都包括通路上端部125A和通路下端部125B，该向下倾斜的内壁的上表面121包括通路上端部125A；底部部分150包括向下延伸的中空管状元件151，该向下延伸的中空管状元件包括中心流体流动端口的第二端部132，该中空管状元件151提供中心流体流动端口130的内侧壁133A和外侧壁133B；底部部分150包括环绕向下延伸的中空管状元件151的环状通道160，该环状通道包括基部161、外侧壁162和内侧壁163，该内侧壁包括中心流体流动端口的外侧壁133B，该环状通道160的基部161包括该两个或更多个中空通路125的通路下端部125B。
如图2F所示，并且与图5F示出的适配器100'的实施例相反，图2F示出的中空通路125被布置成从第二端部125B朝向第一端部125A向内倾斜。典型地，锥角为约30度，并且相对于水平轴线(图7A中的“H-H”)的倾斜角为约75度。
图4A是根据本发明的另一个实施例的过滤装置500'的另一个实施例的横截面图，过滤装置500'包括适配器100'，其中适配器被焊接到过滤装置壳体200'，并且适配器被密封到过滤器50'的端部。图4B是过滤装置的头部201'的俯视图，并且图4C是过滤装置的左侧视图，示出了过滤装置壳体。
根据图4A示出的实施例，过滤装置500'包括过滤装置壳体200'，该过滤装置壳体包括：头部201'，该头部包括入口端口210'和出口端口211'；以及碗状件202'，该碗状件具有用于接纳过滤器50'(在图6中更详细地示出)的内部300'，该过滤器包括布置在过滤器壳体51'中的中空筒形过滤元件10'，该中空筒形过滤元件包括多孔介质11'，该过滤器壳体包括外罩52'、内芯53'、第一端盖54A'和第二端盖54B'，其中，外罩和内芯被密封到第一端盖和第二端盖，其中，过滤元件在外罩与内芯之间，第二端盖包括封闭端盖、并且第一端盖包括敞开端盖，该敞开端盖包括中空突起55'，该中空突起包括过滤器出口56'，该中空突起具有顶壁57'、内壁58'和外壁59'，该外壁包括用于接纳被示出为O形环的弹性构件60A'、60B'的沟槽59A'、59B'。
根据该示出的实施例，适配器100'(在图5A至图5F中更详细地示出)包括：中空本体101'，该中空本体具有：顶部部分110'，该顶部部分具有顶部部分渐缩内径111'，其中该顶部部分渐缩内径具有最大直径111A'和最小直径111B'；底部部分150'；以及中心流体流动端口130'，该中心流体流动端口穿过中空本体101'，该中心流体流动端口具有第一端部131'和第二端部132'、内侧壁133A'和外侧壁133B'，该中心流体流动端口130'与过滤器出口56'流体连通；顶部部分110'包括提供顶部部分渐缩内径111'的向下向内倾斜的内壁120'，该向下向内倾斜的内壁120'在顶部部分渐缩内径的最小直径111B'处连接到中心流体流动端口的第一端部131'，该向下倾斜的内壁具有上表面121'、以及穿过该向下倾斜的内壁的上表面121'的两个或更多个中空通路125'(示出了6个通路)，该两个或更多个中空通路125'中的每一者都包括通路上端部125A'和通路下端部125B'，该向下倾斜的内壁的上表面121'包括通路上端部125A'；底部部分150'包括向下延伸的中空管状元件151'，该向下延伸的中空管状元件包括中心流体流动端口的第二端部132'，该中空管状元件151'提供中心流体流动端口130'的内侧壁133A'和外侧壁133B'；底部部分150'包括环绕向下延伸的中空管状元件151'的环状通道160'，该环状通道包括基部161'、外侧壁162'和内侧壁163'，该内侧壁包括中心流体流动端口的外侧壁133B'，该环状通道160'的基部161'包括该两个或更多个中空通路125'的通路下端部125B'。
本发明的实施例可在适配器100、100'中包括任何数量的中空通路。
可选地，适配器、过滤器和/或过滤装置的实施例可包括附加部件，诸如从适配器的外壁突出的多个外部凸片中的一个(例如，图2A至图2F示出的实施例示出了3个凸片190)，用以维持在适配器与碗状件的内部之间的间距，以及多个脚部(图2A至图2F示出的实施例示出了3个脚部191)，用以提供在适配器100的底部部分150与第一端盖54A的顶表面之间的间距。替代地，或者另外地，其他可选的部件包括：在适配器的底部部分上的向下突出并且提供间隔件的套环(例如，在图2A至图2F示出的适配器的实施例中被示出为180)；和/或在适配器的上部部分上的向上地突出的套环(例如，在图2A至图2F示出的实施例中被示出为195并且在图5A至图5D示出的实施例中被示出为195'；在一些实施例中，195/195'在头部的相对侧上提供与突出套环相同的立方体积(参见例如图4A)以在焊接期间提供相同深度的熔化区域)。在图4A和图6示出的过滤器的实施例中，第一端盖54A'包括可选的套环70'，该套环提供用于安置适配器100'的底部部分的肩部。
典型地，顶部部分110、110'的外观(例如，在套环195、195'下方)具有大致圆顶形状，从而减少了所需的材料、同时提供了高效的防热和焊接。
如以下更详细地讨论的，在适配器100、100'组装在过滤装置壳体200、200'中时，在脚部191(在存在时)接触第一端盖54A、并且在出口56、56'的顶壁57、57'与环状通道162、162'的基部161、161'之间留有一定间隙之后，随着存在于过滤装置壳体中的空气通过中空通路125、125'(另外参见图7A)并通过出口端口211、211'，死区就会减小，并且适配器被焊接(例如，经由压板焊接)到过滤装置壳体头部201、201'，优选地其中头部201、201'同时被焊接到碗状件202，并且由于弹性构件60A、60B、60A'、60B'的存在，外侧壁162、162'被密封在包括过滤器出口56、56的中空突起55、55'上。适配器100、100'提供了防热护罩，以防止在焊接期间对过滤器出口56、56'/端盖54A、54A'造成热损坏。
随后，在组装过滤装置之后，在过滤期间死区进一步减小；在不受任何特定理论束缚的情况下据信，由于向下倾斜的内壁(参见图7A)最小化了在不存在向下倾斜的内壁的情况下可能会出现的旋流和停滞区域(参见图7B，示出了可能的旋流和停滞区域)，因此减小了死区。
典型地，向内向下倾斜的内壁相对于中空通路125、125'的形状的中心线的倾斜角在约30度至约60度的范围内。有利地，在中心流体流动端口130与中空通路125之间的成约30度至约60度角度的流体连通也减小了死区。
在使用中，流体流动路径600、600'经由入口端口210、210'、可选的外罩52、52'(在存在时)、多孔介质11、11'、可选的内芯53、53'(在存在时)、过滤器出口56、56'、适配器中心流体流动端口130、130'和出口端口211、211'穿过过滤装置500、500'。在需要时，过滤装置可通过排气端口212、212'进行排气。例如，导管可连接到排气端口，并且流量控制装置(诸如阀)可与导管相关联，以允许或停止流动通过排气端口和导管。
根据本发明的实施例，可过滤多种流体。在一个实施例中，过滤器用于过滤微电子工业(例如，在晶片的制备中)的流体，例如包括以下项中的任何项中的一种或多种的流体：氢氧化铵、盐酸、过氧化氢和去离子水。例如，过滤器可与化学清洁化学品(诸如氢氧化铵过氧化氢混合物(SC-1)和盐酸过氧化物混合物(SC-2))一起使用。
过滤器可包括附加元件、层或部件，所述附加元件、层或部件可具有不同的结构和/或功能，例如以下项中的任一个或多个中的至少一个：预过滤、支撑、排水、间隔和缓冲。说明性地，过滤器还可包括至少一个附加元件，诸如网和/或筛。
优选地，过滤装置是可消毒的。可采用具有合适的形状并提供至少一个入口和至少一个出口的任何壳体。
过滤装置壳体和过滤器壳体可由与被处理流体相容的任何合适的不可渗透聚合物材料制成。在优选实施例中，过滤装置壳体由含氟聚合物、优选地是全氟烷氧基烷烃(PFA)制成，并且至少过滤器壳体的端盖由聚丙烯或聚乙烯制成。
以下示例进一步说明本发明，但是，当然不应被理解为以任何方式限制其范围。
示例
该示例示出了与包括没有中空通路的适配器的过滤装置相比，根据本发明一个实施例的包括具有中空通路的适配器的过滤装置中的液体置换的改进。
制造各包括具有中空通路的适配器的五个过滤装置，如图4A和图5A至图5E大致所示。制造各包括类似于图5A至图5E示出、但没有中空通路的适配器的另外5个过滤装置。
适配器附接到过滤器上并安装到碗状件中，接着将压板与头部和碗状件焊接在一起。
并行安装过滤装置，并且用3.5％的盐酸清洁，然后用去离子水冲洗。流率为约24升/分钟，并且监测过滤后的流体的电阻率。当电阻率超过15兆欧厘米时，将停止该过程。
具有无中空通路的适配器的5个过滤装置在4小时内提供电阻率超过15兆欧厘米的流体。根据本发明实施例的具有适配器的5个过滤装置在1小时内提供电阻率超过17.5兆欧厘米的流体，因此显示出改进的液体置换。
本文引用的所有参考文献(包括出版物、专利申请和专利)据此以引用方式并入，其程度等同于每个参考文献单独地且具体地被指示为以引用方式并入本文并且以其全文在本文中进行阐述。
除非本文另外指明或上下文明显矛盾，否则在描述本发明(尤其是在所附权利要求书的上下文中)的上下文中使用术语“一个”、“一种”和“所述”以及“至少一个”还有类似的指称应被理解为涵盖单数和复数两者。除非本文另外指明或上下文明显矛盾，否则使用术语“至少一个”后接一个或多个项的列表(例如，“A和B中的至少一个”)应被理解为意指从所列项选择的一个项(A或B)或者所列项中的两个或更多个的任何组合(A和B)。除非另外指明，否则术语“包括”、“具有”、“包括”和“含有”应被理解为开放性术语(即，意指“包括但不限于”)。除非本文另外指明，否则本文对值的范围的叙述仅旨在用作单独地提及落入该范围内的每个独立值的速记方法，并且每个独立值并入到说明书中，如同在本文中单独地叙述一样。除非本文另外指明或上下文明显矛盾，否则本文描述的所有方法可以任何合适的次序执行。除非另外指明，否则本文提供的任何和所有示例或示例性语言(例如“诸如”)的使用仅旨在更好地说明本发明，并且不对本发明的范围包括限制。说明书中的任何语言都不应被理解为指示对于本发明的实践来说必要的任何未要求保护的要素。
本文描述了本发明的优选实施例，包括发明人已知用于实施本发明的最佳模式。在阅读前述描述后，那些优选实施例的变型对于本领域普通技术人员来说可变得显而易见。发明人期望技术人员适当地采用此类变型，并且发明人希望以与本文具体地描述的不同的方式实践本发明。因此，本发明包括如适用法律所准许的所附权利要求书中叙述的主题的所有修改和等同物。此外，除非本文另外指明或以其他方式上下文明显矛盾，否则本发明涵盖上述元件在其所有可能的变型中的任何组合。
Claims (9)
1.一种过滤装置，所述过滤装置包括：
(a)过滤器，所述过滤器包括布置在过滤器壳体中的中空筒形过滤元件，所述中空筒形过滤元件包括多孔介质，所述过滤器壳体包括外罩、内芯、第一端盖和第二端盖，其中，所述外罩和所述内芯被密封到所述第一端盖和所述第二端盖，并且所述过滤元件在所述外罩与所述内芯之间，所述第二端盖包括封闭端盖、并且所述第一端盖包括敞开端盖，所述敞开端盖包括中空突起，所述中空突起包括过滤器出口，所述中空突起具有外壁；
(b)过滤装置壳体，所述过滤装置壳体包括：头部，所述头部包括入口端口和出口端口；以及碗状件，所述碗状件具有用于接纳所述过滤器的内部；
(c)适配器，所述适配器包括中空本体，所述中空本体具有：
(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径部，其中，所述顶部部分渐缩内径部具有最大直径和最小直径；
(ii)底部部分；以及
(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；
所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径部的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径部的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；
所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述环状通道的所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部；
其中，所述环状通道的所述外侧壁被密封在包括所述过滤器出口的所述中空突起的所述外壁上，并且所述适配器被焊接到所述过滤装置壳体的头部并焊接到所述适配器的所述顶部部分；并且
其中，流体流动路径穿过所述入口端口、所述外罩、所述多孔介质、所述过滤器出口、所述适配器的中心流体流动端口和所述出口端口。
2.如权利要求1所述的过滤装置，其中，所述过滤装置壳体的头部和所述适配器各包括含氟聚合物。
3.如权利要求1或2所述的过滤装置，其中，所述第一端盖包括聚丙烯或聚乙烯。
4.如权利要求1-3中任一项所述的过滤装置，其中，所述两个或更多个中空通路相对于所述适配器的水平轴线倾斜。
5.一种用于过滤装置中的适配器，所述适配器包括：
中空本体，所述中空本体具有：
(i)顶部部分，所述顶部部分具有顶部部分渐缩内径部，其中，所述顶部部分渐缩内径部具有最大直径和最小直径；
(ii)底部部分；以及
(iii)中心流体流动端口，所述中心流体流动端口穿过所述中空本体，所述中心流体流动端口具有第一端部和第二端部、内侧壁和外侧壁，所述中心流体流动端口与所述过滤器出口流体连通；
所述顶部部分包括提供所述顶部部分渐缩内径部的向下倾斜的内壁，所述向下倾斜的内壁在所述顶部部分渐缩内径部的所述最小直径处连接到所述中心流体流动端口的所述第一端部，所述向下倾斜的内壁具有上表面以及穿过所述向下倾斜的内壁的所述上表面的两个或更多个中空通路，所述两个或更多个中空通路中的每一者包括通路上端部和通路下端部，所述向下倾斜的内壁的所述上表面包括所述通路上端部；
所述底部部分包括向下延伸的中空管状元件，所述中空管状元件包括所述中心流体流动端口的所述第二端部，所述中空管状元件提供所述中心流体流动端口的所述内侧壁和所述外侧壁；所述底部部分包括环绕所述向下延伸的中空管状元件的环状通道，所述环状通道包括基部、外侧壁和内侧壁，所述环状通道的所述内侧壁包括所述中心流体流动端口的所述外侧壁，所述环状通道的所述基部包括所述两个或更多个中空通路的所述通路下端部。
6.如权利要求5所述的适配器，其中，所述两个或更多个中空通路相对于所述适配器的水平轴线倾斜。
7.一种过滤流体的方法，所述方法包括：
使所述流体通过如权利要求1-4中任一项所述的过滤装置。
8.如权利要求7所述的方法，其中，所述流体用于微电子工业中。
9.一种清洁过滤器的方法，所述方法包括：
使清洁液通过如权利要求1-4中任一项所述的过滤装置；以及
使去离子水通过所述过滤装置，其中，所述清洁液从所述过滤装置冲洗出。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US16/846,574 US11241644B2 (en) | 2020-04-13 | 2020-04-13 | Adapter for filter device and method of use |
| US16/846,574 | 2020-04-13 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN113521837A true CN113521837A (zh) | 2021-10-22 |
| CN113521837B CN113521837B (zh) | 2022-09-16 |
Family
ID=75108258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202110386146.4A Active CN113521837B (zh) | 2020-04-13 | 2021-04-12 | 用于过滤装置的适配器及使用方法 |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US11241644B2 (zh) |
| EP (1) | EP3895776B1 (zh) |
| JP (1) | JP7052167B2 (zh) |
| KR (1) | KR102486437B1 (zh) |
| CN (1) | CN113521837B (zh) |
| IL (1) | IL281457B1 (zh) |
| SG (1) | SG10202103122VA (zh) |
| TW (1) | TWI782446B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| USD968557S1 (en) * | 2019-01-11 | 2022-11-01 | Qingdao Ecopure Filter Co., Ltd | Filter unit |
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-
2020
- 2020-04-13 US US16/846,574 patent/US11241644B2/en active Active
-
2021
- 2021-03-11 IL IL281457A patent/IL281457B1/en unknown
- 2021-03-12 TW TW110108966A patent/TWI782446B/zh active
- 2021-03-15 JP JP2021041482A patent/JP7052167B2/ja active Active
- 2021-03-18 EP EP21163505.7A patent/EP3895776B1/en active Active
- 2021-03-26 SG SG10202103122VA patent/SG10202103122VA/en unknown
- 2021-04-12 CN CN202110386146.4A patent/CN113521837B/zh active Active
- 2021-04-13 KR KR1020210047778A patent/KR102486437B1/ko active IP Right Grant
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US11241644B2 (en) | 2022-02-08 |
| EP3895776B1 (en) | 2023-06-14 |
| SG10202103122VA (en) | 2021-11-29 |
| KR20210127105A (ko) | 2021-10-21 |
| TW202146096A (zh) | 2021-12-16 |
| IL281457A (en) | 2021-10-31 |
| IL281457B1 (en) | 2024-05-01 |
| CN113521837B (zh) | 2022-09-16 |
| TWI782446B (zh) | 2022-11-01 |
| JP7052167B2 (ja) | 2022-04-12 |
| EP3895776A1 (en) | 2021-10-20 |
| US20210316236A1 (en) | 2021-10-14 |
| KR102486437B1 (ko) | 2023-01-09 |
| JP2021175569A (ja) | 2021-11-04 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |